JP4032283B2 - マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【技術の分野】
本発明は、ピエゾ素子を用いたマルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法に関し、特に、隣接素子間の機械的干渉を低減するマルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【0002】
【背景技術】
図14は、従来のマルチノズルインクジェットヘッドの構成図である。このヘッド10は、駆動素子として、振動板102に、ピエゾ素子101を積層したバイモルフ・アクチュエータの適用例を示している。このヘッドの作製方法は、図示しないMgO基板上にスパッタにて複数の個別電極100を形成し、更にピエゾ101を数μm厚積層、パターニング形成する。この後、共通電極兼振動板102となる金属(Cr等)を全面に渡って数μm形成して、バイモルフ構造体を形成する。
【0003】
これと別に用意する圧力室形成部材(ドライフィルムレジスト)103とノズル形成部材105を、バイモルフ構造体の個別電極100に対応する位置に合わせて接合する。その後、MgO基板をエッチング除去して、マルチノズルヘッド板10が完成する。
【0004】
このヘッド10の動作は、図示しないインクタンクからヘッド10へインクが供給され、更にヘッド10内では共通路およびインク供給路を通って各圧力室104とノズル106にインクが供給される。駆動回路から駆動信号を個別電極(各ノズルに対応する電極)100に与えると、ピエゾ101の圧電効果により、図14の点線に示すように振動板102が圧力室104内に向けて撓み、ノズル106よりインクを噴射する。このインクが印字媒体上でドットを形成し、所望の画像を形成する。
【0005】
図14の点線に示す駆動時の変形は、ピエゾ101の圧電効果(特に電界に直交する横効果)による歪力が、電極100とピエゾ101と振動板102の各断面形状(特に厚さ)と各ヤング率の違いにより、曲げ断面中立軸において曲げモーメントとして作用し、電極100とピエゾ101と振動板102からなるバイモルフ構造体全体が撓むこととなる。
【0006】
この撓みを、圧力室104内のインクが流動するよう作用させるには、同バイモルフ構造体を圧力室104に対して固定する必要がある。これにより、同固定部分を基準位置として撓む振動板102表面が、圧力室104の容積を変化し、インクの噴出が可能となる。
【0007】
図15の模式図に示すように、振動板102の撓みによって圧力室104の容積を変化させるマルチノズルインクジェットヘッド10は、ノズル106の高集積化によって、隣り合うノズル106に連通する圧力室104間の壁(圧力室壁)103が薄くなる。即ち、振動板102の固定部分が狭くなる。例えば、150dpiのヘッドでは、ノズル間隔が、169μm程度であり、圧力室壁103の厚みは、35μmにする必要がある。
【0008】
このことは、振動板102の固定部分103の剛性を下げることとなり、十分に振動板102の固定端としての機能を発揮しなくなる。このため、隣接する圧力室104を同一の振動板102で覆う構造においては、一つの振動板が撓む時(単素子駆動)には、この撓みの方向Aに隣接する素子の振動板部分も引き込まれ、駆動部分のみの局部的な撓みを生じ難い。また、図15に示すように、隣接する素子を含め各々の振動板102が撓む時(多素子駆動)には、互いの振動板102が固定部分103を挟んで矢印A,B方向に引っ張り合い、釣合うため、駆動部分のみの局部的な撓みを生じ易い。
【0009】
このように、駆動状態(単素子駆動または多素子駆動)によって、振動板102の撓みが異なる機械的な駆動干渉(クロストーク)を生じる。これはインクジェットヘッドではインク飛翔特性バラツキとなって現れ、印字画質を劣化させることとなる。
【0010】
又、一体となっている振動板102を圧力室104毎に分割する手法が知られているが、薄い圧力室壁103で、振動板固定部の信頼性(振動板の固定端としての機能および圧力室を密閉する構造)を確保することは、ノズルの高集積度に伴い、きわめて難しい。しかも、分割しても、ピエゾ101が振動板102の固定端に与える歪みエネルギーは変化しないため、圧力室壁103を介して、隣接する素子へ伝達されるエネルギーは変化しない。このため、圧力室壁が薄い高密度ヘッドでは、有効な解決策と言い難く、クロストークを防止できない。
【0011】
【発明の開示】
本発明の目的は、高密度ノズルにおいても、クロストークを抑圧するためのマルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
本発明の他の目的は、ピエゾの発生力による振動板の歪みエネルギーが、固定部に作用するのを抑制するためのマルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
本発明の更に他の目的は、クロストークを抑圧し、且つバイモルフ部の変位量を拡大するためのマルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この目的の達成のため、本発明のマルチノズルインクジェットヘッドは、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、前記複数の隣接する圧力室を覆う振動板と、前記振動板上に設けられ、前記各圧力室に対応して設けられた複数のピエゾ素子と、各ピエゾ素子に設けられた複数の個別電極とを有し、前記複数の圧力室が隣接する前記圧力室の短軸方向に形成される前記振動板の断面は、前記ピエゾ素子の範囲に設けられた直線形状部分と、前記直線形状部分と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に設けられた非直線部分とを有し、前記非直線部分は、前記ピエゾ素子の端部から離れた部分に設けられ、かつ、前記振動板と前記圧力室の壁との接合部から離れた部分に設けられ、かつ、前記圧力室の壁との接合部に全てが含まれないように設けられる。
【0015】
本発明は、隣接駆動素子間の振動板の平坦度を下げて、一方の駆動素子の振動板部分を変位させる時に、他方の駆動素子の振動板部分に引張力が伝わりにくくする。これによって単素子駆動と多素子駆動で変位量が異なることを防ぎ、インク飛翔特性バラツキを抑制する。このため、本発明では、振動板の断面形状において、バイモルフ駆動体のピエゾ素子の範囲は、直線形状とし、この直線形状部分と圧力室壁との間を、非直線形状とした。この非直線形状は、振動板の直線形状部分に生じる歪エネルギーが、圧力室壁に作用するのを抑圧する。このため、隣接素子へのエネルギーの伝達を抑制でき、クロストークを抑圧できる。又、ピエゾ素子の範囲は、直線形状としたため、バイモルフ駆動体の変位量を減少しないで、実現できる。
【0016】
又、本発明のマルチノズルインクジエットヘッドでは、前記振動板の非直線部分は、前記ピエゾ素子による前記振動板の歪エネルギーが、前記圧力室の壁に伝達するのを抑制する形状であって、前記直線形状部分と厚み変化の無い曲折する形状であることにより、クロストークを抑圧できる。
【0017】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記振動板の非直線部分は、湾曲もしくはクランク形状とすることにより、容易に、歪エネルギーの伝達を抑制する断面形状の振動板を作成できる。
【0018】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記振動板の非直線部分は、前記圧力室の長さ方向(長軸方向)に渡って形成されることにより、隣接素子へのクロストークを完全に抑圧できる。
【0019】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記振動板の非直線部分は、前記ピエゾ素子により、前記振動板が撓む方向に、凸形状を有することにより、振動板が撓み易くなり、バイモルフ駆動体の変位量を拡大できる。
【0020】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記振動板が、前記複数の圧力室に共通の振動板で構成されることにより、薄い圧力室壁でもバイモルフ駆動体を確実に固定でき、バイモルフ駆動体の変位特性を保ちつつ、クロストークを抑圧できる。
【0021】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記振動板が、前記圧力室の壁の領域で分割された振動板で構成される態様も可能である。
【0022】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、インクを噴出する複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、前記複数の隣接する圧力室を覆う振動板と、前記振動板上に設けられ、前記各圧力室に対応して設けられた複数のピエゾ素子と、各ピエゾ素子に設けられた複数の個別電極とを有し、前記圧力室の短軸方向に形成される前記振動板の断面は、前記ピエゾ素子の範囲に設けられた直線形状部分と、前記直線形状部分と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に設けられた非直線部分とを有し、前記複数の圧力室の隣接方向について前記ピエゾ素子の両端にテーパ部が形成され、該テーパ部と前記振動板との間に絶縁層が介在する構造の態様により、電極間の短絡を防止して、変位に必要なピエゾ幅をとることができる。
【0023】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記複数の圧力室の隣接方向について前記ピエゾ素子の幅が、前記直線形状部分の両側にある前記非直線部分の全域よりも短い構成により、非直線部分が曲がり易くなり、隣接素子間のエネルギー伝達をより抑圧できる。
【0024】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記ピエゾ素子は、d31方向の収縮(電界に直交する横効果)を利用して前記振動板を前記圧力室内に撓ませるものであることにより、圧力室の容積を変化させてインクの噴射が可能である。
【0025】
本発明のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法は、基板上に、複数の個別電極を形成するステップと、各前記個別電極上に、複数のピエゾ素子を形成するステップと、前記ピエゾ素子の設けられた範囲と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に盛り上がり部分を有する絶縁層を、前記基板上に形成するステップと、前記絶縁層上に、振動板層を形成するステップと、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板を、前記各圧力室に前記各ピエゾ素子が位置するように、前記振動板層上に形成するステップと、前記基板を除去して前記個別電極面を露出させるステップと、を有する。
【0026】
この態様では、絶縁層のピエゾ素子の設けられた範囲と、前記圧力室の壁との間に盛り上がり部分を形成するため、容易に、振動板に直線部分と非直線部分とを形成できる。
【0027】
又、本発明のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法では、請求の範囲11項記載のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法において、前記ピエゾ素子を形成するステップは、前記複数の圧力室の隣接方向について両端にテーパ部分を有するピエゾ素子を形成するステップからなり、前記絶縁層を形成するステップは、前記ピエゾ素子の前記テーパ部分に前記盛り上がり部分を有する絶縁層を、前記基板上に形成するステップからなることにより、ピエゾ素子の幅を減少することなく、クロストークを抑圧できる。このため、バイモルフ駆動体の変位量を減少することなく、クロストークを抑圧できる。
【0028】
更に、本発明のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法では、振動板層を形成するステップは、前記複数の圧力室に共通の振動板層を形成するステップからなることにより、薄い圧力室壁でもバイモルフ駆動体を確実に固定でき、バイモルフ駆動体の変位特性を保ちつつ、クロストークを抑圧できる。
【0029】
本発明の他の目的、形態は、以下の図面及び実施の形態からあきらかとなる。
【0030】
【発明を実施するための最良の形態】
図1は、本発明の一実施例のインクジェットヘッドを適用したインクジェットプリンタの構成図であり、シリアルプリンタを示している。図1において、キャリッジ3は、印字媒体8の主走査方向に移動する。キャリッジ3には、インクを収容するインクタンク2と、本発明のインクジェットヘッド1とが搭載されている。
【0031】
印字媒体8は、給紙コーラ5と押えローラ4により、ヘッド1方向に搬送され、排紙ローラ7と押えギザローラ6により、排紙受け9方向に、搬送される。印字媒体8の副走査方向への搬送と、キャリッジ3の主走査方向の移動により、ヘッド1は、印字媒体8の全体の印字が行われる。
【0032】
図2は、マルチノズルインクジェットヘッド(以下、ヘッドという)1の上面図、図3は、図2のヘッドのB−B断面図、図4は、図2のヘッドのA−A断面図である。
【0033】
図2に示すように、ヘッド1は、3つのノズルを持つ。即ち、共通インク室16に対し、インク供給路17を介して、3つの圧力室15、3つの圧電素子(ピエゾ)19が設けられている。図3に示すように、駆動素子として、振動板18に、ピエゾ素子19を積層したバイモルフ・アクチュエータを用いている。
【0034】
このヘッドの作製方法は、図示しないMgO基板上にスパッタにて複数の個別電極20を形成し、更にピエゾ19を数μm厚積層、パターニング形成する。この後、共通電極兼振動板18となる金属(Cr等)を全面に渡って数μm形成して、バイモルフ構造体を形成する。
【0035】
これと別に、用意する圧力室形成部材(ドライフィルムレジスト)14とノズル形成部材10,11を、バイモルフ構造体の個別電極20に対応する位置に合わせて接合する。その後、MgO基板をエッチング除去して、マルチノズルヘッド板1が完成する。
【0036】
このヘッド1の動作は、図1のインクタンク2からヘッド1へインクが供給され、更にヘッド1内では、共通路16およびインク供給路17を通って各圧力室15とノズル12にインクが供給される。振動板18を電気的に接地し、駆動回路から駆動信号を個別電極(各ノズルに対応する電極)20に与えると、ピエゾ19の圧電効果により、図4に示すように振動板18が圧力室15内に向けて撓み、ノズル12よりインクを噴射する。このインクが印字媒体上でドットを形成し、所望の画像を形成する。
【0037】
図4に点線で示す駆動時の変形は、ピエゾ19の圧電効果(特に電界に直交する横効果)による歪力が、電極20とピエゾ19と振動板18の各断面形状(特に厚さ)と各ヤング率の違いにより、曲げ断面中立軸において曲げモーメントとして作用し、電極20とピエゾ19と振動板18からなるバイモルフ構造体全体が撓むこととなる。
【0038】
この撓みを、圧力室15内のインクが流動するよう作用させるには、同バイモルフ構造体を圧力室104に対して固定する必要がある。これにより、同固定部分を基準位置として撓む振動板102表面が、圧力室105の容積を変化させ、インクの噴出が可能となる。具体的には、圧力室15を形成する壁14に、振動板18を固定する。
【0039】
図4に示すように、振動板18の撓みによって圧力室15の容積を変化させるマルチノズルインクジェットヘッド1は、ノズル12の高集積化によって、隣り合うノズル12に連通する圧力室15間の壁(圧力室壁)14が薄くなる。即ち、振動板18の固定部分が狭くなる。例えば、150dpiのヘッドでは、ノズル間隔が、169μm程度であり、圧力室壁103の厚みは、35μmにする必要がある。
【0040】
図4に示すように、本発明のヘッド1では、複数の隣接する圧力室15を同一の振動板18で覆う構造であり、隣接駆動素子間の少なくとも一部で、振動板断面を直線状ではなく、湾曲もしくはクランク形状といった非直線断面18−2としている。この振動板の非直線異形断面部(湾曲もしくはクランク形状)18−2は駆動素子19から遠ざかる方向で、圧力室壁14との間に形成される。
【0041】
この振動板18の非直線異形断面部18−2は、圧力室の幅方向(短軸方向)に形成される。又、この振動板18の非直線異形断面部18−2は、圧力室15の長さ方向(長軸方向)に渡って均一に形成される。このピエゾ19は厚さ5μm以下の薄膜ピエゾである。この振動板18の非直線異形断面部18−2は、振動板18の圧力室壁14の接合部(振動板固定部)に全てが含まれないよう、駆動時に振動板18が撓む領域に設けられる。
【0042】
図5は、この非直線断面部18−2を設けた振動板18の作用を説明する図である。図5(A)は、そのモデル図であり、振動板18は、ピエゾ19の設置範囲が、直線形状18−1であり、その両端の圧力室壁14との間に、非直線部18−2が設けられている。図中において、ピエゾ19の発生力による振動板18の歪エネルギーを解析する。
【0043】
図5(B)は、その解析モデル図であり、振動板18の中心軸には、ピエゾ19の発生力fpが作用する。その軸力は、Nとなる。非直線部18−2の曲率半径をρとすると、非直線部18−2の任意の断面では、ピエゾ発生力fpは、軸力Nと、せん断力Fにベクトル分解される。これにより、この断面で、曲げモーメントM(=fp・L)が生じる。Lは、曲げモーメント作用長である。
【0044】
これにより、ピエゾ19から振動板固定部18−3に渡る振動板18に作用する歪エネルギーUは、下記式で表現できる。
【0045】
U=Un+Uf+Um+Umn
ここで、Unは、軸力Nによる歪エネルギーであり、
Ufは、せん断力Fによる歪エネルギーであり、
Umは、曲げモーメントMによる歪エネルギーであり、
Umnは、曲げモーメントMの歪と軸力Nによる歪エネルギーである。
【0046】
この歪エネルギー成分の内、曲げモーメントMによって生じるUmとUmn及びせん断力Fによって生じるUfは、非直線部18−2の変形に費やされる。この曲げモーメントM及びせん断力Fは、振動板18に作用するピエゾ発生力の方向(ここでは、d31方向の収縮)に対し、振動板が同方向の延長線上にない形状、即ち、非直線部18−2により、発生する。
【0047】
又、バイモルフ素子を変形させる方向に、非直線部18−2の凸部を設けることにより、バイモルフ素子の変形量が拡大する。即ち、非線形部18−2の変形が、非線形部18−2の曲率半径Pを大きくする方向に作用し、これにより、バイモルフ素子の変形量を拡大する。逆に、所定量の変位を得るための駆動電圧を低くすることができる。
【0048】
一方、図5(C)に示すように、従来の振動板が、直線断面のみの形状である場合には、曲げモーメントが発生しない。従って、振動板18から振動板18固定部には、歪エネルギーUnが直接作用する。このため、ピエゾ発生力fpによる歪エネルギーUで比較すると、本発明では、Uf,Um,Umnにエネルギー分配されるため、固定部に作用する歪エネルギーが小さくなる。従って、圧力室壁を介して隣接する素子へ伝達されるエネルギーが小さくなり、クロストークを小さくできる。
【0049】
更に、分割された振動板に適用しても、効果がある。即ち、圧力室壁で振動板が分割されているため、各々の振動板は、直接に力が作用することはないが、各々の振動板は、同一の圧力室壁に固定されているため、この壁への固定を介して隣接素子間で作用し合い、クロストークを生じる。特に、圧力室の壁が薄く、剛性の低い場合に顕著である。
【0050】
本発明では、ピエゾ発生力fpによる歪エネルギーUに対し、固定部に作用する歪エネルギー自体が小さくなるため、圧力室壁を介して隣接する素子へ伝達されるエネルギーが小さくなり、分割された振動板でも、よりクロストークを小さくできる。
【0051】
このため、ノズルの集積度を上げる構造、即ち、振動板固定部が狭くなる構造において、振動板固定を確保しつつ、隣接素子間の機械的クロストークを抑制できる。特に、アクチュエータとして厚さ5μm以下の薄膜ピエゾを用いたバイモルフ振動板構造において同効果は顕著であり、ノズルの高集積化やヘッドの小型化に大きく寄与する。
【0052】
また、印字記録装置は印字品質(画質、速度)を向上することが望まれ、インクジェットプリンタにおいては、インク粒子の微小化(ドットの微細化)とノズル数を多く構成することで実現できる。このとき要求される駆動素子として薄膜ピエゾを用いたバイモルフ・アクチュエータが極めて有望とされている。この薄膜ピエゾは薄く形成され圧電定数が高いことから、低電圧駆動で曲げ易く且つ半導体製法により高集積化を容易にする。
【0053】
次に、図6及び図7により、このヘッドの製造方法を説明する。この実施例では、薄膜ピエゾの作製方法は従来例と同様であるが、ピエゾの分割をエッチングですることによって、ピエゾ端部断面をテーパ形状とした。これによって、振動板の湾曲形状を容易に作製できる。
【0054】
[1]MgO基板30上に個別電極20をPtスパッタのパターニングによって必要形状を形成する。
【0055】
[2][1]上全面にピエゾ層19をスパッタによって全面形成する。
【0056】
[3][2]のピエゾ層19にフォトリソグラフィーにより、レジストパターンを形成した後、ケミカルエッチングによって個別電極部分のピエゾを残すよう、ピエゾ19を分割する。このとき、ケミカルエッチングによって、ピエゾ端部断面はテーパ形状となる。この個別電極側のピエゾ幅は、90(μm)であり、振動板側のピエゾ幅は、70(μm)である。
【0057】
[4][3]上全面に感光性ポリイミド(PI)31をスピンコートする。この厚さをt1(μm)とする。
【0058】
[5][4]のPI(絶縁層)31を露光・現像する。後に振動板断面を湾曲形状とする範囲のPI31を残す。ここでは、図のようにピエゾ19のテーパ端面の範囲を残す。
【0059】
[6][5]上全面に感光性ポリイミド(PI)32をスピンコートし、露光する。このとき、新たに塗布したPI32は[5]で作製したPI31上面に厚さ1μmで形成され、また塗布したPI32表面は表面張力によって滑らかに仕上がる。この厚さは、t2(μm)である。
【0060】
[7]ICPエッチング(高周波誘導結合型プラズマ装置)によりPI32を表面から必要量除去する。これにより、湾曲型が形成される。この除去量は、t3(μm)である。
【0061】
[8][7]上全面に共通電極兼振動板18をCrスパッタによって形成する。
【0062】
[9][8]上にドライフィルムレジストのパターニングにより圧力室壁基部14−1を形成する。ここでは、ドライフィルムレジストの積層パターニングによりインク供給路17を形成する。
【0063】
[10]別途作製したノズル基板(ノズル板10と導通路板11の積層板)に、ドライフィルムレジストのパターニングにより圧力室壁基部14−2を形成する。
【0064】
[11][9]と[10]を位置合わせして加熱接合し、ピエゾ基板のMgO30をエッチングによって除去して完成する。
【0065】
図8(A)乃至図8(C)に本発明の実施例を示す。構成略図は圧力室の横断面(複数の圧力室を配置する方向の断面)である。駆動素子は振動板18と薄膜ピエゾ19の積層体からなるバイモルフ構造である。ここでは,従来例および各実施例の特性を比較するため、以下の共通形状とした。
・個別電極 :幅 90(μm),厚さ 0.1(μm)
・薄膜ピエゾ :圧電定数d31 100E−12(m/V),幅 70〜90(μm) ,厚さ 3(μm)
・圧力室 :長さ 1700(μm),幅 100(μm),深さ 100(μm)
・ノズルピッチ: 169(μm)(=150dpi)
圧力室壁厚さ=ノズルピッチ−圧力室幅=35(μm)
・ノズル :長さ 20(μm),直径 20(μm)
ポリイミド(PI)シートをエキシマレーザ加工によってノズル形成
・導通路 :長さ 50(μm),直径 85(μm)
SUSシートをエッチングによってインク流路形成
ここで、図6及び図7の前記t1、t2、t3を調整して、図8(A)乃至図8(C)の各形状を形成し、その特性を評価した。図9、図10、図11に、実施例と従来例のクロストーク特性比較を示す。図9は、ヘッドの動作特性(15V駆動)を駆動状態(単素子駆動と多素子駆動)とで、粒速、粒量、最大変位、それによる、クロストーク率を比較したものである。
【0066】
図10は、図9のクロストーク率において、従来例を1として、実施例の効果を示したものである。図11は、図10のクロストーク率をグラフ化したものである。図11は、実施例で形成した振動板湾曲部18−2の高さを横軸に採り、湾曲形状による効果の傾向を示した。湾曲高さ0が、従来例に相当する。
【0067】
以上より、実施例のように振動板18を平坦ではなく、一部の断面を湾曲等の非直線異形状18−2であることによって、従来に比較して、隣接素子間の機械的クロストークを抑制できることが明らかとなり、本特許の目的とするインク飛翔特性バラツキ(粒速、粒量)を抑えることに寄与することがわかる。
【0068】
これは、例え、従来例の形状のクロストークが目標とする製品仕様のバラツキ範囲内としても、本特許の形状を用いることによって抑制可能なバラツキを、その他の製造上の加工バラツキに振替えること(例えば、ノズル径の加工精度緩和)が可能となり、製造を容易にすることでも寄与する。
【0069】
又、図8(A)乃至図8(C)では、ピエゾ19の両端に、ケミカルエッチングにより、テーパ部が形成されるため、振動板18との間に絶縁層32を介在できる。このため、電極間の短絡を防止して、変位に必要なピエゾ幅をとれる。更に、非直線部18−2を湾曲形状としているため、製造しやすく、角がない曲面のため、駆動時の変形による応力集中がなく、破断にも強い。
【0070】
図12は、本発明の他の実施例の構成図であり、図8と同様に、横断面を示している。この実施例では、ピエゾ19に、テーパ部を形成していない。このため、非直線部18−2の全域まで、ピエゾ19の幅をとることはない。このため、非直線部18−2が曲がり易くなり、エネルギー伝達をより抑圧できる。
【0071】
図13(A)乃至図13(J)は、本発明の更に他の実施例の構成図であり、非線形部18−2の形状の変形例を示す。図13(A)乃至図13(C)は、各々非直線部18−2を、クランク形状としたものである。図13(E)乃至図13(G)は、各々非直線部18−2を、テーパを持つクランク形状としたものである。図13(D),図13(H)乃至図13(J)は、各々非直線部18−2を、曲面形状としたものである。これらも、同様の作用、効果を奏し、製造、設計の便宜に従い、適宜選択できる。
【0072】
以上、本発明を実施例により、説明したが、本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲内から排除するものではない。
【0073】
【産業上の利用性】
振動板に、非直線形状部を設けたため、ノズルの集積度を上げる構造、即ち振動板固定部が狭くなる構造において、振動板の固定を確保しつつ、隣接素子間の機械的クロストークを抑制できる。また、振動板を駆動素子の電極とした場合は、非直線異形断面部を駆動素子(対となる電極)から遠ざける形状とすることで、より微細構造となる駆動素子部の端面電極間の電気的ショートを防ぐ。特に、アクチュエータとして厚さ5μm以下の薄膜ピエゾを用いたバイモルフ振動板構造において、これらの効果は顕著であり、ノズルの高集積化やヘッドの小型化に大きく寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の一実施例のマルチノズルインクジェットヘッドを適用したインクジェットプリンタの構成図である。
【図2】図2は、本発明の一実施例のマルチノズルヘッドの上面図である。
【図3】図3は、図2のB−B断面図である。
【図4】図4は、図2のA−A断面図である。
【図5】図5は、図4の振動板の動作説明図である。
【図6】図6は、本発明の一実施例のマルチノズルヘッドの製造方法の説明図(その1)である。
【図7】図7は、本発明の一実施例のマルチノズルヘッドの製造方法の説明図(その2)である。
【図8】図8は、本発明の実施例の説明図である。
【図9】図9は、図8の実施例のヘッド特性図である。
【図10】図10は、図8のクロストーク抑制の特性図である。
【図11】図11は、図8の湾曲によるクロストーク抑制の特性図である。
【図12】図12は、本発明の他の実施例の説明図である。
【図13】図13は、本発明の更に他の実施例の説明図である。
【図14】図14は、従来のマルチノズルインクジェットヘッドの構成図である。
【図15】図15は、従来技術のクロストークの説明図である。
Claims (13)
- インクを噴出する複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
前記複数の隣接する圧力室を覆う振動板と、
前記振動板上に設けられ、前記各圧力室に対応して設けられた複数のピエゾ素子と、
各ピエゾ素子に設けられた複数の個別電極とを有し、
前記複数の圧力室が隣接する前記圧力室の短軸方向に形成される前記振動板の断面は、前記ピエゾ素子の範囲に設けられた直線形状部分と、
前記直線形状部分と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に設けられた非直線部分とを有し、
前記非直線部分は、前記ピエゾ素子の端部から離れた部分に設けられ、かつ、前記振動板と前記圧力室の壁との接合部から離れた部分に設けられ、かつ、前記圧力室の壁との接合部に全てが含まれないように設けられること、を特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲1項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の非直線部分は、前記ピエゾ素子による前記振動板の歪エネルギーが、前記圧力室の壁に伝達するのを抑圧する形状であって、前記直線形状部分と厚み変化の無い曲折する形状であることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲2項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の非直線部分は、湾曲もしくはクランク形状であることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲2項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の非直線部分は、前記圧力室の長さ方向(長軸方向)に渡って形成されることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲2項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の非直線部分は、前記ピエゾ素子により、前記振動板が撓む方向に、凸形状を有することを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲1項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板が、前記複数の圧力室に共通の振動板で構成されることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲1項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板が、前記圧力室の壁の領域で分割された振動板で構成されることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - インクを噴出する複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
前記複数の隣接する圧力室を覆う振動板と、
前記振動板上に設けられ、前記各圧力室に対応して設けられた複数のピエゾ素子と、
各ピエゾ素子に設けられた複数の個別電極とを有し、
前記圧力室の短軸方向に形成される前記振動板の断面は、前記ピエゾ素子の範囲に設けられた直線形状部分と、
前記直線形状部分と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に設けられた非直線部分とを有し、
前記複数の圧力室の隣接方向について前記ピエゾ素子の両端にテーパ部が形成され、該テーパ部と前記振動板との間に絶縁層が介在することを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲1項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の圧力室の隣接方向について前記ピエゾ素子の幅が、前記直線形状部分の両側にある前記非直線部分の全域よりも短いことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 請求の範囲1項または8項記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記ピエゾ素子は、d31方向の収縮を利用して前記振動板を前記圧力室内に撓ませることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - インクを噴出する複数のノズルと複数の圧力室を有するマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法において、
基板上に、複数の個別電極を形成するステップと、
各前記個別電極上に、複数のピエゾ素子を形成するステップと、
前記ピエゾ素子の設けられた範囲と、前記複数の隣接する圧力室を仕切る前記圧力室の壁との間に盛り上がり部分を有する絶縁層を、前記基板上に形成するステップと、
前記絶縁層上に、振動板層を形成するステップと、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板を、前記各圧力室に前記各ピエゾ素子が位置するように、前記振動板層上に形成するステップと、
前記基板を除去して前記個別電極面を露出させるステップと、
を有することを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法。 - 請求の範囲11項記載のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ピエゾ素子を形成するステップは、前記複数の圧力室の隣接方向について両端にテーパ部分を有するピエゾ素子を形成するステップからなり、
前記絶縁層を形成するステップは、前記ピエゾ素子の前記テーパ部分に前記盛り上がり部分を有する絶縁層を、前記基板上に形成するステップからなることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法。 - 請求の範囲11項記載のマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法において、
前記振動板層を形成するステップは、前記複数の圧力室に共通の振動板層を形成するステップからなることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッドの製造方法。
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