JP3972670B2 - 発光装置 - Google Patents

発光装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3972670B2
JP3972670B2 JP2002030151A JP2002030151A JP3972670B2 JP 3972670 B2 JP3972670 B2 JP 3972670B2 JP 2002030151 A JP2002030151 A JP 2002030151A JP 2002030151 A JP2002030151 A JP 2002030151A JP 3972670 B2 JP3972670 B2 JP 3972670B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
light
layer
emitting element
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002030151A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003234504A (ja
Inventor
俊也 上村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyoda Gosei Co Ltd
Original Assignee
Toyoda Gosei Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyoda Gosei Co Ltd filed Critical Toyoda Gosei Co Ltd
Priority to JP2002030151A priority Critical patent/JP3972670B2/ja
Priority to US10/358,390 priority patent/US6835958B2/en
Publication of JP2003234504A publication Critical patent/JP2003234504A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3972670B2 publication Critical patent/JP3972670B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48257Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a die pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49107Connecting at different heights on the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は発光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
発光素子から照射される光を波長変換して外部に放出するタイプの発光装置として、特開平11−068166号公報に開示のものがある。
この発光装置は半鏡面(半透明)の反射膜がp型層の全面に形成され、他方基板は蛍光体を含む光透過性の蛍光ペーストでリードのカップ部に固定されている。このように構成された発光装置によれば、発光する層から上方(p型層側)へ向って反射膜で反射された光及び発光する層から下方へ向う光が蛍光ペーストに達し、ここで波長変換されて上方へ向う。そしてこの波長変換された光の一部は発光素子の固有の光と混色されて半鏡面の反射膜を透過し、外部へ放出されることとなる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の発光装置では反射膜の反射率を変更することによって、これから放出される光の色調を自由に調整することができる。
しかしながら、半鏡面である反射膜に光の一部が吸収されるので、発光効率の低下が免れない。
他方、発光装置にはより一層の低コスト化が求められている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記課題の少なくとも一つを解決すべくなされたものである。即ち、
蛍光体含有の透光性ペーストにより発光素子をリードへ固定し、該発光素子のp型電極側から光を外部へ放出させる発光装置であって、
前記p型電極は光を透過させる光学的な開口部を有し、該開口部以外の領域は光を実質的に全反射する、ことを特徴とする発光装置。
【0005】
このように構成された発光装置によれば、発光素子の光のうちn型層側へ向う光と発光素子の光のうちp型層側へ向う光であってp型電極で反射された光は蛍光体含有の透光性ペースト(以下、「蛍光ペースト」という)へ入射して、その蛍光体で波長変換される。波長変換された光(蛍光)はリード(カップ部等の発光素子の取付け座)で反射されてp型電極へ向い、その一部は発光素子の光とともに開口部から外部へ放出される。蛍光の残部はp型電極で反射されることとなるがリードで再度反射されて(この反射が繰返されて)、最終的には開口部から外部へ放出される。
この発明の発光装置では、p型電極で光を実質的に全反射させているので、これに光が吸収されることがない。従って、光の外部放出効率が向上する。
【0006】
この発明の他の局面によれば、上記のp型電極を実質的に均一な膜厚として、発光エリアとボンディングエリアを構成している。発光エリアには開口部を設けてここから光を外部へ放出させている。ボンディングエリアには導電性ワイヤがボンディングされる。安定したワイヤーボンディングを行うためにはボンディングエリア自体に所定の膜厚が必要となる。本発明者らの検討によれば、ボンディングエリアは0.3μm以上の膜厚を有することが好ましい。
また、p型電極の製造ステップを可能な限り簡素化するにはボンディングエリアと発光エリアとを同時に形成することが好ましい。その場合、ボンディングエリアと発光エリアとの膜厚が等しくなる。
【0007】
特開平11−068166号公報の発光装置にみられるようにその発光素子のp型電極は反射膜とは別個に台座電極を有している。本発明によればこの台座電極を省略できるので、p型電極の製造コストが低減され、結果として安価な発光素子、ひいては安価な発光装置を提供することが可能となる。
なお、特開平6−232450号公報や特開平6−237012号公報にも開口部を有するp型電極がみられる。しかしながら、これらの公報に開示のp型電極はいずれもボンディングエリアを備えていない。
【0008】
【実施の形態】
以下、この発明の各要素について詳細に説明する。
(発光素子)
発光素子としては発光ダイオードが採用される。III族窒化物系化合物半導体からなる短波長用の発光素子を用いることが好ましい。
III族窒化物系化合物半導体からなる発光素子は、基板の上にIII族窒化物系化合物半導体層を積層し、p型電極及びn型電極を形成したものである。
基板は、その上にIII族窒化物系化合物半導体層を成長させることができるものであれば用いることができ、例えば、サファイア、スピネル、シリコン、炭化シリコン、酸化亜鉛、リン化ガリウム、ヒ化ガリウム、酸化マグネシウム、酸化マンガン等からなる基板を用いることができる。特に、サファイア基板を用いることが好ましい。サファイア基板を用いる場合にはそのa面を利用することが好ましい。結晶性のよいIII族窒化物系化合物半導体層を成長させるためである。
基板の上にはIII族窒化物系化合物半導体層が積層される。ここで、III族窒化物系化合物半導体とは、一般式としてAlGaIn1−X−YN(0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦X+Y≦1)で表され、AlN、GaN及びInNのいわゆる2元系、AlGa1−xN、AlIn1−xN及びGaIn1−xN(以上において0<x<1)のいわゆる3元系を包含する。III族元素の少なくとも一部をボロン(B)、タリウム(Tl)等で置換しても良く、また、窒素(N)の少なくとも一部も リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、ビスマス(Bi)等で置換できる。III族窒化物系化合物半導体層は任意のドーパントを含むものであっても良い。n型不純物として、Si、Ge、Se、Te、C等を用いることができる。p型不純物として、Mg、Zn、Be、Ca、Sr、Ba等を用いることができる。なお、p型不純物をドープした後にIII族窒化物系化合物半導体を電子線照射、プラズマ照射若しくは炉による加熱にさらすことも可能であるが必須ではない。III族窒化物系化合物半導体層の形成方法は特に限定されないが、周知の有機金属気相成長法(MOCVD法)、分子線結晶成長法(MBE法)、ハライド系気相成長法(HVPE法)、スパッタ法、イオンプレーティング法、電子シャワー法等によって形成することができる。
なお、発光素子の構成としては、ホモ構造、ヘテロ構造若しくはダブルへテロ構造のものを用いることができる。さらに、量子井戸構造(単一量子井戸構造若しくは多重量子井戸構造)を採用することもできる。
基板とIII族窒化物系化合物半導体からなる結晶層の間にはバッファ層を設けることができる。バッファ層はその上に成長されるIII族窒化物系化合物半導体の結晶性を向上する目的で設けられる。バッファ層はAlN、InN、GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN等のIII族窒化物系化合物半導体で形成することができる。
n側電極材料としては、Al、V、Sn、Rh、Ti、Cr、Nb、Ta、Mo、W、Hfなどの金属またはこれらの任意の2種類以上の合金を用いることができる。n側電極を、異なる組成の層が積層された二層又は多層構造とすることもできる。例えば、VとAlの2層構造とすることができる。
III族窒化物系化合物半導体発光素子は、例えば、次のように製造することができる。
まず、III族窒化物系化合物半導体層を成長可能な基板を用意し、その上に少なくともn型III族窒化物系化合物半導体層、III族窒化物系化合物半導体からなる発光する層を含む層、及びp型III族窒化物系化合物半導体層がこの順に並ぶように複数の半導体層を積層する。
次に、エッチング処理を施しn型半導体層の一部を表出させる。続いて、p側電極及びn側電極を、p型III族窒化物系化合物半導体層上及びn型III族窒化物系化合物半導体層上にそれぞれ形成する。p側電極及びn側電極の形成は、蒸着、スパッタリング等の公知の方法により行うことができる。続いて、所望の粒子径の研磨材を用いて基板を所望の厚さになるまで研磨する。その後、チップの分離を行う。
【0009】
(p型電極)
p型電極は発光素子の発光層から放出された光を実質的に全反射させる。即ち発光層からの光が透過できない膜厚若しくは層構成をp型電極は有する。他方、p型電極は光学的な開口部を有し、この開口部から発光素子の光の一部および蛍光ペーストで波長変換された光の一部を外部へ放出させる。
【0010】
p型電極は開口部を有する発光エリアとボンディングエリアとを有する。発光エリアには開口部が形成されている。
ボンディングエリアに開口部を形成することを禁止するものではないが、ボンディングエリアにはワイヤーボンディングに堪えられるだけの機械的な強度が要求されるので、開口部を形成しないようにすることが好ましい。
【0011】
開口部はこれから光を放出させるものであるので、発光素子の輝度向上の見地からはその面積を大きくすることが好ましい。他方、その面積が大きすぎるとp型電極の面積が小さくなって、発光素子からp型電極側へ向う光を充分に反射できず、またp型層へ均一に電流を注入できなくなるので好ましくない。従って、本発明者の検討によれば、ボンディングエリアを除く領域において光学的な開口部の開口面積とp型電極の開口部以外の領域の面積との面積比を10:1〜1:20とすることが好ましい。更に好ましくは5:1〜1:10であり、更に更に好ましくは1:1〜1:5である。
発光素子の発光面における均一発光を確保するため、光学的な開口部は発光エリアにおいて実質的に均等に分配されることが好ましい。
光学的な開口部は光を透過させることができれば、開口部内に保護膜等の透光性材料が充填されていてもよい。
光学的な開口部の形状は特に限定されない。実施例のように平面視矩形のもののほか、三角形、円形、スリット状など任意の形状を選択することができる。
【0012】
ボンディングエリアは少なくともワイヤボンディングを行うために必要な面積を有する。本発明者の検討によれば80μm×80μm程度の面積があれば十分である。
ボンディングエリアには直接ワイヤボンディングが施される。従って、ボンディングエリアにはワイヤボンディングのために必要な機械的な強度が要求される。本発明者の検討によれば、汎用的に使用されるp型電極材料(金若しくは金合金等)においてその膜厚が0.3μm以上あれば当該ワイヤボンディングの受座として充分な強度及び安定性を確保できる。更に好ましくは膜厚を0.5μm以上とする。なお、この膜厚の上限は特に限定されるものではないが、p型電極の材料が高価であることを考慮すれば、その上限を5μmとすることが好ましい。
【0013】
p型電極を蒸着その他周知の方法で形成することを考えれば、発光エリアとボンディングエリアとを同時に形成することが製造工数削減の見地から望ましい。したがって、p型電極は全体的に均一な膜厚となり、その膜厚は光の全反射とボンディングエリアに要求されるワイヤボンディング安定性とにより規定されることとなる。即ち、p型電極は全体的に均一な膜厚を有し、その厚さは0.3〜5μmとすることが好ましく、更に好ましくは0.5〜3μmである。
【0014】
p型電極の材料としてはRh、Au、Pt、Ag、Cu、Al、Ni、Co、Mg、Pd、Ru、Mn、Bi、Sn、Reなどの金属またはこれらの任意の2種類以上の合金を用いることができる。中でもRh、Pt、Ruは、III族窒化物系化合物半導体発光素子の発光波長に対して高い反射効率を有し、かつp型III族窒化物系化合物半導体層に対するコンタクト抵抗が低いため、好適なp側電極材料として用いることができる。p側電極を、異なる組成の層が積層された二層又は多層構造とすることもできる。
p型電極は蒸着、スパッタリングその他の周知の方法で形成される。
【0015】
(蛍光ペースト)
蛍光ペーストは透光性のベース材料の中に蛍光体が分散されたものである。
ベース材料は発光素子をリードの例えばカップ部底部に固定するものであり、ホットメルト接着剤やその他の樹脂製接着剤を用いることができる。例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂等を用いることができる。
【0016】
蛍光体は発光素子の発光する層からの光を波長変換し、当該発光する層からの光と混色して所望の色をp型電極の開口部から放出できるように任意に選択される。
ここでの蛍光体の種類は、無機系、有機系を問わず採用することができる。
無機系蛍光体としては、以下のものを採用することができる。例えば、赤色系の発光色を有する6MgO・As:Mn4+、Y(PV)O:Eu、CaLa0.1Eu0.9Ga、BaY0.9Sm0.1Ga、Ca(Y0.5Eu0.5)(Ga0.5In0.5、Y:Eu、YVO:Eu、Y:Eu、3.5MgO・0.5MgFGeO:Mn4+、及び(Y・Cd)BO:Eu等、青色系の発光色を有する(Ba,Ca,Mg)(POCl:Eu2+、(Ba,Mg)Al1627:Eu2+、BaMgSi:Eu2+、BaMgAl1627:Eu2+、(Sr,Ca)10(POCl:Eu2+ 、(Sr,Ca)10(POCl・nB:Eu2+、Sr10(POCl:Eu2+、(Sr,Ba,Ca)(POCl:Eu2+、Sr:Eu、Sr(POCl:Eu、(Sr,Ca,Ba)(POCl:Eu、SrO・P・B:Eu、(BaCa)(POCl:Eu、SrLa0.95Tm0.05Ga、ZnS:Ag、GaWO、YSiO:Ce、ZnS:Ag,Ga,Cl、CaOCl:Eu2+、BaMgAl:Eu2+、及び一般式(M1,Eu)10(POCl(M1は、Mg,Ca,Sr,及びBaからなる群から選択される少なくとも1種の元素)で表される蛍光体等、緑色系の発光色を有するYAl12:Ce3+(YAG)、YSiO:Ce3+,Tb3+、SrSi・2SrCl:Eu、BaMgAl1627:Eu2+,Mn2+、ZnSiO:Mn、ZnSiO:Mn、LaPO:Tb、SrAl:Eu、SrLa0.2Tb0.8Ga、CaY0.9Pr0.1Ga、ZnGd0.8Ho0.2Ga、SrLa0.6Tb0.4Al、ZnS:Cu,Al、(Zn,Cd)S:Cu,Al、ZnS:Cu,Au,Al、ZnSiO:Mn、ZnSiO:Mn、ZnS:Ag,Cu、(Zn・Cd)S:Cu、ZnS:Cu、GdOS:Tb、LaOS:Tb、YSiO:Ce・Tb、ZnGeO:Mn、GeMgAlO:Tb、SrGaS:Eu2+、ZnS:Cu・Co、MgO・nB:Ge,Tb、LaOBr:Tb,Tm、及びLaS:Tb等を用いることができる。また、白色系の発光色を有するYVO:Dy、黄色系の発光色を有するCaLu0.5Dy0.5Gaを用いることもできる。
【0017】
有機系蛍光体としては、以下のものを採用することができる。例えば、1,4−ビス(2−メチルスチリル)ベンゼン(Bis−MSB)、トランス−4,4’−ジフェニルスチルベン(DPS)等のスチルベン系色素、及び7−ヒドロキシ−4−メチルクマリン(クマリン4)等のクマリン系色素、BOQP、PBBO、BOT、POPOP等を用いることができる。これらの蛍光体は青色系の発光色を有する。また、DPOT、ブリリアントサルフォフラビンFF(brilliantsulfoflavine FF)、ベーシックイエローHG(basic yellow HG)、SINLOIHI COLOR FZ-5005(シンロイヒ社製)などを用いることもできる。これらの蛍光体は黄色系〜緑色系の蛍光色を有する。また、黄色系〜赤色系の蛍光体である、エオシン(eosine)、ローダミン6G(rhodamine 6G)、ローダミンB(rhodamine B)、NKP-8303(日本蛍光化学社製)などを用いることもできる。また、TB(EDTA)SSA、EuTTAなどを例えばメチルメタクリレートに溶解、重合固化しポリメチルメタクリレート(PMMA)としたものを用いることもできる。
尚、異なる種類の蛍光体を二以上組み合わせて用いることもできる。
【0018】
使用目的、使用条件等に応じて、蛍光ペースト内における蛍光体の濃度分布を変化させることができる。即ち、発光素子に近づくに従って蛍光体の量を連続的又は段階的に変化させることができる。例えば、発光素子に近い部分において蛍光体の濃度を大きくする。これにより、効率的に発光素子からの光を蛍光体に照射することができる。その反面、発光素子で発生する熱の影響を受けやすく、蛍光体の劣化が問題となる。他方、発光素子に近づくに従って蛍光体の濃度を小さくすることにより、発光素子の発熱に起因する蛍光体の劣化は抑制される。以上より、蛍光体の材料、発光素子の使用環境等を考慮して、蛍光体の分散の変化態様は適宜選択されることとなる。
蛍光体を分散させた少量のベース材料で発光素子の基板表面をコーティングし、これに蛍光体を含まないベース材料を積層することにより、蛍光ペースト内における蛍光体量の濃度分布を変化させることができる。ここで、蛍光体の添加量が異なるベース材料を複数用意し、これらを順に積層することにより、蛍光体添加量を発光素子側から遠ざかるに従って徐変するように構成してもよい。尚、種類の異なる蛍光体を添加されたベース材料を複数用意し、これらを順に積層することもできる。
【0019】
【実施例】
以下、この発明の実施例について説明する。
(実施例1)
図1は本発明の一の実施例である発光装置としての砲弾型LED1を示す図である。LED1は白色系の発光をし、例えば、導光体と組み合わせて面状光源、線状光源に利用することができ、また、各種表示装置等にも利用することができる。
図2にはLED1に使用される発光素子10の模式断面図が示される。発光素子10の発光波長は約460nmであり、各層のスペックは次の通りである。
Figure 0003972670
【0020】
基板11の上にはバッファ層12を介してn型不純物としてSiをドープしたGaNからなるn型層13を形成する。ここで、基板11にはサファイアを用いたが、これに限定されることはなく、サファイア、スピネル、シリコン、炭化シリコン、酸化亜鉛、リン化ガリウム、ヒ化ガリウム、酸化マグネシウム、酸化マンガン、III族窒化物系化合物半導体単結晶等を用いることができる。さらにバッファ層はAlNを用いてMOCVD法で形成されるがこれに限定されることはなく、材料としてはGaN、InN、AlGaN、InGaN及びAlInGaN等を用いることができ、製法としては分子線結晶成長法(MBE法)、ハライド系気相成長法(HVPE法)、スパッタ法、イオンプレーティング法、電子シャワー法等を用いることができる。III族窒化物系化合物半導体を基板として用いた場合は、当該バッファ層を省略することができる。
さらに基板とバッファ層は半導体素子形成後に、必要に応じて、除去することもできる。
【0021】
ここでn型層13はGaNで形成したが、AlGaN、InGaN若しくはAlInGaNを用いることができる。
また、n型層13はn型不純物としてSiをドープしたが、このほかにn型不純物として、Ge、Se、Te、C等を用いることもできる。
n型層13は発光する層を含む層14側の低電子濃度n-層とバッファ層12側の高電子濃度n+層とからなる2層構造とすることができる。
発光する層を含む層14は量子井戸構造(多重量子井戸構造、若しくは単一量子井戸構造)を含んでいてもよく、また発光素子の構造としてはシングルへテロ型、ダブルへテロ型及びホモ接合型のものなどでもよい。
発光する層を含む層14はp型層15の側にマグネシウム等のアクセプタをドープしたバンドギャップの広いIII族窒化物系化合物半導体層を含むこともできる。これは発光する層を含む層14中に注入された電子がp型層15に拡散するのを効果的に防止するためである。
発光する層を含む層14の上にp型不純物としてMgをドープしたAlGaNからなるp型層15を形成する。このp型層はGaN、InGaN又はInAlGaNとすることもできる、また、p型不純物としてはZn、Be、Ca、Sr、Baを用いることもできる。
さらに、p型層15を発光する層を含む層14側の低ホール濃度p−層と電極側の高ホール濃度p+層とからなる2層構造とすることができる。
上記構成の発光ダイオードにおいて、各III族窒化物系化合物半導体層は一般的な条件でMOCVDを実行して形成するか、分子線結晶成長法(MBE法)、ハライド系気相成長法(HVPE法)、スパッタ法、イオンプレーティング法、電子シャワー法等の方法で形成することもできる。
【0022】
n電極16はAlとVの2層で構成され、p型層15を形成した後、p型層15、発光する層を含む層14、及びn型層13の一部をエッチングにより除去し、蒸着によりn型層13上に形成される。
p型電極17はPhと金の積層構造からなり、p型層15の上に蒸着により形成される。膜厚はほぼ1.5μmである。
p型電極17は、図3Aに示すように、発光エリア17aとボンディングエリア17bとを有する。図3Aに示すp型電極17では、発光エリア17aには矩形の開口部18が形成されている。この開口部18はリフトオフ法により形成される。
開口部18は一辺が15μmの正方形であり、その結果格子状となった発光エリアのp型電極の幅は15μmである。開口部18は発光エリア17aにおいて均等に分配されている。
【0023】
開口部18の形状は矩形に限定されるものではない。図3Bには円形の開口部18aの例を示した。また図3Cにはスリット状の開口部18bの例を示した。その他、三角形、五角形、六角形等の多角形、星型、月型等任意の形状を採用することができる。1つの発光エリアにおいて異なる形状及び/又は大きさの開口部を採用することもできる。
p型電極には透光性の保護膜(酸化シリコン等)が被覆される場合があるが、この保護膜で開口部18が塞がれたとしても、光を透過させて外部へ放出するという作用からは何ら支障はない。即ち、開口部は光学的に開口していればよい。
【0024】
図1に示すように、発光素子10はリードフレーム20に設けられるカップ状部25に蛍光ペースト26を用いてマウントされる。発光素子の受座としてカップ状部25の表面は、光反射効率を高めるために鏡面とされている。この蛍光ペースト26は透明なエポキシ樹脂に蛍光体としてZnS:Cu,Au,Al(発光ピーク535nm)を分散させたものである。
この蛍光体は発光する層からの光(発光素子固有の光:波長約460nm)を吸収して黄色系の蛍光を放出する。この黄色系の光が発光素子固有の光と混合されて白色系の光が形成される。
発光素子10のn電極16及びp電極17のボンディングエリア17bは、それぞれワイヤ40及び41によりリードフレーム20及び21にワイヤボンディングされる。
【0025】
発光素子10、リードフレーム20、21の一部、及びワイヤ40、41はエポキシ樹脂からなる封止レジン50により封止される。封止レジン50の材料は透明であれば特に限定はされないが、エポキシ樹脂の他、シリコーン樹脂、尿素樹脂、又はガラスが好適に用いられる。蛍光体及び/又は光拡散材を均一に又は不均一に封止レジン50中へ分散させることができる。
【0026】
封止レジン50は、素子構造の保護等の目的で設けられるが、封止レジン50の形状を目的に応じて変更することにより封止レジン50にレンズ効果を付与することができる。例えば、図1に示される砲弾型の他、凹レンズ型、又は凸レンズ型等に成形することができる。また、光の取り出し方向(図1において上方)から見て封止レジン50の形状を円形、楕円形、又は矩形とすることができる。
【0027】
以上のように構成されたLED1では、発光素子10の発光層を含む層14から上方(p型層側)へ放出される青色系の光の一部がp型電極17で全反射され、蛍光ペースト26へ入射する。この蛍光ペースト26には発光する層を含む層14から下方(n型層側)へ放出された光も入射する。蛍光ペースト26に入射された光の一部は蛍光体で波長変換され黄色系の光となり、p型電極17側へと放出される。この蛍光体からの蛍光が発光素子固有の光と混合して白色系の光となり、p型電極17の開口部18から放出される。発光素子固有の光及び蛍光において開口部18から外部へ放出されなかった成分は、p型電極17及びカップ状部25との間で反射され、最終的には開口部18若しくは発光素子10の側面から放出される。
発光素子10から放出された光は封止レジン50のレンズ作用により光軸方向に集光されることにより、最終的に混色される。
【0028】
(実施例2)
図4は、本発明の他の実施例であるSMDタイプのLED3の概略断面図である。実施例1のLED1と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。LED3も実施例1と同様に白色系の発光をし、例えば、導光体と組み合わせて面状光源、線状光源に利用することができ、また、各種表示装置等にも利用することができる。
発光素子10は基板80に蛍光ペースト26を用いて固定される。ワイヤ40及び41は発光素子10の各電極を基板80に設けられた電極81及び82にそれぞれ接続する。符号85は封止レジンである。符号90は発光素子の周囲に形成されるリフレクタであって、その表面は鏡面化されている。
【0029】
以上のように構成されたLED3では、図1のLEDと同一の作用により発光素子10から放出される青色系の光と蛍光体で波長変更された黄色系の光が混色されて白色系の光として外部放出される。
【0030】
この発明は、上記発明の実施の形態及び実施例の説明に何ら限定されるものではない。特許請求の範囲の記載を逸脱せず、当業者が容易に想到できる範囲で種々の変形態様もこの発明に含まれる。
【0031】
以下、次ぎの事項を開示する。
11 発光素子用のp型電極であって、前記発光素子の光を実質的に全反射する実質的に均一な膜厚であり、発光エリアとボンディングエリアとを有し、前記発光エリアには光を透過させる光学的な開口部が形成されているp型電極。
12 前記発光エリアにおいて前記光学的な開口部は実質的に均等に分配されている、ことを特徴とする11に記載のp型電極。
13 前記p型電極の膜厚は0.3μm以上である、ことを特徴とする11又は12に記載のp型電極。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の実施例の発光装置である砲弾型LEDの構成を示す図である。
【図2】図2は発光素子の構成を模式的に示した断面図である。
【図3】図3は発光素子のp型電極の形態を示す平面図である。
【図4】図4はこの発明の実施例のSMDタイプのLEDの構成を示す図である。
【符号の説明】
1、3 LED
10 発光素子
17 p型電極
17a 発光エリア
17b ボンディングエリア
18、18a、18b 光学的な開口部
26 蛍光ペースト

Claims (5)

  1. 蛍光体含有の透光性ペーストにより発光素子をリードへ固定し、該発光素子のp型電極側から光を外部へ放出させる発光装置であって、
    前記p型電極は光を透過させる光学的な開口部を有し、該開口部以外の領域は光を実質的に全反射する、ことを特徴とする発光装置。
  2. 前記p型電極は実質的に均一な膜厚であり、前記光学的な開口部を有する発光エリアとボンディングエリアとを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記発光エリアにおいて前記光学的な開口部は実質的に均等に分配されている、ことを特徴とする請求項2に記載の発光装置。
  4. 前記p型電極の膜厚は0.3μm以上である、ことを特徴とする請求項2又は3に記載の発光装置。
  5. 前記発光素子の光と該光を波長変換する前記蛍光体からの蛍光とが混合して白色系の発光が得られる、ことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の発光装置。
JP2002030151A 2002-02-06 2002-02-06 発光装置 Expired - Fee Related JP3972670B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002030151A JP3972670B2 (ja) 2002-02-06 2002-02-06 発光装置
US10/358,390 US6835958B2 (en) 2002-02-06 2003-02-05 Light-emitting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002030151A JP3972670B2 (ja) 2002-02-06 2002-02-06 発光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003234504A JP2003234504A (ja) 2003-08-22
JP3972670B2 true JP3972670B2 (ja) 2007-09-05

Family

ID=27750325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002030151A Expired - Fee Related JP3972670B2 (ja) 2002-02-06 2002-02-06 発光装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6835958B2 (ja)
JP (1) JP3972670B2 (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6943379B2 (en) * 2002-04-04 2005-09-13 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light emitting diode
JP3877642B2 (ja) * 2002-05-21 2007-02-07 ローム株式会社 半導体チップを使用した半導体装置
JP3918051B2 (ja) * 2002-07-29 2007-05-23 独立行政法人産業技術総合研究所 メカノルミネッセンス材料及びその製造方法
US20040173808A1 (en) * 2003-03-07 2004-09-09 Bor-Jen Wu Flip-chip like light emitting device package
JP2004303481A (ja) * 2003-03-28 2004-10-28 Sanyo Electric Co Ltd 発光素子及び発光表示装置
KR100624411B1 (ko) * 2003-08-25 2006-09-18 삼성전자주식회사 질화물계 발광소자 및 그 제조방법
JP2005108783A (ja) * 2003-10-02 2005-04-21 Citizen Electronics Co Ltd スイッチ基板
US7012281B2 (en) * 2003-10-30 2006-03-14 Epistar Corporation Light emitting diode device and manufacturing method
DE10357673A1 (de) * 2003-12-09 2005-07-28 Infineon Technologies Ag Montage- und Klebeschicht für Halbleiterbauelement
JP4604488B2 (ja) * 2003-12-26 2011-01-05 日亜化学工業株式会社 窒化物半導体発光素子およびその製造方法
KR100631840B1 (ko) * 2004-06-03 2006-10-09 삼성전기주식회사 플립칩용 질화물 반도체 발광소자
JP2006032857A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Koha Co Ltd 発光素子
JP4967243B2 (ja) * 2005-03-08 2012-07-04 三菱化学株式会社 GaN系発光ダイオードおよび発光装置
JP4918235B2 (ja) * 2005-08-03 2012-04-18 昭和電工株式会社 pn接合型化合物半導体発光ダイオード
US7514721B2 (en) * 2005-11-29 2009-04-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Luminescent ceramic element for a light emitting device
JP5068472B2 (ja) * 2006-04-12 2012-11-07 昭和電工株式会社 発光装置の製造方法
JP2008053602A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体素子及びその製造方法
GB2442767A (en) * 2006-10-10 2008-04-16 Firecomms Ltd A vertical cavity surface emitting optical device
JP2008294303A (ja) * 2007-05-25 2008-12-04 Okuto Koden Kagi Kofun Yugenkoshi 光増強素子
WO2009069785A1 (ja) * 2007-11-29 2009-06-04 Kyocera Corporation 発光素子及び照明装置
CN101459163B (zh) * 2007-12-12 2011-07-06 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 发光二极管
DE102008020817A1 (de) * 2008-04-25 2009-10-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Leuchteinheit
GB0821135D0 (en) * 2008-11-19 2008-12-24 Univ Leiden Lanthanide compounds
JP5028466B2 (ja) * 2008-11-27 2012-09-19 サムソン エルイーディー カンパニーリミテッド. 車用ヘッドライト
EP2433314A1 (en) 2009-04-20 2012-03-28 3M Innovative Properties Company Non-radiatively pumped wavelength converter
US8455904B2 (en) 2009-04-20 2013-06-04 3M Innovative Properties Company Non-radiatively pumped wavelength converter
JP5321656B2 (ja) * 2011-08-05 2013-10-23 三菱化学株式会社 GaN系発光ダイオードおよび発光装置
JP5768759B2 (ja) * 2012-04-27 2015-08-26 豊田合成株式会社 半導体発光素子
JP6229479B2 (ja) 2013-12-18 2017-11-15 豊田合成株式会社 面状光源および発光素子の製造方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US40982A (en) * 1863-12-15 Improvement in fan-blowers
JPH05335622A (ja) 1992-05-27 1993-12-17 Asahi Chem Ind Co Ltd 半導体発光装置
JP2748818B2 (ja) 1993-05-31 1998-05-13 日亜化学工業株式会社 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
JP2836685B2 (ja) 1993-02-02 1998-12-14 日亜化学工業株式会社 p型窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法
JPH0783136B2 (ja) 1993-02-10 1995-09-06 日亜化学工業株式会社 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
DE19638667C2 (de) * 1996-09-20 2001-05-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Mischfarbiges Licht abstrahlendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement
JP2868081B2 (ja) 1996-09-17 1999-03-10 日亜化学工業株式会社 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
JP3992770B2 (ja) 1996-11-22 2007-10-17 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその形成方法
JPH10256602A (ja) 1997-03-12 1998-09-25 Sharp Corp 半導体発光素子
JP3139618B2 (ja) 1997-08-19 2001-03-05 サンケン電気株式会社 発光ダイオード装置
JP2947344B2 (ja) 1997-08-19 1999-09-13 サンケン電気株式会社 発光ダイオード装置
JP3369089B2 (ja) 1997-11-13 2003-01-20 日亜化学工業株式会社 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
JP3785820B2 (ja) * 1998-08-03 2006-06-14 豊田合成株式会社 発光装置
JP2000164933A (ja) 1998-11-26 2000-06-16 Nippon Denyo 光源装置
JP2000164939A (ja) 1999-01-01 2000-06-16 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置
US6287947B1 (en) * 1999-06-08 2001-09-11 Lumileds Lighting, U.S. Llc Method of forming transparent contacts to a p-type GaN layer
JP3400958B2 (ja) 1999-07-07 2003-04-28 株式会社シチズン電子 多色発光ダイオード
JP3393089B2 (ja) 1999-06-23 2003-04-07 株式会社シチズン電子 発光ダイオード
JP2000036626A (ja) 1999-07-26 2000-02-02 Sanken Electric Co Ltd 発光ダイオ―ド装置の製法
JP2001077430A (ja) 1999-09-02 2001-03-23 Citizen Electronics Co Ltd 発光ダイオード
JP2001223388A (ja) 2000-02-09 2001-08-17 Nippon Leiz Co Ltd 光源装置
JP2002111072A (ja) 2000-09-29 2002-04-12 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置
TW516248B (en) * 2001-12-21 2003-01-01 Epitech Technology Corp Nitride light emitting diode with spiral-shaped metal electrode

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003234504A (ja) 2003-08-22
US20030160259A1 (en) 2003-08-28
US6835958B2 (en) 2004-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3972670B2 (ja) 発光装置
JP4114331B2 (ja) 発光装置
JP3655267B2 (ja) 半導体発光装置
KR100638294B1 (ko) 발광 장치
JP4101468B2 (ja) 発光装置の製造方法
US7319289B2 (en) Light emitting device
JP4640248B2 (ja) 光源装置
JP4932078B2 (ja) 発光装置及びその製造方法
JP2007042668A (ja) Led発光装置
JP2002042525A (ja) 面状光源
JP2003101078A (ja) 発光装置
JP5066786B2 (ja) 窒化物蛍光体及びそれを用いた発光装置
US20170358716A1 (en) Light emitting device package and method of manufacturing the same
JP4892861B2 (ja) 窒化物蛍光体及びそれを用いた発光装置
JP2011508416A (ja) 発光ダイオードパッケージ
JP2005008844A (ja) 蛍光体及びそれを用いた発光装置
KR20020082143A (ko) 반도체 발광 장치
JP2002252372A (ja) 発光ダイオード
JP2005032661A (ja) 光源装置およびこれを用いた車両用前照灯
US20140070243A1 (en) Light-emitting device and method of manufacturing the same
JP5606342B2 (ja) 発光装置
US10937934B2 (en) Light emitting device package and lighting source device
US12015111B2 (en) Light emitting device package and light source module
JP2008041807A (ja) 白色光源
KR20180013511A (ko) 발광소자 패키지 및 조명장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040825

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070323

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070522

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070604

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110622

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110622

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120622

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120622

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130622

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees