JP4018848B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置に関し、特に半導体素子の裏面への電極形成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の素子形成面に電極を設けて、下地基板(配線板)の電極との間で接続し、この下地基板の電極を、プリント基板やセラミック基板に接続するTAB(Tape Automated Bonding)技術が通常行われている。
一方、複数の半導体素子を2層に重ね合わせる、チップオンチップ構造の半導体装置が注目されている。このチップオンチップ構造を用いれば、半導体素子の一層の集積化が図れるという利点がある。
【0003】
このチップオンチップの構造をとる場合、実装時にいわゆるフェースアップボンディングをすることになり、半導体素子の素子形成面の電極と下地基板の電極とのワイヤ配線が必要になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このワイヤ配線のため、下地基板が必須となり、下地基板を省略する余地がなくなり、また、面積の大きな下地基板が必要になるので、高密度実装ができないという問題があった。
そこで、本発明は、半導体素子を、素子形成面が上(フェースアップ)になるようにパッケージする場合に、下地基板を使わずに、プリント基板等へのダイレクトな接続をすることができる半導体装置を実現することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
本発明の半導体装置は、他の半導体装置が載置されることにより、当該他の半導体装置とともにチップオンチップ構造を形成する半導体装置であって、厚さが相対的に厚い部分とこの周囲に厚さが相対的に薄い部分とにより形成される段差を有し、その厚さが薄い部分に貫通孔が形成された半導体基板と、半導体基板の素子形成面であって前記他の半導体装置と対向する表面に設けられたパッド電極と、前記貫通孔の内面と、半導体基板の表面及び裏面の少なくとも前記貫通孔近傍の部分とに形成された絶縁膜と、前記パッド電極に接続されるパッド電極上のバンプ、前記半導体基板の表面の配線用のバンプ、及び前記貫通孔を通して前記半導体基板の裏面まで貫通する貫通孔上のバンプを、互いにつながった状態で形成する金属とを備えるものである。
この構成によれば、素子形成面が上(フェースアップ)になるようなパッケージをする場合でも、チップ裏面からの電極接続ができるので、プリント基板等へのダイレクトな接続をすることができる。また、下地基板を使わなくても済むので、高密度の実装ができる。さらに、チップオンチップの構造を好適に採用することができる。
【0006】
絶縁膜を介して前記金属が形成されているのは、電極間の絶縁を保つためである。特に、Siのように電気伝導率の高い半導体を使用する場合に、このような絶縁処理は必要となる。
前記貫通する金属もバンプである。
【0007】
このようにバンプを用いるので、電気抵抗が低い、熱伝導率が高い、という特性があり、電極として好適である。また、メッキなどにより、貫通孔を通る電極を簡単に形成することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。本発明の実施の形態では、半導体の種類として、Siを使用することを前提としているが、他にGaAs、Geなどの半導体を使用してもよい。
図1は、本発明の半導体装置の実装状態を示す断面図である。
Si半導体素子1の素子形成領域には、複数のバンプ電極6,20が形成され、一部のバンプ電極20の上には他の半導体チップ21が載っている。他のバンプ電極6は、チップに設けられた貫通孔に、当該バンプ電極6からつながる配線7を介してバンプ金属8を貫通させて、チップ裏面の、基板10の上のリード11との電気接続を可能にしている。
【0010】
図2は、Si半導体素子1の他の実施形態を示す断面図である。このSi半導体素子1と、図1のSi半導体素子1との違いは、バンプ電極6からつながる配線7に段差がないことであるが、段差の有無は、以後の製造工程で本質的ではない。
次に、図2のタイプのSi半導体素子1の製造方法を説明する。
図3は、製造方法を説明するための工程図である。Si半導体素子1の基板には予め貫通孔1aが形成されている。図3(a)は、パッド電極であるAl電極2が形成された基板1の上にSiN,SiON,SiO2,PSG等のパッシベーション膜3を施す工程を示す。このパッシベーション膜3は、貫通孔1aの側壁、基板1の裏面にまで施すこととする。パッシベーション膜3の形成方法として、例えばプラズマCVDがあげられる。
【0011】
次に、図3(b)に示すように、基板1の全領域に、下地との密着性をよくするためのTiW合金層、メッキの給電のためのAu,Ptなどの層を積層したシード層4をスパッタなどの方法で蒸着する。
次に、バンプメッキする領域を除いて、フォトレジスト5を塗布する(図3(c))。
そして電解メッキ法にてバンプ用金属を厚くメッキする(図3(d))。このバンプ用金属として、Au,Pd,Pt,Ag,Ir(イリジウム),Cu等をあげることができる。形成されたバンプのうち、Al電極2の上に形成されたものを番号6で示し、貫通孔1aの周辺に形成されたものを番号8で示し、途中の配線部分を番号7で示す。なお、電解メッキ法に代えて、化学反応による還元作用を利用した金属のメッキ成膜方法である無電解メッキ法を採用してもよい。
【0012】
次に、フォトレジスト5を除去し表面のシード層4を除去して、アニール処理を行うことにより、貫通孔にバンプが形成された半導体素子を得る(図3(e))。
図4は、図1に示した段差のあるSi半導体素子1において、貫通孔にバンプを後から形成する工程を示す概略図である。まず、素子形成面に、バンプ6と、これにつながる配線7を形成しておき、貫通孔1aを設け(図4(a))、その後、貫通孔1aにバンプ8を形成する(図4(b))。
【0013】
このような、後から貫通孔1aにバンプ8を形成する工程を詳しく説明する工程図が、図5である。図5(a)は、素子形成面のAl電極2の上に、バンプ6が形成され、これにつながる配線7が形成され、貫通孔1aが設けられたSi半導体素子1を示す。3は、パッシベーション膜3を示す。
この状態から、貫通孔1aの側壁と基板1の裏面を絶縁するため、全体をパッシベーション膜3aで被覆し、バンプ部分以外をレジスト膜(図示せず)で覆って、バンプ部分のみエッチングする。その後レジスト膜を除去する(図5(b)参照)。なお、基板1の表面にはすでに酸化膜が形成されているから、このパッシベーション膜3aを基板1の裏面及び貫通孔1aの側壁のみに選択的に設けてもよい。
【0014】
そして、貫通孔1aの近傍のみに、電解メッキ法又は無電解メッキ法にてバンプ用金属8を厚くメッキする(図5(c)参照)。
このようにしてできた半導体素子の貫通孔1aの断面図を図6に示す。貫通孔1aには、配線7につながるバンプ8が貫通している。このバンプ8が裏面電極として機能する。
以上の図3、図4又は図5の方法により製造された半導体素子は、図1、図2又は図6に示すように、貫通孔を通って半導体素子の裏面に電極が形成されている。
【0015】
この裏面電極の利用法として、図1に示すように、基板10のリード11に直接半田付けすることができる。したがって、従来必要とされた下地基板(配線板)が特に必要なくなり、半導体素子の薄型化、小型化が可能になる。特に、チップオンチップの構造を採用した場合、素子形成面が基板と反対(フェースアップ)になるようにパッケージしなければならないので、本発明の構造は効果的である。
【0016】
この発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば、図7に示すように、貫通孔1aをパッド電極2の直下に形成して、絶縁膜3、シード層4を介して、バンプ6aを形成してもよい。前記1aの形成は、異方性エッチング技術を用いればできる。その他、本発明の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の実装状態を示す断面図である。
【図2】半導体素子1の、貫通孔にバンプを形成した状態を示す断面図である。
【図3】貫通孔を通ってバンプを形成するための製造方法を説明するための工程図である。
【図4】貫通孔にバンプを後工程で設ける場合の製造方法を説明するための工程概略図である。
【図5】貫通孔にバンプを後工程で設ける場合の製造方法を説明するための工程詳細図である。
【図6】貫通孔にバンプが形成された半導体素子の貫通孔の断面図である。
【図7】半導体素子の素子形成面のパッド電極2の直下に、チップ裏面への貫通孔1aを設け、当該貫通孔1aに、バンプ金属6aを貫通させた実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板
1a 貫通孔
2 Al電極(パッド電極)
3,3a パッシベーション膜
4 シード層
5 フォトレジスト
6 Al電極上のバンプ
6a Al電極直下のバンプ
7 配線用のバンプ
8 貫通孔上のバンプ
11 リード
10 基板
Claims (2)
- 他の半導体装置が載置されることにより、当該他の半導体装置とともにチップオンチップ構造を形成する半導体装置であって、
厚さが相対的に厚い部分とこの周囲に厚さが相対的に薄い部分とにより形成される段差を有し、その厚さが薄い部分に貫通孔が形成された半導体基板と、
半導体基板の素子形成面であって前記他の半導体装置と対向する表面に設けられたパッド電極と、
前記貫通孔の内面と、半導体基板の表面及び裏面の少なくとも前記貫通孔近傍の部分とに形成された絶縁膜と、
前記パッド電極に接続されるパッド電極上のバンプ、前記半導体基板の表面の配線用のバンプ、及び前記貫通孔を通して前記半導体基板の裏面まで貫通する貫通孔上のバンプを、互いにつながった状態で形成する金属とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記各バンプは、同一種類の金属で形成される請求項1記載の半導体装置。
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