JPS6275209A - 板状物の寸法測定方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、薄板等の厚さおよび反り寸法を測定するため
の板状物の寸法測定方法およびその装置に関する。

Ｂ、従来の技術 従来、板状物の厚さ等の寸法を測定する方法は種々提供
されており、例えば、ノギスやマイクロメータ等の測定
器具を用いて板状物の厚さを直接測定する方法がある。

また、第３図に示すように板状物Ｐの表裏に所定の距離
Ａ、Ｂをおいて超音波センサの如き距離センサ２１，２
２を配設し、一方の距離センサ２１によって測定した距
離Ａと、他方の距離センサ２２によって測定した距離Ｂ
との和を距離センサ２１　、２２相互間の距離りから減
じて板状物Ｐの厚さを検出する方法が提案されている。

Ｃ１発明が解決しようとする問題点 しかしながら、前者のノギス等を使用する方法において
は、測定器具が板状物の表面に直接触れるため板状物に
傷をつけてしまう欠点があり、また測定者が相違するこ
とによって測定値に誤差が生じるおそれがあった。一方
、後者の方法にあっては測定の基準となる間隔りの設定
に厳密さが要求され、測定作業に煩雑さを伴うと共に、
２個の距離センサ２１，２２が必要であるため測定装置
が大型化し、コスト高になるという問題があった。

更に、これらの方法では何れも板状物Ｐの厚さを測定で
きるのみであり、板状物Ｐの反り寸法を測定することは
不可能であった。

本発明は上記の問題点を解消するべく提案されたもので
、その目的とするところは、最低限単一の距離センサに
よって板状物の厚さのみならず凹凸何れの反り寸法をも
非接触状態で正確に測定できるようにし、板状物の損傷
や測定者による測定誤差の発生のおそれを解消すると共
に、測定装置の簡略化による小型化ならびにコストの低
減を可能とした板状物の寸法測定方法およびその装置を
提供することにある。

Ｄ０問題点を解決するための手段 上記目的を達成するため、本発明は、測定台に形成され
た基準平面までの距離と、前記基準平面上に載置された
板状物に反りが保有された状態における前記板状物の表
面までの距離と、前記板状物を前記基準平面に密着させ
た状態における前記板状物の表面までの距離とを距離セ
ンサにてそれぞれ測定し、これらの測定値に基ずく演算
によって前記板状物の厚さおよび反り寸法を求めること
を特徴とした板状物の寸法測定方法、および、基準平面
を有する測定台と、この基準平面上に載置された板状物
を前記基準平面に密着させる密着手段と、前記基準平面
の上方に配置されて前記基準平面までの距離と前記基準
平面への密着前後の板状物表面までの距離とを測定する
距離センサと。

前記距離の測定値によって前記板状物の厚さおよび反り
寸法を演算する演算手段とによって構成したことを特徴
とする板状物の寸法測定方法に存するものである。

Ｅ、実施例 以下、図に沿って本発明の一実施例を説明する。

第１図は本発明に用いられる測定装置の概略的な構成を
示すもので、まず図において１は中空状の測定台１を示
している。この測定台１の上面には板状物Ｐを載置可能
な基準平面１ａが形成され、この基準平面１ａと内部の
中空部１ｂとは複数の吸着孔１ｃを介して連通されてい
る。また、測定台１の側端部には排気孔１ｄが形成され
、この排気孔１ｄは図示されていない真空ポンプに連結
されている。

一方、基準平面１ａの上方にはこの基準平面１ａと対向
させて超音波センサの如き距離センサ２が配設されてお
り、この距離センサ２は適宜な駆動装置３によって基準
平面１ａに対し平行に移動可能となっている。なお、距
離センサ２にはＣＰＵ４および表示装置５が接続され、
距離センサ２による検出信号を距離に換算して表示する
べく構成されている。

次に、この測定装置によって板状物Ｐの厚さおよび反り
寸法を測定する方法を詳述する。ここで板状物Ｐとして
は、平常時において凸状または凹状の反りを保有してお
り、かつ測定台１の吸着孔１ｃを介して真空吸着される
ことにより基準平面１ａに密着するように変形可能なも
のであればよく、木板、プラスチック板、金属板等、そ
の材質は何ら限定されるものではない。

まず、第１図に示す如く測定に先立って距離センサ２か
ら基準平面１ａまでの距離Ｌ０を予め測定してこの値を
ＣＰＵ４に記憶させておき、次いで例えば凸状の反りを
有する板状物Ｐを測定台１の基準平面１ａ上に載置する
。そして、測定台１の中空部１ｂが大気圧に等しい状態
で距離センサ２によって板状物Ｐの反りのある部分の表
面までの距離Ｌ工を測定する。次に真空ポンプにより中
空部１ｂおよび吸着孔１ｃを介して板状物Ｐを真空吸着
し、板状物Ｐを基準平面１ａに密着させた状態で板状物
Ｐの表面までの距離Ｌ２を測定する。これらの測定距離
Ｌ工、Ｌ２および基準となる距離り。から、板状物Ｐの
厚さはり。−Ｌ２の演算により、同じく反りの寸法（基
準平面１ａから板状物Ｐの下面までの寸法）はＬ２−Ｌ
ｌの演算によって求めることができる。ＣＰＵ４はかか
る演算を行い、表示装置５によってその結果が表示され
るものである。

ここで、距離センサ２を基準平面１ａに対し平行移動さ
せながら上述の工程を繰り返すことにより、板状物Ｐの
各部における厚さと反り寸法とを測定することができる
。この際、距離センサ２と板状物Ｐとは相対的に移動す
ればよく、例えば距離センサ２を固定しておき、測定台
１を適宜な駆動装置によって水平方向に移動させること
も可能である。更に、板状物Ｐを基準平面１ａに密着さ
せる方法は真空吸着方法に何ら限定されるものではなく
、他の機械的な密着方法であってもよい。

また、図示されていないが、複数の距離センサ２を板状
物Ｐの上方に分散させて配設し、これらの距離センサ２
によって板状物Ｐの各部の厚さや反り寸法を前記同様の
工程にて同時に測定することもでき、これによれば短時
間で複数箇所の測定を能率よく行うことが可能である。

なお、この実施例では板状物Ｐの中央部が距離センサ２
方向に突出した凸状の反りを有する場合について説明し
たが、板状物Ｐの両端部が距離センサ２方向に突出した
凹状の反りを有する場合にも本発明を適用できることは
言うまでもない。

次に、第２図（イ）、（ロ）は本発明に使用される測定
装置の具体例を示しており、（イ）は測定台の平面図、
（ロ）は測定台の縦断面図を示す。図において１１は基
台１１Ａと載置台１１Ｂとからなる測定台、１１ａは基
準平面、ｌｌｂは中空部、ｌｌｃは吸着孔、ｌｉｄは排
気孔、ｌｉｅは載置台１１Ｂを基台１１Ａに固定するス
クリュー、ｌｌｆは気密性を保つための０リング、６は
作業台をそれぞれ示している。この装置においては、測
定すべき板状物Ｐの形状や大きさに応じて吸着孔１１ｃ
の平面的な配設パターンを異ならしめた種々の載置台１
１Ｂを着脱・交換して使用できるように配慮されている
。

かかる測定装置を用い、第２図（イ）における■。

■、■、■の各位置において測定した板状物Ｐの各部の
厚さおよび反り寸法は第１表のとおりである。

なお、板状物Ｐは公称寸法が縦横５０ｍｍＸ３０ｍ＋＋
で厚さ０．ＩＦ＋ｍｍのものを用い、排気圧は４００ｍ
ｍｌＬｇに設定した。また、°この第１表中のり、、Ｌ
工Ｉ”２はそれぞれ第１図に示した距離に相当している
。

第１表 （単位Ｉ） Ｆ０発明の効果 以上詳述したように本発明によれば、板状物の厚さのみ
ならず凹凸状の反り寸法をも簡単に測定することができ
、測定者の相違による誤差も生じ得ず、常に正確な測定
結果が得られるという効果がある。また、板状物に非接
触の状態で測定することができるから、板状物を損傷す
る不都合もない。

更に、距離センサの数は最低限１個でよいから、測定装
置の構成の簡略化、小型化が図れ、コストの低減が可能
であるといった利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に使用される測定装置の概略構成図、第
２図は同じく測定装置の具体例を示すもので同（イ）は
測定台の平面図、同（ロ）は測定台の縦断面図、第３図
は従来の測定方法の説明図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定台に形成された基準平面までの距離と、前記
   基準平面上に載置された板状物に反りが保有された状態
   における前記板状物の表面までの距離と、前記板状物を
   前記基準平面に密着させた状態における前記板状物の表
   面までの距離とを距離センサにてそれぞれ測定し、これ
   らの測定値に基ずく演算によつて前記板状物の厚さおよ
   び反り寸法を求めることを特徴とした板状物の寸法測定
   方法。
2. （２）基準平面を有する測定台と、この基準平面上に載
   置された板状物を前記基準平面に密着させる密着手段と
   、前記基準平面の上方に配置されて前記基準平面までの
   距離と前記基準平面への密着前後の板状物表面までの距
   離とを測定する距離センサと、前記距離の測定値によつ
   て前記板状物の厚さおよび反り寸法を演算する演算手段
   とによつて構成したことを特徴とする板状物の寸法測定
   装置。