JPH0831902A - モニタ装置およびモニタ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】処理装置内の状況を一括して正確に把握するこ
とができるモニタ装置を提供することを目的とする。 【構成】被検査体の電気特性を検査するための検査部
と、被検査体を収納する収納部と、収納部と検査部との
間で被検査体を搬送する搬送部とを備えた検査装置に、
被検査体をモニタするモニタ装置が設けられる。このモ
ニタ装置は、検査部における被検査体のアライメントに
用いられる撮像手段３０と、搬送部における被検査体の
位置を検出するためのセンサ３２と、前記処理装置内を
画像表示すると共に、前記前記検査部におけるアライメ
ント状況および前記搬送部における被検査体の位置情報
をその画像内に表示する表示手段６とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハおよび
ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用基板などの被処理体に対
し検査、成膜、エッチングなどの処理を行う処理処置に
おいて被処理体をモニタするモニタ装置およびモニタ方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や薄膜トランジスタ液晶ディスプ
レイ（ＴＦＴ−ＬＣＤ）の製造工程においては、成膜、
エッチングおよび電気的検査などの種々の処理が行わ
れ、そのために種々の処理装置が用いられている。

【０００３】ところで、例えばＬＣＤ基板の電気的検査
を行うＬＣＤプローブ装置は、多数のプローブによりＬ
ＣＤ基板の電気特性を検査する検査部と、基板収納部と
検査部との間でＬＣＤ基板を搬送する搬送部とを備えて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このようなＬＣＤプロ
ーブ装置においては、検査部におけるＬＣＤ基板のアラ
イメントの状況をテレビカメラなどで撮影してＣＲＴで
モニタしているが、他の部分からの情報は他の表示装置
に文字情報として表示されるのみであり、情報が分散さ
れていると共に処理装置内の実際の状況を正確に把握す
ることは困難である。また、装置の操作は、ＣＲＴの画
像情報および文字情報を見ながらキーボードで行わなけ
ればならず繁雑である。また、ＬＣＤプローバにかかわ
らず、他の処理装置においても装置内からの情報は文字
情報として表示されるのみであり、やはり処理装置内の
実際の状況を正確に把握することは困難である。

【０００５】この発明はかかる事情に鑑みてなされたも
のであって、処理装置内の状況を一括して正確に把握す
ることができるモニタ装置およびモニタ方法を提供する
ことを目的とする。また、繁雑な操作を回避することが
できるモニタ装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決する手段】本発明は、上記課題を解決する
ために、第１に、被処理体に所定の処理を施すための処
理装置において被処理体をモニタするモニタ装置であっ
て、前記処理装置における前記被処理体の位置を検出す
る検出手段と、前記処理装置内を一括して画像表示する
と共に、前記検出手段により検出された前記被処理体の
位置情報を前記画像内に表示する表示手段と、を具備す
ることを特徴とするモニタ装置を提供するものである。

【０００７】第２に、被検査体を検査するための検査部
と、前記被検査体を収納する被検査体収納部と、前記被
検査体収納部と前記検査部との間で被検査体を搬送する
搬送部とを備えた検査装置において被検査体をモニタす
るモニタ装置であって、前記検査部における被検査体の
アライメントに用いられる撮像手段と、前記搬送部にお
ける被検査体の位置を検出するためのセンサと、前記処
理装置内を画像表示すると共に、前記検査部におけるア
ライメント状況および前記搬送部における被検査体の位
置情報を前記画像内に表示する表示手段と、を具備する
ことを特徴とするモニタ装置を提供するものである。

【０００８】第３に、上記第１または第２の発明におい
て、前記表示手段が、タッチパネル式の表示画面を有
し、該表示画面上の画像情報に応じて表示画面のタッチ
パネルが操作可能であることを特徴とするモニタ装置を
提供するものである。

【０００９】第４に、上記いずれかの発明において、前
記表示画面が液晶画面であることを特徴とするモニタ装
置を提供するものである。第５に、上記いずれかの発明
に係る装置にさらに異常検出装置が付加され、これによ
り異常が検出された際にその異常情報が前記表示手段に
表示されることを特徴とするモニタ装置を提供するもの
である。

【００１０】第６に、被処理体に所定の処理を施すため
の処理装置において被処理体をモニタするモニタ方法で
あって、処理装置内の被処理体の位置を検出し、その位
置情報を画像情報として表示装置に表示させてモニタす
ることを特徴とするモニタ方法を提供するものである。

【００１１】

【作用】第１および第６の発明においては、表示手段が
処理装置内を一括して画像表示すると共に、検出手段に
より検出された被処理体の位置情報をその画像内に表示
するので、処理装置内の状況を画像により視覚的に把握
することができる。従って、処理装置内の状況を一括し
て正確にモニタすることができる。また、第２の発明に
おいては、表示手段が検査装置内を一括して画像表示す
ると共に、前記前記検査部におけるアライメント状況お
よび前記搬送部における被検査体の位置情報を画像表示
するので、検査装置内の状況を一つの表示パネルで正確
にモニタすることができる。第３の発明においては、表
示手段がタッチパネル式の表示画面を有しているので、
別個のキーボードなどの入力手段のよらずに、表示画面
上において画像情報に応じた操作が可能となり、操作性
が良好である。第４の発明においては、表示画面が液晶
画面であるのでパネル面がフラットであり、タッチパネ
ルの操作性が一層良好なものとなる。第５の発明におい
ては、異常検出装置により異常が検出された際にその異
常情報が表示手段により表示されるので、異常が発生し
たことのみならず、異常が発生した位置を迅速かつ正確
に把握することができる。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面を参照して、この発明の実施
例について詳細に説明する。ここではこの発明に係るモ
ニタ装置をＬＣＤプローブ装置に適用した例について示
す。

【００１３】図１はこの発明に係るモニタ装置を有する
ＬＣＤプローブ装置を示す平面図、図２はこのＬＣＤプ
ローブ装置を示す正面図である。この装置は、ＬＣＤ基
板収納部１，２と、ＬＣＤ基板の搬送を行うローダ部３
と、ＬＣＤ基板の電気的検査を行うための検査部４と、
ＬＣＤプローブ装置の状況などを表示する表示パネル６
とを備えている。また、検査部４の上部にはその内部を
見るための顕微鏡５およびＬＣＤ基板の電気的検査のた
めのボードが収容されたテストヘッド７が設けられてい
る。なお、表示パネル６の詳細については後述する。

【００１４】このＬＣＤプローブ装置の内部は、図３お
よび図４に示すようになっている。ＬＣＤ基板収納部
１、２には、ＬＣＤ基板１０が収納された（または空
の）カセット１１、１２が夫々載置される。

【００１５】ローダ部３には、ＬＣＤ基板１０を搬送す
るための搬送機構１３が設けられている。この搬送機構
１３は、ガイド１４に沿ってＸ方向に移動可能であり、
さらにＹ方向に沿った移動、鉛直方向の移動、および回
転移動が可能なアーム１３ａを有している。

【００１６】検査部４には、検査ステージ２０が設けら
れている。検査ステージ２０は、ＬＣＤ基板１０を保持
するためのチャック１５と、チャック１５を上下動およ
び回転移動させるための駆動部１５ａと、チャック１５
および駆動部１５ａをＸ方向に沿って移動させるための
Ｘステージ１６と、Ｘステージ１６をＹ方向に移動させ
るためのＹステージ１７を有している。Ｘステージ１６
およびＹステージ１７には、それぞれレール１８、１９
が設けられており、レール１８に沿ってチャック１５お
よび駆動部１５ａがＸ方向に沿って移動し、レール１９
に沿ってＸステージ１６がＹ方向に移動される。また、
検査部４の内部には、チャック１５の上方のテストヘッ
ド７と離隔した位置に、ＬＣＤ基板１０の光学的アライ
メントを行うためのＣＣＤカメラ３０が設けられてい
る。

【００１７】テストヘッド７の下方には、ＬＣＤ基板１
０の電気的特性を検査するための多数のプローブ２４を
有するプローブカード２３が設けられており、プローブ
カード２３のプローブ２４は、コンタクトピン２６、２
７を有するコンタクトリング２５を介してテストヘッド
７内のボード（図示せず）に接続されている。プローブ
カード２３はカードホルダー２２に固定され、カードホ
ルダー２２はヘッドプレート２１に固定されている。検
査の際には、図４に示すように、ＬＣＤ基板１０を保持
したチャック１５がプローブカード２３の直下に位置さ
れる。そして、チャック１５を上昇させてプローブ２４
とＬＣＤ基板１０の電極とを電気的に接触させた状態で
所定の検査が実行される。

【００１８】このＬＣＤプローブ装置の内部には、搬送
アーム１３ａの位置を検出するためのセンサーが設けら
れており、搬送アーム１３ａにはその上のＬＣＤ基板の
有無を検出するためのセンサーが設けられている。この
ようなセンサーにより、搬送アーム１３ａ上の基板の有
無およびプローブ装置内における基板の位置が把握され
る。このようなセンサーとしては、例えば光学的センサ
ー、超音波センサー、静電容量センサーなどが用いられ
る。なお、図３では、これらセンサー群（参照符号３
２）を代表して搬送アーム１４に設けられセンサーのみ
を示す。

【００１９】次に、上記ＬＣＤプローブ装置のモニター
装置の構成について図５を参照しながら説明する。この
モニター装置は、上述した表示パネル６、ＣＣＤカメラ
３０、およびセンサ群３２の他、ＣＣＤカメラ３０から
の画像情報を処理する画像処理部３１、プーブ装置内の
異常を検出する異常検出装置３３、およびコントローラ
３４を備えている。

【００２０】表示パネル６は、タッチパネル方式の液晶
パネルであり、フラットな面を有している。この表示パ
ネル６は、設定画面およびモニタ画面の間で切り替えが
可能であり、また複数の設定画面およびモニタ画面に切
り替え可能である。そして、プローブ装置の条件設定お
よび検査部４での位置合せなどに際して、オペレータに
よりパネル上に割り当てられたタッチキーが押圧され
る。

【００２１】このモニター装置における信号の流れにつ
いて説明する。ＣＣＤカメラ３０で得られた画像信号
は、画像処理装置３１で処理され、表示パネル６に出力
される。またセンサー群３２の検出信号はコントローラ
３４に入力され、コントローラ３４によって画像情報に
変換されて表示パネル６に出力される。表示パネル６が
設定画面として使用される場合には、表示パネル６から
設定信号がコントローラ３４に出力され、コントローラ
３４が設定信号に応じて駆動系３５に出力され、プロー
ブ装置が設定信号に応じた状態に設定される。また、異
常検出装置３３からの異常検出信号はコントローラ３４
を介して表示パネル６に出力され、異常が検出された場
合に表示パネル６に異常が生じたことが表示される。

【００２２】次に、このようなモニター装置を有するプ
ローブ装置の動作について説明する。まず、表示パネル
を設定画面モードにして、タッチキーに割り当てられた
テンキーなどにより、基板サイズ、パネルインデック
ス、パネルインデックス回数、基板最大上昇位置などの
データを設定する。

【００２３】次に、表示パネル６の画面が搬送動作表示
モードに切り替えられる。動作表示モードにおいては、
図６〜図９に示すような、プローブ装置内を上から透視
した画面が表示される。

【００２４】最初に、搬送部３に設けられた搬送機構１
３のアーム１３ａが収納部１のカセット１１内に挿入さ
れ、アーム１３ａ上にＬＣＤ基板１０が載置される。そ
の際の状況は図６に示すように画面に表示される。

【００２５】次に、搬送部３においてＬＣＤ基板１０を
検査部４のステージ２０へ搬送するためのプリアライメ
ントを行う。その際の状況は図７に示すように画面に表
示される。なお、プリアライメントは画面に割り当てら
れたタッチキーを押圧することにより行われる。

【００２６】その後、アーム１３ａはＬＣＤ基板１０を
検査部４のステージ２０に移載するために回転され、か
つ延ばされる。その際の状況は図８および図９に示すよ
うに画面表示される。

【００２７】ステージ２０のチャック１５に載せられた
ＬＣＤ基板は、検査部４の内部に設けられたＣＣＤカメ
ラ３０の下に移動される。その際に表示パネルの画面
は、ＬＣＤ基板のアライメントマークが写し出されたア
ライメントモードに切り替えられ、オペレーターはこの
画面を見ながら、画面に割り当てられたタッチキーを押
圧することによりアライメントを行う。

【００２８】アライメントが終了すると、画面が再び搬
送動作表示モードに切り替わり、チャック１５上のＬＣ
Ｄ基板１０がプローブカード２３の下に移動される。そ
して、さらにチャック１５が上昇されることにより、多
数のプローブ２４とＬＣＤ基板１０上の電極とが接触
し、この状態で検査が開始される。

【００２９】搬送動作中になんらかの異常（エラー）が
発生したときは、異常検出装置３３で異常が検出され、
この異常情報が表示パネルに表示される。したがって、
オペレータはどのような状態で異常が発生したのかをそ
の位置を含めて、上記表示により迅速かつ正確に把握す
ることができる。

【００３０】以上のような装置によれば、プローブ装置
内部を画像表示することができるので、装置内の状況を
一括して正確にモニタすることができる。特に、装置が
カバーで覆われていて内部が見えない装置であっても、
表示パネルにより装置内部を視覚的に把握することがで
きる。また、表示パネル６は搬送動作モードおよびアラ
イメントモードで切り替え可能であるから、一つの表示
パネルにより、正確にプローブ装置のモニターを実行す
ることができる。さらに、表示パネル６はタッチパネル
方式の液晶パネルであるので、プローブ装置の条件設定
を、表示画面に割り当てられたタッチキーにより行うこ
とができ、キーボードが不要であるから極めて操作性が
良い。また、フラットパネルであるからタッチキーを押
圧しやすく一層操作性が良好である。さらにまた、異常
が発生した場合でも異常情報が表示パネルに表示される
ので、異常発生位置を迅速かつ正確に認識することがで
き、異常に迅速に対応することができる。

【００３１】なお、上記説明においては、本発明をＬＣ
Ｄプローブ装置に適用した例を示したが、これに限定さ
れず、ウエハプローブ装置などの他の検査装置に適用す
ることもできるし、検査装置のみならず、成膜装置、エ
ッチング装置など、被処理体を処理する他の処理装置に
ついても適用可能である。また、撮像手段としてＣＣＤ
カメラを用いたが、これに限らずＯＣＲ等他の装置を用
いることもできる。その他、本発明の要旨を逸脱するこ
となく種々の変形が可能である。

【００３２】

【発明の効果】第１および第６の発明によれば、処理装
置内の状況を画像により視覚的に把握することができる
ので、処理装置内の状況を一括して正確にモニタするこ
とができる。第２の発明によれば、検査部におけるアラ
イメント状況および搬送部における被検査体の位置情報
を画像表示するので、検査装置内の状況を一つの表示パ
ネルで正確にモニタすることができる。第３の発明によ
れば、表示手段がタッチパネル式の表示画面を有してい
るので、別個のキーボードなどの入力手段によらずに、
表示画面上において画像情報に応じた操作が可能とな
り、操作性が良好である。第４の発明によれば、表示画
面が液晶画面であるので、パネル面をフラットにするこ
とができ、タッチパネルの操作性が一層良好なものとな
る。第５の発明によれば、異常検出装置により異常が検
出された際にその異常情報が表示手段により表示される
ので、異常が発生したことのみならず、異常が発生した
位置を迅速かつ正確に把握することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るモニタ装置を有するＬＣＤプロ
ーブ装置を示す平面図。

【図２】図１のＬＣＤプローブ装置の正面図

【図３】図１のＬＣＤプローブ装置の内部を示す断面
図。

【図４】図１のＬＣＤプローブ装置の検査部の内部を示
す図。

【図５】図１のＬＣＤプローブ装置に適用されるモニタ
ー装置の構成を示す図。

【図６】表示パネにおける表示画面の一例を示す図。

【図７】表示パネにおける表示画面の他の例を示す図。

【図８】表示パネにおける表示画面のさらに他の例を示
す図。

【図９】表示パネにおける表示画面のさらに他の例を示
す図。

【符号の説明】

１，２……収納部 ３……搬送部 ４……検査部 ６……表示パネル １０……ＬＣＤ基板 １３……搬送機構 １３ａ……搬送アーム ２０……ステージ ３０……ＣＣＤカメラ ３１……画像処理部 ３２……センサー ３３……異常検出装置 ３４……コントローラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体に所定の処理を施すための処理
   装置において被処理体をモニタするモニタ装置であっ
   て、 前記処理装置における前記被処理体の位置を検出する検
   出手段と、 前記処理装置内を一括して画像表示すると共に、前記検
   出手段により検出された前記被処理体の位置情報を前記
   画像内に表示する表示手段と、 を具備することを特徴とするモニタ装置。
2. 【請求項２】 被検査体を検査するための検査部と、前
   記被検査体を収納する被検査体収納部と、前記被検査体
   収納部と前記検査部との間で被検査体を搬送する搬送部
   とを備えた検査装置において被検査体をモニタするモニ
   タ装置であって、 前記検査部における被検査体のアライメントに用いられ
   る撮像手段と、 前記搬送部における被検査体の位置を検出するためのセ
   ンサと、 前記検査装置内を一括して画像表示すると共に、前記検
   査部におけるアライメント状況および前記搬送部におけ
   る被検査体の位置情報を前記画像内に表示する表示手段
   と、 を具備することを特徴とするモニタ装置。
3. 【請求項３】 前記表示手段は、タッチパネル式の表示
   画面を有し、該表示画面上の画像情報に応じて表示画面
   のタッチパネルが操作可能であることを特徴とする請求
   項１または２に記載のモニタ装置。
4. 【請求項４】 前記表示画面は、液晶画面であることを
   特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のモ
   ニタ装置。
5. 【請求項５】 さらに異常検出装置を有し、これにより
   異常が検出された際にその異常情報が前記表示手段に表
   示されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか
   １項に記載のモニタ装置。
6. 【請求項６】 被処理体に所定の処理を施すための処理
   装置において被処理体をモニタするモニタ方法であっ
   て、処理装置内の被処理体の位置を検出し、その位置情
   報を画像情報として表示装置に表示させてモニタするこ
   とを特徴とするモニタ方法。