JPH07280740A - ウェハ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】カセットに収納されたウェハが良品のウェハ
か、不良品のウェハかを外観的に一目で判別できるによ
うにすることを目的とする。 【構成】ウェハ検査部７で検査されたウェハ２を良品の
ウェハと不良品のウェハとに応じ、良品のウェハに対応
する良信号と不良品のウェハに対応する不良信号とを判
定スイッチ８から出力し、判定スイッチ８からの良信号
と不良信号とに基づいて、良品のウェハのオリフラの向
きと、不良品のウェハのオリフラの向きとが異なるよう
にウェハ回転機構部４を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハ検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ウェハ検査装置としては、例えばウェハ
表面を顕微鏡観察（以下、目視検査と呼ぶ）し、ウェハ
表面の欠陥を見出すものがある。従来のウェハ検査装置
は、ウェハを収納するカセットと、ウェハを顕微鏡観察
する検査部と、ウェハ搬送部と、検査者が操作する操作
パネルとから構成される。

【０００３】ウェハ搬送部は、ウェハをカセットから取
り出して、検査部のステージに送り、目視検査が済んだ
ウェハをカセットに戻すように構成されている。操作パ
ネルは、ウェハ搬送部にウェハ搬送開始指令を送る開始
スイッチと、ウェハ搬送部にウェハ搬送の終了指令を送
る終了スイッチと、ウェハナンバーを表示する表示とを
備える。

【０００４】上記のウェハ検査装置では、検査されたウ
ェハが良品か不良品かを判別するために次のように構成
されている。上記の操作パネルには、目視検査が済んだ
ウェハをカセットに戻す際、目視検査で判断された不良
品のウェハと、良品のウェハとを区別するための不良判
定スイッチが設けられている。不良判定スイッチは、検
査者が目視検査を行い、ウェハが不良と判断された時、
不良判定スイッチを押すことによって、不良品のウェハ
ナンバーが点滅するように構成されている。

【０００５】従って、検査者は、カセットに収納された
全てのウェハについて目視検査が終了したときに、操作
パネル上の点滅しているウェハナンバーを見て、どのウ
ェハが不良品かを知ることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、第１のカセットに収納されたウェハの検査が
終了した場合、第１のカセットを検査装置本体から取り
外し、第２のカセットを取付る。そして、開始スイッチ
を押してウェハ搬送を行うと、操作パネル上のウェハナ
ンバー（第１のカセットの検査結果）の点滅が消えてし
まう。

【０００７】即ち、第２のカセットの検査が開始されて
しまうと、第１のカセットに収納されている良品のウェ
ハと不良品のウェハとの区別が分からなくなってしまう
為、検査者は、点滅しているウェハナンバーを必ず記録
（検査者自身がメモを取る等）する必要があった。従っ
て、検査者が記録を取り忘れた場合、良品のウェハと、
不良品のウェハとの区別が分からなくなるという問題点
があった。

【０００８】本発明は、この様な従来の問題点に鑑みて
なされたもので、検査終了後、カセットに収納されたウ
ェハが良品のウェハか、不良品のウェハかを外観的に一
目で判別できるにようにすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、切欠き部が形成されたウェハを収納するカセット
と、前記ウェハを前記カセットから取り出し、前記ウェ
ハを検査する検査位置まで移動させるウェハ移動手段
と、を備えるウェハ検査装置において、前記ウェハ検査
位置で検査された前記ウェハを良品のウェハと不良品の
ウェハとに判別して、判別信号を出力する判別手段と、
前記判別信号に基づいて、前記良品のウェハの前記切欠
き部の向きと、前記不良品のウェハの前記切欠き部の向
きとを異ならせて前記カセットに前記ウェハを収納させ
る収納手段とを有する構成にした。

【００１０】

【作用】本発明において、前記ウェハ検査位置で検査さ
れた前記ウェハを良品のウェハと不良品のウェハとに判
別して、判別信号を出力する判別手段と、前記判別信号
に基づいて、前記良品のウェハの前記切欠き部の向き
と、前記不良品のウェハの前記切欠き部の向きとを異な
らせて前記カセットに前記ウェハを収納させる収納手段
とを有する構成にしたので、検査終了後のカセットを検
査装置本体から取り外しても、ウェハの切欠き部の位置
を見ることによって良品のウェハと不良品のウェハとの
区別を行うことができる。

【００１１】

【実施例】図１は本発明のウェハ検査装置を示す。ウェ
ハ検査装置は、ウェハ２を複数枚収納し、ウェハ２の収
納間隔に応じて上下方向（紙面垂直方向）に移動するカ
セット１と、ウェハ２を真空吸着し、ウェハ２を回転さ
せる回転軸１７を備えるウェハ回転機構部４と、ウェハ
回転機構部４で回転しているウェハ２のオリフラを検出
するオリフラ検出器５と、ウェハ２を顕微鏡観察するウ
ェハ検査部７と、第１のウェハ搬送部３と、第２のウェ
ハ搬送部６と、検査者が操作する不図示の操作パネルと
から構成される。

【００１２】ウェハ回転機構部４の回転軸１７は、不図
示のパルスモータによって回転する。ウェハ検査部７
は、ウェハ２が載置されるステージ１８を備え、ウェハ
２を観察する為の不図示の検査用顕微鏡と、ウェハ２を
真空吸着する回転軸２０とを有する。

【００１３】第１のウェハ搬送部３は、案内ガイド１１
と、案内ガイド１１に直線移動可能に案内され、ウェハ
受取面１２を備える第１アーム１０と、第１アーム１０
を駆動する不図示の駆動部とから構成される。第１のウ
ェハ搬送部３は、駆動部を駆動させて第１アーム１０を
カセット１内に移動する。そして、ウェハ２をウェハ受
取面１２上に載置してカセット１から取り出し、ウェハ
回転機構部４に搬送する。また、第１のウェハ搬送部３
は、検査終了後のウェハ２をウェハ回転機構部４からカ
セット１に戻す。

【００１４】第２のウェハ搬送部６は、回転軸１６を中
心に回転する第２アーム１３と、第２アーム１３の両端
に形成されたウェハ受取面１４、１５と、第２アーム１
３を回転軸１６を中心に回転させる不図示の回転駆動部
とから構成される。第２のウェハ搬送部６は、回転駆動
部を駆動させ、回転軸１６を中心に第２アーム１３を回
転させる。即ち、ウェハ受取面１４に載置されたウェハ
２は、第２アーム１３が回転することにより、ウェハ検
査部７に搬送される。

【００１５】また、第２のウェハ搬送部６は、ウェハ検
査部７で検査が終了したウェハ２をウェハ回転機構部４
に戻す。オリフラ検出器５は、ウェハ回転機構部４で回
転しているウェハ２のオリフラを検出するものであり、
予め設定されたオリフラ位置でウェハ２を停止させる。
これはウェハ２を同一方向で設定して検査を行うためで
ある。

【００１６】本実施例では、ウェハ２のオリフラを検出
する構成にしているが、ウェハ２に形成されたノッチを
検出するノッチ検出器でもよい。操作パネルは、第１の
ウェハ搬送部３及び第２のウェハ搬送部６に搬送開始指
令を送り、ウェハ２の搬送を開始させる搬送開始スイッ
チと、第１のウェハ搬送部３及び第２のウェハ搬送部６
に搬送終了指令を送り、ウェハ２の搬送を終了させる搬
送終了スイッチと、目視検査されたウェハ２が良品のウ
ェハか、不良品のウェハかを判別するための判定スイッ
チ８を有する。さらに、操作パネルは、ウェハナンバー
を表示する表示部を備えている。

【００１７】判定スイッチ８は、目視検査の結果、ウェ
ハが良品の場合に押される良スイッチ８ａと、ウェハが
不良品の場合に押される不良スイッチ８ｂとが備えられ
ており、良スイッチ８ａが押されると良を示す良信号を
出力し、不良スイッチ８ｂが押されると不良を示す不良
信号を出力する。この判定スイッチ８は、ウェハ回転機
構部４の回転を制御する制御部９に接続されている。

【００１８】制御部９は、判定スイッチ８からの良信号
及び不良信号を入力し、ウェハ回転機構部４のパルスモ
ータを制御するものである。すなわち、良信号と不良信
号とでは、パルスモータを回転させるためのパルス数が
異なるように設定してある。即ち、良信号が入力された
ときと、不良信号が入力されたときとでは、パルスモー
タに送るパルス数が異なるように制御される。

【００１９】制御部９に良信号が入力された場合、ウェ
ハ２のオリフラ位置を紙面上方向、言い換えればカセッ
ト１にウェハ２が収納されたときに奥方向に向けられに
ようにパルスモータを制御して回転軸１７を回転させ
る。また、制御部９に不良信号が入力された場合、ウェ
ハ２のオリフラ位置を紙面下方向、言い換えればカセッ
ト１にウェハ２が収納されてもオリフラが目視できるよ
うに、パルスモータを制御して回転軸１７を回転させ
る。

【００２０】上記の如く構成されたウェハ検査装置の動
作を図２に示すフローチャートに従って説明する。検査
者が操作パネルの搬送開始スイッチを押すと、カセット
１が上下方向に移動し、検査されるウェハ２がカセット
１から第１のウェハ搬送部３によってウェハ回転機構部
４へとウェハ２が搬送される（ステップ５０）。

【００２１】ウェハ回転機構部４に搬送されたウェハ２
は真空吸着され、ウェハ検査部７での検査条件を同じに
する為、オリフラ検出部５によってオリフラ位置検出を
行ってオリフラ合わせを行う（ステップ５１）。オリフ
ラ合わせが完了したウェハ２は、第２のウェハ搬送部６
によってウェハ検査部７のステージ１８上に搬送され
（ステップ５２）、ウェハ検査部７で目視検査が行わ
れ、その目視検査の結果、ウェハ2 が良品か不良品かを
判定スイッチ８にて判別する（ステップ５３）。

【００２２】判定されたウェハ２は、第２のウェハ搬送
部６によってウェハ回転機構部４に搬送される。ウェハ
回転機構部４ではステップ５３で判定された結果に基づ
いて、カセット２に戻す際のオリフラの位置が決められ
る。即ち、ウェハ２のオリフラ位置は、オリフラが検出
されてからのパルスモータのパルス数を良品のウェハと
不良品のウェハとで異なるように設定される。

【００２３】ウェハ検査部７で良品のウェハ２と判断さ
れた場合、制御部９は、判定スイッチ８からの良信号に
より、良信号に対応して設定されたパルス数によって、
パルスモータを駆動し、回転軸１７を回転させる。回転
軸１７の回転により、ウェハ２のオリフラが指定された
方向に合わされる（ステップ５４）。

【００２４】ステップ５４におけるウェハ２のオリフラ
位置は、紙面上方向、即ち、オリフラが見えないように
設定されてカセット１内に収納される。また、ウェハ検
査部７で不良品のウェハと判定された場合、制御部９
は、判定スイッチ８からの不良信号により、制御部９を
不良信号に対応して設定されたパルス数によって、パル
スモータを駆動し、回転軸１７を回転させる。

【００２５】回転軸１７の回転により、ウェハ２のオリ
フラが指定された方向に対して所定角度Ｘ°ずらした方
向に合わされる（ステップ５５）。ステップ５５におけ
るウェハ２のオリフラ位置は、紙面下方向、即ち、オリ
フラが見えるように設定されてカセット１に収納され
る。そして、良品又は不良品に判定されたウェハ２は第
１のウェハ搬送部３によってカセット１へ収納される
（ステップ５６）。

【００２６】上記のステップ５０からステップ５６をカ
セット１に収納されたウェハ毎に繰り返すことによっ
て、外観的にカセット１内のウェハ２の良品か不良品か
の判別が出来る。尚、本実施例では、良品のウェハのオ
リフラがカセット１から見えないようにし、不良品のウ
ェハのオリフラがカセット１から見えるようにしている
が、逆にしてもよい。

【００２７】また、本実施例では、ウェハ検査部７は、
ステージ１８のウェハ２を顕微鏡を使用して目視で検査
を行っているが、ステージ１８のウェハ２を画像処理を
行って検査してもよい。さらに、図３に示すように、良
品のウェハ３０のオリフラと、不良品のウェハ３１のオ
リフラが共に見えるように収納してもよい。

【００２８】尚、本実施例では、良スイッチ８ａと、不
良スイッチ８ｂとを備える構成にしているが、良品のウ
ェハと、不良品ウェハの発生頻度を考慮し、このオリフ
ラの位置は、良品のウェハを検査前に行われたオリフラ
合わせの位置に設定し、不良品のウェハの場合に、パル
スモータのパルス数を変更する。発生率の多い方は検査
後のウェハのオリフラ位置方向を変えずにカセット１に
搬送し、発生率の少ない方のオリフラ位置方向を変える
ことで良品不良品の判別が出来、余分なウェハ回転時間
も省くことが出来る。

【００２９】即ち、良スイッチ８ａと、不良スイッチ８
ｂとのどちらか一方、例えば不良スイッチ８ｂを備える
構成にしても構わない。

【００３０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、良品のウ
ェハと、不良品のウェハとの判別がカセット内で外観的
に一目で判断することができるので、記録をとる必要が
なくなり、検査者の作業を効率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例を示す図である。

【図２】本発明の実施例の動作を表すフローチャートで
ある。

【図３】ウェハがカセットに収納された状態を示す図で
ある。

【符号の説明】

１ カセット ２ ウェハ ３ 第１のウェハ搬送部 ４ ウェハ回転機構部 ５ オリフラ検出器 ６ 第２のウェハ搬送部 ７ ウェハ検査部 ８ 判定スイッチ ９ 制御部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】切欠き部が形成されたウェハを収納するカ
   セットと、 前記ウェハを前記カセットから取り出し、前記ウェハを
   検査する検査位置まで移動させるウェハ移動手段と、を
   備えるウェハ検査装置において、 前記検査位置で検査された前記ウェハを良品のウェハと
   不良品のウェハとに判別して、判別信号を出力する判別
   手段と、 前記判別信号に基づいて、前記良品のウェハの前記切欠
   き部の向きと、前記不良品のウェハの前記切欠き部の向
   きとを異ならせて前記カセットに前記ウェハを収納させ
   る収納手段とを有することを特徴とするウェハ検査装
   置。