JPH0274819A - リード形状計測装置 - Google Patents
リード形状計測装置Info
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- JPH0274819A JPH0274819A JP22569788A JP22569788A JPH0274819A JP H0274819 A JPH0274819 A JP H0274819A JP 22569788 A JP22569788 A JP 22569788A JP 22569788 A JP22569788 A JP 22569788A JP H0274819 A JPH0274819 A JP H0274819A
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＩＣパッケージの外観検査に関し、特にリード
形状の計測を行う装置に関する。
形状の計測を行う装置に関する。
表面実装形パッケージ（以下、 ＯＵＴという）のリー
ド形状の計測項目は色々あるが、この中で特にフラット
パッケージのリード先端部の角度の測定に関し説明する
。従来では第３図に示すように、ＣＵＴのり−ド１の上
部より、該リード１の先端部ｌａの近辺とり−ド１の第
１折れ曲り部１ｂ近辺にそれぞれ距離センサ２，３を配
置し、距離センサ２，３の間隔ｄ１を一定に保ちリード
１のピッチ方向に移動する機構を備え、各リードに対し
両者の距離差ｄ２を求めることにより、角度（θ）を θ＝ ｔ ａ ｎ−１（ｄｚ／ ｄｔ）として求めてい
た。
ド形状の計測項目は色々あるが、この中で特にフラット
パッケージのリード先端部の角度の測定に関し説明する
。従来では第３図に示すように、ＣＵＴのり−ド１の上
部より、該リード１の先端部ｌａの近辺とり−ド１の第
１折れ曲り部１ｂ近辺にそれぞれ距離センサ２，３を配
置し、距離センサ２，３の間隔ｄ１を一定に保ちリード
１のピッチ方向に移動する機構を備え、各リードに対し
両者の距離差ｄ２を求めることにより、角度（θ）を θ＝ ｔ ａ ｎ−１（ｄｚ／ ｄｔ）として求めてい
た。
上述した従来の計測方法では、フラットパッケージＤＯ
Ｔ自身又は距離センサ２，３が左右方向にずれた場合、
リード１の先端部から外れた位置（リードのない所）を
センスしたりまた第１折れ曲り部１ｂと第２折れ曲り部
１ｃの間をセンスすることになり期待する位置のデータ
が得られないため、高精鷹の位置合せ機構が必要であり
、さらに最近の傾向でリード先端部と第１折れ曲り部の
距離が短くなる方向にあり、この場合距離センサ間隔が
取れなくなり検出できなくなるという欠点があった。
Ｔ自身又は距離センサ２，３が左右方向にずれた場合、
リード１の先端部から外れた位置（リードのない所）を
センスしたりまた第１折れ曲り部１ｂと第２折れ曲り部
１ｃの間をセンスすることになり期待する位置のデータ
が得られないため、高精鷹の位置合せ機構が必要であり
、さらに最近の傾向でリード先端部と第１折れ曲り部の
距離が短くなる方向にあり、この場合距離センサ間隔が
取れなくなり検出できなくなるという欠点があった。
本発明の目的は前記課題を解決したリード形状計測装置
を提供することにある。
を提供することにある。
上述した従来の計測方法即ち２カ所に配置した距離セン
サの物理的位置を基本とし絶対測定を行っていることに
対し、本発明は１つの距離センサでリードの長さ方向に
対し一定間隔毎の距離データを収集し、得られたデータ
よりリードの先端部と第１折れ曲り部をデータ処理によ
り相対測定で求めるという相違点を有する。
サの物理的位置を基本とし絶対測定を行っていることに
対し、本発明は１つの距離センサでリードの長さ方向に
対し一定間隔毎の距離データを収集し、得られたデータ
よりリードの先端部と第１折れ曲り部をデータ処理によ
り相対測定で求めるという相違点を有する。
前記目的を達成するため１本発明に係るリード形状計測
装置においては１表面実装形パッケージを載置した透明
板の下方にて距離センサを該パッケージのリード長さ方
向に沿って一定間隔で移動させる機構と、一定間隔毎に
距離データを記憶する記憶部と、記憶データを処理する
データ処理部とを有するものである。
装置においては１表面実装形パッケージを載置した透明
板の下方にて距離センサを該パッケージのリード長さ方
向に沿って一定間隔で移動させる機構と、一定間隔毎に
距離データを記憶する記憶部と、記憶データを処理する
データ処理部とを有するものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
図において、表面実装形パッケージ（ｏｕＴ）のり−ド
１，１を介して該パッケージＤＬＩＴを搭載する透明板
４を水平に設置し、該透明板４の下方に、距離センサ２
を配置し、該センサ２を移動機構５によりパッケージＤ
ＵＴのリード１の長さ方向に沿って一定間隔毎に移動可
能に設置する。６は距離センサ２からの一定間隔毎の距
離データを記憶する記憶部、７は記憶データを処理する
データ処理部である。
１，１を介して該パッケージＤＬＩＴを搭載する透明板
４を水平に設置し、該透明板４の下方に、距離センサ２
を配置し、該センサ２を移動機構５によりパッケージＤ
ＵＴのリード１の長さ方向に沿って一定間隔毎に移動可
能に設置する。６は距離センサ２からの一定間隔毎の距
離データを記憶する記憶部、７は記憶データを処理する
データ処理部である。
実施例において、透明板４上にフラットパッケージＤＯ
Ｔを置き、距離センサ２を移動機構５によりパッケージ
ＤＯＴの右側のリード１の先端部１ａを越えた位置に設
置する。その位置からリード１の付は根方向に距離セン
サ２を一定間隔毎に移動させる。このとき、一定間隔毎
の位置データと距離データを記憶部６に記憶する。
Ｔを置き、距離センサ２を移動機構５によりパッケージ
ＤＯＴの右側のリード１の先端部１ａを越えた位置に設
置する。その位置からリード１の付は根方向に距離セン
サ２を一定間隔毎に移動させる。このとき、一定間隔毎
の位置データと距離データを記憶部６に記憶する。
第４図に位置データと距離データの内容を示す。
記憶された位置データと距離データをデータ処理部７に
送り以下のように処理を行う。
送り以下のように処理を行う。
距離センサ２の最初の設定位置を第４図の原点ＯＲＧと
し、この原点ＯＲＧより記憶された内容を順次読みだし
、最初の距離データの急激な変化部ｘＯからｘｌを捜す
、第４図より位置×１がリード１の先端部になる。さら
にリード１の付は根方向に沿って距離データを順次読み
だし再度距離データの急激な変化部ｘ２からｘ３を捜す
。第４図より位置Ｘ２が第１折れ曲り部１ｂとなる。今
、一定間隔をＤとし位置Ｘｉ、 Ｘ２は原点ＯＲＧから
数えてそれぞれＮ、Ｎ番目とし、また位置ＸＩ、Ｘ２の
距離データをそれぞれ旧、Ｈ２とすると、 θ＝ ｔａｎ−１（Ｎ−Ｍ）ＸＤ／（Ｈ２−Ｈｌ））と
なり、求める角度θが求まる。
し、この原点ＯＲＧより記憶された内容を順次読みだし
、最初の距離データの急激な変化部ｘＯからｘｌを捜す
、第４図より位置×１がリード１の先端部になる。さら
にリード１の付は根方向に沿って距離データを順次読み
だし再度距離データの急激な変化部ｘ２からｘ３を捜す
。第４図より位置Ｘ２が第１折れ曲り部１ｂとなる。今
、一定間隔をＤとし位置Ｘｉ、 Ｘ２は原点ＯＲＧから
数えてそれぞれＮ、Ｎ番目とし、また位置ＸＩ、Ｘ２の
距離データをそれぞれ旧、Ｈ２とすると、 θ＝ ｔａｎ−１（Ｎ−Ｍ）ＸＤ／（Ｈ２−Ｈｌ））と
なり、求める角度θが求まる。
（実施例２）
次に、実施例２として第２図に示すようにスモールアウ
トラインゴーリードパッケージ（以下、ＳＯＪという）
について適用した場合について説明する。
トラインゴーリードパッケージ（以下、ＳＯＪという）
について適用した場合について説明する。
このＳＯＪのリード曲り計測項目の１つに、平面上にＳ
ＯＪを置いた場合、平面とリードの接触部との距離の計
測がある。これは、ＳＯＪを平面上に置いた場合、各リ
ードが平面に接触するか否かで、接触しない場合、平面
からどれだけ離れているかを計測するものである。そこ
でこの検出方法について説明する。
ＯＪを置いた場合、平面とリードの接触部との距離の計
測がある。これは、ＳＯＪを平面上に置いた場合、各リ
ードが平面に接触するか否かで、接触しない場合、平面
からどれだけ離れているかを計測するものである。そこ
でこの検出方法について説明する。
構成及び位置データ、距離データの求め方は実施例１と
同様である。今、あるリードについて求めた距離データ
を実施例１と同様に第４図の原点ＯＲＧよりリード１の
付は根方向に参照してゆき、第２図より最初の距離デー
タの急激な変化部ｘｓ。
同様である。今、あるリードについて求めた距離データ
を実施例１と同様に第４図の原点ＯＲＧよりリード１の
付は根方向に参照してゆき、第２図より最初の距離デー
タの急激な変化部ｘｓ。
からＸ８１を検出し、さらにリード１の先端部１ａ方向
に距離データを参照しり−ド１の先端部１ａがらパッケ
ージ本体に移る変化部ＸＳ２がらＸＳ３を検出する。そ
こで上記で求めた位置ＸＳＩとＸＳ２の間で最小の距離
データＸＳＭを求める。これを全リードについて求め全
リードの中での最小値を基準とし各リードの値との差を
求めれば、平面と各リードの接触部との距離の計測がで
きる。
に距離データを参照しり−ド１の先端部１ａがらパッケ
ージ本体に移る変化部ＸＳ２がらＸＳ３を検出する。そ
こで上記で求めた位置ＸＳＩとＸＳ２の間で最小の距離
データＸＳＭを求める。これを全リードについて求め全
リードの中での最小値を基準とし各リードの値との差を
求めれば、平面と各リードの接触部との距離の計測がで
きる。
以上説明したように本発明は、パッケージの位置及び距
離センサが若干移動してもリードの長さ方向に沿って距
離センサが移動できればよいため。
離センサが若干移動してもリードの長さ方向に沿って距
離センサが移動できればよいため。
高精度の位置合せの必要がなく、またリード長が短くな
っても一定間隔の距離を狭くすることにより精度良くリ
ード形状の計測ができる効果がある。
っても一定間隔の距離を狭くすることにより精度良くリ
ード形状の計測ができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明を用いてスモールアウトラインゴーリードパッケージ
を計測する場合を示す図、第３図は従来例を示す図、第
４図は本発明の実施例で使用した位置データと距離デー
タとの関係を示す図である。 ２・・・距離センサ ４・・・透明板５・・・
移動機構 ６・・・記憶部７・・・データ処
理部
明を用いてスモールアウトラインゴーリードパッケージ
を計測する場合を示す図、第３図は従来例を示す図、第
４図は本発明の実施例で使用した位置データと距離デー
タとの関係を示す図である。 ２・・・距離センサ ４・・・透明板５・・・
移動機構 ６・・・記憶部７・・・データ処
理部
Claims (1)
- （１）表面実装形パッケージを載置した透明板の下方に
て距離センサを該パッケージのリード長さ方向に沿って
一定間隔で移動させる機構と、一定間隔毎に距離データ
を記憶する記憶部と、記憶データを処理するデータ処理
部とを有することを特徴とするリード形状計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569788A JPH0274819A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リード形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569788A JPH0274819A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リード形状計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274819A true JPH0274819A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16833378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22569788A Pending JPH0274819A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | リード形状計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0274819A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109548U (ja) * | 1991-03-12 | 1992-09-22 | 三菱電機株式会社 | スタンドオフ測定装置 |
| JP2003165514A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54150088A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-24 | Nec Corp | Test device for ic lead bend |
| JPS61230010A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-14 | Hitachi Ltd | リ−ドの変位測定方法及び装置 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP22569788A patent/JPH0274819A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54150088A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-24 | Nec Corp | Test device for ic lead bend |
| JPS61230010A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-14 | Hitachi Ltd | リ−ドの変位測定方法及び装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109548U (ja) * | 1991-03-12 | 1992-09-22 | 三菱電機株式会社 | スタンドオフ測定装置 |
| JP2003165514A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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