JP3927796B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、キャリアテープおよびカバーテープを用いてテーピング梱包した半導体装置の外観検査に適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
樹脂封止型の半導体装置を出荷する際には、たとえば半導体装置を収納するエンボス穴を有するキャリアテープを用意し、そのエンボス穴に個々の半導体装置を収納する。次いで、エンボス穴をカバーテープでシール(テーピング)した後、キャリアテープをテーピングリールに巻き取ることで出荷形態としている。このようなシール(テーピング)工程を行う装置については、たとえば2001年2月26日、株式会社プレスジャーナル発行、「2001年度版 最新半導体組み立て/パッケージング技術」、p251〜p256に記載がある。
【0003】
上記エンボス穴の底部には穴が形成されている。半導体装置をエンボス穴に収納する際には、このエンボス穴底部に形成された穴からバキュームで吸い寄せることによって半導体装置をエンボス穴内へ導く手段が用いられる。また、キャリアテープの外部からこの穴にピンを挿入し、半導体装置を突き上げることにより、半導体装置をキャリアテープより取り出すことを可能としている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、半導体装置が収納されたキャリアテープをテーピングリールに巻き取った後において半導体装置の外観検査を行う手段について検討している。すなわち、半導体装置が収納されたキャリアテープをテーピングリールから引き出しながらカバーテープ上よりエンボス穴内の半導体装置に照明を照射し、CCDカメラなどにより半導体装置の画像を取得することにより半導体装置の外観検査を行うものである。しかしながら、このような手段においては次のような課題が存在することを本発明者らは見出した。この課題を図5および図6を用いて説明する。
【0005】
図5に示すように、上記半導体装置の外観検査の際には、エンボス穴EMB内に半導体装置PKGが収納されたキャリアテープCARTを、カバーテープCOVTおよびガラスカバーGLSCが添付された面が上向きになるようにし、エンボス穴EMBの底部に形成された穴部HOLEが下向きになるようにしてガイドレールGUDR上に配置する。このような状態で、光源LITによりカバーテープCOVT上から半導体装置PKGに光を照射する。この時、半導体装置PKGからの反射光が直接カメラCCDに入射しないように、光源LITからの光がカバーテープCOVTに対して斜めに入射するようにする。このような状況下でカメラCCDによって撮影された半導体装置PKGの画像に対して、カメラCCDと接続されたコンピュータ(図示は省略)を用いて所定の処理を施すことによって、半導体装置PKGの外観検査を行うものである。
【0006】
ところで、図6に示すように、上記エンボス穴EMBの底部に穴部HOLEを形成する際には、穴部HOLE外周部にバリBARIが形成されてしまう場合がある。このようなバリBARIが形成されている場合、エンボス穴EMB内に収納された半導体装置PKGはバリBARI上に乗り上げて、エンボス穴EMB内にて傾いた状態で配置されることになる。このような状況下で光源LITより半導体装置PKGに光を照射すると、半導体装置PKGからの反射光は直接カメラCCDに入射してしまう場合がある。このような場合にカメラCCDに撮像された画像では、半導体装置PKGの表面は光ってしまい、外観に不良箇所のない半導体装置PKGでもコンピュータに不良品と判定されてしまう問題がある。
【0007】
本発明の目的は、キャリアテープのエンボス穴の底部に形成された穴部の外周部にバリが形成されている場合でも、エンボス穴内に収納された半導体装置の外観検査を安定して行うことのできる技術を提供することにある。
【0008】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【0010】
すなわち、本発明は、第1穴部を有し、前記第1穴部の底部には第2穴部が形成され、前記第1穴部内に半導体装置が収納され、前記第1穴部の開口部がカバーテープによって覆われたキャリアテープを用意する工程と、前記キャリアテープを前記第1穴部の開口部が下向きになるように配置した後、前記第1穴部の開口部より前記半導体装置へ光を照射した状況下で前記第1穴部の開口部の方向から前記半導体装置の外観を検査する工程とを含むものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0012】
(実施の形態1)
本実施の形態1の半導体装置は、たとえば樹脂封止型のダイオードパッケージである。樹脂封止型のダイオードパッケージは、図1に示すように、まず分割領域によって複数の半導体チップ形成領域に区画された半導体ウェハにダイオード素子(半導体素子)を形成する(工程P1)。このダイオード素子は、各々の半導体チップ形成領域に形成されるものである。続いて、半導体ウェハを前記分割領域に沿って分割する(工程P2)。この時、分割された各々の半導体チップ(以下、ペレットという)が含むダイオード素子のカソードおよびアノードのそれぞれは、ペレットの主面(素子形成面)側に形成された表面電極または裏面側に形成された裏面電極のどちらかと電気的に接続されている。
【0013】
次に、Cu(銅)またはFe(鉄)−Ni(ニッケル)合金から形成され、カソード側およびアノード側の2本で対になったリードを有するリードフレームを用意し、上記ペレットの下部電極をそのリードの一方に接着する。続いて、たとえばAu(金)から形成されたワイヤを用いて、他方のリードと表面電極とを電気的に接続する(工程P3)。
【0014】
次に、上記ペレットおよびリードをモールド樹脂にて封止する(工程P4)。続いて、そのモールド樹脂の表面に極性識別マークおよび製品識別マークなどを形成(工程P5)した後、上記リードをリードフレームから切り離し、樹脂封止型のダイオードパッケージを製造する。
【0015】
次に、エンボス状(凹型)の穴部を有するキャリアテープを用意し、その穴部に上記ダイオードパッケージを収納する。この時、1個の穴部には1個のダイオードパッケージが収納される。続いて、その穴部をカバーテープでシール(テーピング)した後、キャリアテープをテーピングリールに巻き取る(工程P6)。次いで、テーピングリールに巻き取られたキャリアテープを引き出しながら、カバーテープ上より穴部内のダイオードパッケージを観察することでそのダイオードパッケージの外観検査を行う(工程P7)。この外見検査によって不良箇所が発見されなかったダイオードパッケージについては製品として出荷することができる(工程P8)。この外観検査の後、空のテーピングリールにキャリアテープを巻き取ることにより、出荷形態とすることができる。
【0016】
図2は、上記外観検査方法を示す説明図である。
【0017】
キャリアテープ1は、たとえばポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレートまたはポリ塩化ビニルなどから形成されている。エンボス状(凹型)の穴部(第1穴部)2の底部には穴部(第2穴部)3が形成されており、この穴部3からバキュームで吸い寄せることによってダイオードパッケージ(半導体装置)4を穴部2内へ導くことができる。また、キャリアテープ1の外部から穴部3にピンを挿入し、ダイオードパッケージ4を突き上げ、さらに真空吸着することにより、ダイオードパッケージ4をキャリアテープ1より取り出すことも可能である。穴部2の開口部は、たとえばPET(ポリエチレンテレフタレート)からなるカバーテープ5でシール(テーピング)されている。
【0018】
上記したようなキャリアテープ1は、穴部2の開口部を下に向けてガイドレール6上を搬送される。ガイドレール6上には透明なカバーガラス(第1カバー板)7が配置され、カバーテープ5は、このカバーガラス7に押し当てられる状態となる。カメラ8は、下方よりこのカバーガラス7を通して穴部2内のダイオードパッケージ4の外観を撮像することができる。カメラ8がダイオードパッケージ4の外観を撮像する際には、たとえばハロゲンランプなどの光源9より外観検査対象のダイオードパッケージ4へ向かって光を照射する。カメラ8としては、たとえばCCD(Charge Coupled Device)カメラを用いることができ、カメラ8によって撮像された画像は、カメラ8と接続されたコンピュータ(図示は省略)によって取り込まれた後、所定の画像処理が施されることによってダイオードパッケージ4の外観検査が行われる。また、キャリアテープ1の搬送時においては、たとえばステンレスからなる製品カバー10がキャリアテープ1を上部から支持している。これにより、その搬送時におけるキャリアテープ1の揺れを防ぐことができるようになるので、その搬送の安定性を向上することができる。また、キャリアテープ1の揺れを防ぐことができるようになることから、穴部2内に収納されたダイオードパッケージ4が振動することを防ぐことができるようになる。その結果、カメラ8によるダイオードパッケージ4の撮影を安定して行うことが可能となる。
【0019】
穴部2の開口部を下に向けた状態のキャリアテープ1においては、ダイオードパッケージ4はカバーテープ5によって保持されることになる。それにより、穴部3の外周部にバリが形成されていても、そのバリにダイオードパッケージ4が乗り上げて傾いてしまうことを防ぐことができる。また、上記ダイオードパッケージ4の外観検査時においては、カバーテープ5がカバーガラス7に押し当てられる状態となることから、カバーテープ5に緩みが発生していた場合でも、その緩みを解消することができる。それにより、ダイオードパッケージ4が傾いた姿勢でカバーテープ5によって保持されることを防ぐことが可能となる。その結果、ダイオードパッケージ4からの反射光が直接カメラ8に入射してしまうことを防ぐことができる。すなわち、カメラ8によって撮像された画像中で、ダイオードパッケージ4が光ってしまうことを防ぐことができるので、外観に不良箇所のないダイオードパッケージ4が図示しないコンピュータによって不良品と判定されてしまうことを防ぎ、安定した外観検査を行うことが可能となる。このような誤判定を防ぐことが可能になることから、良品として出荷できるダイオードパッケージ4の個数を増加させることが可能となる。それにより、単位個数当たりのダイオードパッケージ4の製造コストを低減することが可能となる。
【0020】
上記のようなダイオードパッケージ4の外観検査後、キャリアテープ1を空のテーピングリールに巻き取り、出荷形態とすることができる。
【0021】
(実施の形態2)
図3は、本実施の形態2における半導体装置の外観検査方法を示す説明図である。
【0022】
図3に示すように、本実施の形態2もキャリアテープ1が有するエンボス状(凹型)の穴部2に収納されたダイオードパッケージ4の外観検査を、穴部2の開口部を覆うカバーテープ5の上部よりダイオードパッケージ4を観察することで行うものである。
【0023】
前記実施の形態1では、ダイオードパッケージ4の外観検査時においては、カバーテープ5をカバーガラス7に押し当てることによってカバーテープ5に発生した緩みを解消する手段を例示したが、本実施の形態2はそれを確実に行うものである。すなわち、図3に示すように、キャリアテープ1の外部から穴部3にピン(第1工具)11を挿入し、このピン11によりダイオードパッケージ4をカバーテープ5に押し付けるものである。これにより、カバーテープ5はカバーガラス7に押し付けられることになり、カバーテープ5に緩みが発生していた場合でも、前記実施の形態1より確実にその緩みを解消することができる。その結果、本実施の形態2によれば、前記実施の形態1の場合よりも確実にダイオードパッケージ4が傾いた姿勢でカバーテープ5に保持されることを防ぐことが可能となる。なお、前記実施の形態1において示した製品カバー10(図2参照)を用いても穴部3へのピン11の挿入が可能ならば、本実施の形態2においても製品カバー10を用いてもよい。
【0024】
また、図3においては、キャリアテープ1が穴部2の開口部を下に向けてガイドレール6上を搬送される場合について図示したが、穴部2の開口部を上に向けてもよい。本実施の形態2では、ピン11を用いてダイオードパッケージ4をカバーテープ5に押し付けることから、穴部2が上向きに開口し穴部3の外周部にバリが形成されていても、そのバリにダイオードパッケージ4が乗り上げて傾いてしまうことを防ぐことができる。それにより、ダイオードパッケージ4からの反射光が直接カメラ8に入射してしまうことを防ぐことができるので、カメラ8によって撮像された画像中で、ダイオードパッケージ4が光ってしまうことを防ぐことができる。すなわち、外観に不良箇所のないダイオードパッケージ4が図示しないコンピュータによって不良品と判定されてしまうことを防ぎ、安定した外観検査を行うことが可能となる。
【0025】
(実施の形態3)
図4は、本実施の形態3における半導体装置の外観検査方法を示す説明図である。
【0026】
図4に示すように、本実施の形態3もキャリアテープ1が有するエンボス状(凹型)の穴部2に収納されたダイオードパッケージ4の外観検査を、穴部2の開口部を覆うカバーテープ5の上部よりダイオードパッケージ4を観察することで行うものである。
【0027】
本実施の形態3においては、図4に示すように、穴部2の開口部を上に向けてキャリアテープ1をガイドレール6上に配置し、キャリアテープ1の下部にエアー供給機構12を配置する。ダイオードパッケージ4の外観検査時においては、そのエアー供給機構12を用いて穴部3より穴部2内へエアーを供給する。この時、供給されたエアーの圧力によりダイオードパッケージ4はカバーテープ5に押し付けられる。これにより、カバーテープ5はカバーガラス7に押し付けられることになり、カバーテープ5に緩みが発生していた場合でも、その緩みを解消することができる。なお、この時、エアーとして湿気を含まないドライエアーまたはN2(窒素)などの不活性ガスを用いることにより、ダイオードパッケージ4が吸湿してしまうことを防ぐことができる。
【0028】
また、ダイオードパッケージ4は上記エアーの圧力により穴部2内で持ち上げられた状態となることから、穴部2の底部に形成された穴部3の外周部にバリが形成されていても、そのバリにダイオードパッケージ4が乗り上げて傾いてしまうことを防ぐことができる。それにより、ダイオードパッケージ4からの反射光が直接カメラ8に入射してしまうことを防ぐことができるので、カメラ8によって撮像された画像中で、ダイオードパッケージ4が光ってしまうことを防ぐことができる。すなわち、本実施の形態3においても、外観に不良箇所のないダイオードパッケージ4が図示しないコンピュータによって不良品と判定されてしまうことを防ぎ、安定した外観検査を行うことが可能となる。
【0029】
図4においては、穴部2の開口部を上に向けてキャリアテープ1をガイドレール6上に配置した場合について図示したが、穴部2の開口部を下に向けてもよい。この場合には、上記エアー供給機構12をキャリアテープ1上に配置して穴部3より穴部2内へエアーを供給することにより、図3に示した構成と同様の効果を得ることが可能となる。
【0030】
以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0031】
たとえば、前記実施の形態においては、半導体装置が樹脂封止型のダイオードパッケージである場合について示したが、ダイオードパッケージ以外の樹脂封止型の半導体装置に対して適用することも可能である。
【0032】
【発明の効果】
本願によって開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
(1)キャリアテープが有するエンボス状の穴部(第1穴部)に収納された半導体装置の外観検査を、その穴部の開口部を覆うカバーテープ上からカメラを用いて撮像することで行う場合に、前記穴部の開口部から半導体装置へ照射した光の反射光が直接カメラに入射することを防ぐことができるので、外観に不良箇所のない半導体装置が不良品と判定されてしまうことを防ぐことができる。
(2)キャリアテープが有するエンボス状の穴部(第1穴部)に収納された半導体装置の外観検査を、その穴部の開口部を覆うカバーテープ上からカメラを用いて撮像することで行う場合に、前記穴部の底部に形成された穴部(第2穴部)の外周部にバリが形成されていても、半導体装置がそのバリに乗り上げて傾いてしまうことを防ぐことができるので、前記穴部に収納された半導体装置を安定した姿勢で保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造フローチャートを示す説明図である。
【図2】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造工程中における半導体装置の外観検査方法を示す説明図である。
【図3】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中における半導体装置の外観検査方法を示す説明図である。
【図4】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中における半導体装置の外観検査方法を示す説明図である。
【図5】本発明者らが検討した課題を説明する説明図である。
【図6】本発明者らが検討した課題を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 キャリアテープ
2 穴部(第1穴部)
3 穴部(第2穴部)
4 ダイオードパッケージ(半導体装置)
5 カバーテープ
6 ガイドレール
7 カバーガラス(第1カバー板)
8 カメラ
9 光源
10 製品カバー
11 ピン(第1工具)
12 エアー供給機構
BARI バリ
CART キャリアテープ
CCD カメラ
COVT カバーテープ
EMB エンボス穴
GLSC ガラスカバー
GUDR ガイドレール
HOLE 穴部
LIT 光源
P1〜P8 工程
PKG 半導体装置
Claims (1)
- (a)第1穴部を有し、前記第1穴部の底部には第2穴部が形成され、前記第1穴部内に半導体装置が収納され、前記第1穴部の開口部がカバーテープによって覆われたキャリアテープを用意する工程、
(b)前記キャリアテープをガイドレール上に配置する工程、
(c)前記(b)工程後、前記第2穴部より前記第1穴部内へ第1工具を挿入して前記半導体装置を突き上げ、前記半導体装置を前記カバーテープに押し付ける工程、
(d)前記(c)工程後、前記第1穴部の開口部より前記カバーテープに対して斜め方向から前記半導体装置へ光を照射した状況下で前記第1穴部の開口部の方向から前記半導体装置の外観を検査する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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