JP2006196491A - プラズマエッチング用電極板 - Google Patents
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Abstract
【課題】パーティクルが発生することのないプラズマエッチング用電極板を提供する。
【解決手段】電極板の厚さ方向に平行に貫通細孔5が設けられているプラズマエッチング用電極板2において、前記貫通細孔5の内壁面は、表面粗さが大きい面部分(以下、粗面部分という)と表面粗さが小さい面部分(以下、平滑面部分という)とからなり、前記粗面部分12は貫通細孔のエッチングガス流入側内壁面に形成されており、前記平滑面部分13は貫通細孔5のエッチングガス流出側内壁面に形成されていることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
【選択図】 図1
【解決手段】電極板の厚さ方向に平行に貫通細孔5が設けられているプラズマエッチング用電極板2において、前記貫通細孔5の内壁面は、表面粗さが大きい面部分(以下、粗面部分という)と表面粗さが小さい面部分(以下、平滑面部分という)とからなり、前記粗面部分12は貫通細孔のエッチングガス流入側内壁面に形成されており、前記平滑面部分13は貫通細孔5のエッチングガス流出側内壁面に形成されていることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
【選択図】 図1
Description
この発明は、プラズマエッチング装置に使用するパーティクル発生の少ないプラズマエッチング用電極板に関するものであり、特に長時間プラズマエッチングを行ってもパーティクルを発生することの少ないプラズマエッチング用電極板に関するものである。
半導体集積回路を製造する際のSiウェハをエッチングするための装置として、プラズマエッチング装置が知られており、このプラズマエッチング装置には、図3に示されるように、真空容器1内に貫通細孔5を有する電極板2と架台3が間隔をおいて設けられている。
このプラズマエッチング装置を用いてSiウェハをエッチングするには前記架台3の上にSiウェハ4を載置し、Arの他にCHF3 またはCF3 等を含むエッチングガス7を電極板2に設けられた貫通細孔5を通してSiウェハ4に向って流しながら高周波電源6により電極板2と架台3の間に高周波電圧を印加し、この高周波電圧を印加することにより、供給されたエッチングガス7は電極板2と架台3の間の空間でプラズマ10となり、このプラズマ10がSiウェハに当ってSiウェハ4の表面がエッチングされるようになっている。
このプラズマエッチング装置を用いてSiウェハをエッチングするには前記架台3の上にSiウェハ4を載置し、Arの他にCHF3 またはCF3 等を含むエッチングガス7を電極板2に設けられた貫通細孔5を通してSiウェハ4に向って流しながら高周波電源6により電極板2と架台3の間に高周波電圧を印加し、この高周波電圧を印加することにより、供給されたエッチングガス7は電極板2と架台3の間の空間でプラズマ10となり、このプラズマ10がSiウェハに当ってSiウェハ4の表面がエッチングされるようになっている。
電極板2は、通常、カーボン、アモルファスカーボン、炭化シリコンで作製されるが、近年、単結晶シリコンまたは多結晶シリコン、さらにドーピングされた単結晶シリコンまたは多結晶シリコンで構成された電極板も提案されており、この単結晶シリコンまたは多結晶シリコンで構成された電極板は前記カーボン、アモルファスカーボン、炭化シリコン、窒化シリコンで作製した電極板よりも被処理物のSiウェハを均一にエッチングすることができるとされている。
そして、前記電極板2に設けられた貫通細孔5の内壁面は表面粗さの小さい平滑面であるほど好ましく、RaをJIS−B0601で定義される表面粗さとすると、前記貫通細孔内壁面の表面粗さRaは10μm以下であることが好ましいとされている(特許文献1または2参照)。
そして、前記電極板2に設けられた貫通細孔5の内壁面は表面粗さの小さい平滑面であるほど好ましく、RaをJIS−B0601で定義される表面粗さとすると、前記貫通細孔内壁面の表面粗さRaは10μm以下であることが好ましいとされている(特許文献1または2参照)。
前記電極板2を用いてSiウェハ4の表面をエッチングすると、図4の電極板2の貫通細孔5の拡大断面図に示されるように、エッチングガス流出側(図4の電極板2の下側)の貫通細孔の温度はプラズマ10の発生により高くなるが、一方、電極板2に設けられた貫通細孔5のエッチングガス流入側(図4の電極板2の上側)は通常は冷却されており、温度は低い。
そのために、図4に示されるように、冷却されているエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁に、エッチングガス中のCHF3 またはCF3 などが反応し、固体のCxHyFz となって貫通細孔内壁に付着し(以下、この付着物をデポ物11という)、このエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁に付着したデポ物11は貫通細孔内を高速で通過するエッチングガス7により脱落してパーティクルとなり、このパーティクルがSiウェハに付着してSiウェハの不良品が発生するといわれている。
これを防止するために、従来は、貫通細孔内壁に付着したデポ物11が脱落する前に電極板2をプラズマエッチング装置から定期的に取り出して洗浄し、貫通細孔内壁に付着したデポ物11の量を少量に保つことによりパーティクルの発生を防止していたが、前記従来のように、電極板2をプラズマエッチング装置から定期的に取り出して洗浄するには、プラズマエッチング装置の作動をいったん止めて電極板2をプラズマエッチング装置から取り出し、電極板2の洗浄終了後プラズマエッチング装置を再び立ちあげなければならないところから、時間的ロスが大きく、そのためSiウェハのプラズマエッチング効率の低下は避けられなかった。
そのために、図4に示されるように、冷却されているエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁に、エッチングガス中のCHF3 またはCF3 などが反応し、固体のCxHyFz となって貫通細孔内壁に付着し(以下、この付着物をデポ物11という)、このエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁に付着したデポ物11は貫通細孔内を高速で通過するエッチングガス7により脱落してパーティクルとなり、このパーティクルがSiウェハに付着してSiウェハの不良品が発生するといわれている。
これを防止するために、従来は、貫通細孔内壁に付着したデポ物11が脱落する前に電極板2をプラズマエッチング装置から定期的に取り出して洗浄し、貫通細孔内壁に付着したデポ物11の量を少量に保つことによりパーティクルの発生を防止していたが、前記従来のように、電極板2をプラズマエッチング装置から定期的に取り出して洗浄するには、プラズマエッチング装置の作動をいったん止めて電極板2をプラズマエッチング装置から取り出し、電極板2の洗浄終了後プラズマエッチング装置を再び立ちあげなければならないところから、時間的ロスが大きく、そのためSiウェハのプラズマエッチング効率の低下は避けられなかった。
かかる欠点を改良するために、図5に示される大径ストレート孔部分8および小径ストレート孔部分9からなる貫通細孔5を設けた電極板2が提供されている。この電極板2は、エッチングガス流入側近傍の貫通細孔5の径を所定の貫通細孔の径より大きくしてあることから、図6に示されるように、大径ストレート孔部分8にデポ物11が生成しても、エッチングガス流入側近傍の貫通細孔内を流れるエッチングガスの流速が緩められているために、貫通細孔内壁に付着したデポ物11はエッチングガス流速による脱落が抑えられてパーティクルの発生を減少させることができる(特許文献3参照)。
特開平7―273094号公報
特開平9―289195号公報
特開2001―102357号公報
しかし、エッチングガス流入側近傍の貫通細孔5の径を所定の貫通細孔の径より大きくすると、電極板の一定面積内に設けられる貫通細孔の数が少なくなり、貫通細孔の数が少なくなると、貫通細孔から流出するエッチングガスの流出量が少なくなり、プラズマの発生量が少なくなってエッチング効率が低下する。したがって、プラズマエッチング用電極板には小径の貫通細孔を可能な限り多数設けた方が良い。
また、近年、Siウエハの大型化にともない、用いられる電極板が大型化し、さらに電極板の寿命を延ばして電極板の交換を極力少なくする傾向にあり、そのために電極板の厚さが一層厚くなっている。かかる従来の電極板は長時間使用するとパーティクルの発生が多くなるという欠点があった。
また、近年、Siウエハの大型化にともない、用いられる電極板が大型化し、さらに電極板の寿命を延ばして電極板の交換を極力少なくする傾向にあり、そのために電極板の厚さが一層厚くなっている。かかる従来の電極板は長時間使用するとパーティクルの発生が多くなるという欠点があった。
そこで、本発明者らは、かかる観点から、従来の電極板のように小径の貫通細孔を多数設け、さらに長時間プラズマエッチングを行っても貫通細孔内壁に付着したデポ物が脱落してパーティクルとなることの少ないプラズマエッチング用電極板を開発すべく研究を行った結果、
前記デポ物は主にエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁面に生成することから、通常の表面が滑らかな貫通細孔を有する電極板において、図1に示されるように、貫通細孔5のエッチングガス流入側内壁面の表面粗さを大きくすると、図2に示されるように、エッチングガス流入側内壁面にデポ物11が生成し付着しても、デポ物11はエッチングガス流入側内壁面に強固に付着するために生成したデポ物11がエッチングガス7の流速により脱落し難くなり、それによって長時間プラズマエッチングを行ってもパーティクルの発生を抑えることができるという研究結果が得られたのである。
前記デポ物は主にエッチングガス流入側近傍の貫通細孔内壁面に生成することから、通常の表面が滑らかな貫通細孔を有する電極板において、図1に示されるように、貫通細孔5のエッチングガス流入側内壁面の表面粗さを大きくすると、図2に示されるように、エッチングガス流入側内壁面にデポ物11が生成し付着しても、デポ物11はエッチングガス流入側内壁面に強固に付着するために生成したデポ物11がエッチングガス7の流速により脱落し難くなり、それによって長時間プラズマエッチングを行ってもパーティクルの発生を抑えることができるという研究結果が得られたのである。
この発明は、かかる研究結果に基づいてなされたものであって、
(1)電極板の厚さ方向に平行に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、前記貫通細孔の内壁面は、表面粗さが大きい面部分(以下、粗面部分という)と通常の電極板のように表面粗さが小さい面部分(以下、平滑面部分という)からなり、前記粗面部分は貫通細孔のエッチングガス流入側内壁面に形成されており、前記平滑面部分は貫通細孔のエッチングガス流出側内壁面に形成されているプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
(1)電極板の厚さ方向に平行に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、前記貫通細孔の内壁面は、表面粗さが大きい面部分(以下、粗面部分という)と通常の電極板のように表面粗さが小さい面部分(以下、平滑面部分という)からなり、前記粗面部分は貫通細孔のエッチングガス流入側内壁面に形成されており、前記平滑面部分は貫通細孔のエッチングガス流出側内壁面に形成されているプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
図1に示されるように、この発明のプラズマエッチング用電極板の貫通細孔内壁面における粗面部分12の長さをt、貫通細孔全長をTとすると、t/T=1/3〜2/3の範囲内にわたって貫通細孔の内壁面内に形成されていることが一層好ましい。その理由は、粗面部分が貫通細孔全長の1/3未満では粗面部分の長さが短すぎてデポ物が平滑面部分13にまで付着し、平滑面部分13に付着したデポ物は付着強度が弱いので落下し易くパーティクルが発生しやすくなるからであり、一方、粗面部分12が貫通細孔全長Tの2/3を越えて形成すると、平滑面部分13(すなわち、図1において、T−tの長さ部分)が短くなりすぎ、貫通細孔の平滑面部分が消耗したのち粗面部分の消耗に至るまでの時間が短く、プラズマエッチング時間が長くなると、貫通細孔の消耗が粗面部分にまで至り、粗面部分が消耗することにより粗面部分に付着しているデポ物が落下するようになってかえってパーティクルの発生が多くなるので好ましくないという理由によるものである。
したがって、この発明は、
(2)前記貫通細孔の内壁面における粗面部分12は貫通細孔全長の1/3〜2/3の範囲内の長さにわたって形成されている前記(1)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
したがって、この発明は、
(2)前記貫通細孔の内壁面における粗面部分12は貫通細孔全長の1/3〜2/3の範囲内の長さにわたって形成されている前記(1)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
そして、表面粗さRaをJIS−B0601で定義される表面粗さとすると、この発明のプラズマエッチング用電極板の貫通細孔5の前記エッチングガス流出側の内壁面に形成されている平滑面部分13の表面粗さはRa:0.5μm未満の範囲内にあってその表面粗さは滑らかなほど好ましいが、前記エッチングガス流入側内壁面に形成されている粗面部分12の表面粗さはRa:0.5〜20μmの範囲内にあることが好ましい。したがって、この発明は、
(3)前記エッチングガス流入側内壁面に形成されている粗面部分12の表面粗さはRa:0.5〜20μmの範囲内にあり、前記エッチングガス流出側の内壁面に形成されている平滑面部分13の表面粗さはRa:0.5μm未満の範囲内にある前記(1)または(2)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
(3)前記エッチングガス流入側内壁面に形成されている粗面部分12の表面粗さはRa:0.5〜20μmの範囲内にあり、前記エッチングガス流出側の内壁面に形成されている平滑面部分13の表面粗さはRa:0.5μm未満の範囲内にある前記(1)または(2)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
この発明のプラズマエッチング用電極板を構成する素材は、通常使用されている
カーボン、アモルファスカーボン、炭化シリコン、窒化シリコン、単結晶シリコン、多結晶シリコン、柱状晶シリコンなどの内いずれでも良いが、これらの中でも単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは柱状晶シリコンが好ましく、単結晶シリコンが最も好ましい。したがって、この発明は、
(4)前記電極板は、シリコン単結晶、シリコン多結晶または柱状晶シリコンからなる前記(1)、(2)または(3)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
カーボン、アモルファスカーボン、炭化シリコン、窒化シリコン、単結晶シリコン、多結晶シリコン、柱状晶シリコンなどの内いずれでも良いが、これらの中でも単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは柱状晶シリコンが好ましく、単結晶シリコンが最も好ましい。したがって、この発明は、
(4)前記電極板は、シリコン単結晶、シリコン多結晶または柱状晶シリコンからなる前記(1)、(2)または(3)記載のプラズマエッチング用電極板、に特徴を有するものである。
この発明のプラズマエッチング用電極板に設けられている粗面部分および平滑面部分が形成されている貫通細孔は、電極板2の一方の面から加工速度を早くして穴をあけることにより粗面部分12を有する貫通細孔を形成し、一方、電極板2の他方の面から加工速度を遅くして平滑面部分を形成することにより得られる。電極板に貫通細孔を形成する方法として、ドリルが使用されるが、その中でもダイヤモンドドリルによる加工が最も好ましい。
この発明のプラズマエッチング用電極板を用いてプラズマエッチングすると、長持間プラズマエッチングしても直径:0.3μm以上の大きなパーティクルの発生がほとんどなく、したがってこの発明のプラズマエッチング用電極板は長持間洗浄することなく使用することができるところから電極板の洗浄回数および交換回数を減らすことができ、さらにSiウェハのプラズマエッチングによる不良品の発生もないところから、従来よりも効率よくSiウェハのプラズマエッチングを行うことができ、半導体装置産業の発展に大いに貢献しうるものである。
実施例1
直径:300mmの単結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して単結晶シリコン円板を作製し、この単結晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表1に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた単結晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表1に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表1に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板1〜3、比較電極板1〜2を作製した。さらに表1に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表1に示される表面粗さを有する従来電極板1〜2を作製した。
直径:300mmの単結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して単結晶シリコン円板を作製し、この単結晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表1に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた単結晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表1に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表1に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板1〜3、比較電極板1〜2を作製した。さらに表1に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表1に示される表面粗さを有する従来電極板1〜2を作製した。
このようにして作製した本発明電極板1〜3、比較電極板1〜2および従来電極板1〜2をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらに直径:8インチSiウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表1に示した。
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表1に示した。
表1に示される結果から、本発明電極板1〜3を使用してプラズマエッチングを行なうと、400時間までエッチングを行ってもパーティクルの生成がほとんど見られないのに対し、従来電極板1〜2およびこの発明の条件から外れた長さの表面部分を有する比較電極板1〜2はプラズマエッチング時間が200時間以上となるとパーティクルの生成が急に増加することが分かる。
実施例2
直径:300mmの多結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して多結晶シリコン円板を作製し、この多結晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表2に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた多結晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表2に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表2に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板4〜6、比較電極板3〜4を作製した。さらに表2に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表2に示される表面粗さを有する従来電極板3〜4を作製した。
直径:300mmの多結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して多結晶シリコン円板を作製し、この多結晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表2に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた多結晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表2に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表2に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板4〜6、比較電極板3〜4を作製した。さらに表2に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表2に示される表面粗さを有する従来電極板3〜4を作製した。
このようにして作製した本発明電極板4〜6、比較電極板3〜4および従来電極板3〜4をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらに直径:8インチSiウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表2に示した。
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表2に示した。
表2に示される結果から、本発明電極板4〜6を使用してプラズマエッチングを行なうと、400時間までエッチングを行ってもパーティクルの生成がほとんど見られないのに対し、従来電極板3〜4およびこの発明の条件から外れた長さの表面部分を有する比較電極板3〜4はプラズマエッチング時間が200時間以上となるとパーティクルの生成が急に増加することが分かる。
実施例3
直径:300mmの柱状晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して柱状晶シリコン円板を作製し、この柱状晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表3に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた柱状晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表3に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表3に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板7〜9、比較電極板5〜6を作製した。さらに表3に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表3に示される表面粗さを有する従来電極板5〜6を作製した。
直径:300mmの柱状晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:10mmに輪切り切断して柱状晶シリコン円板を作製し、この柱状晶シリコン板の片面にダイヤモンドドリルにより表3に示される加工速度で直径:0.5mmを有する粗面部分の穿孔を行い、ついでこの粗面部分の穴を明けた柱状晶シリコン板の反対側の片面からダイヤモンドドリルにより表3に示される加工速度で直径:0.5mmを有する平滑面部分の穿孔を行うことにより貫通細孔内面に表3に示される長さおよび表面粗さRaを有する本発明電極板7〜9、比較電極板5〜6を作製した。さらに表3に示される直径:0.5mmを有し、貫通細孔全体が表3に示される表面粗さを有する従来電極板5〜6を作製した。
このようにして作製した本発明電極板7〜9、比較電極板5〜6および従来電極板5〜6をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらに直径:8インチSiウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表3に示した。
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、Siウエハ表面のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始から50時間、100時間、200時間、300時間および400時間経過した時点でのSiウエハ表面に付着した直径:0.3μm以上のパーティクル数を測定し、その結果を表3に示した。
表3に示される結果から、本発明電極板7〜9を使用してプラズマエッチングを行なうと、400時間までエッチングを行ってもパーティクルの生成がほとんど見られないのに対し、従来電極板5〜6およびこの発明の条件から外れた長さの表面部分を有する比較電極板5〜6はプラズマエッチング時間が200時間以上となるとパーティクルの生成が急に増加することが分かる。
1 真空容器
2 電極板
3 架台
4 Siウェハ
5 貫通細孔
6 高周波電源
7 プラズマエッチングガス
8 大径ストレート孔部分
9 小径ストレート孔部分
10 プラズマ
11 デポ物
12 粗面部分
13 平滑面部分
2 電極板
3 架台
4 Siウェハ
5 貫通細孔
6 高周波電源
7 プラズマエッチングガス
8 大径ストレート孔部分
9 小径ストレート孔部分
10 プラズマ
11 デポ物
12 粗面部分
13 平滑面部分
Claims (4)
- 電極板の厚さ方向に平行に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、
前記貫通細孔の内壁面は、表面粗さが大きい面部分(以下、粗面部分という)と表面粗さが小さい面部分(以下、平滑面部分という)とからなり、前記粗面部分は貫通細孔のエッチングガス流入側内壁面に形成されており、前記平滑部分は貫通細孔のエッチングガス流出側内壁面に形成されていることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。 - 前記粗面部分は貫通細孔全長の1/3〜2/3の範囲内の長さにわたって貫通細孔の内壁面内に形成されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマエッチング用電極板。
- RaをJIS−B0601で定義される表面粗さとすると、前記貫通細孔の内壁面の粗面部分はRa:0.5〜20μmの範囲内の表面粗さを有し、前記貫通細孔の内壁面の平滑部分はRa:0.5μm未満の範囲内の表面粗さを有することを特徴とする請求項1または2記載のプラズマエッチング用電極板。
- 前記電極板は、シリコン単結晶、シリコン多結晶または柱状晶シリコンからなることを特徴とする請求項1、2または3記載のプラズマエッチング用電極板。
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2005
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