JPH083451B2 - Ｌｃｄ基板の検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はLCD基板の表示状態を目視検査するLCD基板の
検査装置に関する。

（従来の技術） LCD基板（以下、LCDと略記する）を検査するものとし
て、LCD基板の検査装置がある。このLCD基板の検査装置
は、第６図に示すように、未検査LCDが収納されたカセ
ットからプローブ端子電極位置まで搬送するローダ部１
と、搬送されたLCD電極にプローブ端子電極を接触させ
る検査部２と、この検査部２のプローブ端子電極にテス
トパターン信号を送るパターンジェネレータ３を内蔵し
たテスタ４とから構成されている。このテスタ４には、
選択スイッチ５が設けられ、オペレータがこの選択スイ
ッチ５を押すことにより、この選択スイッチ５に対応し
たカセット内に収納する如くローダ部１が連結して設け
られているものがある。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記LCD基板の検査装置は、未検査LCD
が収納したカセットから枚葉式に取出し、検査終了後、
複数の級別に選択してこの選択されたLCDを夫々のカセ
ットに収納する構成なので、級別に配置したカセット内
に収納されたLCD枚数が把握できず、オペレータは検査
後のLCDに対する集計管理が困難であった。

また、オペレータは級別に選択した夫々のLCDの枚数
を自から夫々のカセット内を確認するので作業能率の低
下の原因になった。

本発明は、前記事情に着目してなされたもので、その
目的とするところは、級別に選択されたLCDがこの級別
に対応する夫々のカセット内に収納したLCD枚数を直視
的に把握可能なLCD基板の検査装置を提供することにあ
る。

（課題を解決するための手段） LCD基板の電極にテスタのプローブ端子電極を接触さ
せて、LCD基板の表示状態を目視検査する検査装置にお
いて、前記検査装置にフロッピディスクをセットし、該
フロッピディスクに記憶されている情報をRAMにローデ
ィングして検査手段を立上げる立上げ手段と、未検査LC
D基板を検査部に搬入する搬入手段と、前記検査部で上
記未検査LCD基板の電極にテスタに内蔵したパターンジ
ェネレータからパターン信号を入力して未検査LCDの表
面にパターン信号を表示し、その未検査LCDの表面に表
示されたパターン信号を目視検査する目視検査手段と、
上記目視検査したLCD基板をその検査結果によって点欠
陥、線欠陥に対応する形で選択する選択手段と、この選
択手段によって選択された選択信号に基づいて検査済の
LCD基板を選択級別に複数個のカセットに分離収納する
搬出手段と、上記夫々のカセットに収納された検査済LC
D基板の枚数を計数して表示する手段と、を具備したこ
とを特徴とする。

（作用） 本発明、LCD基板の検査装置によれば、未検査LCDが収
納したカセットから取出して、目視検査を行った後、級
別に選択し、この選択されたLCDがカセットに収納する
たびにカウント手段で、カウントして、操作パネルに表
示されるのでオペレータがLCDの集計管理が容易にな
る。また、カセット内に収納したLCD枚数を自から数え
ることがないので作業能率が向上する作用がある。

（実施例） 以下、本発明のLCD基板の検査装置の一実施例につい
て図面を参照して説明するが、従来例で説明した同一構
成部分は、同一符号を用いて説明する。LCD検査装置はL
CD電極にテスタと接続されたプローブ端子電極が接触さ
れる。このテスタに内蔵したパターンジェネレータから
のパターン信号で所定の表示が表示される。この表示を
オペレータが目視検査して、この検査結果と、基準値と
を比較してLCDの良品、一部良品、不良品等の判断を行
う。この判断にもとづいて、上記LCDを予め定められた
カセットに搬送して、収納するものである。

第５図に示すように、LCD検査装置６は、検査部２及
びローダ部１を有するLCDプローブ装置７と、パターン
ジェネレータ３を有するテスタ４とから構成されてい
る。上記LCDプローブ装置７は、テスタ４と接続された
プローブ端子電極８にLCD電極を接触させるように構成
したものである。

上記テスタ４は、内蔵したパターンジェネレータ３か
ら、プローブ端子電極８を介してLCD電極にプラグラム
されたパターン表示信号が送られ、LCD面にパターン表
示を表現するように構成したものである。

尚、上記LCDプローブ装置７の操作面の下側には、こ
の装置７を駆動させるための情報を記憶したフロッピデ
ィスク９を挿入する挿入口10が設けられている。上記LC
Dをプローブ端子電極８と接触させる検査部２にはスコ
ープ11がXY軸方向に移動可能に設けられている。上記ロ
ーダ部１の上側には、LCDアラメントする際の表示装置1
2が設けられている。

上記テスタ４には、選択スイッチ５を配列したボード
が設けられている。

上記LCDプローブ装置７の操作面の上面には、良品、
半良品、不良品等の級別にカウントするカウント手段、
例えばカウンタ13が夫々に設けられている。また、この
カウンタ13でカウントされた枚数が表示される表示手
段、例えば表示板14が設けられている。

次に、上記LCDプローブ装置７を第３図を参照して具
体的に説明する。

上記LCDプローブ装置７はローダ部１と検査部２とか
ら構成されている。上記ローダ部１は、未検査LCD15を
カセット16から取出し、検査部２のステージ17まで搬送
し、また、検査後のLCDをカセットに収納するように構
成されている。即ち、未検査LCD15、例えば5cm角平板形
状のガラス基板のLCDを複数個収納したカセット16から
ピンセット18と称するＹ軸方向、昇降方向、カセット内
部に進退する進退方向及びＸ軸方向に駆動する機構で取
出す構成になっている。

上記機構は、Ｙ軸方向にピンセット18を移動させる駆
動モータ19昇降方向に駆動するモータ（図示せず）、進
退する進退方向に駆動する駆動モータ20及びＸ軸方向に
移動して、ステージ17からLCDをローダ側に搬送する駆
動モータ21を構え、これら機構をローダ部専用CPU22に
よって駆動制御している。このローダ部専用CPU22の指
令信号23は、テスタ４側の信号に対応している。

上記検査部２は未検査LCD15を仮固定、例えば真空圧
により吸着固定したのちプローブ端子電極８がステージ
17面に対向して設けられている。この位置を検査中心24
と称している。

この検査中心24と、ローダ部１側の中間位置に、アラ
イメント（図示せず）位置が設けられ、この位置で未検
査LCD15の電極列を、一定方向に揃えるように構成した
ものである。

上記テスタ４を第２図を参照して具体的に説明する。
上記テスタ４はテスト条件に沿って、パターンジェネレ
ータ３がパターン信号25を検査部２のプローブ端子電極
８に接続している。上記テスタ４は、オペレータが判断
して未検査LCD15を選択する選択スイッチ５、例えば良
品スイッチ26、半良品スイッチ27、不良品スイッチ28が
接続されている。

そして、この選択スイッチ５を配列した選択スイッチ
プレート29がLCDプローブ装置の前面の操作面に配置さ
れている。上記選択スイッチ５を押すことにより、テス
タ４に伝えられ、このテスタ４が選択スイッチ５の種類
に対応した収納指令信号23を、ローダ部専用CPU22に伝
える。

このローダ部専用CPU22は、上記収納指令信号23の種
類に応じて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、昇降方向及び進退移
動を駆動制御してカセット内に収納するように構成され
ている。

本実施例の特徴的構成は、第１図で示すように、上記
ローダ部専用CPU22に、テスタ４から収納指令信号23が
伝えられると、この収納指令信号23にローダ部専用CPU2
2が応答した信号をカウント信号に変換して、このカウ
ント信号によってカウントされる。

このカウントされた数字が、表示装置で表示するカウ
ント手段30を設けた構成にしたことにある。

ここで、表示装置31は、液晶体の表示パネルを用いて
も良く、またLED表示をしても良い。

次に作用について説明する。

LCD検査装置６のメインスイッチをオンする。

カセット載置台32に未検査LCD15が収納されたカセッ
ト16を載置する。同様にして、良品が収納される良品カ
セット33、半良品カセット34、及び不良品カセット35等
をすべて載置する。

次に、上記LCDプローブ装置７の挿入口10にフロッピ
デスク９をセットする。フロッピデスク９に記憶してあ
る情報をRAMにローデングする。そして、オペレータが
目視検査スタートを行う。

この信号を受けて、ローダ部専用CPU22の指令信号に
より、ピンセット18をＹ軸方向に移動して、未検査用カ
セット16の前面（Ａ）まで移動する。そして、昇降駆動
モータ（図示せず）でピンセット18を昇降させて、未検
査用カセット16内の未検査LCD15の数を認識する。

上記ピンセット18が予め記憶されたプログラムに従っ
て駆動し、枚葉式に未検査LCD15を取出しホームポジシ
ョン位置（Ｂ）に移動する。このホームポジション位置
（Ｂ）からステージ17に搬送する。

ステージ17がプローブ端子電極８と接触するように上
昇する（Ｚアップと称する）。そして、テスタ４側に検
査開始信号を出すことになる。上記接触した後に、テス
タ４側のパターンジェネレータ３からパターン信号25に
より未検査LCD15の表面にパターン信号が表示される。

この表示されたパターン表示をオペレータが判断、例
えば良品と判断する。

この判断をもとにして、オペレータが良品スイッチ26
を選択する。

この選択された良品スイッチ26の信号がテスタ４に伝
わる。

この信号によって、テスタ４はテスト結果をメインCP
U（図示せず）に伝える。このCPUはテスト結果に対応し
た収納指定信号をローダ専用CPU22に伝える。

このローダ部専用CPU22は予め記憶されたプログラム
に従って、Ｙ軸駆動制御量、昇降駆動制御量を決定し、
テスタ４で決められたカセット、例えば良品カセット33
に収納する如く駆動制御する。

本実施例の特徴的な作用は、メインCPUがテスタ４か
らの信号に基づいて、それぞれ、良品カウンタ37、半良
品カウンタ38、不良品カウンタ39のどれか一つでカウン
トを行う。

またローダ部専用CPU22は、テスタ４からの信号に基
づいて、それぞれのカセットに検査済みのLCD43を収納
するように構成されている。このカウントを表示装置、
例えば良品表示装置40で表示することになる。

本実施例では、良品カセット33、半良品カセット34、
不良品カセット35を挙げて説明したが、未検査LCD15に
は、不良の原因として、点欠陥、線欠陥などがある。こ
の点欠陥には欠陥場所によって良品及び半良品と判定す
る場合もあるので、また、線欠陥は救済で良品になる場
合もある。このように製品目的により、点欠陥の数が多
くても使用可能な場合もある。

このような要求があるので、必ずしも、上記のように
３ケ所にカセットを設けるのではなく、場合場合に応じ
たカセットを設けた方がより作業能率が向上するように
なる。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明は、検査部で未検査LCD
基板の電極にテスタに内蔵したパターンジェネレータか
らパターン信号を入力して未検査LCDの表面にパターン
信号を表示し、その未検査LCDに表示されたパターン信
号を目視検査し、目視検査したLCD基板をその検査結果
によって点欠陥、線欠陥に対応する形でに選択してカセ
ットに収納し、この選択した夫々の検査済LCDの枚数を
計数して表示することを特徴とする。したがって、検査
済LCDのそれぞれの枚数をオペレータが常に把握でき、
集計が容易であるため、オペレータの負担を軽減でき、
また作業能率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のLCD基板の検査装置の特徴的構成を説
明するためのブロック説明図、 第２図は第１図のテスタの構成を説明するための説明
図、 第３図は第１図のLCDプローブ装置の構成を説明するた
めの説明図、 第４図は第１図のLCD基板の検査装置の作用を説明する
ためのフローチャート図、 第５図は第１図のLCD基板の検査装置の外観を説明する
外観説明図、 第６図は従来のLCD基板の検査装置を説明するための概
略説明図である。 １……ローダ部、２……検査部、３……パターンジェネ
レータ、４……テスタ、５……選択スイッチ、７……LC
Dプローブ装置、８……プローブ端子電極、25……指令
信号、33,34,35……カセット、30……カウント手段、31
……表示装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】LCD基板の電極にテスタのプローブ端子電
   極を接触させて、LCD基板の表示状態を目視検査する検
   査装置において、 前記検査装置にフロッピディスクをセットし、該フロッ
   ピディスクに記憶されている情報をRAMにローディング
   して検査手段を立上げる立上げ手段と、 未検査LCD基板を検査部に搬入する搬入手段と、 前記検査部で上記未検査LCD基板の電極にテスタに内蔵
   したパターンジェネレータからパターン信号を入力して
   未検査LCDの表面にパターン信号を表示し、その未検査L
   CDの表面に表示されたパターン信号を目視検査する目視
   検査手段と、 上記目視検査したLCD基板をその検査結果によって点欠
   陥、線欠陥に対応する形で選択する選択手段と、 この選択手段によって選択された選択信号に基づいて検
   査済のLCD基板を選択級別に複数個のカセットに分離収
   納する搬出手段と、 上記夫々のカセットに収納された検査済LCD基板の枚数
   を計数して表示する手段と、 を具備したことを特徴とするLCD基板の検査装置。