JP4014017B2 - 加工装置のキースイッチ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置等の加工装置に取り付けて使用されるものであり、該加工装置には作業領域(加工領域)と作業者との間を仕切る蓋体が設けられており、該蓋体が開状態の時は作業者の安全のために作業領域の稼働を停止させ、閉状態の時にのみ作業領域を稼働状態にする加工装置のキースイッチに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、この種の蓋体が設けられている加工装置において、作業者が蓋体を開けて加工領域へアクセスできることは、即危険を意味するものであり、この危険を回避するために蓋体の開放時にオフし、閉状態の時にオンするキースイッチが用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、蓋体の自由端部でスイッチ部材をオン・オフさせるようなスイッチ部材が露出した構成であると、蓋体を開いた状態で整備点検等の作業をしている時に、誤ってスイッチ部材を押圧することがあり、却って危険が伴うものである。また、スイッチ部材を上方から押圧する構成の場合は、蓋体の重さでスイッチ部材を押圧し続けることになるが、蓋体の開閉操作を容易にするため、及び蓋体の解放状態を安定して維持するために、蝶番部分に開方向に付勢するスプリング等が取り付けられており、スイッチ部材にも押しボタンがオフする方向(上方)に付勢されていることから、蓋体が常に押し上げられる方向の作用を受けており、加工装置自体が発生する振動等により、蓋体が不安定な状態になって、スイッチ部材のオン状態が維持できない場合もある。
【0004】
そこで、スイッチ部材は、簡単には手で触れられない状態、例えば、適宜の凹部内に設けられ、そのスイッチ部材をオン・オフさせるキー部が蓋体に設けられることになるが、蓋体が蝶番等を介して開閉される構造の場合には、蓋体の自由端部が円弧状の軌跡を描いて開閉されるため、キー部を斜め方向から凹部内に挿入してスイッチ部材の押しボタンを横方向(押しボタン側から見ると正面)から押圧して作用させることが不可能な場合が生ずる。
【0005】
このような場合に、例えば、複雑なリンク機構を用いることで、横方向から押圧することができるキースイッチにすることができるが、リンク機構を取り付けるための余分なスペースが必要であって装置として小型化できなくなると共に、大げさなキースイッチ装置が付加されることで装置全体の外観がスッキリしないこと、及びリンク機構を取り付ける分だけ製品のコストアップにつながるという問題点を有している。
【0006】
従って、従来例のキースイッチにおいては、簡単な構成を維持しながら蓋体に対して余分な負荷を掛けず、且つ不注意に手で触れることをなくして、スイッチ部材を横方向(押しボタン側から見ると正面)から押圧できるようにすることに解決しなければならない課題を有している。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記従来例の課題を解決する具体的手段として本発明は、加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、 該スイッチ本体部には、加工装置本体に形成された凹部内において横方向に突出させて配設した押しボタンを備え、前記キー部には、弾性部材を介して姿勢変位可能に蓋体に取り付けられた作用部を備え、前記蓋体を閉めることに伴い前記キー部の作用部が前記凹部内に入り該凹部の壁面に沿って下降することで前記キー部の角度が徐々に変位して前記押しボタンを横方向から押圧することを特徴とする加工装置のキースイッチを提供するものである。
【0008】
また、本発明においては、加工装置は切削装置であり、作業領域は切削領域であること、を付加的な構成要件として含むものである。
【0009】
本発明に係るキースイッチは、スイッチ本体部の押しボタンをオン・オフさせるキー部は弾性部材を介して蓋体に取り付けたものであって、そのキー部の姿勢が所定の角度範囲で変位できるので、スイッチ本体部の押しボタンを横方向に向けて、且つ指などが入らない凹部内に配設した場合でも、キー部の姿勢が変位することで、横方向から押しボタンを押圧させることができるのである。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を図示の実施の形態により更に詳しく説明する。まず、キースイッチが適用される加工装置として例えば切削装置、即ち、ダイシング装置が挙げられる。この代表的なダイシング装置を図1に示してある。
【0011】
一般的に、ダイシング装置1は、少なくとも半導体ウェーハ等の被加工物を吸着保持し、切削加工に供するための支持手段であるチャックテーブル2と、切削加工を遂行するための切削手段となるブレード3が装備されたスピンドルユニット4とを備えている。
【0012】
また、ダイシング装置1には、被加工物を多数搭載したカセット5から、順序良く一枚づつ取り出すと共に元の位置に収納する搬出手段6と、その搬出手段6によって載置領域7まで搬出された被加工物をチャックテーブル2まで搬送する旋回アーム8と、加工済みの被加工物をチャックテーブル2から洗浄領域9まで搬送して洗浄に供する搬送アーム10とを装備している。
【0013】
そして、ダイシング装置1は、装置本体から延設した延設部1aに撮影装置11が設けられ、チャックテーブル2上に載置した被加工物を撮像し、パターンマッチングなどの画像処理によって切削すべき領域のアライメントが完了した後、被加工物をブレード3で切削加工するものである。
【0014】
この切削加工において、図示していないがノズル等からなる切削液供給手段を介して被加工物の切削部位に所定の切削液(純水)を噴射供給しながら、ブレード3によって切削が遂行されており、ブレード3の周辺、即ち、切削領域に切削屑を含む切削液の飛沫が霧状に発生する。この飛沫が外部に飛散しないように、透明な樹脂製の保護カバー12がダイシング装置1の上部に設けられている。
【0015】
そして、この保護カバー12において、切削領域A、被加工物の支持領域B及び被加工物の出し入れ領域Cに開閉カバー13、14、15がそれぞれヒンジ部材13a、14a、15aを介し、且つ把持部材13b、14b、15bによって開閉できるように設けられている。なお、ダイシング装置1において、切削領域A及び支持領域Bの前面側には操作パネル16が配設されている。
【0016】
また、切削領域Aに設けられた開閉カバー13の内側に、透明な樹脂板で形成された飛沫防止板17がヒンジ部材18を介して垂設され、その飛沫防止板17の動きを規制またはガイドするために、帯板状のガイド板19が切削領域Aの壁面に配設されている。
【0017】
飛沫防止板17は、図2に示したように、自重で垂れ下がった状態に設けられており、開閉カバー13の開閉に追従できるようになっている。そして、ガイド板19は飛沫防止板17の開閉に伴う移動をガイドするものであって、その上半部が上端に行くに従って内側に位置するように略「く」の字状に折り曲げて形成されている。このように形成することで、飛沫防止板17を開閉カバー13の円弧状の開閉に伴った動きに追従して無理なくガイドできる。
【0018】
切削領域Aにおいて、開閉カバー13の内側に飛沫防止板17が設けられていることにより、切削手段であるブレード3でウェーハをダイシングする際に、周囲に飛散する水滴(切削液)が飛沫防止板17で受け止められ、開閉カバー13の内側面には水滴がほとんど付着しないのである。
【0019】
従って、切削領域Aの開閉カバー13は、被加工物の切削状態をチェックしたり或いはブレード3を交換する際等に、前面側から把持部材13bを持ちヒンジ部材13aを軸にして上方に持ち上げるように回転させて開放した時に、自重で垂れ下がっている飛沫防止板17は開閉カバー13に追従して上方に引き上げられるが、飛沫防止板17はガイド板19によってガイドされるので、その下端部が不安定な状態でブラブラすることなく引き上げられ、ガイド板19に付着している水滴は、切削領域A内に確実に落下し、操作パネル16や床面に落下することがなくなる。
【0020】
特に、飛沫防止板17が、単に垂下状態で取り付けられていると、その下端部がブラブラした不安定な状態にあって、開閉カバー13の開閉時または外的要因によって揺れ動き、著しい時にはブレードにぶつかって破損させたり、または開閉カバー13を閉じる際に飛沫防止板17が内側に揺動して切削手段に引っ掛かり開閉カバー13が閉じない等の不都合も生ずるが、ガイド板19によってその動きが規制された状態になっているので、開閉カバー13の開け閉めなどの外的要因等によってブラブラと揺れ動いたりすることが全くないのであり、安全性及び確実性が高いものとなっている。
【0021】
このような構成の加工装置、即ちダイシング装置1において、切削領域A、被加工物の支持領域B及び被加工物の出し入れ領域Cにそれぞれ設けられている開閉カバー13、14、15は、所謂、作業領域と作業者との間を仕切る蓋体であって、特に、切削領域Aにおいては、精密切削のためのブレード3が駆動している危険な領域であることから、その蓋体を構成するの開閉カバー13の開閉位置には、キースイッチ20が取り付けられる。
【0022】
このキースイッチ20は、スイッチ本体部21とキー部22とから構成されており、スイッチ本体部21はダイシング装置1側に装備されており、該スイッチ本体部21のオン・オフによってダイシング装置1の駆動が稼働状態または停止状態になる。
【0023】
スイッチ本体部21は、押しボタン23が横方向(スイッチ本体から見ると正面側)に突出しており、その押しボタン23が簡単には触れられないように、ダイシング装置1に設けた凹部24内に収納され、押しボタン23が凹部24内の略中間部に突出した状態で装備される。
【0024】
キー部22は、蓋体、即ち開閉カバー13側の端部に装備されるものであり、その具体的構成の一例を、図3〜4に示してある。
【0025】
キー部22は、板状の作用部25と、その上部に略直角方向に折り曲げて形成されたヘッド部26とから構成されており、該ヘッド部26には複数の取付孔27が形成されている。
【0026】
そして、このキー部22は蓋体に対して弾性部材28を介して取り付けられるものであり、その弾性部材28は、側面から見て略コ字状を呈しており、そのコ字状における各部は、実質的にベース部29と、バネ作用部30と、キー部22の取付部31とから構成されている。
【0027】
ベース部29は、蓋体に対して取り付けるための取付穴32が形成されると共に、キー部22の挿通と位置規制を行う窓穴33が設けられており、該窓穴33はバネ作用部30まで延長して形成することで、バネ作用部30における窓穴33の両サイドの部分30aが効果的なバネ作用を発揮することになる。なお、図示の実施例では、窓穴33がバネ作用部30に僅かに入り込んでいるだけであるが、それを更に延長して中間部または取付部31との境界部位近傍まで入り込ませて形成することができる。このように形成することで、バネ作用部30の全体が更に効果的なバネ作用を発揮する。
【0028】
取付部31は、バネ作用部30から上方に僅かに傾斜した状態で連接されており、キー部22のヘッド部26を取り付けるためのビス穴34が設けられ、該ビス穴34はヘッド部26に設けた取付孔27に対応するものである。
【0029】
そして、キー部22を窓穴33に挿通し、ヘッド部26を取付部31の下面側に当接させ、ビス35及び力板またはナット36等の取付部材により取り付けることで、図4に示したように、キー部22が窓穴33を通して傾斜した状態で取り付けられることになる。なお、取付部31に対するキー部22の取り付けは、前記のような取付部材を使用しないで、例えば溶接手段等によっても良い。
【0030】
このようにキー部22が、バネ部材または弾性部材28に取り付けられることで、キー部22は窓穴33の前面側の端縁33aに当接して傾斜状態が略一定に維持されることになり、作用部25の自由端縁が略一定の位置関係を維持することになる。なお、図示したバネ部材または弾性部材28の構成形状は、一例であってこれに限定されるものではない。要するに、キー部22が弾性的に支持されてその作用部25が所定の方向に変位できれば良いのである。
【0031】
キー部22が取り付けられた弾性部材28は、蓋体である開閉カバー13に取り付けられるものであるが、その開閉カバー13の取付位置には、図5に示したように、所定の突出部37が設けられており、該突出部37に突起または穴等の取付手段38が設けられ、弾性部材28のベース部29が取付孔32を介して加締めまたはビス等の適宜の手段により一体的に取り付けられ、実質的にキー部22が弾性部材28を介して蓋体に装備されることになる。
【0032】
そして、蓋体、即ち開閉カバー13は、図2に示したように、ヒンジ部材13aを軸にして上方に持ち上げるように回転させて開放するものであるから、閉動作においては、キー部22が装備されている自由端部は、加工装置における前面側で、下方向および背面方向に作用または移動する状態になる。
【0033】
そこで、図6を用いてキースイッチの動作を説明する。開閉カバー13を開けた状態においては、当然のこととしてスイッチ本体部21の押しボタン23は何等の作用も受けていないので、突出した状態にあってスイッチ本体部21はオフ状態にあり、加工装置の駆動が停止されているので作業者が加工領域または作業領域に安全にアクセスできる。
【0034】
開閉カバー13を閉めるように自由端部側を下降させると、仮想線で示したように、完全に閉まる直前に、キー部22の作用端25が凹部24内に入り、その作用端25が凹部24の壁面に沿って下降することで、キー部22の角度が徐々に垂直状態に変位する。
【0035】
この場合に、キー部22は弾性部材28に取り付けられていることから、凹部24の内壁面に沿って変位し易く、その変位はバネ作用部30がベース部29に対して徐々に傾倒することで遂行される。そして、傾倒による変位でキー部22が略垂直状態になり、凹部24内にあるスイッチ本体部21の押しボタン23を横方向から無理なく押圧して、仮想線で示したように、押しボタン23を後退させスイッチをオンにして、加工装置の駆動が可能になるのである。
【0036】
また、凹部24の形状に関して、一般的には縦長の箱形状に形成してあれば足りるが、好ましくは、キー部22の作用端25が接触する壁面の下部側にテーパー面を形成するかまたは曲面24aを形成して全体を狭くすることで、挿着されるキー部22の作用端25をスイッチ本体部21側に近づけて垂直度を維持し、押しボタン23の押圧を確実にすることができる。
【0037】
いづれにしても、キースイッチは、そのスイッチ本体部が加工装置側の凹部内に取り付けられ、しかもその押しボタンが安全性を考慮して横方向に突出していることから、蓋体に設けられたキー部が押しボタンを横方向から押圧しなければならないのであり、特に、蓋体の閉まる方向が加工装置の前面側から見て、下方向及び背面方向であるにも拘わらず、キー部は弾性部材を介して取り付けられていることから逆に背面側への傾斜から前面側への垂直状態にその姿勢が変位し、その姿勢の変位によって所謂、押しボタンを横方向から押圧するようになるのである。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る加工装置のキースイッチは、加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、前記キー部は、弾性部材を介して蓋体に取り付けられている構成にしたことにより、キー部の姿勢が弾性部材によって姿勢の変位が可能になり、スイッチ本体部の取付状態に対応して姿勢変位することで、スイッチ本体部の押しボタンを横方向から押圧してスイッチのオン・オフを行なわせることができ、簡単な構成でありながら確実なスイッチ操作が可能になると共に、押しボタンが簡単には触れることができない状態及び位置にスイッチ本体部を配設できるので、蓋体を開状態にしたときに、作業者が作業領域に安全にアクセスでき、安心して作業が遂行できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る加工装置を示す斜視図である。
【図2】同加工装置において、蓋体である開閉カバーの開閉状況を説明するための略示的側面図である。
【図3】本発明の実施の形態に係るキースイッチを構成するキー部と弾性部材とを分解して示した斜視図である。
【図4】同キー部を弾性部材に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図5】同弾性部材が取り付けられる蓋体の取付部位の一例を示す斜視図である。
【図6】本発明の実施の形態に係るキースイッチの動作状態を説明するための要部のみの略示的側面図である。
【符号の説明】
1……ダイシング装置、 1a……延設部、 2……チャックテーブル、
3……ブレード、 4……スピンドルユニット、 5……カセット、
6……搬出手段、 7……載置領域、 8……旋回アーム、 9……洗浄領域、
10……搬送アーム、 11……撮像装置、 12……保護カバー、
13、14、15……開閉カバー(蓋体)、
13a、14a、15a……ヒンジ部材、
13b、14b、15b……把持部材、 16……操作パネル、
17……飛沫防止板、 18……ヒンジ部材、 19……ガイド部材、
20……キースイッチ、 21……スイッチ本体部、 22……キー部、
23……押しボタン、 24……凹部、 24a……テーパー面または曲面、
25……作用端、 26……ヘッド部、 27……取付孔、
28……弾性部材、 29……ベース部、 30……バネ作用部、
30a……両サイドの部分、 31……取付部、 32……取付穴、
33……窓穴、 33a……縁部、 A……切削領域、 B……支持領域、
C……被加工物の出し入れ領域。
Claims (2)
- 加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、
該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、
該スイッチ本体部には、加工装置本体に形成された凹部内において横方向に突出させて配設した押しボタンを備え、
前記キー部には、弾性部材を介して姿勢変位可能に蓋体に取り付けられた作用部を備え、
前記蓋体を閉めることに伴い前記キー部の作用部が前記凹部内に入り該凹部の壁面に沿って下降することで前記キー部の角度が徐々に変位して前記押しボタンを横方向から押圧すること
を特徴とする加工装置のキースイッチ。 - 加工装置は切削装置であり、作業領域は切削領域である請求項1に記載の加工装置のキースイッチ。
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JP30258297A Expired - Lifetime JP4014017B2 (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 加工装置のキースイッチ |
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