JP3999301B2 - 露光データ作成方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光データ作成方法に関するものである。
【０００２】
近年の半導体集積回路（ＬＳＩ）においては、大規模化及び高集積化が進められ、そのＬＳＩを作成するために必要な露光データのデータ量も増大している。露光データの増大は露光時間の長時間化、ひいてはＬＳＩの製造時間の長時間化を招くことから、露光データのデータ量削減が要求されている。
【０００３】
【従来の技術】
図２２は、可変矩形型電子ビーム（ＥＢ）露光装置の概略構成図である。ＥＢ露光装置１０は、第１，第２アパーチャ１１，１２を備え、各アパーチャ１１，１２にはそれぞれ所定面積の矩形窓１３，１４が形成されている。ＥＢ露光装置１１は、アパーチャ合わせ用電磁偏向器（第１電磁偏向器）１５を制御し、第１アパーチャ１１により成形されたビームと第２アパーチャ１２の矩形窓１４との重なる具合を変え、矩形窓１４を透過するビームの断面形状、即ち露光パターンを制御する。そして、露光装置１０は、位置合わせ用電磁偏向器（第２電磁偏向器）１６，パターン用電磁偏向器（第３電磁偏向器）１７を制御して透過ビームを偏向させると共に、ステージ１８をＸ，Ｙ軸方向に移動させ、該ステージ１８上に載置された半導体ウェハ１９に所望のパターンを露光する。
【０００４】
第１〜第３電磁偏向器１５〜１７及びステージ１８の制御は、半導体ウェハ１９上に描画する半導体チップの設計データ（パターンデータ）により作成された露光データに基づいて制御される。例えば、半導体ウェハ１９には、図２３に示される半導体チップ２０がマトリクス状に形成される。半導体チップ２０は、複数のフィールド２１に分割され、各フィールド２１は更に複数のサブフィールド２２に分割される。
【０００５】
そして、第１電磁偏向器１５は、サブフィールド２２にその時に露光されるパターンの大きさに基づいて制御され、矩形窓１４を透過するビームがパターンの大きさに対応した断面形状に制御される。そして、第２，第３電磁偏向器１６，１７及びステージ１８は、その時々に描画されるパターンの位置に基づいて制御される。例えば、ステージ１８により１つのフィールド２１が選択され、第２電磁偏向器１６により１つのサブフィールド２２が選択される。そして、第３電磁偏向器１７により選択されたサブフィールド２２内のパターンが露光される。
【０００６】
ところで、半導体チップ２０の露光パターンデータは、図示しない露光データ作成装置により作成され、上記のＥＢ露光装置１０に供給される。従来の露光データ作成装置は、半導体チップ２０の露光パターンデータにおいて、中の繰り返しの多いパターンデータをマトリクス認識により抽出し、マトリクス表現にて露光データを作成していた。更に、露光データ作成装置は、露光データを基となる設計データと同様に階層化し、繰り返しの多い露光パターンデータを露光パターンデータ群とし、そのデータ群を繰り返し配置定義することにより、露光データのデータ量を減少させていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、抽出される露光パターンデータ群には、繰り返しの多いパターンデータ、例えばメモリセルの共通部分が抽出される。そのため、メモリセルの共通部分を抽出した露光パターンデータ群は、領域的に小さくなるので、配置数及び露光回数が多くなり、露光データもその分多くなる。また、多くの露光装置においては、各種偏向により電子ビームを所定の配置位置まで移動させる。例えば、図２２に示すＥＢ露光装置１０においては、第１，第２アパーチャ１１，１２により成形された電子ビームは、第２，第３電磁偏向器１６，１７、ステージ１８の各種偏向により半導体ウェハ１９の所定の配置位置まで移動される。
【０００８】
従って、繰り返される露光パターンデータの配置位置を示す配置データが多くなると、第２，第３電磁偏向器１６，１７では所望の配置位置までビームを移動させることができなくなり、ステージ１８を制御することによりウェハ１９の位置を第２，第３電磁偏向器１６，１７により移動可能な位置まで移動させなければならない。ステージ１８による移動は、第２，第３電磁偏向器１６，１７による移動に比べて時間がかかる。そのため、ビームの移動時間が長くなり、半導体ウェハ１９全体の露光時間が増大する。
【０００９】
更に、各種偏向においては、目的の配置位置に合わせるときの制御的な問題（ステージの機械的精度等）によって、位置合わせ誤差が発生する場合がある。すると、配置回数が多いほど位置合わせ誤差の発生する箇所が多くなり、チップ全体の露光精度が低下する。このため、大きな領域での繰り返し単位を求めることが要求されるが、大きな領域の露光パターンには繰り返し性の無いパターンが付着するため、マトリクス認識の妨げになると共に、抽出する対象となるデータ量が増えるので抽出処理時間が増加する。
【００１０】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は繰り返しの多い露光パターンデータのデータ量を少なくすることができる露光データ生成方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、半導体集積回路を露光媒体上に露光するために用いられる露光データを作成する露光データ作成方法であって、前記半導体集積回路の設計データから繰り返し性のある露光パターンデータを露光パターンデータ群として抽出するステップと、前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブルを作成するステップと、前記まとめ情報テーブルに基づいて前記設計データをまとめ直した露光データを作成するステップとを備え、前記まとめ情報を作成するステップは、前記露光パターンデータ群を認識し、前記露光パターンデータ群を構成する露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとを求める第１のステップと、前記露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとに基づいて、前記まとめ領域に格納する基の露光パターンデータのまとめ情報テーブルを求める第２のステップと、前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターンデータ群の配置データを再作成する第３のステップと、前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターデータのパターンデータを再作成する第４のステップとから構成され、前記第２のステップは、前記まとめ領域に対して前記繰り返し露光パターンデータを格納する最大個数を求めるステップと、前記露光パターンデータ群の全ての繰り返し露光パターンデータを格納するのに必要なまとめ領域の個数を求めるステップと、前記まとめ領域に対して繰り返し露光パターンデータを均等配置できるか否かを判断し、その判断結果に基づいて均等配置できる場合に前記まとめ領域に繰り返しパターンデータを均等に配置する個数を候補値に設定するステップと、前記候補値に基づいて、該候補値が設定されていない場合には前記最大個数をまとめ領域に対する前記繰り返しパターンデータの併合値に設定し、前記候補値が設定されている場合には該候補値を併合値に設定するステップと、前記候補値と併合値とに基づいて前記まとめ情報テーブルを作成するステップとから構成される。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の露光データ作成方法において、前記まとめ情報を作成するステップは、前記まとめ領域に対するｘ方向とｙ方向の候補値及び併合値に基づいて前記まとめテーブル及び配置テーブルを作成するものであり、前記全てのまとめ領域に対して均等配置できる場合には１種類の前記まとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップと、前記ｘ方向またはｙ方向に対して均等配置できる場合にはそれぞれ２種類のまとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップと、前記ｘ方向及びｙ方向に対して均等配置できない場合には４種類のまとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップとから構成される。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の露光データ作成方法において、前記第４のステップは、基の露光パターンデータが単独表現か、複数の基本パターンデータを繰り返すマトリックス表現かを判断するステップと、前記判断結果に基づいて、露光パターンデータが単独表現の場合に露光データの再作成を行うステップと、前記判断結果に基づいて、基の露光パターンデータがマトリックス表現の場合に、該基の露光パターンデータを展開して露光データの再作成を行うステップとから構成される。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の露光データ作成方法において、前記露光パターンデータを展開するときに、前記基の露光パターンデータの繰り返し個数と、該露光パターンデータを構成する基本パターンデータのマトリックス個数とを比較し、少ない方を展開して新たな繰り返し露光パターンデータを作成するようにしたことを要旨とする。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１及至４のうちのいずれか１項に記載の露光データ作成方法において、前記露光データは、露光装置に備えられ露光媒体を移動させるステージと、前記露光媒体を露光するビームを該露光媒体の所望位置に移動させる偏向器とを制御するために利用されるものであり、前記まとめ領域は、前記露光装置のビーム移動させる偏向器に対応した領域に設定されたことを要旨とする。
【００２５】
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、半導体集積回路の設計データから繰り返し性のある露光パターンデータが露光パターンデータ群として抽出され、露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブルが作成される。そのまとめ情報テーブルに基づいて設計データがまとめ直された露光データが作成される。そのまとめ情報テーブルを作成するステップは、第１〜第４のステップにより構成される。第１のステップでは、露光パターンデータ群が認識され、露光パターンデータ群を構成する露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとが求められる。第２のステップでは、露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとに基づいて、まとめ領域に格納する基の露光パターンデータのまとめ情報テーブルが求められる。第３のステップでは、まとめ情報テーブルに基づいて、露光パターンデータ群の配置データが再作成される。第４のステップでは、まとめ情報テーブルに基づいて、露光パターデータのパターンデータが再作成される。
そして、第２のステップにおいて、まとめ領域に対して繰り返し露光パターンデータを格納する最大個数と、露光パターンデータ群の全ての繰り返し露光パターンデータを格納するのに必要なまとめ領域の個数が求められる。まとめ領域に対して繰り返し露光パターンデータを均等配置できるか否かが判断され、その判断結果に基づいて均等配置できる場合にまとめ領域に繰り返しパターンデータを均等に配置する個数が候補値に設定され、候補値に基づいて、候補値が設定されていない場合には最大個数をまとめ領域に対する繰り返しパターンデータの併合値に設定し、候補値が設定されている場合には候補値が併合値に設定される。そして、候補値と併合値とに基づいてまとめ情報テーブルが作成される。
【００２８】
請求項２に記載の発明によれば、まとめ情報を作成するステップは、まとめ領域に対するｘ方向とｙ方向の候補値及び併合値に基づいてまとめテーブル及び配置テーブルを作成するものであり、全てのまとめ領域に対して均等配置できる場合には１種類のまとめテーブルと配置テーブルとが作成される。また、ｘ方向またはｙ方向に対して均等配置できる場合にはそれぞれ２種類のまとめテーブルと配置テーブルとが作成される。更に、ｘ方向及びｙ方向に対して均等配置できない場合には４種類のまとめテーブルと配置テーブルとが作成される。
【００２９】
請求項３に記載の発明によれば、第４のステップにおいて、基の露光パターンデータが単独表現か、複数の基本パターンデータを繰り返すマトリックス表現かが判断され、判断結果に基づいて、露光パターンデータが単独表現の場合に露光データの再作成が行われる。また、判断結果に基づいて、基の露光パターンデータがマトリックス表現の場合に、基の露光パターンデータが展開されて露光データの再作成が行われる。
【００３０】
請求項４に記載の発明によれば、露光パターンデータが展開されるときに、基の露光パターンデータの繰り返し個数と、露光パターンデータを構成する基本パターンデータのマトリックス個数とが比較され、少ない方が展開されて新たな繰り返し露光パターンデータが作成される。
【００３１】
請求項５に記載の発明によれば、露光データは、露光装置に備えられ露光媒体を移動させるステージと、露光媒体を露光するビームを露光媒体の所望位置に移動させる偏向器とを制御するために利用されるものであり、まとめ領域は、露光装置のビーム移動させる偏向器に対応した領域に設定される。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図２１に従って説明する。
図１は、本発明を適用した露光データ作成装置のシステム構成を示す模式図である。露光データ作成装置３１は、中央処理装置（以下、ＣＰＵという）３２、メモリ３３、磁気ディスク３４、表示器３５、キーボード３６、テープ装置３７を備え、それらはバス３８により相互に接続されている。
【００３６】
磁気ディスク３４には、図２〜図５に示す露光データ作成処理のプログラムデータが予め記憶されている。その露光データ作成処理のプログラムデータは、記憶媒体としての磁気テープ（ＭＴ）３９に記憶され、供給される。磁気テープ３９は、テープ装置３７にセットされ、プログラムデータはそのテープ装置３７により磁気テープ３９から読み出され、バス３８を介して磁気ディスク３４に転送され記憶される。図１中のＣＰＵ３２は、キーボード３６の操作に基づいて起動されると、図２〜図５に示されるステップに従って露光データ作成処理を実行する。
【００３７】
また、磁気ディスク３４には、図２に示されるデータファイル４１が記憶されている。データファイル４１には、例えば図示しないＣＡＤ装置により回路設計及びレイアウト設計されたメモリ等の繰り返しの多いパターンを含む半導体装置（ＬＳＩ）チップの設計データが予め格納されている。図１に示されるＣＰＵ３２は、データフィル４１から設計データを入力し、その設計データに基づいて図２に示される露光データ作成処理を実行する。
【００３８】
また、図１中の磁気ディスク３４には、図２に示されるデータファイル４２〜４５が格納される。また、図１中のメモリ３３には、図２に示されるデータファイル４６，４７が格納される。図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるフローチャートのステップ５１〜５７に従って露光データ作成処理を実行し、その処理において作成した各データを図２に示されるデータファイル４２〜４７に格納する。
【００３９】
即ち、図２に示されるステップ５１は処理データ入力処理（処理データ入力手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、データフィル４１から設計データを入力する。
【００４０】
次に、図２に示されるステップ５２は繰り返しデータ抽出処理（繰り返しデータ抽出手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、入力した設計データから繰り返し性のある露光パターンデータを露光パターンデータ群として認識抽出する。そして、ＣＰＵ３２は、抽出した露光パターンデータ群を配置データとして図２中のデータファイル４２に格納する。配置データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５３からステップ５３に移る。
【００４１】
次に、図２に示されるステップ５３において、図１中のＣＰＵ３２は、全ての設計データ、即ち、図２中のステップ５２において抽出したパターンデータ群と、抽出した後のパターンデータに対して、所定の図形処理、例えば、ＯＲ処理、サイジング処理、シュリンク処理等のように、ＬＳＩの露光データを作成する上で必要となる図形処理を施す。そして、図１に示されるＣＰＵ３２は、図形処理後のレイアウトデータを中間データとして磁気ディスク３４上のデータファイル４３に格納する。中間データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５３からステップ５４に移る。
【００４２】
次に、ステップ５４は仮露光データ作成処理（仮露光データ作成手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ５３において図形処理した中間データを露光データに変換する。そして、ＣＰＵ３２は、変換後の露光データを仮露光データとして図２中のデータファイル４４に格納する。仮露光データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５４からステップ５５に移る。
【００４３】
ステップ５５はまとめ処理（まとめ手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ５２において作成した配置データに基づいて抽出した露光パターンデータ群に対してまとめ処理を実行する。まとめ処理は、露光パターンデータ群に含まれる微少な繰り返し露光パターンデータを、露光パターンデータ群のしめる面積よりも小さな所望の大きさのまとめ領域内の繰り返しパターンとしてまとめ直す処理である。更に、まとめ処理は、まとめ直した繰り返し露光パターンデータが各まとめ領域において同じ配置となるようにまとめ直す。
【００４４】
図２に示すように、まとめ処理は、大きく４つのステップから構成される。第１ステップはマトリクス認識処理（マトリクス認識手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４２に格納された配置データ、即ち、図２中のステップ５２において抽出した露光パターンデータ群に対してマトリクス認識を行う。マトリクス認識は、露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータ（以下、単に繰り返しパターンという）が所望のまとめ領域にまとめ直せるか否かを認識する処理である。
【００４５】
そのマトリクス認識処理において、ＣＰＵ３２は、先ず、露光パターンデータ群を構成する繰り返しパターンの占める領域の面積（以下、単に領域という）、繰り返しピッチ、繰り返し個数を求める。例えば、図６に示すように、図１中のＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧの領域α、繰り返しパターンＧの繰り返しピッチ（以下、マトリクスピッチという）ｇｐ（Ｘ方向のマトリクスピッチをｇｐ（ｘ），Ｙ方向のマトリクスピッチをｇｐ（ｙ）とする）、繰り返しパターンＧの繰り返し個数（以下、マトリクス個数という）ｇｎ（Ｘ方向のマトリクス個数をｇｎ（ｘ），Ｙ方向のマトリクス個数をｇｎ（ｙ）とする）を求める。
【００４６】
尚、図６においては、１つのまとめ領域Ｓにまとめられた繰り返しパターンＧを示しており、実際には、図２中のステップ５２において、図７に示すようにまとめ領域Ｓよりも大きな面積の露光パターンデータ群Ｒが抽出され、その露光パターンデータ群Ｒを構成する一部の複数の繰り返しパターンＧがまとめ領域Ｓにまとめ直される。
【００４７】
次に、ＣＰＵ３２は、求めた領域α等が、マトリクス認識の認識条件を満足するか否かを判断する。そのマトリクス認識の認識条件は、繰り返しパターンＧの領域αが所望のまとめ領域Ｓの面積の半分以下であり、マトリクスピッチｇｐがまとめ領域Ｓよりも小さいことである。この認識条件を満たさない場合は、複数の領域αをまとめ領域Ｓにまとめることが不可能となる。
【００４８】
尚、本実施形態では、所望のまとめ領域Ｓは、図２３に示されるサブフィールド２２の大きさに設定されている。従って、まとめ領域Ｓにまとめ直された複数の繰り返しパターンＧは、図２２に示されるＥＢ露光装置１０の第３電磁偏向器１７を制御することにより露光される。
【００４９】
第２ステップはまとめ情報テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、第１ステップにおいて認識条件を満足する領域αの繰り返しパターンＧのまとめ情報を求める。そして、ＣＰＵ３２は、求めたまとめ情報をまとめ情報テーブルとして図２中のデータファイル４６，４７に格納する。図８に示すように、まとめ情報テーブル６１は、まとめテーブル６２と配置テーブル６３とから構成される。図１中のＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２をデータファイル４６に、配置テーブル６３をデータファイル４７に格納する。
【００５０】
まとめテーブル６２は、基の繰り返しパターンデータを示すアドレス６４、ｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ（ｙ）、ｘ方向の繰り返しピッチｍｐ（ｘ）、及び、ｙ方向の繰り返しピッチｍｐ（ｙ）とから構成される。アドレス６２は、まとめ領域Ｓにまとめる繰り返しパターンＧのパターンデータのアドレスが格納される。まとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）は、それぞれまとめ領域Ｓにまとめられる繰り返しパターンＧのｘ方向とｙ方向との個数を示している。ピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）は、それぞれ繰り返しパターンＧのｘ方向とｙ方向との繰り返しピッチを示している。従って、まとめテーブル６１には、まとめ領域Ｓに対して、繰り返しパターンＧをｘ方向とｙ方向とにどのように配置してまとめるかを示した情報が格納される。
【００５１】
配置テーブル６３は、種類数６５、まとめ情報アドレス６６、ｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）、ｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）、及び、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）とから構成される。まとめ情報アドレス６６には、使用するまとめ領域Ｓの情報が格納されたまとめテーブル６２の先頭アドレスが格納される。繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）と繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）には、まとめ領域Ｓの繰り返し個数と繰り返しピッチがそれぞれ格納される。
【００５２】
種類数６５には、まとめ領域Ｓの種類の数が格納され、まとめ領域Ｓの種類は、そのまとめ領域Ｓにまとめられた繰り返しパターンＧの状態に応じて設定される。
【００５３】
図７に示すように、抽出した露光パターンデータ群Ｒの各繰り返しパターンＧをまとめ領域Ｓにまとめ直す、即ち、複数の繰り返しパターンＧを複数のまとめ領域Ｓに分割する方法として、図７左下に示す「単純配置」と、図７右下に示す「均等配置」とがある。「単純配置」は、まとめ領域Ｓにまとめられる（収容される）最大個数の繰り返しパターンＧを所定の方向（図７において、ｘ方向では左端、ｙ方向では下端）から順にまとめ領域Ｓに分割する方法である。図７には、ｘ方向とｙ方向とに「単純配置」された場合が示されている。
【００５４】
図１中のＣＰＵ３２は、抽出した露光パターンデータ群Ｒの各繰り返しパターンＧをｘ方向とｙ方向とにそれぞれ複数のまとめ領域Ｓに対して「均等配置」できるか否かを判断する。ｘ，ｙ方向それぞれに対して「均等配置」可能な場合、ＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧを複数のまとめ領域Ｓに対して均等に配置してまとめ直した露光データを作成する。一方、ｘ，ｙ方向のそれぞれに対して「均等配置」不可能な場合、ＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧを複数のまとめ領域Ｓに対して「単純配置」を行う。そして、ＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧを複数のまとめ領域に対して単純に配置してまとめ直した露光データを作成する。
【００５５】
「単純配置」する方法では、最大個数の繰り返しパターンＧがまとめ直されたまとめ領域Ｓ（図７においてまとめ領域Ｓ１）と、余りの繰り返しパターンＧがまとめ直されたまとめ領域Ｓ（図７においてまとめ領域Ｓ２〜Ｓ４）とが発生する。尚、まとめ領域Ｓ２にはｘ方向の余りの繰り返しパターンＧが、まとめ領域Ｓ３にはｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが、まとめ領域Ｓ４にはｘｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納される。従って、ｘｙ方向に「単純配置」された場合、まとめ領域Ｓ内の繰り返しパターンＧの状態、即ち、まとめ領域Ｓの種類は４種類となり、図８中の種類数６５には「４」が格納される。
【００５６】
一方、「均等配置」は、複数のまとめ領域Ｓに対して、同じ数の繰り返しパターンＧを分割する方法である。図７には、ｘ方向とｙ方向とに「均等配置」された場合が示されている。この場合、全てのまとめ領域Ｓ内の繰り返しパターンＧの状態は同じとなるので、まとめ領域Ｓの種類は１種類となり、図８中の種類数６５には「１」が格納される。
【００５７】
尚、図７において、ｘ方向（図７の左右方向）とｙ方向（図７の上下方向）に異なる分割方法が採用される場合がある。即ち、ｘ方向に「単純配置」され、ｙ方向に「均等配置」される。この場合、ｘ方向のまとめ領域Ｓは２種類、ｙ方向のまとめ領域Ｓは１種類となり、全体としてまとめ領域Ｓの種類は２種類となるので、図８中の種類数６５には「２」が格納される。同様に、ｘ方向に「均等配置」され、ｙ方向に「単純配置」された場合、ｘ方向のまとめ領域Ｓは１種類、ｙ方向のまとめ領域Ｓは２種類となり、全体としてまとめ領域Ｓの種類は２種類となるので、図８中の種類数６５には「２」が格納される。
【００５８】
従って、まとめテーブル６２は、まとめ領域の種類の数だけ作成される。例えば、まとめ領域Ｓが２種類の場合、図８の実線で示すまとめテーブル６２と破線で示すまとめテーブル６２の合計２個のまとめテーブル６２が作成される。そして、配置デーブル６３には、各まとめテーブル６２に対して上記のまとめ情報アドレス６５からｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）までの情報が格納される。
【００５９】
即ち、配置デーブル６３には、複数の繰り返しパターンＧをまとめ直したまとめ領域Ｓが何種類あり、どの種類のまとめ領域Ｓを幾つどの様に配置するするかを示した情報が格納される。
従って、露光パターンデータ群は、複数のまとめ領域のパターンデータにより表現され、各まとめ領域のパターンデータは、同じ配置の微少な繰り返し露光パターンデータにより表現される。即ち、露光パターンデータ群は、微少な繰り返し露光パターンデータによるまとめ領域のパターンデータの繰り返しによって表現される。従来の方法では、露光パターンデータ群は、微少な繰り返し露光パターンデータのマトリクス（繰り返し）によって表現される。従って、本実施形態における露光パターンデータ群のデータ量は、従来のデータ量に比べて少なくなる。
【００６０】
第３ステップは露光データ（配置データ）再作成処理（露光データ（配置データ）再作成手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４２に格納された配置データを入力する。そして、ＣＰＵ３２は、前記第２ステップにおいて作成した図８中のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の配置データをまとめた後の配置データに再作成し、その再作成後の配置データを中間データとしてデータファイル４４に格納する。
【００６１】
第４ステップは露光データ（パターン）再作成処理（露光データ（パターン）再作成手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４４に格納された仮露光データを入力する。次に、ＣＰＵ３２は、前記第２ステップにおいて作成した図８中のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の繰り返し露光パターンデータをまとめた後の繰り返し露光パターンデータに再作成する。そして、ＣＰＵ３２は、その再作成後の繰り返し露光パターンデータをデータファイル４４に格納し、図２中のステップ５５におけるまとめ処理を終了し、ステップ５６に移る。
【００６２】
図２に示されるステップ５６はデータ終了判断処理（データ終了判断手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、データファイル４２に格納された配置データ、即ち、ステップ５２において抽出した全てのパターンデータ群に対してステップ５５のまとめ処理を実行したか否かを判断する。そして、全てのパターンデータ群に対してまとめ処理が実行されていない場合、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ５５へ戻り、次のパターンデータ群に対してまとめ処理を実行する。
【００６３】
即ち、ＣＰＵ３２は、ステップ５５のまとめ処理を繰り返し実行し、抽出した全てのパターンデータ群に対してまとめ処理を実行する。そして、抽出した全てのパターンデータ群に対するまとめ処理が終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５６からステップ５７へ移る。
【００６４】
ステップ５７は露光データ構築処理（露光データ構築手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ５５において作成したまとめテーブルと配置テーブルとに基づいて、ステップ５４において作成した仮露光データをつなぎ合わせ、正式な露光データとして図２に示されるデータファイル４５に格納する。そして、正式な露光データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は露光データ作成処理を終了する。
【００６５】
データファイル４５に格納された正式な露光データは、露光媒体としてのウェハ１９を露光する場合に利用される。即ち、図２２に示す電子ビーム露光装置１０において、データファイル４５に格納された露光データに基づいて、第１〜第３電磁偏向器１５〜１７及びステージ１８が制御され、ウェハ１９の所定位置に所望の露光パターンが露光される。
【００６６】
この時、図２３に示される半導体チップ２０において、繰り返しパターンデータＧは、まとめ領域Ｓ毎に露光される。即ち、その時のまとめ領域Ｓ内にまとめ直された繰り返しパターンデータＧが露光される。そして、まとめ領域Ｓの大きさは、図２３に示される半導体チップ２０のサブフィールド２２の大きさに設定されている。従って、まとめ領域Ｓ内にまとめ直された繰り返しパターンＧは、図２２におけるＥＢ露光装置１０の第３電磁偏向器１７の制御のみにより偏光される電子ビームによって露光され、第２偏向器１６およびステージ１８は制御されない。
【００６７】
ところで、従来の繰り返し露光パターンデータ抽出においても、図７に示される本実施形態の繰り返しパターンＧよりなる露光パターンデータＲが抽出される。そして、露光パターンデータ群Ｒを従来の方法により変換した露光データを用いた場合、各繰り返しパターンＧは、例えば、最下列左端から上方に向かって順番に露光される。
【００６８】
この場合、繰り返しパターンＧは、図８に示されるまとめ領域Ｓにまとめ直されていないので、ＥＢ露光装置１０は、まとめ領域Ｓを越えて、即ち、図２３中のサブフィールド２２を越えて繰り返しパターンＧを露光する。即ち、ＥＢ露光装置１０は、露光データに基づいて第２，第３電磁偏向器１６，１７を制御する。すると、サブフィールド２２内の一列の繰り返しパターンＧが露光される毎に、第２電磁偏向器１６が制御される。即ち、図２３に示されるサブフィールド２２内の繰り返し露光パターンＧを露光している間にも第２電磁偏向器１６が制御されるので、第２電磁偏向器１６が制御される回数が多くなり、その分だけビーム移動時間が長くなる。
【００６９】
一方、本実施形態では、図８に示されるまとめ領域Ｓ内の複数の繰り返しパターンＧを露光している間、第２電磁偏向器１６は制御されないので、第２電磁偏向器１６を制御する回数が従来に比べて減少する。従って、第２電磁偏向器１６が制御されなくなった分だけ、ビーム移動時間が少なくなる。
【００７０】
更に、まとめ領域Ｓ内の繰り返しパターンＧが第３電磁偏向器１７により露光される間、第２電磁偏向器１６及びステージ１８は制御されないので、位置合わせ誤差の発生が防止されれ、露光精度が向上する。
【００７１】
次に、図２中のステップ５５におけるまとめ処理を、図３に示されるフローチャートのステップ７１〜８１に従って詳述する。
先ず、図３に示されるステップ７１は図２中のステップ５５における第１ステップであって、マトリクス認識処理（マトリクス認識手段）である。図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４２に格納された配置データ、即ち、図２中のステップ５２において抽出した露光パターンデータ群に対してマトリクス認識を行い、マトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を求める。
【００７２】
図３に示されるステップ７２〜７７は図２中のステップ５５における第２ステップであって、まとめ情報テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）である。先ず、図1 中のＣＰＵ３２は、図7 に示される露光パターンデータ群Ｒのｘ方向に対して処理を行う。
【００７３】
ステップ７２において、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のステップ５２において抽出した露光パターンデータ群Ｒ（図７参照）の繰り返しパターンＧがまとめ領域Ｓに最大幾つはいるかを求める。図1 中のＣＰＵ３２は、まとめ領域Ｓのｘ方向の長さを繰り返しパターンＧの領域αのｘ方向の長さで除算し、余りを切り捨てた結果をまとめ領域Ｓに対してｘ方向に収容可能な最大個数ａ（ｘ）とする。
【００７４】
次に、図３に示されるステップ７３において、図１中のＣＰＵ３２は、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの必要な個数を求める。ＣＰＵ３２は、図７中の露光パターンデータ群Ｒのマトリックス個数ｇｎ（ｘ）をステップ７２において求めた最大個数ａで除算し、切り上げた結果をまとめ領域Ｓが必要な個数ｂ（ｘ）とする。
【００７５】
次に、図３に示されるステップ７４において、図１中のＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して「均等配置」できるか否かを判断する。ＣＰＵ３２は、まとめ領域Ｓに対して分割する最小個数「２」からステップ７３において求めた個数ｂまでの数でｘ方向のマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を除算する。更に、ＣＰＵ３２は、その除算結果が割り切れる場合、その商が最大個数ａ（ｘ）以下か否かを判断する。そして、ＣＰＵ３２は、割り切れた除算結果の商が最大個数ａ以下の場合、「均等配置」可能であると判断し、その商の値をまとめ領域Ｓに対する分割の候補値ｃ（ｘ）に設定する。
【００７６】
そして、ＣＰＵ３２は、ステップ７３において求めた個数ｂ（ｘ）まで確認すると、ステップ７４からステップ７５に移る。個数ｂまでしか確認しないのは、繰り返しパターンＧをまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）よりも多くに分配すると、まとめ領域Ｓの配置個数が「単純配置」の場合よりも多くなり、かえって露光パターンデータのデータ量を多くするため、有効ではないからである。また、除算結果の商が最大個数ａ（ｘ）よりも多い場合には、まとめ領域Ｓ内に繰り返しパターンＧをまとめることができないため、この場合も有効としない。
【００７７】
即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ領域Ｓに対する繰り返しパターンＧの配置数が図７に示すように左下から単純にまとめた場合の数以下であって、まとめ領域Ｓにまとめる数がそのまとめ領域Ｓの最大個数ａ（ｘ）以下であり、且つ、全てのまとめ領域Ｓにおいて均等である場合である。これ以外の場合、ＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ）を設定しない。
【００７８】
次に、図３に示されるステップ７５において、図１中のＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧをまとめ領域Ｓにまとめる併合値ｄ（ｘ）を設定する。併合値ｄ（ｘ）は、まとめ領域Ｓに対してｘ方向に繰り返しパターンＧをまとめ直すときの配置数である。
【００７９】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ）が設定されている場合、その候補値ｃ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に格納する。一方、ステップ７４において候補値ｃ（ｘ）が設定されていない場合、図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において求めた最大個数ａ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に格納する。そして、ＣＰＵ３２は、併合値ｄ（ｘ）の設定を終了すると、図３中のステップ７５からステップ７６に移る。
【００８０】
ステップ７６において、図１中のＣＰＵ３２は、併合値の設定をｘ，ｙ方向ともに終了したか否かを判断する。そして、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の併合値ｄ（ｙ）の設定が終了していない場合、ステップ７２に戻り、ｙ方向に対する処理を実行する。即ち、図１中のＣＰＵ３２は、ｘ方向の併合値ｄ（ｘ）と同様に、最大個数ａ（ｙ），必要個数ｂ（ｙ），候補値ｃ（ｙ）を求め、併合値ｄ（ｙ）を設定する。そして、ｙ方向に対する処理を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ７６からステップ７７に移る。
【００８１】
図３に示されるステップ７７はまとめ情報テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２からステップ７６のループにおいて求めたｘ方向の候補値ｃ（ｘ）及び併合値ｄ（ｘ）とｙ方向の候補値ｃ（ｙ）及び併合値ｄ（ｙ）とに基づいて、まとめ情報テーブルを作成する。そのまとめ情報テーブルの作成において、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）及び併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）により発生するまとめ領域Ｓの種類を求める。
【００８２】
この時、Ｘ，Ｙ方向それぞれにb4で候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）が設定されている場合と設定されていない場合とがある。候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）がそれぞれ設定されている場合は、まとめ領域Ｓに対して繰り返しパターンＧが均等に分配可能、即ち、図７に示す「均等配置」の場合である。一方、候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）がそれぞれ設定されていない場合、まとめ領域Ｓに対して繰り返しパターンＧが均等に分配不可能、即ち、図７に示す「単純配置」の場合である。
【００８３】
従って、発生するまとめ領域Ｓの種類は、最大４種類となる。そして、図１中のＣＰＵ３２は、各々の組み合わせに応じてまとめ情報テーブルを作成する。図８に示すように、まとめ情報テーブル６１は、まとめテーブル６２と配置テーブル６３とから構成される。
【００８４】
図１中のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテーブル６２に対して、基の繰り返し露光パターンデータをどのようにまとめ直すかの情報をマトリクス表現で格納する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ直す基の繰り返しパターンＧのアドレスをアドレス６４に格納する。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２〜７６において求めた候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）及び併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）に基づいて図８に示されるまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）を求め、まとめテーブル６２に格納する。また、ＣＰＵ３２は、抽出した繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）をそれぞれ繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）としてまとめテーブル６２に格納する。
【００８５】
また、ＣＰＵ３２は、図８中の配置テーブル６３に対して、まとめ直した繰り返し露光パターンデータをどの位置に配置するのかの情報をマトリクス表現で格納する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ直したまとめ領域Ｓの種類を種類数６５に格納する。更に、ＣＰＵ３２は、使用する種類のまとめ領域Ｓのアドレスをアドレス６６に、まとめ領域Ｓの繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）、まとめ領域Ｓの繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）を格納する。
【００８６】
図１中のＣＰＵ３２は、図８に示されるまとめテーブル６２を図１中のデータテーブル４６に、図８に示される配置テーブル６３を図１中のデータファイル４７に格納する。そして、両データファイル４６，４７への格納が終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図３に示されるステップ７７からステップ７８に移る。
【００８７】
次に、図３に示されるステップ７８は図２中のステップ５５における第３ステップであって、露光データ（配置データ）再作成処理（露光データ（配置データ）再作成手段）である。図２中のデータファイル４２に格納された配置データを入力する。そして、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ７７において作成した図８中のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の配置データをまとめた後の配置データに再作成し、その再作成後の配置データを中間データとしてデータファイル４４に格納する。
【００８８】
次に、図３に示されるステップ７９〜８１は図２中のステップ５５における第４ステップであって、露光データ（パターン）再作成処理（露光データ（パターン）再作成手段）である。ステップ７９において、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４４に格納された仮露光データを入力し、基の露光パターン、即ち、繰り返しパターンＧ（図７参照）が単独表現か否かを判断する。そして、繰り返しパターンＧが単独表現の場合、図１中のＣＰＵ３２は、図３に示されるステップ７９からステップ８０に移る。
【００８９】
ステップ８０において、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ７７において作成した図８中のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の繰り返し露光パターンデータをまとめた後の繰り返し露光パターンデータに再作成する。そして、ＣＰＵ３２は、その再作成後の繰り返し露光パターンデータをデータファイル４４に格納する。
【００９０】
一方、図３中のステップ７９において繰り返しパターンＧが単独表現ではない、即ち、繰り返しパターンＧが更に複数の基本パターンデータをｘ，ｙ方向に繰り返すマトリックス表現である場合、図１中のＣＰＵ３２はステップ７９からステップ８１に移る。ステップ８１はパターンデータ展開処理（パターンデータ展開手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、マトリックス表現の繰り返しパターンＧの展開処理を行う。
【００９１】
この時、図１中のＣＰＵ３２は、入力した繰り返しパターンＧを構成する基本パターンデータのマトリックス個数と、図３中のステップ７７において求められ図８中のまとめテーブル６２に格納された繰り返しパターンＧのまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）とを比較する。そして、ＣＰＵ３２は、比較結果に基づいて、個数の少ない方を展開したマトリックス表現にて再作成した新たな露光パターンデータをデータファイル４４に格納する。
【００９２】
例えば、図９（ａ）に示すように、まとめ領域Ｓには９個の繰り返しパターンＧがまとめ直されており、各繰り返しパターンＧは、それぞれ４個の基本パターンデータＧ１のマトリックスにより表現されている。この場合、繰り返しパターンＧのまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）はそれぞれ「３」であり、基本パターンデータＧ１のマトリックス個数はｘ，ｙ方向にそれぞれ「２」である。そして、図９（ａ）に実線で示す露光パターンデータＧ１により構成される繰り返しパターンＧを、点線で示すようにｘ方向，ｙ方向に９回繰り返し露光する。
【００９３】
従って、図１中のＣＰＵ３２は、少ない方、即ち、基本パターンデータＧ１のマトリックス個数を展開し、３×３のマトリックス表現された基本パターンデータＧ１により構成される２×２、即ち、４個の新たな繰り返しパターンＧ２に展開する。そして、図９（ａ）と同様に図９（ｂ）においても実線で示す露光パターンデータＧ１により構成される繰り返しパターンＧ２を点線で示すようにｘ方向，ｙ方向に４回繰り返し露光する。従って、まとめ領域Ｓの繰り返し数は、９個から４個の減少する。
【００９４】
ところで、露光データは、繰り返し露光される繰り返し露光パターンデータがその繰り返し数だけ並べて記述される。従って、露光データは、まとめ領域Ｓを構成する９個の繰り返しパターンＧを４個の繰り返しパターンＧ２に変更することにより、その分だけデータ量が少なくなる。
【００９５】
次に、ステップ７７におけるまとめ情報テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）を図４及び図５に示されるフローチャートに従って詳述する。
先ず、図４中のステップ１０１，１０２と図５中のステップ１０３において、図１中のＣＰＵ３２は、まとめ領域Ｓに対する分割方法に応じて分岐する。即ち、ＣＰＵ３２は、ｘ方向とｙ方向とにそれぞれ設定される「均等配置」又は「単純配置」に基づいて、分岐する。
【００９６】
具体的には、図１中のＣＰＵ３２は、先ず図４中のステップ１０１において、図３中のステップ７４において求めた候補値ｃ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを比較する。そして、ＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とが一致する場合にはステップ１０２へ、一致しない場合には図５中のステップ１０３へ分岐する。
【００９７】
次に、ステップ１０２，１０３において、図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において求めた候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とをそれぞれ比較する。そして、ＣＰＵ３２は、図４のステップ１０２において、候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とが一致する場合にはステップ１０４へ、一致しない場合にはステップ１０７へ分岐する。また、ＣＰＵ３２は、図５のステップ１０３において、候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とが一致する場合にはステップ１１２へ、一致しない場合にはステップ１１７へ分岐する。
【００９８】
即ち、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）とが一致する、即ち、ｘ方向及びｙ方向に「均等配置」される場合に図４中のステップ１０４に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先ずステップ１０４において、図８中の配置テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「１」を格納する。
【００９９】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０５においてまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）を、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）を格納する。また、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１００】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０６において配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）とをそれぞれ乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１０１】
また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）が一致し候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とが一致しない、即ち、ｘ方向には「均等配置」されｙ方向には「単純配置」される場合に図４中のステップ１０７に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先ずステップ１０７において、図８中の配置テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「２」を格納する。
【０１０２】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０８において１種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）を格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）、即ち、ｙ方向の最大個数ａ（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１０３】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０９において１種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））で除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））とをそれぞれ乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１０４】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１１０において２種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）を格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）にマトリックス個数ｇｎ（ｙ）を最大個数ａ（ｙ）にて除算した余りを格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１０５】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１１１において２種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した結果を繰り返し個数ｓｎ（ｘ）に格納する。一方、ｙ方向に対しては、２種類目のまとめ領域Ｓには、単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に「１」を格納する。
【０１０６】
また、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ）に格納する。一方、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｙ）に「０」を格納する。
【０１０７】
また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）が一致せず候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）が一致する、即ち、ｘ方向には「単純配置」されｙ方向には「均等配置」される場合に図５中のステップ１１２に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先ずステップ１１２において、図８中の配置テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「２」を格納する。
【０１０８】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１３において１種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）、即ち、ｘ方向の最大個数ａ（ｘ）を格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１０９】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１４において１種類目の配置テーブル６３を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）で除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）とをそれぞれ乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１１０】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１５において２種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）にマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した余りを格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１１１】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１６において２種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して２種類目のまとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰り返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ方向のマトリックス個数ｓｎ（ｘ）に「１」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ方向に対してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｙ）を併合値ｄ（ｙ）にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に格納する。
【０１１２】
また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｘ）に「０」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１１３】
また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）が共に一致しない、即ち、ｘ方向及びｙ方向に「単純配置」される場合に図５中のステップ１１７に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先ずステップ１１７において、図８中の配置テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「４」を格納する。
【０１１４】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１８において１種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ））を、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））を格納する。また、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１１５】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１１９において１種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））とをそれぞれ乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１１６】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２０において２種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）にマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した余りを格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））を格納する。また、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１１７】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２１において２種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して２種類目のまとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰り返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ方向のマトリックス個数ｓｎ（ｘ）に「１」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ方向に対してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｙ）を併合値ｄ（ｙ）にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に格納する。
【０１１８】
また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｘ）に「０」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｙ）に格納する。
【０１１９】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２２において３種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ））を格納する。また、ＣＰＵ３２は、、まとめ個数ｍｎ（ｙ）にマトリックス個数ｇｎ（ｙ）を最大個数ａ（ｙ）にて除算した余りを格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１２０】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２３において３種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した結果を繰り返し個数ｓｎ（ｘ）に格納する。一方、ｙ方向に対しては、３種類目のまとめ領域Ｓには、単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に「１」を格納する。
【０１２１】
また、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ）に格納する。一方、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｙ）に「０」を格納する。
【０１２２】
次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２４において４種類目のまとめテーブル６２（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）に対して、マトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ最大個数ａ（ｘ），ａ（ｙ）にて除算した余りを格納する。また、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。
【０１２３】
更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のステップ１２５において４種類目の配置テーブル６３（図８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して、４種類目のまとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰り返しはない。また、ｙ方向に対して４種類目のまとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ，ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に「１」を格納する。
【０１２４】
また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがない。また、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがない。従って、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に「０」を格納する。
【０１２５】
次に、上記のように構成された露光データ作成装置３１の作用を図１０〜２１に従って説明する。
先ず、図１０〜１２に従って、Ｘ，Ｙ方向共に均等配置できる場合について説明する。
【０１２６】
図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設計データから図１０に示す露光パターンデータ群Ｒを抽出する。露光パターンデータ群Ｒは、８１個の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列されている。
【０１２７】
図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパターンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝９と、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。
【０１２８】
次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において図１０に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３においてまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。
【０１２９】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において判定条件に当てはまるため均等配置可能と判断し、候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。これにより、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が設定されているため、併合値ｄ（ｘ）＝候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。
【０１３０】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６においてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、ＣＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはまるため均等配置可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）＝３を設定し、ステップ７５において併合値ｄ（ｙ）＝候補値ｃ（ｙ）＝３を設定する。
【０１３１】
次に、図３中のステップ７７において、図１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）共に設定されているため、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１，１０２の判定によりステップ１０４へ分岐する。
【０１３２】
図４中のステップ１０４において、図１中のＣＰＵ３２は、Ｘ，Ｙ方向共に均等配置できるためまとめ領域Ｓの種類は１種類となり、図８中のまとめテーブル６２の種類数６５に「１」を格納する。
【０１３３】
次に、図４中のステップ１０５において、図１中のＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝３であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝３，ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。
【０１３４】
更に、図４中のステップ１０６において、図１中のＣＰＵ３２は、配置テーブル６３を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝９÷３＝３、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝９÷３＝３となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×３、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×３となる。
【０１３５】
その結果、図１１に示すように、各値が格納された１種類のまとめテーブル６２と配置テーブル６３とにより図１０中の露光パターンデータ群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。
【０１３６】
図３中のステップ７８において、図１中のＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づいて、ステップ７１にて入力した８１個の繰り返しパターンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓの配置データに置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露光パターンデータとして出力する。
【０１３７】
従って、図１０に示される露光パターンデータ群Ｒの配置数は、８１個から９個に減少する。そして、図１２に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×３個の繰り返しパターンＧにより構成される１種類のまとめ領域Ｓを、繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）にて露光する事により、露光パターンデータ群Ｒが露光される。
【０１３８】
次に、図１３〜１５に従って、Ｘ方向にのみ均等配置できる場合について説明する。
図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設計データから図１３に示す露光パターンデータ群Ｒを抽出する。露光パターンデータ群Ｒは、９０個の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列されている。
【０１３９】
図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパターンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝１０と、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。
【０１４０】
次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において図１３に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３においてまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。
【０１４１】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において判定条件に当てはまるため均等配置可能と判断し、候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。そのため、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が設定されているので、併合値ｄ（ｘ）＝候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。
【０１４２】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６においてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、ＣＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはまらないため均等配置不可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、ステップ７５において併合値ｄ（ｙ）＝最大個数ａ（ｙ）＝４を設定する。
【０１４３】
次に、図３中のステップ７７において、図１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ）は設定されているが候補値ｃ（ｙ）は設定されていないので、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１，１０２の判定によりステップ１０７へ分岐する。そして、図４中のステップ１０７において、図１中のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテーブル６２の種類数６５にまとめ領域Ｓの種類数「２」を格納する。
【０１４４】
次に、図４中のステップ１０８において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２ａ（図１４参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ａのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝３，ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝４を設定する。
更に、図４中のステップ１０９において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テーブル６３を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝１０、併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝４であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝９÷３＝３、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝１０÷４＝２（商）となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×３、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×４となる。
【０１４５】
次に、図４中のステップ１１０において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２ｂ（図１４参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｂのｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝３を設定する。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）÷最大個数ａ（ｙ）＝１０÷４の余り）を設定する。
【０１４６】
更に、図４中のステップ１１１において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝９÷３＝３となる。一方、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されるｙ方向の繰り返し配置が無いので、繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝１となる。
【０１４７】
また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×３となる。一方、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝０となる。
【０１４８】
その結果、図１４に示すように、各値が格納された２種類のまとめテーブル６２ａ，６２ｂと、配置テーブル６３とにより図１３中の露光パターンデータ群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、図１５に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×４のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×２のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂとが構成される。そして、露光パターンデータ群Ｒは、６個の１種類目のまとめ領域Ｓａと３個の２種類目のまとめ領域Ｓｂにより露光される。
【０１４９】
図３中のステップ７８において、図１中のＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づいて、ステップ７１にて入力した９０個の繰り返しパターンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（６個のまとめ領域Ｓａと３個のまとめ領域Ｓｂ）の配置データに置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露光パターンデータとして出力する。この結果、繰り返しパターンデータの配置数は、９０個から９個に減少する。
【０１５０】
次に、図１６〜１８に従って、Ｙ方向にのみ均等配置できる場合について説明する。
図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設計データから図１６に示す露光パターンデータ群Ｒを抽出する。露光パターンデータ群Ｒは、９９個の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列されている。
【０１５１】
図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパターンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ（ｘ）＝１１，ｇｎ（ｙ）＝９と、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。
【０１５２】
次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において図１６に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３においてまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。
【０１５３】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において判定条件に当てはまらないため均等配置不可能と判断し、候補値ｃ（ｘ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が設定されていないため、併合値ｄ（ｘ）＝最大個数ａ（ｘ）＝４を設定する。
【０１５４】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６においてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、ＣＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはまるため均等配置可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）＝３を設定する。そのため、ＣＰＵ３２は、ステップ７５において候補値ｃ（ｙ）が設定されているので、併合値ｄ（ｙ）＝候補値ｃ（ｙ）＝３を設定する。
【０１５５】
次に、図３中のステップ７７において、図１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ）は設定されていないが候補値ｃ（ｙ）は設定されているので、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１及び図５中のステップ１０３の判定によりステップ１１２へ分岐する。そして、図５中のステップ１１２において、図１中のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテーブル６２の種類数６５にまとめ領域Ｓの種類数「２」を格納する。
【０１５６】
次に、図５中のステップ１１３において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２ａ（図１７参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝３であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ａのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝４，ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。
【０１５７】
更に、図５中のステップ１１４において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テーブル６３を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝１１，ｇｎ（ｙ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１１÷４＝３（商）、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝９÷３＝３となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×４、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×３となる。
【０１５８】
次に、図５中のステップ１１５において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２ｂ（図１７参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝３であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｂのｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝３（繰り返し個数ｇｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１１÷４の余り）を設定する。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。
【０１５９】
更に、図５中のステップ１１６において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３を作成する。この時、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されるｘ方向の繰り返し配置が無いので、繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝１となる。一方、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｙ）＝９、併合値ｄ（ｙ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝９÷３＝３となる。
【０１６０】
また、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ方向の繰り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝０となる。一方、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×３となる。
【０１６１】
その結果、図１７に示すように、各値が格納された２種類のまとめテーブル６２ａ，６２ｂと、配置テーブル６３とにより図１６中の露光パターンデータ群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、図１８に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝４×３のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×３のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂとが構成される。そして、露光パターンデータ群Ｒは、６個の１種類目のまとめ領域Ｓａと３個の２種類目のまとめ領域Ｓｂにより露光される。
【０１６２】
図３中のステップ７８において、図１中のＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づいて、ステップ７１にて入力した９９個の繰り返しパターンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（６個のまとめ領域Ｓａと３個のまとめ領域Ｓｂ）の配置データに置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露光パターンデータとして出力する。この結果、繰り返しパターンデータの配置数は、９９個から９個に減少する。
【０１６３】
更に次に、図１９〜２１に従って、Ｘ，Ｙ方向共に均等配置できない場合について説明する。
図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設計データから図１９に示す露光パターンデータ群Ｒを抽出する。露光パターンデータ群Ｒは、１００個の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列されている。
【０１６４】
図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパターンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ（ｘ）＝１０，ｇｎ（ｙ）＝１０と、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。
【０１６５】
次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において図１９に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３においてまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。
【０１６６】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において判定条件に当てはまらないため均等配置不可能と判断し、候補値ｃ（ｘ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が設定されていないため、併合値ｄ（ｘ）＝最大個数ａ（ｘ）＝４を設定する。
【０１６７】
ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６においてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、ＣＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはまらないため均等配置不可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、ステップ７５において候補値ｃ（ｙ）が設定されていないため、併合値ｄ（ｙ）＝最大値ａ（ｙ）＝４を設定する。
【０１６８】
次に、図３中のステップ７７において、図１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）は共に設定されていないので、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１及び図５中のステップ１０３の判定によりステップ１１７へ分岐する。そして、図５中のステップ１１７において、図１中のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテーブル６２の種類数６５にまとめ領域Ｓの種類数「４」を格納する。
【０１６９】
次に、図５中のステップ１１８において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２ａ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ａのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝４，ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝４を設定する。
【０１７０】
更に、図５中のステップ１１９において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テーブル６３（図２０参照）を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝１０，ｇｎ（ｙ）＝１０、併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝４であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１０÷４＝２（商）、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝１０÷４＝２（商）となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×４、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×４となる。
【０１７１】
次に、図５中のステップ１２０において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２ｂ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｂのｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１０÷４の余り）を設定する。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ（ｙ）＝併合値ｄ（ｙ）＝４を設定する。
【０１７２】
更に、図５中のステップ１２１において、図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３（図２０参照）を作成する。この時、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ方向の繰り返し配置が無いので、繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝１となる。一方、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｙ）＝１０、併合値ｄ（ｙ）＝４であるため、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余り）となる。
【０１７３】
また、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ方向の繰り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝０となる。一方、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×４となる。
【０１７４】
次に、図５中のステップ１２２において、図１中のＣＰＵ３２は、３種類目のまとめテーブル６２ｃ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｃのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝４，ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余り）を設定する。
【０１７５】
更に、図５中のステップ１２３において、図１中のＣＰＵ３２は、３種類目の配置テーブル６３（図２０参照）を作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝１０、併合値ｄ（ｘ）＝４であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１０÷４＝２（商）となる。一方、３種類目のまとめ領域Ｓにはｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し配置がないので、繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝１となる。
【０１７６】
また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×４となる。一方、３種類目のまとめ領域Ｓにはｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝０となる。
【０１７７】
更に次に、図５中のステップ１２４において、図１中のＣＰＵ３２は、４種類目のまとめテーブル６２ｄ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｄのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１０÷４の余り）を、まとめ個数ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余り）設定する。
【０１７８】
次に、図５中のステップ１２５において、図１中のＣＰＵ３２は、４種類目の配置テーブル６３（図２０参照）を作成する。この時、３種類目のまとめ領域Ｓにはｘ方向及びｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ，ｙ方向共に繰り返し配置がないので、繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝１，ｓｎ（ｙ）＝１となる。また、３種類目のまとめ領域Ｓにはｘ方向及びｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ，ｙ方向共に繰り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝０，ｓｐ（ｙ）＝０となる。
【０１７９】
その結果、図２０に示すように、各値が格納された４種類のまとめテーブル６２ａ〜６２ｄと、配置テーブル６３とにより図１９中の露光パターンデータ群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、図２１に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝４×４のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝２×４のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝４×２のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる３種類目のまとめ領域Ｓｃと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝２×２のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる４種類目のまとめ領域Ｓｄとが構成される。そして、露光パターンデータ群Ｒは、４個の１種類目のまとめ領域Ｓａ、２個の２種類目のまとめ領域Ｓｂ、２個の３種類目のまとめ領域Ｓｃ、及び、１個の４種類目のまとめ領域Ｓｄにより露光される。
【０１８０】
そして、図３中のステップ７８において、図１中のＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づいて、ステップ７１にて入力した１００個の繰り返しパターンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（４個のまとめ領域Ｓａ、２個のままとめ領域Ｓｂ、２個のまとめ領域Ｓｃ、及び、１個のまとめ領域Ｓｄ）の配置データに置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露光パターンデータとして出力する。この結果、繰り返しパターンデータの配置数は、１００個から９個に減少する。
【０１８１】
以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
○半導体集積回路の設計データから繰り返し性のある露光パターンデータを露光パターンデータ群として抽出するとともに、設計データを変換した仮露光データを作成する。露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域にまとめ直すまとめ情報テーブルを作成する。そして、作成したまとめ情報テーブルに基づいて、仮露光パターンデータをまとめなおした正式な露光データを作成するようにした。その結果、繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域にまとめ直した分、露光データのデータ量を少なくすることができる。
【０１８２】
○データファイル４５に格納された正式な露光データは、露光媒体としてのウェハ１９を露光する場合に利用され、繰り返しパターンデータＧは、まとめ領域Ｓ毎に露光される。即ち、その時のまとめ領域Ｓ内にまとめ直された繰り返しパターンデータＧが露光される。そして、まとめ領域Ｓの大きさは、図２３に示される半導体チップ２０のサブフィールド２２の大きさに設定されている。従って、まとめ領域Ｓ内にまとめ直された繰り返しパターンＧは、図２２におけるＥＢ露光装置１０の第３電磁偏向器１７の制御のみにより偏光される電子ビームによって露光され、第２偏向器１６およびステージ１８は制御されない。その結果、第２電磁偏向器１６を制御する回数が従来に比べて減少し、第２電磁偏向器１６が制御されなくなった分だけ、ビーム移動時間が少なくなる。更に、まとめ領域Ｓ内の繰り返しパターンＧが第３電磁偏向器１７により露光される間、第２電磁偏向器１６及びステージ１８は制御されないので、位置合わせ誤差の発生が防止されれ、露光精度が向上する。
【０１８３】
尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の態様で実施してもよい。
上記実施形態では、まとめ領域Ｓの大きさを図２３に示される半導体チップ２０のサブフィールド２２の大きさに設定したが、適宜変更して実施してもよい。例えば、まとめ領域Ｓの大きさをサブフィールド２２を更に複数に分割した１つの大きさ、複数のサブフィールド２２をまとめた大きさ、フィールド２１の大きさ等に設定して実施しても良い。
【０１８４】
上記実施形態では、図３中のステップ７２〜７６のループにおいて先ずｘ方向に対する併合値ｄ（ｘ）等を求め、次にｙ方向に対する併合値ｄ（ｙ）等を求める用にしたが、ステップ７２〜７５においてｘ方向とｙ方向の各値をそれぞれ求め、ステップ７６を省略して実施してもよい。
【０１８５】
上記実施形態において、ブロックパターンデータ５１を格納するデータファイル４５と、ブロック配置データ６１を格納するデータファイル４６をメモリ３３上に設けたが、データファイル４５，４６をそれぞれ磁気ディスク３４上に設けて実施してもよい。
【０１８６】
上記実施形態では、露光媒体として半導体ウェハ１９にＬＳＩの設計パターンを露光する場合について説明したが、露光媒体としてはウェハ以外の物でもよく、例えば、ＬＣＤやＰＤＰ等のパネルにパターンを露光する場合に用いてもよい。
【０１８７】
上記実施形態のプログラムを記憶した記憶媒体は、コンピュータソフトウエアを記録できるものならどのようなものでもよい。具体的には、半導体メモリ、フロッピ−デイスク（ＦＤ）、ハードディスク（ＨＤ）、光ディスク（ＣＤ−ＲＯＭ）、光磁気ディスク（ＭＯ，ＭＤ）、相変化ディスク（ＰＤ）、磁気テープ等を含むものである。
【０１８８】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１乃至５に記載の発明によれば、繰り返しの多い露光パターンデータのデータ量を少なくすることが可能な露光データ生成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 一実施形態の露光データ作成装置の概略構成図。
【図２】 一実施形態の露光データ作成処理のフローチャート。
【図３】 一実施形態のまとめ処理のフローチャート。
【図４】 一実施形態のまとめ情報テーブル作成処理のフローチャート。
【図５】 一実施形態のまとめ情報テーブル作成処理のフローチャート。
【図６】 繰り返し露光領域とまとめ領域との関係を示す説明図。
【図７】 繰り返しパターンのまとめ方を示す説明図。
【図８】 まとめ情報テーブルの概略構成図。
【図９】 （ａ）（ｂ）は繰り返し露光パターンデータの展開を示す説明図。
【図１０】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。
【図１１】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを示す説明図。
【図１２】 生成される露光パターンデータと描画状態を示す説明図。
【図１３】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。
【図１４】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを示す説明図。
【図１５】 生成される露光パターンデータと描画状態を示す説明図。
【図１６】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。
【図１７】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを示す説明図。
【図１８】 生成される露光パターンデータと描画状態を示す説明図。
【図１９】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。
【図２０】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを示す説明図。
【図２１】 生成される露光パターンデータと描画状態を示す説明図。
【図２２】 電子ビーム露光装置の概略構成図。
【図２３】 半導体チップの概略平面図。
【符号の説明】
５２ 繰り返しデータ抽出手段
５４ 仮露光データ作成手段
５５ まとめ手段
５７ 露光データ構築手段

Claims (5)

1. 半導体集積回路を露光媒体上に露光するために用いられる露光データを作成する露光データ作成方法であって、
   前記半導体集積回路の設計データから繰り返し性のある露光パターンデータを露光パターンデータ群として抽出するステップと、
   前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブルを作成するステップと、
   前記まとめ情報テーブルに基づいて前記設計データをまとめ直した露光データを作成するステップと
   を備え、
   前記まとめ情報を作成するステップは、
   前記露光パターンデータ群を認識し、前記露光パターンデータ群を構成する露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとを求める第１のステップと、
   前記露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとに基づいて、前記まとめ領域に格納する基の露光パターンデータのまとめ情報テーブルを求める第２のステップと、
   前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターンデータ群の配置データを再作成する第３のステップと、
   前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターデータのパターンデータを再作成する第４のステップと
   から構成され、
   前記第２のステップは、
   前記まとめ領域に対して前記繰り返し露光パターンデータを格納する最大個数を求めるステップと、
   前記露光パターンデータ群の全ての繰り返し露光パターンデータを格納するのに必要なまとめ領域の個数を求めるステップと、
   前記まとめ領域に対して繰り返し露光パターンデータを均等配置できるか否かを判断し、その判断結果に基づいて均等配置できる場合に前記まとめ領域に繰り返しパターンデータを均等に配置する個数を候補値に設定するステップと、
   前記候補値に基づいて、該候補値が設定されていない場合には前記最大個数をまとめ領域に対する前記繰り返しパターンデータの併合値に設定し、前記候補値が設定されている場合には該候補値を併合値に設定するステップと、
   前記候補値と併合値とに基づいて前記まとめ情報テーブルを作成するステップと
   から構成された露光データ作成方法。
2. 請求項１に記載の露光データ作成方法において、
   前記まとめ情報を作成するステップは、
   前記まとめ領域に対するｘ方向とｙ方向の候補値及び併合値に基づいて前記まとめテーブル及び配置テーブルを作成するものであり、
   前記全てのまとめ領域に対して均等配置できる場合には１種類の前記まとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップと、
   前記ｘ方向またはｙ方向に対して均等配置できる場合にはそれぞれ２種類のまとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップと、
   前記ｘ方向及びｙ方向に対して均等配置できない場合には４種類のまとめテーブルと配置テーブルとを作成するステップと
   から構成された露光データ作成方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載の露光データ作成方法において、
   前記第４のステップは、
   基の露光パターンデータが単独表現か、複数の基本パターンデータを繰り返すマトリックス表現かを判断するステップと、
   前記判断結果に基づいて、露光パターンデータが単独表現の場合に露光データの再作成を行うステップと、
   前記判断結果に基づいて、基の露光パターンデータがマトリックス表現の場合に、該基の露光パターンデータを展開して露光データの再作成を行うステップと
   から構成された露光データ作成方法。
4. 請求項３に記載の露光データ作成方法において、
   前記露光パターンデータを展開するときに、前記基の露光パターンデータの繰り返し個数と、該露光パターンデータを構成する基本パターンデータのマトリックス個数とを比較し、少ない方を展開して新たな繰り返し露光パターンデータを作成するようにした露光データ作成方法。
5. 請求項１及至４のうちのいずれか１項に記載の露光データ作成方法において、
   前記露光データは、露光装置に備えられ露光媒体を移動させるステージと、前記露光媒体を露光するビームを該露光媒体の所望位置に移動させる偏向器とを制御するために利用されるものであり、
   前記まとめ領域は、前記露光装置のビーム移動させる偏向器に対応した領域に設定された露光データ作成方法。

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