JP4001555B2 - ウエハハンドリングチェッカー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハの操作状態をチェックするためのウエハハンドリングチェッカーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
【特許文献1】
特開平8−23022号公報
【0004】
従来、半導体製造におけるウエハ操作の教育は、教育対象者にウエハ搬送用のカセットの各スロットに収納された本物のウエハの移し替え操作を行わせ、移動後のウエハの表面を検査して傷等の欠陥の増加数を調べ、操作の習熟度を測定することが一般的であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のウエハ操作の練習方法では、操作の前にウエハの欠陥数を検査し、操作の後に再度そのウエハの欠陥数を検査して、操作中の欠陥の増加数を調べる必要があった。このため、ウエハの検査に膨大の作業量と時間が必要になるばかりでなく、損傷の度合いが大きいウエハは再利用が困難なため、廃棄処分しなければならず、材料費もかかるという課題があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明は、ウエハハンドリングチェッカーを、例えば、表面に導電性の被膜が施された操作練習用の複数のウエハと、ウエハ収納用の複数のスロットを有し、これらの各スロットに前記ウエハが挿入されたときに接触する電極が設けられたカセットと、前記ウエハを操作するために導電性の吸着部を有するピンセットと、前記カセットの各電極と前記ピンセットの吸着部との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記カセットの各電極の電位または該電極に流れる電流を検出することによって、前記ピンセットと前記ウエハの接触を検出する状態検出手段とで構成している。
【0007】
本発明によれば、以上のようにウエハハンドリングチェッカーを構成したので、次のようにしてウエハ操作の練習を行うことができる。
【0008】
ウエハ収納用のカセットのスロットに、操作練習用の複数のウエハを挿入する。これにより、各ウエハはスロットに設けられた電極に接触する。ウエハ操作の練習者が、ピンセットの吸着部をカセットに収納されたウエハに接触させると、電圧印加手段から印加された電圧によって、接触されたウエハを介して対応する電極と吸着部との間に電流が流れる。各電極の電位または電流が状態検出手段によって検出され、ピンセットとウエハの接触の状態が検出される。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態を示すウエハハンドリングチェッカーの概念図である。
このウエハハンドリングチェッカーは、複数のウエハ1a,1b,…,1nを収納する絶縁性の材料で形成されたウエハ搬送用のカセット10、このカセット10からウエハ1a〜1nを1枚ずつ取り出して移し替えるための真空ピンセット20、制御ボックス30、及びコンピュータ40で構成されている。ウエハ1a〜1nは、ウエハ操作練習専用のもので、半導体ウエハの表面全体に金等の導電性の被膜を形成したものである。
【0010】
カセット10には、ウエハ1a〜1nを仕切って収納するためのスロット11a,11b,…,11nが設けられている。カセット10の上部には、各スロット11a〜11nに対応して、操作対象のウエハを指示するための表示手段(例えば、発光ダイオード、以下、「LED」という)12a,12b,…,12nが取り付けられている。一方、各スロット11a〜11nの底部には、これらスロットに挿入されたウエハに接触して、各ウエハを個別に電源電位(レベル“H”)にプルアップする電極13a,13b,…,13nが設けられている。
【0011】
真空ピンセット20は、開口部を有する吸着部21と、柄部22と、図示しない真空ポンプとで構成されている。吸着部21は開口部側をウエハ1に接触させ、この開口部の内部を真空ポンプからの吸引で真空状態にすることによって、ウエハ1を吸着するものである。柄部22は、操作者がウエハ操作を行うために握る箇所であり、この柄部22に吸着部21の真空状態を操作するためのスイッチ23が設けられている。吸着部21は、表面に金等の導電性の被膜が形成され、制御ボックス30から引き出された信号線31aを介して接地電位(レベル“L”)に接続されるようになっている。
【0012】
制御ボックス30は、カセット10及び真空ピンセット20と、コンピュータ40との間における信号制御を行うもので、信号線31aで真空ピンセット20に接続されるほか、信号線31bでカセット10に接続され、インタフェースケーブル32でコンピュータ40に接続されている。制御ボックス30には、スイッチ33とブザー34が設けられ、更にカセット10に対する制御と状態監視等を行うための制御回路が収容されている。
【0013】
スイッチ33は、ウエハ操作の練習者が指示されたウエハの移し替え操作を行った後で、次の操作指示を受けるときに押すものである。また、ブザー34は、ウエハの移し替え操作時に、誤って別のウエハを選択したり他のウエハに接触させてしまった時に、鳴動して練習者に操作ミスを知らせるためのものである。
【0014】
コンピュータ40は、制御ボックス30に対して、操作練習の順序を指示したり、練習結果を記録するものである。
【0015】
図2は、図1のウエハハンドリングチェッカーの概略を示す構成図である。
このウエハハンドリングチェッカーは、前述したカセット10における各スロット11a〜11nのLED12a〜12nを駆動するLED駆動部35を有している。また、各電極13a〜13nを電源電位(レベル“H”)にプルアップする電圧印加手段(例えば、プルアップ抵抗)36a,36b,…,36nと、これらの各電極13a〜13nの信号波形を整形する波形整形部37a,37b,…,37nと、状態検出手段(例えば、状態検出部)38を有している。
【0016】
プルアップ抵抗36a〜36nは、各電極13a〜13nを介してスロット11a〜11nに挿入されたウエハに“H”の電位を与えておき、真空ピンセット20が接触したウエハのみを“L”の電位にすることによって、ウエハの状態を検出するためのものである。波形整形部37a〜37nは、真空ピンセット20がウエハに接触したときに生じるチャタリング等の不適切な信号を除去し、正確な状態検出を行うための信号を出力するものである。波形整形部37a〜37nの出力側には、状態検出部38が接続されている。
【0017】
LED駆動部35と状態検出部38は、判定手段(例えば、制御判定部)39に接続され、この制御判定部39にスイッチ33と出力手段(例えば、ブザー)34が接続されている。更に制御判定部39は、操作指定部41及び記録部42として動作するコンピュータ40に接続されている。これらのLED駆動部35、状態検出部38及び制御判定部39は、プルアップ抵抗36a〜36n及び波形整形部37a〜37nと共に、図1に示した制御ボックス30内に収容されている。
【0018】
次に、動作を説明する。
まず、ウエハ操作練習の準備として、カセット10の所定のスロット(例えば、スロット11n)を除き、その他のスロット11a〜11mすべてに、ウエハ操作練習用のウエハ1a〜1mを挿入する。更に、制御ボックス30、コンピュータ40、及び真空ポンプを起動する。
【0019】
次に、練習者は、制御ボックス30のスイッチ33を押す。制御判定部39では、スイッチ33の信号に従って、操作指定部41から移し替え対象のウエハが挿入されたスロット(例えば、スロット11b)を指定する操作指定情報を読み出す。更に制御判定部39は、操作指定情報に基づいて、操作対象のウエハ1bに対応するLED12bを点灯させるための駆動信号を、LED駆動部35に与える。LED駆動部35では、駆動信号に従ってLED12bを点灯させる。
【0020】
練習者は、点灯されたLED12bで指示されたウエハ1bを、真空ピンセット20で吸着してスロット11bから取り出し、空きスロット11nに移動させる。この時のウエハ移し替え操作の状況は、各電極13a〜13nの電位に基づいて、状態検出部38によって逐一監視される。
【0021】
即ち、真空ピンセット20の吸着部21が指示されたウエハ1bに接触すると、この吸着部21は接地電位に接続されているので、カセット10のスロット11bに設けられた電極13bは、導電性のウエハ1bを介して“L”となる。この時、その他の電極13はプルアップ抵抗36を介して電源電位に接続されているので“H”である。これにより、状態検出部38では、指定されたウエハ1bに真空ピンセット20が接触したことを検出できる。
【0022】
次に、スロット11bからウエハ1bが取り出されると、電極13bはウエハ1bから離れ、プルアップ抵抗36bによって“H”に戻るので、状態検出部38では、ウエハ1bが取り出されたことを検出できる。
【0023】
更に、取り出されたウエハ1bが空きスロット1nに挿入されると、このスロット11nに設けられた電極13nは、導電性のウエハ及び真空ピンセット20の吸着部21bを介して“L”となる。これにより、状態検出部38では、ウエハがスロット1nに移されたことを検出することができる。
【0024】
移し替え操作中に、吸着部21が指示されたウエハ1b以外のウエハ1iに接触したり、移動中のウエハ1bが他のウエハ1iに接触すると、接触されたウエハ1iに対応する電極13iが“L”となる。このような各電極13a〜13nの状態は、状態検出部38から操作状態情報として制御判定部39に与えられる。
【0025】
制御判定部39では、操作指定部41から読み出した操作指定情報と状態検出部38で検出された操作状態情報とを比較し、操作ミスの有無を判定する。操作ミスと判定したときには、直ちにブザー34を鳴動させて練習者に注意を喚起させることができる。
【0026】
指示されたウエハの移し替えが終了すると、練習者は制御ボックス30のスイッチ33を押す。これにより、制御判定部39は、操作指定部41から次の移し替え対象のウエハを指定する操作指定情報を読み出し、同様の動作が繰り返される。
【0027】
このようにして、一連のウエハ操作練習が完了すると、操作ミスの有無や回数、及び操作時間等の練習結果情報が記録部42に出力されれて記録される。
【0028】
以上のように、本実施形態のウエハハンドリングチェッカーは、表面全体に導電性の被膜を蒸着したウエハ操作練習用のウエハ1と、導電性の吸着部21を有する真空ピンセット20を用いているため、操作練習の状態を短時間で確実に調べることができるという利点がある。更に、操作練習用のウエハ1は、何回でも繰り返して使用できるので、経費の節減ができるという利点がある。
【0029】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
【0030】
(a) ウエハ1は、半導体ウエハの表面全体に導電性の被膜を形成したものを用いているが、導電性被膜を施したセラミックスや、導電性を有する材料を同様の形状に形成したものを用いても良い。
【0031】
(b) ウエハ1を“H”にプルアップしておき、接地電位に接続された真空ピンセット20を使用することによって、ウエハのレベル変化に基づいて操作状態を検出するようにしているが、ウエハを“L”にプルダウンしておき、電源電位に接続された真空ピンセットを使用しても良い。また、ウエハと真空ピンセットの間に流れる電流を検出するようにしても良い。
【0032】
(c) 専用の制御ボックス30と汎用のコンピュータ40を組み合わせて、LED駆動部35、波形整形部37、状態検出部38、制御判定部39、操作指定部41及び記録部42等の各処理部を構成しているが、全体の構成方法は任意である。即ち、専用の制御装置として一体化しても良いし、制御ボックスを単なる入出力部として全体を汎用のコンピュータのソフトウエアで制御するように構成しても良い。
【0033】
(d) スイッチ33やブザー34に代えて、キーボードやスピーカ等の入出力機器を用いても良い。
【0034】
(e) ウエハハンドリングチェッカーを、操作員のウエハ操作練習に用いた場合の動作について説明したが、ロボットを用いてウエハ搬送を行う場合には、真空ピンセット20をロボットのアームに置き換えることにより、ロボットによるウエハ搬送状態をチェックすることができる。
【0035】
(f) (e)によって正確に調整されたロボットを使用することにより、カセット10の変形を検出するために使用することもできる。
【0036】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、第1及び第2の発明によれば、操作練習用の導電性のウエハを収納して、該ウエハに電圧を印加するための電極が設けられたカセットと、ピンセットの導電性の吸着部がカセットに収納されたウエハに接触したことを検出する状態検出手段を備えている。これにより、簡単かつ迅速にウエハ操作の状態を知ることができる。
【0037】
第3の発明によれば、状態検出手段による検出結果と操作指定情報に基づいて、操作誤りの有無を判定する判定手段を有している。これにより、第1の発明の効果に加えて、ウエハ操作の習熟度等を判定することができる。
【0038】
第4の発明によれば、操作誤りが有ると判定したときに音響を発生する出力手段を備えている。これにより、操作の練習者は誤操作をその場で知ることができるので、学習効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示すウエハハンドリングチェッカーの概念図である。
【図2】図1のウエハハンドリングチェッカーの概略を示す構成図である。
【符号の説明】
1 ウエハ
10 カセット
11 スロット
12 LED
13 電極
20 真空ピンセット
21 吸着部
30 制御ボックス
33 スイッチ
34 ブザー
35 LED駆動部
36 プルアップ抵抗
37 波形整形部
38 状態検出部
39 制御判定部
40 コンピュータ
41 操作指定部
42 記録部
Claims (4)
- 表面に導電性の被膜が施された半導体またはセラミックス、或いは導電性を有する材料で形成された操作練習用の複数のウエハと、
ウエハ収納用の複数のスロットを有し、これらの各スロットに前記ウエハが挿入されたときに接触する電極が設けられたカセットと、
前記ウエハを操作するために導電性の吸着部を有するピンセットと、
前記カセットの各電極と前記ピンセットの吸着部との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記カセットの各電極の電位または該電極に流れる電流を検出することによって、前記ピンセットと前記ウエハの接触を検出する状態検出手段とを、
備えたことを特徴とするウエハハンドリングチェッカー。 - 前記カセットは、操作指定情報に基づいて操作対象の前記ウエハを指示する表示手段を有することを特徴とする請求項1記載のウエハハンドリングチェッカー。
- 前記状態検出手段による検出結果と前記操作指定情報に基づいて、操作誤りの有無を判定する判定手段を有することを特徴とする請求項2記載のウエハハンドリングチェッカー。
- 前記判定手段は、前記操作誤りが有ると判定したときに音響を発生する出力手段を備えたことを特徴とする請求項3記載のウエハハンドリングチェッカー。
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