JP3976834B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、特に、磁気テープ、磁気ディスク等に用いられる薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
薄膜型磁気記録媒体は、塗布型磁気記録媒体に比べ、磁性材料の充填密度が高く、高密度記録に適し、電磁変換特性上有利であることなどから、近年、実用化されている。
【0003】
磁気記録媒体は、通常、非磁性支持体上に金属磁性層を設け、さらに該金属磁性層上に潤滑層を設け、スチル特性、摩擦特性等の向上を図っている。
【0004】
しかし、薄膜型磁気記録媒体は、塗布型磁気記録媒体のように磁性金属粉末をバインダー中に分散させた塗料を支持体上に塗布、乾燥して磁性層を形成するのではなく、磁性金属を真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の方法により支持体上に形成させるため、金属磁性層上に潤滑層を設けるだけでは磁気記録媒体の摩擦特性やスチル特性、耐蝕性等の信頼性に欠けるという問題がある。
【0005】
そこで近年、磁性層と潤滑層の間にプラズマ重合膜の保護層を設けることにより上記問題点を解決することが提案されている(特公平7−66528号公報)。しかしながら、この場合、耐候性、実走行テスト等の向上を図ることができるが、保護層と潤滑層の密着性が良好ではなく、潤滑剤の脱離などが起こるため、ヘッド付着、ヘッド目詰まり等が生じ、耐久性に欠けるという問題がある。
【0006】
そこでこの保護層と潤滑層の間の密着性の改善の一方法として、保護層を表面処理することによって保護層表面に官能基を生成し、官能基を化学修飾するOH基、COOH基を末端にもつ潤滑剤を塗布する方法が提案されている(特開昭63−136316号公報)。さらに、保護層表面にカルボニル基を生成することにより磁気記録媒体の耐久性の向上を図る報告もされている(特開平3−35419号公報、等)。
【0007】
また、特公平8−33994号公報には、金属薄膜上に保護層としてダイヤモンド状炭素膜を形成し、その直後に真空処理法にて前記ダイヤモンド状炭素膜上に酸化層を形成し、その後、潤滑層を設けることによって、保護膜と潤滑層の密着性の向上を図る技術が提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開昭63−136316号、特開平3−35419号公報に記載のいずれの技術によっても、ヘッドと磁気記録媒体面との間の接触式連続摺動における耐摺動潤滑性、耐久走行性、摩擦特性等においていまだ十分に満足し得る程度にまでその効果が得られていない。
【0009】
また、特公平8−33994号公報で開示されている方法は、ヘッド目詰まりの低減等において効果がみられるものの、スチル耐久性において十分な効果が得られない等の問題がある。この原因としては、おそらく、特公平8−33994号公報で開示の方法においては、保護層および酸化層形成時、支持体搬送用ローラと金属磁性層との間にバイアス電圧が印加されているため、酸化層形成時に保護層へのダメージが大きくなることによるものと考えられる。これは推測するに、バイアス電圧が印加されていると、酸化層形成時に保護層へプラズマ放電で発生したイオンにバイアス電圧のエネルギーが常に一定量付加的に供給されることとなり、プラズマ処理開始時のプラズマ放電パワー量が低い場合でも、バイアス電圧印加分のパワーが保護層に加わってしまい、そのためプラズマ処理工程を通じて酸化層形成における保護層表面へ与えるダメージが大きくなり、結果としてプラズマ重合膜全体の特性が低下し、スチル特性が低下するものと考えられる。
【0010】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、特に薄膜型磁気記録媒体において、摩擦特性、耐久走行性、スチル特性等の向上した磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、非磁性支持体の少なくとも一方の面上に、磁性層と、該磁性層上に積層された保護層と、該保護層上に設けられた潤滑層からなる磁気記録媒体の製造方法であって、
ロール表面に沿って搬送される非磁性支持体の面上に磁性層を設けた後、前記磁性層上に保護層として炭素含有プラズマ重合膜を形成し、次いで、前記ロールと同一または異なったロール上において、該ロールにバイアス電圧を印加することなく炭素含有プラズマ重合膜を、パワー(W)×処理時間(sec)が150〜700の条件下でプラズマ処理にて表面処理することにより、該炭素含有プラズマ重合膜表面に、炭素と酸素の二重結合成分を生成し、該酸素と二重結合している炭素を炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で含有させた後、該炭素含有プラズマ重合膜上にフッ化アルコールと脂肪酸とのエステルからなる潤滑層(ただし、該潤滑層は分子末端に少なくともアミノ基[−NH 2 ]或いはN,N−ジメチルアミノ基[−N(CH 3 ) 2 ]を有するアルキルアミン系潤滑剤を含まない)を形成する、磁気記録媒体の製造方法が提供される。
また本発明によれば、非磁性支持体の少なくとも一方の面上に、磁性層と、該磁性層上に積層された保護層と、該保護層上に設けられた潤滑層からなる磁気記録媒体であって、前記保護層が炭素含有プラズマ重合膜であり、かつ該炭素含有プラズマ重合膜表面に、炭素と酸素の二重結合成分を生成し、該酸素と二重結合している炭素を炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で含有させてなり、前記潤滑層がフッ化アルコールと脂肪酸とのエステルからなる(ただし、該潤滑層は分子末端に少なくともアミノ基[−NH 2 ]或いはN,N−ジメチルアミノ基[−N(CH 3 ) 2 ]を有するアルキルアミン系潤滑剤を含まない)、磁気記録媒体が提供される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について図面を参照しながら説明する。
【0013】
図1は本発明の磁気記録媒体の製造一例を示す説明図である。図1において、真空槽(チャンバー)1内には、繰出しロール2、メインロール51、52、巻取りロール3が配設され、繰出しロール2から繰出された非磁性支持体4は、矢印方向に回転するメインロール51、52に沿って搬送され、巻取りロール3に巻取られるようになっている。なお、繰出しロール2には、すでに一方の面上に磁性層が形成された非磁性支持体4が巻装されており、メインロール51、52表面に沿って搬送時には、非磁性支持体の上記金属磁性層非形成側である他方の面側がメインロール51、52の表面と接するようにして搬送される。
【0014】
チャンバー1内の所定位置には、メインロール51、52に相対して、それぞれ保護層(炭素含有プラズマ重合膜)形成用装置10、保護層(炭素含有プラズマ重合膜)表面処理装置20が配設され、繰出しロール2から繰出された非磁性支持体上の磁性層上に保護層形成用装置10により保護層を形成し、次いで、保護層表面処理装置20により該保護層の表面処理を行うようになっている。そして、保護層の表面処理がされた非磁性支持体4は、巻取りロール3に巻き取られ、その後、該表面処理された保護層上に潤滑層を形成し、磁気記録媒体が得られる。
【0015】
保護層形成用装置10は、メインロール51に向けて開口する保護層形成用ノズル11とこれに連通するガス導入口12を有し、保護層形成用ノズル11内には、電極13が配設され、外部電源14と接続されている。そして、ガス導入口12から反応ガスを導入するとともに、所定電力を印加することにより、ノズル11内にプラズマを発生させ、該ノズル11の開口部にてメインロール51上を搬送される非磁性支持体4の磁性層上に保護層を形成する。保護層形成用装置10は、一般にアースに接続される。なお、このメインロール51は、外部電源15によってバイアスを印加することも可能である。このバイアスを印加することにより、後述の保護層表面処理時とは異なり、プラズマ重合を促進できるため、炭素含有プラズマ重合膜をさらに硬質化させることができるという効果を得ることが可能となる。
【0016】
保護層表面処理装置20は、メインロール52に向けて開口する保護層表面処理用ノズル21とこれに連通するガス導入口22を有し、保護層表面処理用ノズル21内には、電極23が配設され、外部電源24と接続されている。そして、ガス導入口22から反応ガスを導入するとともに、所定電力を印加することにより、ノズル内にプラズマを発生させ、該ノズル21の開口部にてメインロール52上を搬送される非磁性支持体4上の保護層表面を処理するようになっている。保護層形成用装置10、保護層表面処理装置20は、圧力コントロールやコンタミネーションを避けるため、互いに隔壁を介して配設しておくのが好ましい。
【0017】
本発明では、メインロール52にバイアス電圧の印加を行わずに金属磁性層上の保護層に表面処理を行う。従来、一般に、メインロール52にバイアス電圧を印加して保護層表面処理等を行っていたが、このような方法では保護層にむしろダメージを与えることとなる。本発明ではメインロール52にバイアス電圧の印加をせずに、これら処理を行うことにより、保護層の特性、特にスチル特性の向上を図ることができる。
【0018】
なお、図1は、保護層形成と、保護層表面処理をそれぞれ別のロール上で行う例を示したが、本発明では、図2に示すように同一ロール5上で保護層形成と保護層表面処理を行ってもよい。なお、図2において、図1中に示すものと同一のものには同一符号を付して、説明を省略する。図2の例では、保護層表面処理時にバイアス電圧の印加を行わないので、保護層形成も電圧の印加をすることなく行われる。
【0019】
なお、保護層形成と保護層表面処理は必ずしも1パスで行う必要はなく、例えば、保護層形成後、非磁性支持体をいったん巻取りロールに巻取り、その後、ロールを掛け直して表面処理を行ってもよい。また、保護層形成後、搬送方向を逆方向に変えて保護層表面処理を行ってもよい。
【0020】
本発明で用いられる非磁性支持体は、特に限定されるものでなく、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン等が挙げられる。また、支持体の厚さは、その用途に応じて適宜選択され得るが、通常は4〜40μmの範囲で選ばれる。
【0021】
この非磁性支持体の少なくとも一方の面上には、磁性層が積層される。該磁性層の材料としては、磁性金属、磁性合金、強磁性金属、強磁性合金等が用いられ、なかでもCoや、Co−Ni、Co−Cr等のCo合金などが好ましく用いられる。
【0022】
磁性層の形成方法は特に限定されるものでないが、通常は、CoまたはCo合金を非磁性支持体上に直接蒸着することによって、あるいは非磁性支持体上に下地層を蒸着した後、CoまたはCo合金を蒸着することによって、磁性層を形成する。
【0023】
磁性層の蒸着は、従来より公知の方法で行うことができ、例えば、蒸着用チャンバー内を1.33×10-3Pa程度にまで排気した後、電子銃にて蒸着用金属の溶解を行い、金属全体が溶解した時点で蒸着を始める。磁気特性を制御するために、酸素、オゾン、亜酸化窒素等の酸化性ガスをチャンバー内に導入し、これらのガス雰囲気下で蒸着するのが好ましい。
【0024】
なお、磁性層の厚さは、用途に応じて適宜変更され得るが、通常、50〜300nm程度である。
【0025】
なお、上記においては、蒸着による磁性層形成について説明したが、これに限られるものでなく、スパッタリング、イオンプレーティング等、他の公知の手段により行ってもよいことはもちろんである。
【0026】
上記磁性層の上には上記保護層が形成される。保護層形成は、上述したように図1に示す保護層形成用装置10を用いて好適に行うことができる。本発明では、保護層は炭素を含有するプラズマ重合膜が用いられ、特には、炭化水素ガスをプラズマ重合した炭素含有プラズマ重合膜が好ましく用いられる。そして、該炭素含有プラズマ重合膜の表面を、バイアス電圧を印加することなく、該重合膜表面に炭素と酸素の二重結合成分を生成し、該酸素と二重結合している炭素を、炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で生成、含有させる。
【0027】
本発明における炭素含有プラズマ重合膜は、具体的には、例えば以下のようにして形成することができる。
【0028】
まず、図1において、チャンバー1内を1.33×10-3Pa程度以上に排気した後、炭化水素ガス、または炭化水素ガスと添加ガスを保護層形成用装置10のガス導入口12を介してノズル11内に導入するとともに、外部電源14からの電圧を印加してプラズマを発生させ、これを該ノズル11の開口部分にて非磁性支持体4上に形成された金属磁性層上に炭素含有プラズマ重合膜を成膜する。
【0029】
炭化水素ガス、または炭化水素ガスと添加ガスの導入量は、チャンバー1の大きさ等に依存し、通常、反応圧力として1.33〜133Paになるような範囲で選択される。
【0030】
炭化水素ガスとしては、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、エチレン、プロピレン、アセチレン、メチルアセチレン、トルエン、ベンゼン等が例示され、これらの1種または2種以上を用いることができる。
【0031】
添加ガスとしては、水素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、酸素、窒素等が例示され、1種または2種以上を用いることができる。
【0032】
添加ガスを加える場合は、炭化水素ガスに対して、添加ガス/炭化水素ガス比(流量比)で0.01〜1程度の範囲で用いる。特に好ましくは0.02〜0.1程度である。炭化水素ガスに対し、添加ガス量が多すぎると成膜速度が低下し、一方、添加ガス量が少ないときには、炭化水素ガスの種類によっては、保護層の膜が緻密になりにくくなる。
【0033】
保護層の屈折率は1.9程度以上が好ましく、より好ましくは2.0〜2.25程度である。
【0034】
放電電源14は、10〜450kHz程度の周波数が望ましく、特には50〜200kHz程度が望ましい。周波数が10kHzより低いと長時間の運転が困難になり、一方、450kHzより高いと緻密な膜形成が難しくなる。
【0035】
このようにして形成された炭素含有プラズマ重合膜の表面には炭素と酸素の二重結合を有するように処理が行われる。このような、炭素含有プラズマ重合膜表面に炭素と酸素の二重結合成分を所定量含有、生成させるための表面処理法としては、プラズマ処理法が好ましい。これは、プラズマ処理のパワー、処理速度(処理時間)を制御することにより、炭素と酸素の二重結合の生成を簡易に、かつ安定に制御することができることなどによる。このような処理により、バイアス電圧を印加することなく、保護層表面処理装置20により、該重合膜表面に炭素と酸素の二重結合成分〔該成分中の酸素と二重結合する炭素。以下においても同様〕を、炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で生成させる。具体的には、保護層表面処理装置20のガス導入口22を介してノズル21内に反応ガスを導入するとともに、電圧24からの印加によりノズル21内にプラズマを発生させ、該ノズル21の開口部分で非磁性支持体4上の保護層表面を処理する。表面処理時、バイアス電圧を印加すると、保護層表面がダメージを受け、保護膜の特性低下につながるので好ましくない。
【0036】
プラズマ処理に用いるガスとしては、酸素(O2)あるいは酸素原子を含むガス(例えば、二酸化炭素、オゾン、二酸化窒素、亜酸化窒素、一酸化窒素)であれば特に限定されるものでないが、特には酸素(O2)が好ましい。
【0037】
プラズマ処理は、パワー(W)×処理時間(sec)が150〜700の処理で行う。好ましくは400〜600程度である。パワー×処理時間が150より小さいと炭素と酸素の二重結合が十分生成されず、一方、700より大きいと過剰の炭素と酸素の二重結合が生成されたり、テープにダメージを与える等の問題が生じるおそれがある。
【0038】
このようにして、表面処理された炭素含有プラズマ重合膜表面には、炭素と酸素の二重結合成分が生成される。本発明において、「炭素と酸素の二重結合成分」としては、例えばカルボニル基、カルボキシル基等の官能基が例示的に挙げられる。
【0039】
炭素含有プラズマ重合膜表面に生成される炭素と酸素の二重結合成分は、炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対し1.4〜7.5at%であり、特には1.8〜4.6at%が好ましい。ここで、炭素含有プラズマ重合膜表面とは、炭素含有プラズマ重合膜の上部界面から3nm程度の範囲をいい、これら成分の含有量の測定は、例えば、島津製作所製のESCA AXIS−HSX型(X線出力240W、分析面積2mmφ、パスエネルギー40eV)を使用して測定することができ、炭素と酸素の二重結合のピークは、XPS C lsスペクトルのピーク結合エネルギー(通常285eV)より、4.0±0.2eV高い位置を中心にガウス関数でフィッティングして得られたピークとする。結合状態による炭素の検出感度が同じとして、ピーク強度から存在比率を求め、at%とした。なお、ピークを中心にして高エネルギー側と低エネルギー側のボトムの位置を結び、バックグランドとした。炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対する炭素と酸素の二重結合成分の割合が1.4at%未満では潤滑剤の官能基との吸着点が少なくなり、炭素含有プラズマ重合膜表面が十分に潤滑層で覆われない。そのために、摩擦特性が十分でなく、耐久性も十分な効果が得られない。一方、総炭素量に対する炭素と酸素の二重結合成分の割合が7.5at%より多いと吸着分子数より吸着点が多くなり、高温多湿雰囲気での保存後の摩擦、および耐久性が劣化する。
【0040】
この炭素含有プラズマ重合膜の厚さは、用途に応じて適宜変更され得るが、通常、4〜20nm程度である。膜厚が、4nmより薄いと保護層として機能せず、スチル特性、摩擦特性等の向上はみられない。また、20nmより厚いとスペーシングロスが大きくなり、高密度記録を目指す媒体には適さない。
【0041】
このように表面処理された炭素含有プラズマ重合膜上に、潤滑層が積層される。本発明では、該潤滑層は、前記炭素と酸素の二重結合成分と相互作用(インターアクション)する官能基を有する潤滑剤を含有するものが用いられる。このような潤滑剤として、フッ化アルコールの脂肪酸エステルが好ましく用いられる。そして、フッ化アルコールの脂肪酸エステル分子内に有する潤滑剤の官能基は、前記炭素含有保護層表面の炭素−酸素の二重結合成分と吸着しやすいカルボニル基、カルボキシル基などを含むものがよい。このような潤滑剤として、例えば、下式1〜12で表されるものが例示されるが、これらに限定されるものでない。なお、潤滑剤は1種用いても良く、あるいは2種以上を任意の割合で混合して用いてもよい。
【0042】
【化1】
(CnH2n+1)COO(CH2)k (CmF2m+1) ……式1
(CnH2n+1)CH{(CH2)kCOO(CH2)l (CmF2m+1)}COO(CH2)j (CpF2p+1) ……式2
(CnH2n+1 )CH{(CH2)kCOOH}COO(CH2)l (CmF2m+1) ……式3
(CnH2n-1)COO(CH2)k(CmF2m+1) ……式4
(CnH2n-1)CH{(CH2)kCOO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式5
(CnH2n-1)CH{(CH2)kCOOH}COO(CH2)l (CmF2m+1) ……式6
(CnH2n+1)CH{(CHR1)COO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式7
(CnH2n-1)CH{(CHR1)COO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式8
(CnH2n+1)CR1{(CH2)kCOO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式9
(CnH2n-1)CR1{(CH2)kCOO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式10
(CnH2n+1)CR1{(CHR2)COO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式11
(CnH2n-1)CR1{(CHR2)COO(CH2)1(CmF2m+1)}COO(CH2)j(CpF2p+1) ……式12
上記式1〜12中、nは10以上のものが好ましく、特にはnが14〜22のものが好ましい。またj、l、kは、それぞれ1〜3までのものが好ましい。またm、pは、それぞれ4以上のものが好ましく、特には8〜10のものが好ましい。R1は炭素原子数10〜22のアルキル基または炭素原子数10〜22のアルケニル基を示し、R2は水素、炭素原子数10〜22のアルキル基、または炭素原子数10〜22のアルケニル基を指す。上記において式1〜6が好ましく用いられる。
【0043】
なお、潤滑層の厚さは、用途に応じて適宜変更され得るが、通常、1〜3nm程度である。潤滑層は塗布法および気相蒸着法により形成されるが、塗布法のほうが一般的である。塗布法では上記潤滑剤を溶媒に溶解し、塗布、乾燥を行う。塗布方式は、グラビアコーティング、リバースロールコーティング、ダイノズルコーティング法など、目的、用途等に応じて適宜、選択され得る。
【0044】
以下に実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明の範囲はこれによってなんら制限されるものでないことはいうまでもない。
【0045】
【実施例】
実施例1〜20、比較例1〜13
厚さ6μmのPETからなる非磁性支持体上に、Coに酸素を導入しながら磁性層(膜厚200nm)を蒸着した。原反(磁性金属を蒸着した基体)を搬送させるチャンバー内を1.33×10-3Pa以下に排気した後、炭化水素ガスとしてエチレンを用い、反応圧力が1.33Paになるように所定量を導入し、100kHzの周波数によりプラズマ重合をして保護層として炭素含有プラズマ重合膜6nmを形成した。なお、この保護層形成時にはロールへの電圧付加は行わなかった。次いで、別のロール上で、下記表1に示す条件でプラズマ表面処理を行った後、下記表2に示す潤滑剤を塗布して潤滑層を形成した。これを8mm幅にスリットしてサンプルとした。
【0046】
これらサンプルを用いて、炭素と酸素の二重結合成分の割合、耐久摩擦性、保存後耐久摩擦性、耐久走行性、スチル特性、およびヘッド付着について下記基準により評価した。結果を表3〜4に示す。
【0047】
[炭素と酸素の二重結合成分の割合(C=Oの割合)]
保護層表面の総炭素量に対する炭素と酸素の二重結合成分の割合を示し、「ESCA AXIS−HSX型」(島津制作所製;X線出力240W、分析面積2mmφ、パスエネルギー40eV)を使用して、XPS C lsスペクトルのピーク結合エネルギー(通常285eV)より、4.0±0.2eV高い位置を中心にガウス関数でフィッティングして得られたピークを炭素と酸素の二重結合のピークとして測定した。結合状態による炭素の検出感度が同じとして、ピーク強度から存在比率を求め、at%とした。なお、ピークを中心にして高エネルギー側と低エネルギー側のボトムの位置を結びバックグランドとした。
【0048】
[耐久摩擦性]
抱き角90°のピン摩擦試験器にてオイラーの式により繰返し摩擦係数を測定することにより評価した。ピンは2mmφで表面性0.2SのSUS304を使用した。負荷荷重は10g、ストローク50mm、繰返し回数は100往復とした。
【0049】
[保存後の耐久摩擦性]
上記耐久摩擦性試験において、60℃90%RHに3日間保存した後、耐久摩擦性を測定した結果を示す。
【0050】
[耐久走行性]
ソニー社製S1500デッキにて7MHzの信号を全長(120分)記録して、繰り返し再生出力を確認した。20℃60%RH、40℃80%RH、0℃の3環境下において評価した。1パス目を0dBとして、1dB低下するまでのパス回数を測定した。
【0051】
[スチル特性]
ソニー社製S1500デッキにて、スタート時の出力を0dBとして−1dB低下するまでの時間を測定した。
【0052】
[ヘッド付着]
ソニー社製S1500デッキにて、20℃、60%RH環境下において、200パス走行させ、ヘッドへの付着を光学顕微鏡にて確認し、次のように4段階評価した。接触部の全面積に対し付着している面積を目視で観察した。
評価
◎: 付着している面積の割合が0〜5%
○: 付着している面積の割合が6〜20%
△: 付着している面積の割合が21〜40%
×: 付着している面積の割合が41%以上
実施例21
保護層形成時にロールへ−50Vのバイアスの印加を行った以外は、上記実施例1の場合と同様にして、保護層形成と保護層へのプラズマ表面処理をそれぞれ別のロール上で行い、サンプルを作製した。プラズマ表面処理条件、用いた潤滑剤については、それぞれ表1、表2に示す。このサンプルを用いて、炭素と酸素の二重結合成分の割合、耐久摩擦性、保存後耐久摩擦性、耐久走行性、スチル特定、およびヘッド付着について上記基準により評価した。結果を表3〜4に示す。
【0053】
比較例14
保護層形成時に−50Vのバイアスの印加を行い、かつ、プラズマ表面処理時にロールへ−50Vのバイアスの印加を行った以外は、上記比較例1の場合と同様にして、保護層形成と保護層へのプラズマ表面処理をそれぞれ別のロール上で行い、サンプルを作製した。プラズマ表面処理条件、用いた潤滑剤については、それぞれ表1、表2に示す。このサンプルを用いて、炭素と酸素の二重結合成分の割合、耐久摩擦性、保存後耐久摩擦性、耐久走行性、スチル特定、およびヘッド付着について上記基準により評価した。結果を表3〜4に示す。
【0054】
実施例22
保護層形成と保護層へのプラズマ表面処理を同一ロール上で行い、上記と同様にしてサンプルを作製した。保護層形成からプラズマ表面処理を通して、ロールへの電圧印加は行わなかった。プラズマ表面処理条件、用いた潤滑剤については、それぞれ表1、表2に示す。このサンプルを用いて、炭素と酸素の二重結合成分の割合、耐久摩擦性、保存後耐久摩擦性、耐久走行性、スチル特定、およびヘッド付着について上記基準により評価した。結果を表3〜4に示す。
【0055】
【表1】
【0056】
【表2】
【0057】
【表3】
【0058】
【表4】
【0059】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明により、摩擦特性、保存後の摩擦特性、耐久走行性、スチル特性等の向上した蒸着型磁気記録媒体の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例を示す概略模式図である。
【図2】本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例を示す概略模式図である。
【符号の説明】
1 チャンバー
2 繰出しロール
3 巻取りロール
4 非磁性支持体
5、51、52 ロール(メインロール)
10 保護層形成装置
11 保護層形成用ノズル
12 ガス導入口
13 電極
14、15 外部電源
20 保護層表面処理装置
21 保護層表面処理用ノズル
22 ガス導入口
23 電極
24 外部電源
Claims (2)
- 非磁性支持体の少なくとも一方の面上に、磁性層と、該磁性層上に積層された保護層と、該保護層上に設けられた潤滑層からなる磁気記録媒体の製造方法であって、
ロール表面に沿って搬送される非磁性支持体の面上に磁性層を設けた後、前記磁性層上に保護層として炭素含有プラズマ重合膜を形成し、次いで、前記ロールと同一または異なったロール上において、該ロールにバイアス電圧を印加することなく炭素含有プラズマ重合膜を、パワー(W)×処理時間(sec)が150〜700の条件下でプラズマ処理にて表面処理することにより、該炭素含有プラズマ重合膜表面に、炭素と酸素の二重結合成分を生成し、該酸素と二重結合している炭素を炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で含有させた後、該炭素含有プラズマ重合膜上にフッ化アルコールと脂肪酸とのエステルからなる潤滑層(ただし、該潤滑層は分子末端に少なくともアミノ基[−NH 2 ]或いはN,N−ジメチルアミノ基[−N(CH 3 ) 2 ]を有するアルキルアミン系潤滑剤を含まない)を形成する、磁気記録媒体の製造方法。 - 非磁性支持体の少なくとも一方の面上に、磁性層と、該磁性層上に積層された保護層と、該保護層上に設けられた潤滑層からなる磁気記録媒体であって、前記保護層が炭素含有プラズマ重合膜であり、かつ該炭素含有プラズマ重合膜表面に、炭素と酸素の二重結合成分を生成し、該酸素と二重結合している炭素を炭素含有プラズマ重合膜表面の総炭素量に対して1.4〜7.5at%の割合で含有させてなり、前記潤滑層がフッ化アルコールと脂肪酸とのエステルからなる(ただし、該潤滑層は分子末端に少なくともアミノ基[−NH 2 ]或いはN,N−ジメチルアミノ基[−N(CH 3 ) 2 ]を有するアルキルアミン系潤滑剤を含まない)、磁気記録媒体。
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