JP3964029B2 - 半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特に、半導体集積回路装置に用いられる、特に大口径(8″φや300mmφ)の半導体基板のエッジ形状及び裏面を研削するバックグラインドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術としては、例えば、文献名 Surface Science Technology Series 3 シリコンの科学 UCS半導体基盤技術研究会 REALIZE INC.第4章 第3節 ウエハー加工 第4項 エッジ加工 P279〜282に開示されるものがあった。
【0003】
従来、半導体基板のエッジは、上記文献に示すようなNC面取りにより、エッジ加工を行い面取りを行っている。この面取りは、デバイスプロセスでのカケやチッピングを防止するためであり、面取り面の断面形状は、表面に対し、22°ないし11°の斜面とそれに続く曲面で構成されている。
【0004】
また、この半導体基板は、デバイスプロセスを経ると、バックグラインドにて所定の厚さに加工していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の半導体基板においては、バックグラインドにて薄膜化できない問題点があった。一般に、半導体基板は大口径化と共に厚さが増加しており、例えば、3″φでは380μmであったものが、4″φでは525μm、6″φでは625μm、8″φでは725μm、300mmφでは775μmと厚くなっており、パッケージングの都合で厚さをバックグラインドにて薄くする工程が必要である。
【0006】
しかし、デバイスプロセスを経た半導体基板での量産的バックグラインドの許容厚さは、3″φでは200μmが容易であったものが、4″φでは220μmでも相当量の折損率となり、6″φでは300μm程度であり、8″φで200μmは、一旦バックグラインドで350μm程度とし、その後バックエッチで150μmエッチ除去しなければならず、多大な工数と薬品代が必要であった。
【0007】
すなわち、折損率を極めて小さい値に見積もる厚さである量産的バックグラインドの許容厚さは、口径とともに厚くなっている。また、経験上許容厚は各口径の厚さの半分程度であり、それを越えて薄膜化すると、折損率が急激に増加する。この要因について、図18〜図20を参照しながら説明する。
【0008】
図18は従来の半導体基板のブレード型バックグラインドの概念図である。
【0009】
ウエハチャック1には真空吸着で半導体基板(以後、ウエハという)2が固定されている。ダイヤモンドを埋め込んだブレード3は、数千rpmで回転しているホイール4に固定されており、ウエハチャック1がブレード3に向かって移動することにより、ブレード3は研削部5を研削している。
【0010】
図19は従来のウエハ厚さ半分より少ない場合のバックグラインドでのブレード3がウエハ2のエッジ6に接触した瞬間の応力を示しており、大きな水平方向の応力と、それより小さい下向きの応力が発生しており、ウエハ2はウエハチャック1に十分に固定されることになり、問題はない。
【0011】
図20は従来のウエハ厚さ半分より多くバックグラインドする場合の応力を示しており、ブレード3はウエハ2のエッジ6の下部に接触するため、研削部の応力は水平方向と上向きの応力が発生する。
【0012】
そこで、ウエハ2はウエハチャック1に真空吸着により固定されているが、エッジは真空吸着が完全ではないことや、デバイスプロセスが原因であるウエハ2に反りがあることから、エッジ6の固定は完全ではなく、エッジ6は上方に浮くことがあり、その瞬間にエッジに集中応力が働き、ウエハ2が破損するといった問題があった。
【0013】
また、近年バックグラインドにおいてダイヤモンドの研磨材を含む砥石を回転させ、自公転しているウエハを裏面側から研削するインフィード型(disco社)のバックグラインドも採用されているが、原理的にはブレード型と同様にダイヤモンドの研磨材がウエハのエッジに衝突しており、上向きの応力が発生するウエハ厚さの半分より多くバックグラインドすると折損率は増加している。
【0014】
この問題を解決するため、ウエハをチャックに固定する方法として、ワックスも検討されたが、張り付け、剥がし、ワックス洗浄の工程が増加し、特に、ワックス洗浄において有機溶剤が必要であるが、近年環境汚染の防止により、採用が不可能であり、従来のウエハ及びそのプロセスでは、バックグラインドにて薄膜化できない問題があって、技術的に満足できるものは得られなかった。
【0015】
本発明は、上記問題点を除去し、デバイスプロセスにてエッジの欠けやチッピングを防止できる半導体基板の製造方法を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕半導体基板の製造方法において、ダイヤモンドを埋め込んだブレードを固定したホイールを半導体基板の表面に対して傾斜させて回転させ前記半導体基板の側面を研削し、前記ブレードを固定したホイールを回転させる際、前記ブレードの片方のブレード面が前記半導体基板のエッジに当たらず、かつ前記ブレードは前記半導体基板を研削する位置に前記ホイールの軸を固定し、前記ブレードが常に前記半導体基板の中心部からエッジに向かって、デバイスプロセスが完了した前記半導体基板のエッジを半周以上全周未満研削し、その後、ブレード型バックグラインド装置のブレードを前記半導体基板の前記研削によって形成された研削面と未研削面の境界に移動し、該未研削面を研削することにより、前記半導体基板のバックグラインドを行うようにしたものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0018】
図1は本発明の第1参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図2はそのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【0019】
この第1参考例では、これらの図に示すように、面取り前のウエハ201は表面201A、裏面201Bを有しており、その面取り前のウエハ201のエッジ(側面部)を、曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石701によって面取りする。
【0020】
すると、図2に示すように、ウエハ201の表面側のエッジ曲面が第1の円弧601を描き、前記ウエハ201の裏面側のエッジ曲面が第2の円弧602を描き、前記第1の円弧601の半径aは前記第2の円弧602の半径bより短く、かつ前記第2の円弧602の部分が前記ウエハ201の厚さの半分より表面側に位置するように形成する。
【0021】
このように、二つのエッジ曲面は表面と裏面に滑らかに接続するとともに、前記第2の円弧602の部分がウエハ201の厚みの中心より表面側に位置している。
【0022】
このような、第1参考例のバックグラインド時の応力について、図3を用いて説明する。
【0023】
図3は本発明の第1参考例の第2の円弧の部分の端にブレードが接触した瞬間の応力を示す図である。
【0024】
この図より明らかなように、第1の円弧と第2の円弧の境界部にブレード3が接触した時は、水平の応力があるのみである。
【0025】
このように、第1参考例によれば、ウエハ201のエッジは表面側の円弧601と裏面側の円弧602は連続で接続された曲面となるので、デバイスプロセスにてエッジの欠けやチッピングを防止することができる。
【0026】
また、ウエハの表面側の円弧の半径aを小さくするようにしたので、その分、半径の大きい裏面側の円弧部分が表面側に移動しており、バックグラインドにて折損率を増加させることなく、従来よりウエハの薄膜化を図ることができる。
【0027】
また、この参考例では、ウエハのエッジ加工において、回転砥石を変更するのみで、実施できるので、デバイスプロセスにおいて、工数増加を伴うことなく、実施することができる。
【0028】
次に、本発明の第2参考例について説明する。
【0029】
図4は本発明の第2参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図5はそのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【0030】
これら図に示すように、ウエハ202は表面202A、裏面202Bを有しており、その面取り前のウエハ202のエッジ(側面部)を、曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石702によって面取りする。
【0031】
すると、図5に示すように、その面取り前のウエハ202の表面側のエッジ曲面が第1の楕円弧603を描き、前記ウエハ202の裏面側のエッジ曲面が第2の楕円弧604を描き、前記第1の楕円弧603の短軸の長さaが前記第2の楕円弧604の短軸の長さbより短く、前記第2の楕円弧604の部分が前記ウエハ202の厚さの半分より表面側に位置するように形成する。
【0032】
このように、第2参考例によれば、ウエハ202のエッジは、表面側のエッジ603と裏面側のエッジ604は連続で接続された曲面で形成されるので、デバイスプロセスにてエッジの欠けやチッピングを防止することができる。
【0033】
したがって、第2参考例によれば、第1参考例と同様にバックグラインドにてウエハ202のエッジに加わる応力としては、上向きの応力は発生しない。
【0034】
よって、第1参考例と同様の効果が得られるばかりでなく、エッジの断面形状を形成している曲線に楕円を採用したので、両者の曲面はより滑らかに接続できて、その境界部をより表面に位置させることが可能となり、結果として、バックグラインドでの薄膜化を図ることができる。
【0035】
次に、本発明の第3参考例について説明する。
【0036】
図6は本発明の第3参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図7は本発明の第3参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【0037】
この参考例では、図6に示すように、デバイスプロセスが完了した斜面605が形成された面取り前のウエハ203のエッジを、曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石で面取りする。
【0038】
すると、図7に示すように、22°の斜面605に滑らかに接続したウエハ203の表面203A側のエッジ曲面が第1の楕円弧606を描き、前記ウエハ203の裏面203B側のエッジ曲面が第2の楕円弧608を描き、前記第1の楕円弧606の短軸の長さaが前記第2の楕円弧608の短軸の長さbより短く、前記第2の楕円弧608の部分が前記ウエハ203の厚さの半分より表面側に位置するように形成する。
【0039】
このように、エッジ曲面が表面側の22°の斜面605と裏面側の斜面607に滑らかに接続するとともに、2つのエッジ曲面の境界部がウエハ203の厚みの中心より表面側に位置している。
【0040】
したがって、図示していないが、この第3参考例では、第1参考例と同様に、2つのエッジ曲面の境界部までバックグラインドにてウエハ203のエッジに加わる応力において、上向きの応力は発生しない。
【0041】
したがって、第1参考例と同様の効果が得られるばかりでなく、エッジ曲面のの断面形状において、表面側には従来一般的に用いられている22°の斜面を有しているので、デバイスプロセス、特にホトリソでレジスト塗布でのエッジの効果において、従来と変わらない特徴を奏することができる。
【0042】
次に、本発明の第4参考例について説明する。
【0043】
図8は本発明の第4参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【0044】
この参考例では、図8に示すように、デバイスプロセスが完了した斜面605,607が形成された面取り前のウエハ204のエッジを曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石703Aで面取りする。
【0045】
すなわち、ウエハ204は表面204A、裏面204Bを有しており、そのウエハ204は、エッジの断面形状を表面側の22°の斜面605と、それに接続している表面側のエッジ曲面が数式y=xn1の弧609を描き、前記ウエハ204の裏面側のエッジ曲面が数式y=−xn2の弧610を描き、座標原点は最大直径部を得る点であり、yは表面方向であり、xは厚さ方向で曲線を表しており、n1>n2であり、最大直径部分である2つのエッジ曲面の境界部が、前記ウエハ204の厚さの半分より表面側に位置するように形成する。
【0046】
この参考例によれば、図示していないが、第1参考例と同様にバックグラインドにてウエハのエッジに加わる応力において上向きの応力は発生しない。
【0047】
したがって、第3参考例と同様の効果を奏することができるばかりでなく、エッジの曲線に高次曲線を用いているため、より2つのエッジ曲面の境界部の位置を表面側に移動することができ、結果として、バックグラインドでの薄膜化を図ることができる。
【0048】
次に、本発明の第5参考例について説明する。
【0049】
図9は本発明の第5参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図10はそのエッジ研磨の手順を示す図である。
【0050】
この参考例では、デバイスプロセスを完了したウエハ205は、表面205A、裏面205Bを有しており、そのウエハ205のエッジを垂直な面で形成した円柱状の回転砥石704にてエッジ研磨を行う。エッジ研磨を行ったウエハ205の垂直研磨面611は円柱状の回転砥石704にて形成したものである。その後、バックグラインドにて裏面を研削し、裏面研削面8を得る。
【0051】
この参考例によれば、図示していないが、垂直研磨面611をバックグラインドすれば、第1参考例と同様にウエハのエッジに加わる応力において、上向きの応力は発生しない。
【0052】
したがって、バックグラインド工程前にエッジ研磨工程を付加するだけで、いかなる形状のエッジ断面形状のウエハであっても、バックグラインドの限界近くまで薄膜化することができる。
【0053】
次に、本発明の第6参考例について説明する。
【0054】
図11は本発明の第6参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図12は第6参考例における研磨の手順を示す図である。
【0055】
この参考例では、これらの図に示すように、デバイスプロセスを完了したウエハ206は、表面206A、裏面206Bを有しており、このウエハ206のエッジを垂直な面とウエハ側への斜面で構成した円錐状の回転砥石705にてエッジ研磨を実施する。エッジ研磨を行ったウエハ206の垂直部を含む斜面で構成した研磨面612は回転砥石705にて形成したものである。その後、ウエハ206を逆さまにして、バックグラインドにて裏面を研削し、裏面研削面8を得る。
【0056】
この参考例によれば、図示していないが、研磨面612をバックグラインドすれば、第1参考例と同様にウエハのエッジに加わる応力において、上向きの応力は発生しない。
【0057】
したがって、上記第5参考例と同様の効果が得られると共に、研磨面612の斜面をバックグラインドする場合は、ウエハのエッジに加わる応力が常に下向きであり、折損率を極めて改善することができる。
【0058】
次に、本発明の第7参考例について説明する。
【0059】
図13は本発明の第7参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図14はそのウエハのエッジ研磨の手順を示す図である。
【0060】
この参考例では、デバイスプロセスを完了したウエハ207は、表面207A、裏面207Bを有しており、このウエハ207のエッジ(側面部)を、曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石706によって面取りする。
【0061】
すなわち、デバイスプロセスが完了したウエハ207の表面側の斜面に滑らかに接続したエッジ曲面が第1の楕円弧を描き、前記半導体基板の裏面側のエッジ曲面が第2の楕円弧を描き、前記第1の楕円弧の短軸の長さが前記第2の楕円弧の短軸の長さより短く、前記第2の楕円弧の部分が前記半導体基板の厚さの半分より表面側に位置するように曲面が軸方向に形成される柱状の回転砥石706でウエハ207の面取りを行い、エッジ研磨を実施する。その後、バックグラインドにて裏面を研削し、裏面研削面8を得る。
【0062】
この参考例によれば、図示してないが、第2参考例と同様に、2つの楕円弧の境界部までバックグラインドにてウエハのエッジに加わる応力において上向きの応力は発生しない。
【0063】
したがって、上記第5参考例と同様の効果を奏することができると共に、研磨面613は曲線で面取りされているため、バックグラインド前工程での欠けやチッピングを防止することができる。
【0064】
次に、本発明の第8参考例について説明する。
【0065】
図15は本発明の第8参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図、図16はそのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【0066】
この参考例では、回転するウエハチャック11にデバイスプロセスを完了したウエハ208の表面208Aを真空吸着させ固定する装置と、ダイヤモンドを埋め込んだブレード40を固定したホイール41と、このホイール41のブレード40の片方が回転により、ウエハ208のエッジに当たらない程度に傾斜させており、ブレード40が常にウエハ208の中心部からエッジに向かって研削できる位置関係となっている。
【0067】
このブレード40にてウエハ208のエッジを全周研削し、面取り研削面614を得るようにしている。なお、208Bはウエハ208の裏面である。図16はウエハのエッジ研削の手順を示しており、全周面取り研削したウエハ208の研削面614はホイール41にて形成したものである。その後、バックグラインドにて裏面を研削し、裏面研削面8を得る。
【0068】
この参考例によれば、図示していないが、第1参考例と同様にバックグラインドにてウエハのエッジに加わる応力において、上向きの応力は発生しない。
【0069】
したがって、上記第5参考例と同様の効果を奏することができると共に、研削面614の斜面をバックグラインドしているため、ウエハ208のエッジに加わる応力が常に下向きであり、折損率を極めて改善することができる。
【0070】
次に、本発明の実施例について説明する。
【0071】
図17は本発明の実施例を示す、第8参考例に示した製造装置により、面取り研削を全周の略半分実施した平面模式図である。
【0072】
この実施例では、ウエハ209の裏面を略半周面取り研削し、研削面615を得ている。ブレード型バックグラインドにてブレードが固定されているホイール41に対し研削移動方向に研削面615と未研削の境界を合わせ、かつホイール41のブレードが当たる側に研削面615を位置させ、裏面を研削する。
【0073】
この実施例によれば、図示していないが、第1参考例と同様に面取り研削部分のバックグラインドにてウエハのエッジに加わる応力において上向きの応力は発生しない。
【0074】
したがって、第8参考例と同様の効果を奏することができると共に、研削面615は半周しか研削する必要がないので、研削時間の短縮化を図ることができる。
【0075】
なお、本発明は、Siウエハについて述べたが、化合物半導体基板においても同様の効果を奏することができる。
【0076】
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0077】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、半導体基板の研削面は半周しか研削しなくて済むので、研削時間の短縮化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図2】 本発明の第1参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【図3】 本発明の第1参考例のウエハの最大直径部にブレードが接触した瞬間の応力を示す図である。
【図4】 本発明の第2参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図5】 本発明の第2参考例を示すバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【図6】 本発明の第3参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図7】 本発明の第3参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされたウエハの構造を示す側面図である。
【図8】 本発明の第4参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【図9】 本発明の第5参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図10】 本発明の第5参考例を示すウエハのエッジ研磨の手順を示す図である。
【図11】 本発明の第6参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図12】 本発明の第6参考例を示すウエハのエッジ研磨の手順を示す図である。
【図13】 本発明の第7参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図14】 本発明の第7参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【図15】 本発明の第8参考例を示すウエハのバックグラインド方法の説明図である。
【図16】 本発明の第8参考例を示すウエハのバックグラインド方法によって面取りされるウエハの構造を示す側面図である。
【図17】 本発明の実施例を示す、第8参考例の製造装置により、面取り研削を全周の半分実施した平面模式図である。
【図18】 従来の半導体基板のブレード型バックグラインドの概念図である。
【図19】 従来のウエハ厚さ半分より少ない場合のバックグラインドでのブレードがウエハのエッジに接触した瞬間の応力を示す図である。
【図20】 従来のウエハ厚さ半分より多くバックグラインドする場合の応力を示す図である。
【符号の説明】
3 ブレード
8 裏面研削面
11 ウエハチャック
40 ブレード
41 ホイール
201,202,203,204,205,206,207,208,209 ウエハ(半導体基板)
201A,202A,203A,204A,205A,206A,207A,208A 表面
201B,202B,203B,204B,205B,206B,207B,208B 裏面
601,602 円弧
603,604,606,608 楕円弧
605,607 斜面
609,610 弧
611 垂直研磨面
612 研磨面
613,614,615 研削面
701,702,703,703A,704,705,706 回転砥石
Claims (1)
- ダイヤモンドを埋め込んだブレードを固定したホイールを半導体基板の表面に対して傾斜させて回転させ前記半導体基板の側面を研削し、前記ブレードを固定したホイールを回転させる際、前記ブレードの片方のブレード面が前記半導体基板のエッジに当たらず、かつ前記ブレードは前記半導体基板を研削する位置に前記ホイールの軸を固定し、前記ブレードが常に前記半導体基板の中心部からエッジに向かって、デバイスプロセスが完了した前記半導体基板のエッジを半周以上全周未満研削し、その後、ブレード型バックグラインド装置のブレードを前記半導体基板の前記研削によって形成された研削面と未研削面の境界に移動し、該未研削面を研削することにより、前記半導体基板のバックグラインドを行うことを特徴とする半導体基板の製造方法。
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