JP4777828B2 - 測定装置および検査装置 - Google Patents
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Description
3 I/V変換部
5 制御部
32a,32b ダイオード
33a〜33c 抵抗
34 接続回路
100 回路基板
101 導体パターン
Dr 抵抗値データ
Dt 検査データ
I 電流
Rc 変化率
S 基準値
S1 直流信号
Claims (3)
- 直流信号の印加によって測定対象体における所定部位間を流れる電流を電圧に変換するI/V変換部と、当該I/V変換部によって変換された電圧および前記直流信号の電圧に基づいて前記所定部位間についての電気的パラーメータとして当該所定部位間の抵抗を測定する制御部とを備えた測定装置であって、
前記I/V変換部は、オペアンプ、一端が前記オペアンプの入力部に接続されると共に他端がアナログスイッチを介して前記オペアンプの出力部にそれぞれ接続され、かつ抵抗値が入力レンジに対応してそれぞれ規定されて前記オペアンプに帰還インピーダンスとして接続される複数のレンジ抵抗、並びにアナログスイッチを介して前記オペアンプの入力部および当該オペアンプの出力部の間に帰還インピーダンスとして接続されて前記所定部位間を流れる前記電流を通過させるダイオードを備えて構成され、
前記制御部は、前記アナログスイッチを介して前記帰還インピーダンスとして前記ダイオードを前記オペアンプに接続させた状態で前記直流信号を印加することによって前記所定部位間の浮遊容量に対する充電を実行し、当該浮遊容量の充電が完了した時点において前記I/V変換部によって変換された前記電圧に基づいて前記複数のレンジ抵抗のうちから前記所定部位間の前記抵抗を測定するためのレンジ抵抗を決定すると共に当該決定したレンジ抵抗を前記ダイオードに代えて前記アナログスイッチを介して前記帰還インピーダンスとして前記オペアンプに接続する測定装置。 - 直流信号の印加によって測定対象体における所定部位間を流れる電流を電圧に変換するI/V変換部と、当該I/V変換部によって変換された電圧に基づいて前記所定部位間についての電気的パラーメータとして前記電流を測定する制御部とを備えた測定装置であって、
前記I/V変換部は、オペアンプ、一端が前記オペアンプの入力部に接続されると共に他端がアナログスイッチを介して前記オペアンプの出力部にそれぞれ接続され、かつ抵抗値が入力レンジに対応してそれぞれ規定されて前記オペアンプに帰還インピーダンスとして接続される複数のレンジ抵抗、並びにアナログスイッチを介して前記オペアンプの入力部および当該オペアンプの出力部の間に帰還インピーダンスとして接続されて前記所定部位間を流れる前記電流を通過させるダイオードを備えて構成され、
前記制御部は、前記アナログスイッチを介して前記帰還インピーダンスとして前記ダイオードを前記オペアンプに接続させた状態で前記直流信号を印加することによって前記所定部位間の浮遊容量に対する充電を実行し、当該浮遊容量の充電が完了した時点において前記I/V変換部によって変換された前記電圧に基づいて前記複数のレンジ抵抗のうちから前記所定部位間の前記電流を測定するためのレンジ抵抗を決定すると共に当該決定したレンジ抵抗を前記ダイオードに代えて前記アナログスイッチを介して前記帰還インピーダンスとして前記オペアンプに接続する測定装置。 - 請求項1または2記載の測定装置と、当該測定装置によって測定された前記電気的パラメータに基づいて前記所定部位間に対する電気的検査を実行する検査部とを備えて構成されている検査装置。
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- 2006-05-29 JP JP2006147529A patent/JP4777828B2/ja active Active
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