JP5512368B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
−Rf/Rs×(1+jω×(Cs+Co)×Rs)/(1+jω×Cf×Rf)
と表される。このため、下記式(1)が成り立つときに、反転型増幅回路の利得は、周波数の影響を受けることなく一定となる(フラットな周波数特性となる)。
(Cs+Co)×Rs=Cf×Rf ・・・ (1)
2 電源部
3 可変コンデンサ
5 電流電圧変換部
5a 演算増幅器
5b,5c レンジ抵抗
5f 固定コンデンサ
7 処理部
25 コンデンサ接続回路
51 導体パターン(検査対象部位)
52 絶縁抵抗
53 浮遊容量
Cf 固定コンデンサの容量値
Cs 浮遊容量の容量値
I1 検査電流
Rf レンジ抵抗の抵抗値
Rs 絶縁抵抗の抵抗値
V1 検査電圧
Claims (3)
- 一対の検査対象部位の一方に検査用直流電圧を印加する電源部と、
前記一対の検査対象部位の他方に接続されると共に前記検査用直流電圧の印加時に当該検査対象部位間に流れる検査電流を電圧に変換する電流電圧変換部と、
前記検査用直流電圧の電圧値および前記変換された前記電圧の電圧値で示される前記検査電流の電流値に基づいて前記一対の検査対象部位間の抵抗を算出すると共に当該算出した抵抗に基づいて当該一対の検査対象部位間の絶縁検査を実行する処理部とを有する検査装置であって、
前記一方の検査対象部位と基準電位との間に接続された可変コンデンサを備え、
前記電流電圧変換部は、非反転入力端子が前記基準電位に接続されると共に反転入力端子が前記他方の検査対象部位に接続され、かつ当該反転入力端子と出力端子との間にレンジ抵抗と容量値固定の固定コンデンサとの並列回路が接続された演算増幅器を備えて構成され、
前記処理部は、前記一対の検査対象部位が良品であるときの当該一対の検査対象部位間の浮遊容量の容量値および絶縁抵抗の抵抗値、前記レンジ抵抗の抵抗値、並びに前記固定コンデンサの容量値に対応させて前記可変コンデンサの容量値を予め規定された値に設定すると共に当該設定した状態における前記検査用直流電圧の電圧値および前記検査電流の電流値に基づいて前記一対の検査対象部位間の前記抵抗を算出する検査装置。 - 前記処理部は、前記予め規定された値として下記式を満たす値Coに前記可変コンデンサの容量値を設定する請求項1記載の検査装置。
(Cs+Co)×Rs=Cf×Rf
(ここで、Csは前記一対の検査対象部位が良品であるときの当該一対の検査対象部位間の前記浮遊容量の前記容量値であり、Rsは当該一対の検査対象部位間の前記絶縁抵抗の前記抵抗値であり、Cfは前記固定コンデンサの前記容量値であり、Rfは前記レンジ抵抗の前記抵抗値である。) - 一対の検査対象部位の一方に検査用直流電圧を印加すると共に、当該検査用直流電圧の印加時に前記検査対象部位間に流れる検査電流を前記一対の検査対象部位の他方に電流電圧変換部を接続して電圧に変換し、前記検査用直流電圧の電圧値および前記変換された電圧の電圧値で示される前記検査電流の電流値に基づいて前記一対の検査対象部位間の抵抗を算出すると共に当該算出した抵抗に基づいて当該一対の検査対象部位間の絶縁検査を実行する検査方法であって、
前記一方の検査対象部位と基準電位との間に可変コンデンサを接続し、
前記一対の検査対象部位が良品であるときの当該一対の検査対象部位間の浮遊容量の容量値および絶縁抵抗の抵抗値、並びに前記電流電圧変換部を構成する演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に容量値固定の固定コンデンサとの並列回路として接続されたレンジ抵抗の抵抗値および当該固定コンデンサの容量値に対応させて前記可変コンデンサの容量値を予め規定された値に設定し、
当該可変コンデンサの当該容量値の設定状態における前記検査用直流電圧の電圧値および前記検査電流の電流値に基づいて前記一対の検査対象部位間の前記抵抗を算出する検査方法。
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