JP4040908B2

JP4040908B2 - インピーダンス測定装置

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Publication number: JP4040908B2
Application number: JP2002145717A
Authority: JP
Inventors: 健二小林
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2002-05-21
Filing date: 2002-05-21
Publication date: 2008-01-30
Anticipated expiration: 2022-05-21
Also published as: JP2003337150A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、いわゆる４端子法に従って測定対象体の抵抗値、キャパシタンスおよびインダクタンスのいずれか１つ以上を測定可能に構成されているインピーダンス測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のインピーダンス測定装置として、図４に示す抵抗測定装置５１が従来から知られている。同図に示す抵抗測定装置５１は、直流定電流の測定用電流ＩDCを測定対象体５に供給する定電流源５２と、測定対象体５の各端子における電圧Ｖ51，Ｖ52および定電流源５２の出力電圧Ｖｏを計測するオペアンプ５３と、測定用電流ＩDCの導通経路を切り替えるスイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３と、計測された電圧Ｖ51，Ｖ52をディジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器（図示せず）と、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３を切替制御すると共にディジタルデータに変換された電圧Ｖ51，Ｖ52に基づいて測定対象体５の抵抗値を演算するＣＰＵ（図示せず）と、演算された抵抗値を表示する表示部（図示せず）とを備えている。
【０００３】
この抵抗測定装置５１では、測定対象体５の抵抗値を測定する場合、まず、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂを測定対象体５に接続した後、これらのプローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの接続確認試験を実行する。具体的には、ＣＰＵが、スイッチＳＷ３，ＳＷ１をそれぞれオン状態およびオフ状態に制御して、その状態で、オペアンプ５３を介して出力電圧Ｖｏを計測する。次いで、ＣＰＵは、スイッチＳＷ３，ＳＷ１をそれぞれオフ状態およびオン状態に制御して、同様にして電圧Ｖ51を計測する。さらに、ＣＰＵは、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をそれぞれオフ状態およびオン状態に制御して、電圧Ｖ52を計測する。この場合、ＣＰＵは、出力電圧Ｖｏが定電流源５２の出力飽和電圧に達しているときには、プローブ２７ａの断線、未接続または接触不良が生じている（以下、未接続および接触不良を総称して「未接続」ともいう）と判別し、電圧Ｖ51が出力電圧Ｖｏまたはその近傍値でないときには、プローブ３１ａの断線または未接続が生じていると判別する。また、電圧Ｖ52が定電流源５２の出力飽和電圧に達しているときには、プローブ２７ｂの断線または未接続が生じていると判別し、電圧Ｖ52が０Ｖまたはその近傍値でないときには、プローブ３１ｂの断線が生じていると判別する。
【０００４】
以上の接続確認試験を実行した後、すべてのプローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂが断線していない状態で正常に接続されていると判別したときに、抵抗値測定を実行する。この場合、ＣＰＵは、スイッチＳＷ１およびスイッチＳＷ２を交互に繰り返しオン状態に制御することにより、オペアンプ５３を介して電圧Ｖ51および電圧Ｖ52を交互に繰り返し計測する。次いで、ＣＰＵは、計測した電圧Ｖ51および電圧Ｖ52の差電圧を逐次演算し、この差電圧を測定用電流ＩDCの電流値で逐次除算することにより、除算結果を測定対象体５の抵抗値として表示部に逐次表示させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この抵抗測定装置５１には、以下の問題点がある。すなわち、この抵抗測定装置５１では、プローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの接続確認試験を行う場合、各スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３のオン・オフ状態として、ＳＷ１のみがオン、ＳＷ２のみがオン、ＳＷ３のみがオンの３つの状態に切り替えると共に、これら各状態において各電圧を計測する必要がある。このため、この抵抗測定装置５１には、各プローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの断線または未接続の判別に長時間を要するという問題点がある。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電流供給用および電圧検出用の各プローブの接続確認試験を短時間で実施し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、電流供給用プローブを介して定電流を測定対象体に供給する定電流源と、電圧検出用プローブを介して入力した前記測定対象体の両端間電圧および前記定電流の電流値に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを演算する演算制御部とを備えたインピーダンス測定装置であって、前記定電流源は、互いに電流値が異なる第１の定電流および第２の定電流を切り替えて前記測定対象体に供給可能に構成され、前記演算制御部は、前記第１の定電流が前記測定対象体に流れたときの第１の両端間電圧および前記第２の定電流が当該測定対象体に流れたときの第２の両端間電圧を前記両端間電圧としてそれぞれ測定すると共に、前記第１の両端間電圧に対する前記第２の両端間電圧の比と、前記第１の定電流の電流値に対する前記第２の定電流の電流値の比とが互いに等しいまたはほぼ等しいときに、前記電流供給用プローブおよび前記電圧検出用プローブが前記測定対象体に正常接続されていると判別し、当該比例関係が成り立たないときに、当該供給用プローブおよび当該電圧検出用プローブのうちのいずれか一方が当該測定対象体に対して未接続の状態であると判別する。この場合、このインピーダンス測定装置には、抵抗値を測定する抵抗測定装置、キャパシタンスを測定する容量測定装置、並びに、抵抗値、キャパシタンスおよびインダクタンスを測定するインピーダンス測定装置が含まれる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るインピーダンス測定装置を抵抗測定装置に適用した好適な実施の形態について説明する。
【０００９】
図１に示すように、抵抗測定装置１は、定電流源２、演算制御部３および表示部４を備え、測定対象体５の抵抗値を測定可能に構成されている。
【００１０】
定電流源２は、図１に示すように、直流基準電源（電圧Ｖｒ）２１、オペアンプ２２、基準抵抗２３（抵抗値Ｒ１），２４（抵抗値Ｒ２）、スイッチ２５，２６および電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂを備えている。この場合、直流基準電源２１は、グランドとオペアンプ２２の非反転入力端子との間に接続されて、オペアンプ２２の非反転入力端子に一定の電圧Ｖｒを供給する。オペアンプ２２の出力端子は電流供給用プローブ２７ａに接続されている。電流供給用プローブ２７ｂは基準抵抗２３の一端に接続されている。基準抵抗２４は、基準抵抗２３の他端とグランドとの間に接続されている。また、基準抵抗２３は、その一端がスイッチ２５を介してオペアンプ２２の反転入力端子に接続されている。また、基準抵抗２３は、その他端がスイッチ２６を介してオペアンプ２２の反転入力端子に接続されている。スイッチ２５は、例えば、アナログスイッチで構成され、切替信号Ｓ１を入力したときにのみオン状態に移行する。また、スイッチ２６は、例えば、アナログスイッチで構成され、切替信号Ｓ２を入力したときにのみオン状態に移行する。
【００１１】
以上の構成により、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂが測定対象体５の各端子にそれぞれ接続された状態において、切替信号Ｓ１のみを入力した場合、電流供給用プローブ２７ａ、測定対象体５、電流供給用プローブ２７ｂおよびスイッチ２５がオペアンプ２２の負帰還ループを構成すると共に、オペアンプ２２のいわゆるバーチャルショート特性に基づいて基準抵抗２３，２４の直列回路に電圧Ｖｒが印加される。したがって、定電流源２は、測定対象体５に対して第１の定電流としての定電流Ｉ１（＝Ｖｒ／（Ｒ１＋Ｒ２））を供給する。一方、切替信号Ｓ２のみを入力した場合、電流供給用プローブ２７ａ、測定対象体５、電流供給用プローブ２７ｂ、基準抵抗２３およびスイッチ２６がオペアンプ２２の負帰還ループを構成し、同様にして基準抵抗２４に電圧Ｖｒが印加される。したがって、定電流源２は、測定対象体５に対して第２の定電流としての定電流Ｉ２（＝Ｖｒ／Ｒ２）を供給する。
【００１２】
演算制御部３は、電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂ、差動アンプ３２、Ａ／Ｄ変換器３３、ＣＰＵ３４を備えている。この場合、電圧検出用プローブ３１ａは、差動アンプ３２の非反転入力端子に接続されている。また、電圧検出用プローブ３１ｂは、差動アンプ３２の反転入力端子に接続されている。差動アンプ３２は、非反転入力端子および反転入力端子に入力される各電圧の差分電圧（測定対象体５の両端間電圧）Ｖｄを出力する。Ａ／Ｄ変換器３３は、アナログ信号としての両端間電圧ＶｄをディジタルデータＤｖに変換して出力する。ＣＰＵ３４は、スイッチ２５，２６に対して切替信号Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ出力することにより、各スイッチ２５，２６のオン・オフ状態を制御する。また、ＣＰＵ３４は内部メモリ（図示せず）を備え、この内部メモリには、ＣＰＵ３４の動作を規定するためのプログラム、および切替信号Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ出力したときに定電流源２から測定対象体５に供給される定電流Ｉ１，Ｉ２の電流値が予め記憶されている。さらに、ＣＰＵ３４は、測定対象体５の抵抗を測定する場合には、Ａ／Ｄ変換器３３によって出力されたディジタルデータＤｖが示す電圧値Ｖｄを、定電流源２から現在供給されている定電流Ｉ１（またはＩ２）で除算することによって測定対象体５の抵抗値を演算し、演算した抵抗値を表示部４に表示させる。一方、ＣＰＵ３４は、各プローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの接続確認を実施する際には、切替信号Ｓ１，Ｓ２を順次出力すると共に、その都度、Ａ／Ｄ変換器３３によって出力されるディジタルデータＤｖが示す電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２を各切替信号Ｓ１，Ｓ２の出力状態に対応させて内部メモリに記憶する。また、ＣＰＵ３４は、この記憶した電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２に基づいて電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂの接続状態を確認して、確認結果を表示部４に表示させる。
【００１３】
次に、この抵抗測定装置１の測定動作について図２を参照して説明する。
【００１４】
最初に、測定対象体５にプローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂを接続した状態で図外の測定開始スイッチを操作する。この際には、ＣＰＵ３４が、切替信号Ｓ１を定電流源２に出力することにより、定電流源２に対して測定対象体５に定電流Ｉ１を供給させる（ステップ１０１）。次に、ＣＰＵ３４は、切替信号Ｓ１を出力している状態において、Ａ／Ｄ変換器３３によって出力されたディジタルデータＤｖが示す電圧値（第１の両端間電圧）Ｖｄ１を切替信号Ｓ１の出力状態に対応させて内部メモリに記憶する（ステップ１０２）。次に、ＣＰＵ３４は、切替信号Ｓ１に代えて切替信号Ｓ２を定電流源２に出力することにより、定電流源２に対して測定対象体５に定電流Ｉ２を供給させる（ステップ１０３）。次いで、ＣＰＵ３４は、切替信号Ｓ２を出力している状態において、Ａ／Ｄ変換器３３によって出力されたディジタルデータＤｖが示す電圧値（第２の両端間電圧）Ｖｄ２を切替信号Ｓ２の出力状態に対応させて内部メモリに記憶する（ステップ１０４）。
【００１５】
次いで、ＣＰＵ３４は、内部メモリに記憶した２つの電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２が共にゼロボルトであるか否かを判別する（ステップ１０５）。この場合、ゼロボルトのときには、定電流源２から測定対象体５に対して異なる定電流Ｉ１，Ｉ２を供給したにも拘わらず、２つの電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２が同じ一定値（ゼロボルト）のため、定電流源２から測定対象体５に対して定電流Ｉ１，Ｉ２の供給が行われておらず、かつ差動アンプ３２の各入力端子間（反転入力端子および非反転入力端子の間）が測定対象体５で終端された状態であることを意味する（通常、差動アンプ３２の各入力端子間がオープンに近い状態であれば、差動アンプ３２は誘導による不安定な電圧値を出力する）。したがって、ゼロボルトの状態では、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂが未接続の状態で、かつ電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂは正常に接続されている。このため、ＣＰＵ３４は、両電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２が共にゼロボルトであると判別したときには、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂが未接続の状態であって、電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂは正常に接続されていると判別して、この判別結果を内部メモリに記憶する（ステップ１０６）。その後、後述するステップ１１１に移行する。
【００１６】
ステップ１０５において、２つの電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２のうちの少なくとも一方がゼロボルトではないと判別したときには、ＣＰＵ３４は、Ｖｄ１：Ｖｄ２＝Ｉ１：Ｉ２の関係（つまり、両端間電圧Ｄｄ１に対する両端間電圧Ｖｄ２の比と、定電流Ｉ１の電流値に対する定電流Ｉ２の電流値の比とが互いに等しい関係であって、その２つの比がほぼ等しい関係も含む）が成り立つか否かを判別する（ステップ１０７）。この場合、定電流源２から測定対象体５に対して異なる定電流Ｉ１，Ｉ２を供給した際に、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂが共に測定対象体５に正常に接続されている状態では、各電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２は定電流Ｉ１，Ｉ２の電流値に比例して変化する。一方、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂと測定対象体５との間の接触抵抗が増加した場合、定電流源２から測定対象体５に対して定電流Ｉ１，Ｉ２を供給した際に、オペアンプ２２の電源電圧によって供給最大電流に上限値が存在するため、その上限値に制限されることがある。この際には、各電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２は定電流Ｉ１，Ｉ２の電流値に比例しては変化しない。また、電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂが測定対象体５に正常に接続されていない場合にも、各電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２は定電流Ｉ１，Ｉ２に比例して変化しないで、誘導による不安定な電圧となる。したがって、ＣＰＵ３４は、Ｖｄ１：Ｖｄ２＝Ｉ１：Ｉ２との関係が成り立たないと判別したときには、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂのうちのいずれか一方が測定対象体５に対して未接続の状態であると判別する。したがって、より正確にプローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの接続状態を判別することができる。次いで、ＣＰＵ３４は、この判別結果を内部メモリに記憶し（ステップ１０８）、その後に、後述するステップ１１１に移行する。
【００１７】
一方、ＣＰＵ３４は、Ｖｄ１：Ｖｄ２＝Ｉ１：Ｉ２との関係が成り立つと判別したときには、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂが共に測定対象体５に正常に接続されていると判別し（ステップ１０９）、電圧値Ｖｄ１を定電流Ｉ１で除算することにより（または、電圧値Ｖｄ２を定電流Ｉ２で除算することにより）、測定対象体５の抵抗値を演算する（ステップ１１０）。次いで、ＣＰＵ３４は、演算した抵抗値とステップ１０９における判別結果とを内部メモリに記憶する。その後、後述するステップ１１１に移行する。
【００１８】
最後に、ＣＰＵ３４は、ステップ１１１において、ステップ１０６、ステップ１０８およびステップ１０９において内部メモリに記憶した接続確認結果を表示部４に表示させる。また、ＣＰＵ３４は、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂが共に測定対象体５に正常に接続されている旨の接続確認結果を表示部４に表示させる際には、演算した測定対象体５の抵抗値も併せて表示させる。
【００１９】
このように、この抵抗測定装置１によれば、測定対象体５に対して２種類の定電流Ｉ１，Ｉ２を供給すると共に、各定電流Ｉ１，Ｉ２の供給時における各電圧値（両端間電圧）Ｖｄ１，Ｖｄ２を測定し、これらの電圧値Ｖｄ１，Ｖｄ２および定電流Ｉ１，Ｉ２の電流値に基づいて、各プローブ２７ａ，２７ｂ，３１ａ，３１ｂの接続確認を実施すると共に、接続確認結果が正常なときには併せて測定対象体５の抵抗値を演算することにより、従来の抵抗測定装置５１よりも接続確認用の電圧測定回数を少なくすることができる（具体的には３回から２回に低減できる）。したがって、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂの接続確認をより短時間で実施することができる。
【００２０】
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されず、その構成を適宜変更することができる。例えば、本発明の実施形態では、直流基準電源２１を備えた定電流源２を使用して測定対象体５の抵抗値を測定する抵抗測定装置１を例に挙げて説明したが、測定対象体５のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に適用することもできる。このインピーダンス測定装置の一例を、図３を参照して説明する。なお、抵抗測定装置１と同一の構成については同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００２１】
インピーダンス測定装置４１は、定電流源４２、演算制御部４３および表示部４を備えている。この場合、定電流源４２は、交流基準電源（電圧Ｖｒ）４４、オペアンプ２２、オペアンプ２２用の帰還抵抗４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ（抵抗値はすべて同一）、基準抵抗２３（抵抗値Ｒ１），２４（抵抗値Ｒ２）、スイッチ２５，２６および電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂを備えている。この定電流源４２では、オペアンプ２２が、スイッチ２５，２６のいずれか一方がオン状態に制御されることによって正帰還ループに組み込まれる基準抵抗に印加される電圧を常に電圧Ｖｒに制御する。具体的には、スイッチ２５がオン状態のときには、基準抵抗２３および基準抵抗２４の直列回路に印加される電圧を電圧Ｖｒに制御する。また、スイッチ２６がオン状態のときには、基準抵抗２４に印加される電圧を電圧Ｖｒに制御する。これにより、スイッチ２５がオン状態のときには、定電流源４２は、基準抵抗２４、基準抵抗２３、電流供給用プローブ２７ａ、測定対象体５、電流供給用プローブ２７ｂおよびグランドからなる電流経路に交流の定電流Ｉ３（＝Ｖｒ／（Ｒ１＋Ｒ２））を供給する。また、スイッチ２６がオン状態のときには、定電流源４２は、基準抵抗２４、基準抵抗２３、電流供給用プローブ２７ａ、測定対象体５、電流供給用プローブ２７ｂおよびグランドからなる電流経路に交流の定電流Ｉ４（＝Ｖｒ／Ｒ２）を供給する。
【００２２】
演算制御部４３は、電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂ、差動アンプ３２、電圧検出用プローブ３１ａと差動アンプ３２の非反転入力端子との間および電圧検出用プローブ３１ｂと差動アンプ３２の反転入力端子との間にそれぞれ配設されたコンデンサ４６ａ，４６ｂ、Ａ／Ｄ変換器３３，４７、ＣＰＵ３４を備えている。この場合、Ａ／Ｄ変換器４７は、交流基準電源４４から出力される電圧Ｖｒをアナログ−ディジタル変換してディジタルデータＤｖａｃをＣＰＵ３４に出力する。ＣＰＵ３４は、Ａ／Ｄ変換器３３によって出力されるディジタルデータＤｖ、およびＡ／Ｄ変換器４７によって出力されるディジタルデータＤｖａｃを同一のタイミングで取得すると共に、各ディジタルデータＤｖ，Ｄｖａｃを内部メモリに記憶する。また、ＣＰＵ３４は、スイッチ２５がオン状態のときには抵抗値（Ｒ１＋Ｒ２）で電圧Ｖｒを除算することによって測定対象体５に供給されている定電流Ｉ３の電流値を算出し、スイッチ２６がオン状態のときには抵抗値Ｒ２で電圧Ｖｒを除算することによって測定対象体５に供給されている定電流Ｉ４の電流値を算出して、両電流値を内部メモリに記憶する。また、ＣＰＵ３４は、算出した定電流Ｉ３，Ｉ４の各電流値と、その各電流値に対応する各電圧Ｖｒと同一のタイミングでそれぞれ取得した各電圧Ｖｄとに基づいて測定対象体５のインピーダンスを演算し、演算したインピーダンスを表示部４に表示する。
【００２３】
このインピーダンス測定装置４１でも、抵抗測定装置１と同様にして図２に示す測定処理を実施して、電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂの接続確認を実施すると共に、測定対象体５のインピーダンスを測定する。なお、インピーダンス測定自体は、測定用の定電流Ｉ１，Ｉ２に代えて交流の定電流Ｉ３，Ｉ４を使用する点が異なるものの、抵抗測定装置１による抵抗値測定と基本的に同じでかつ公知技術のため、その詳細説明を省略する。
【００２４】
なお、本発明は、上述した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、オペアンプ２２の帰還ループ内に組み込まれる基準抵抗２３，２４の接続状態を切り替えることによって、測定対象体５に供給する定電流Ｉ１，Ｉ２（またはＩ３，Ｉ４）を切り替える構成を採用したが、オペアンプ２の帰還ループ内に組み込まれる基準抵抗を固定的に接続して、オペアンプ２２の非反転入力端子に供給する直流または交流の電圧値を切り替えて測定対象体５に供給する定電流を切り替える構成を採用することもできる。また、抵抗測定装置１において、直流基準電源２１に代えて交流基準電源を採用することもでき、この構成によれば、直流の定電流Ｉ１，Ｉ２に代えて交流定電流によって電流供給用プローブ２７ａ，２７ｂおよび電圧検出用プローブ３１ａ，３１ｂの接続確認を行うことができる。また、各定電流源２，４２の構成は一例であって、例えば、定電流源４２において、スイッチ２５，２６の接続点と帰還抵抗４５ｂとの間にバッファアンプを配置するなど、その構成を適宜変更することが可能である。
【００２５】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のインピーダンス測定装置によれば、測定対象体に対して互いに電流値が異なる第１および第２の定電流を切り替えて供給すると共に、各定電流供給時における測定対象体の両端に発生する第１および第２の両端間電圧をそれぞれ測定し、第１の両端間電圧に対する第２の両端間電圧の比と、第１の定電流の電流値に対する第２の定電流の電流値の比とが互いに等しいまたはほぼ等しいときに、電流供給用プローブおよび電圧検出用プローブが測定対象体に正常接続されていると判別し、比例関係が成り立たないときに、供給用プローブおよび電圧検出用プローブのうちのいずれか一方が測定対象体に対して未接続の状態であると判別することにより、従来の抵抗測定装置５１よりも接続確認用の電圧測定回数を少なくすることができる。したがって、電流供給用プローブおよび電圧検出用プローブの接続確認試験を短時間で実施することができると共に、より正確に両プローブの接続状態を判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る抵抗測定装置１の回路図である。
【図２】抵抗測定装置１の動作を説明するための測定処理のフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態に係るインピーダンス測定装置４１の回路図である。
【図４】従来の抵抗測定装置５１の回路図である。
【符号の説明】
１抵抗測定装置
２，４２定電流源
３演算制御部
５測定対象体
２７ａ，２７ｂ電流供給用プローブ
３１ａ，３１ｂ電圧検出用プローブ
４１インピーダンス測定装置
Ｖｄ１，Ｖｄ２両端間電圧
Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３，Ｉ４定電流

Claims

電流供給用プローブを介して定電流を測定対象体に供給する定電流源と、電圧検出用プローブを介して入力した前記測定対象体の両端間電圧および前記定電流の電流値に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを演算する演算制御部とを備えたインピーダンス測定装置であって、
前記定電流源は、互いに電流値が異なる第１の定電流および第２の定電流を切り替えて前記測定対象体に供給可能に構成され、
前記演算制御部は、前記第１の定電流が前記測定対象体に流れたときの第１の両端間電圧および前記第２の定電流が当該測定対象体に流れたときの第２の両端間電圧を前記両端間電圧としてそれぞれ測定すると共に、前記第１の両端間電圧に対する前記第２の両端間電圧の比と、前記第１の定電流の電流値に対する前記第２の定電流の電流値の比とが互いに等しいまたはほぼ等しいときに、前記電流供給用プローブおよび前記電圧検出用プローブが前記測定対象体に正常接続されていると判別し、当該比例関係が成り立たないときに、当該供給用プローブおよび当該電圧検出用プローブのうちのいずれか一方が当該測定対象体に対して未接続の状態であると判別するインピーダンス測定装置。