JPH01250839A - Ｌｃｄ基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は液晶表示体検査装置に関する６（従来の技術） テレビ画面で有名な液晶表示体（以下、ＬＣＤと略記す
る）を検査するものとして、液晶表示体検査装置がある
。

この液晶表示体検査装置は、第６図で示すように、未検
査ＬＣＤが収納されたカセットからプローブ端子電極位
置まで搬送するローダ部■と、搬送されたＬＣＤ電極に
プローブ端子電極を接触させる検査部■と、この検査部
■のプローブ端子電極にテストパターン信号を送るパタ
ーンジェネレータ■を内蔵したテスタ（イ）とから構成
されている。

このテスタに）には、選択スイッチ■が設けられ、オペ
レータがこの選択スイッチ■を押すことにより、この選
択スイッチ■に対応したカセット内に収納する如くロー
ダ部■が連結して設けられているものがある。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記液晶表示体検査装置（以下。

ＬＣＤ検査装置と略記する）は、未検査ＬＣＤが収納し
たカセットから枚葉式に取出し、検査終了後、複数の級
別に選択してこの選択された被検査体を夫々のカセット
に収納する構成なので、級別に配置したカセット内に収
納されたＬＣＤ枚数が把握できず、オペレータは検査後
のＬＣＤに対する集計管理が困難であった。

また、オペレータは級別に選択した夫々のＬＣＤの枚数
を自から夫々のカセット内を確認するので作業能率の低
下の原因になった。

本発明の目的とするところは、上述した従来の問題点に
鑑みなされたもので、級別に選択されたＬＣＤがこの級
別に対応する夫々のカセット内に収納したＬＣＤ枚数を
直視的に把握可能なＬＣＤ検査装置を提供することにあ
る。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は被検査体の電極にテスタのプローブ端子電極を
接触させて、被検査体の表示状態を目視検査する検査装
置において、上記目視検査した被検査体を所望の級別に
選択し、この選択された被検査体が夫々収納される複数
個のカセットとこの夫々のカセットに収納された被検査
体の枚数を表示する手段とを具備したことを特徴として
いる。

（作　用） 本発明液晶表示体検査装置によれば、未検査ＬＣＤが収
納したカセットから取出して、目視検査を行った後、級
別に選択し、この選択された被検査体がカセットに収納
するたびにカウント手段で、カウントして、操作パネル
に表示されるので、オペレータが被検査体の集計管理が
容易になる。また、カセット内に収納したＬＣＤ枚数を
自から数えることがないので作業能率が向上する作用が
ある。

（実施例） 以下、本発明液晶表示体検査装置（ＬＣＤ検査装置）の
一実施例について図面を参照して説明する。

上記説明において、従来例で説明した同一部品は、同一
符号を用いて説明する。

上記ＬＣＤ検査装置はＬＣＤ電極にテスタと接続された
プローブ端子電極が接触される。このテスタに内蔵した
パターンジェネレータからのパターン信号で所定の表示
が表現される。この表示をオペレータ、又は、ＣＣＤカ
メラ等が目視検査して、この検査結果と、基準値とを比
較してＬＣＤの良品、一部良品、不良品等の判断を行う
。この判断にもとづいて、上記ＬＣＤを予め定められた
カセットに搬送して、収納するものである。

上記ＬＣＤ検査装置０の外観について第５図を用いて説
明する。

上記ＬＣＤ検査装置（０は、検査部■及びローダ部（Ｄ
を有するＬＣＤプローブ装置■と、パターンジェネレー
タ■を有するテスタ０）とから構成されている。

上記ＬＣＤプローブ装置■は、テスタ（イ）と接続され
たプローブ端子電極■にＬＣＤ電極を接触させるように
構成したものである。

上記テスタ０）は、内蔵したパターンジェネレータ■か
ら、プローブ端子電極（８）を介して、ＬＣＤ電極にプ
ログラムされたパターン表示信号が送られ、ＬＣＤ面に
パターン表示を表現するように構成したものである。

尚、上記ＬＣＤプローブ装置■の操作面の下側には、こ
の装置■を駆動させる情報を記憶したフロッピディスク
（９）が挿入する挿入口（１０）を設けている。

上記ＬＣＤをプローブ端子電極と接触させる検査部■に
はスコープ（１１）がＸＹ軸方向に移動可能に設けられ
ている。上記ローダ部（ト）の上側には、ＬＣＤをアラ
イメントする際の表示装置（１２）が設けられている。

上記テスタ（イ）には、選択スイッチ０を配列したボー
ドが設けられている。

上記ＬＣＤプローブ装置■の操作面の上面には、良品、
半良品、不良品等の級別にカウントするカウント手段１
例えばカウンタ（１３）が夫々に設けられている。また
、このカウンタ（１３）でカウントされた枚数が表示さ
れる表示手段、例えば表示板（１４）が設けられている
。

上記ＬＣＤプローブ装置■を第３図を参照して具体的に
説明する。

上記ＬＣＤプローブ装置■はローダ部（ト）と検査部■
とから構成されている。

上記ローダ部（１）は、未検査Ｌ　ＣＤ　（１５）をカ
セット（１６）から取出し、検査部■のステージ（１７
）まで搬送し、また、検査後のＬＣＤを収納するように
構成されている。即ち、未検査Ｌ　ＣＤ　（１５）、例
えば５ｃ角平板形状のガラス基板のＬＣＤを複数個収納
したカセット（１６）からピンセット（１８）と称する
Ｙ軸方向、昇降方向、カセット内部に進退する進退方向
及びＸ軸方向に駆動する機構で取出す構成になっている
。

上記機構は、Ｙ軸方向にピンセット（１８）を移動させ
る駆動モータ（１９）、昇降方向に駆動するモータ（図
示せず）、進退する進退方向に駆動する駆動モータ（２
０）及びＸ軸方向に移動して、ステージ（１７）からＬ
ＣＤをローダ側に搬送する駆動モータ（２１）はローダ
部専用ｃｐｕ（２２）によって駆動制御している。

このローダ部専用Ｃρｕ（２２）の指令信号（２３）は
、テスタ（イ）側の信号によって対応している。

上記検査部■はＬ　ＣＤ　（１５）を仮固定、例えば真
空圧により吸着偏走したのちプローブ端子電極■がステ
ージ（１７）面に対向して、設けられている。

この位置を検査中心（２４）位置と称している。

この検査中心（２４）位置と、ローダ部■側の中間位置
に、アライメント（図示せず）位置が設けられ、この位
置でＬ　ＣＤ　（１５）の電極列を、一定方向に揃える
ように構成したものである。

上記テスタ（イ）を第２図を参照して具体的に説明する
上記テスタ（イ）はテスト条件に沿って、パターンジェ
ネレータ■がパターン信号（１５）を検査部■のプロー
ブ端子電極（８）に接続している。

上記テスタ（へ）は、エペレータが判断してＬＣＤ（１
５）を選択する選択スイッチ■、例えば良品スイッチ（
２６）、半良品スイッチ（２７）、不良品スイッチ（２
８）が接続されている。

そして、この選択スイッチ■を配列した選択スイッチプ
レート（２９）をＬＣＤプローブ装置の前面の操作面に
配置されている。

上記選択スイッチ（ハ）を押すことにより、テスタ（イ
）に伝えられ、このテスタ（至）が選択スイッチ■の種
類に対応した収納指令信号（２３）を、ローダ部専用ｃ
ｐｕ（２２）に伝える。

このローダ部専用ｃｐｕ（２２）は、上記収納指令信号
（２３）の種類に応じて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、昇降方
向及び進退移動を駆動制御してカセット内に収納するよ
うに構成されている。

本実施例の特徴的構成は、第１図で示すように、上記ロ
ーダ部専用ｃｐｕ（２２）に、テスタ０）から収納指令
信号（２３）が伝えられると、この収納指令信号（２３
）にローダ部専用ｃｐｕ（２２）が応答した信号をカウ
ント信号に変換して、このカウント信号によってカウン
トされる。

このカウントされた数字が、表示装置で表示するカウン
ト手段（３０）を設けた構成にしたことにある。

ここで、表示装置（３１）は、液晶体の表示パネルを用
いても良くまたＬＥＤ表示をしても良い。

次に作用について説明する。

ＬＣＤ検査装置０のメインスイッチを入れる。

カセット叔置台（３２）に未検査Ｌ　ＣＤ　（１５）が
収納されたカセット（１６）を載置する。

同様にして、良品が収納される良品カセット（３３）、
半良品カセット（３４）、及び不良品カセット（３５）
等をすべて載置する。

次に、上記ＬＣＤプローブ装置■挿入口（ｌＯ）にフロ
ッピをセットする。

上記、フロッピデスク０）をＲＡＭにローデングする。

そして、オペレータが目視検査スタートを行う。

この信号を受けて、ローダ部専用ｃｐｕ（２２）の指令
信号（３６）により、ピンセット（１８）をＹ軸方向に
移動して、未検査用カセット（１６）、前面（Ａ）まで
移動する。

そして、昇降駆動モータ（図示せず）でピンセット（１
８）を載置させて、未検査用カセット（１６）内のＬ　
ＣＤ　（１５）数を認識する。

上記ピンセット（１８）が予め記憶されたプログラムに
従って駆動し、枚葉式にＬ　ＣＤ　（１５）を取出しホ
ームポジション位１ｉｆｆ（Ｂ）に移動する。

このホームポジション位ｆｆ１（Ｂ）からステージ（１
７）に搬送する。

ステージ（１７）がプローブ端子電極（へ）と接触する
ように上昇する（Ｚアップと称する）。

そして、テスタＣ）側に検査開動信号を出すことになる
。

上記接触した後に、テスタ（／ｉ）側のパターンジェネ
レータ（３）からのパターン信号（２５）によりＬＣＤ
（１５）表面にパターン信号が表現される。

この表現されたパターン表示をオペレータが判断、例え
ば良品と判断する。

この判断をもとにして、オペレータが良品スイッチ（２
６）を選択する。

この選択された良品スイッチ（２６）の信号がテスタ０
）に伝わる。

この信号によって、テスタ（へ）はテスト結果をメイン
ｃｐｕ　（図示せず）に伝える。このメインｃｐｕはテ
スト結果に対応したカセットに収納指定信号をローダ専
用ｃｐｕ　（２２）に伝える。

このローダ専用ｃｐｕ（２２）は予め記憶されたプログ
ラムに従って、Ｙ軸駆動制御量、昇降駆動制御量を決定
し、テスタ０）で決められたカセット、例えば良品カセ
ット（３３）に収納する如く駆動制御する。

本実施例の特徴的な作用は、メインｃｐｕがテスタＧ）
からの信号に基づいて、それぞれ、良品カウンタ（３７
）　、半良品カウンタ（３８）、不良品カウンタ（３９
）のどれか一つでカウントを行う。

またローダ専用ｃｐｕ（２２）は、テスタＯ）からの信
号に基づいて、それぞれのカセットに検査済みのＬ　Ｃ
Ｄ　（１５）収納するように構成されている。

このカウントを表示装置、例えば良品表示装置（４０）
で表示することになる。

本実施例では、良品カセット（３３）、半良品カセット
（３４）、不良品カセット（３５）を挙げて説明したが
、Ｌ　ＣＤ　（１５）には、不良の原因として、点欠陥
、線欠陥などがある。この点欠陥には欠陥場所によって
良品及び不良品と判定する場合もあるので、また、線欠
陥は救済に良品になる場合もある。このように製品目的
により、点欠陥の数が多くても使用可能な場合もある。

このような要求があるので、必ずしも、上記のように３
ケ所より多くのカセットを、設けた方がより作業能率が
向上するようになる。

〔発明の効果〕

本発明は、目視検査した被検査体を、所望の級別に選択
し、この選択した夫々の被検査体の枚数を表示している
ので、夫々の被検査体に対する集計が容易である。

従って、オペレータの作業能率を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明ＬＣＤ検査装置の特徴的構成を説明する
ためのブロック説明図、 第２図は第１図のテスタの構成を説明するための説明図
、 第３図は第１図のＬＣＤプローブ装置の構成を説明する
ための説明図。 第４図は第１図のＬＣＤ検査装置の作用を説明するため
のフロチャート図、 第５図は第１図のＬＣＤ検査装置の外観を説明する外観
説明図、 第６図は従来のＬＣＤ検査装置を説明するための概略説
明図である。 １３、カウンタ、　　　　３０．カウント手段、３１、
表示装置、　　　　３３．良品カセット、３４、半良品
カセット、　３５．不良品カセット、３Ｇ、指令信号 特許出願人　東京エレクトロン株式会社第１図 ５１伏ス４１．予　　　　　　　３０刀ウンＦ↑講に第
２図 第３図 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査体の電極にテスタのプローブ端子電極を接触させ
   て、被検査体の表示状態を目視検査する検査装置におい
   て上記目視検査した被検査体を所望の級別に選択し、こ
   の選択された被検査体が夫々収納される複数個のカセッ
   トと、この夫々のカセットに収納された被検査体の枚数
   を表示する手段とを具備したことを特徴とする液晶表示
   体検査装置。