JP3909155B2 - 被研磨部材の保持材及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハー、液晶ガラス等の被研磨部材の保持材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、半導体ウエハーを回転加工装置等の研磨機を用いて研磨加工する場合には、ウエハーを研磨機の定盤に固定し、そして、この定盤と対向して配設された定盤に研磨布を相対的に回転されると共に、両者間に砥粒等を含む研磨液を供給する事によって、ウエハー表面を研磨する。
【0003】
この際の、ウエハーの研磨用セラミックプレートへの保持方法としては、ウエハー片面にワックスを塗布しセラミックプレートに固定するワックス方法と、多孔質樹脂からなる保持材を用いてウエハーを水貼りするワックスレス方法とがある。
【0004】
ワックス方法は、後工程としてワックスの除去作業が入る為、自動化の大きな障害となっている。この点、ワックスレス方法が優れている。
ワックスレス方法は、ウエハーの研磨用セラミックプレートへの保持だけでなく、液晶用ガラス等片面を仕上げ研磨する際も被研磨部材の保持材として、同様の保持材を用いて研磨する事が広く知られている。
【0005】
これらの方法で用いられる保持体は、一般にウレタン樹脂組成物を用いた湿式凝固で製造される。この湿式凝固法は、ウレタン樹脂組成物を調整した後ウレタン樹脂組成物を支持体に塗布し、次いで水、ジメチルフォルムアミド(DMF)混合溶液中にて湿式凝固処理を行い、支持体上に発泡層を生成させ、その後乾燥し場合によっては最表面をバフして保持材を得るものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような保持体は、一般的には寸法安定性、厚み均一性からポリエステルシートを使用するが、ウレタンとの結合力が弱く、そのままではすぐに剥がれが生じる。
【0007】
特開平2−88229では、ウレタン重合体に塩化ビニル重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、及び塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコールからなるビニル重合体を混合し、支持体上に直接設けられている事を特徴にする保持材が提案されている。
【0008】
しかしながら、ウレタン−塩化ビニル重合体は相溶性に乏しく、分離しやすく、工業的に生産する事が困難である。また、剥離強力も650g/25mm以上が記載されているが、実用上では通算100時間以上使用する場合もあり少なくとも2000g/25mm以上の剥離強力が必要である。
【0009】
この事から保持材としてはポリエステルシートと強固に接着したポリウレタン多孔質層が形成されている保持材が求められている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上述の問題点に鑑み鋭意研究し結果完成したものであって、本発明の目的は剥離強力が強く、長時間使用可能な保持材を提供する事にある。
【0011】
上述の目的は以下の手段によって達成される。
第1:ポリエステル支持体上に、ポリエステル−ポリウレタン共重合体希釈液をコーテイングした後に乾燥して熱可塑性樹脂層コートしたシートを形成し、次いで該シートのコートされた熱可塑性樹脂層の上に、ポリウレタンエラストマー溶液を含む塗布液をコーティングした後に凝固浴中にて凝固させ、脱溶媒、乾燥してポリウレタン樹脂発泡層を積層形成することを特徴とする被研磨部材保持材の製造方法。
第2:熱可塑性樹脂層は、ポリエステル−ポリウレタン共重合体の組成比(モル比)が20:80〜80:20の範囲内であることを特徴とする上記の製造方法。
第3:熱可塑性樹脂層は、厚み30〜60μmの範囲内であることを特徴とする上記いずれかの製造方法。
【0012】
支持体に積層層される熱可塑性樹脂としては、支持体との接着、上層のポリウレタン湿式発泡層との接着いずれも強固に接着する必要がある。
【0013】
ポリエステル系樹脂では、その構造の近似性よりポリエステルシートとは強力に接着するものの、上層のポリウレタン湿式層との接着性に問題がある。また、ポリウレタン系樹脂では、逆に、上層のポリウレタン湿式層とは強力に接着するものの、ポリエステルシート間との接着力に問題がある。
【0014】
しかしながら、熱可塑性樹脂層にポリエステル−ポリウレタン共重合体を用いる事により、支持体−熱可塑性樹脂層−湿式発泡層が互いに強固に接着し,2000g/25mmを大きく上回る剥離強力が得られる。
【0015】
【発明の実施の形態】
ポリエステル−ポリウレタン共重合体の組成比は相互に存在すればよく、特に限定されるものではないが、好ましくはモル比にて20:80〜80:20である。
【0016】
本使用の支持体には、塩化ビニルシートやポリプロピレンシート、ポリエステルシート等が挙げられるが、吸水性が低く湿潤時の寸法安定性が良く、研磨液に対する化学的耐性に優れ、厚み精度が高く、表面平滑性に優れるポリエステルシートを使用するのが一般的である。好適にはクリスパーG1212’(東洋紡株式会社製)が挙げられる。
【0017】
本発明の熱可塑性樹脂層には、塩化ビニルやポリプロピレン、ポリエステル等と、ポリウレタンとの共重合体が、相互接着強力の面から重要である。例えば市販品としては’バイロナールUR−1400’(東洋紡株式会社製)が挙げられる。
【0018】
支持体上に、上記組成物を予め適切な塗工粘土に調整する為、メチルエチルケトン等の溶剤に希釈し、リバースコーター、ナイフコーター等にて支持体上にコーティングする。その後、80℃〜120℃にて溶剤を完全に除去する。熱可塑性樹脂層の膜厚は特に限定はされないが、薄すぎると接着効果が十分発揮されず、厚すぎると厚みむらによる保持材としての性能を損なう危険もある。好適には30〜60μmである。
【0019】
本発明に使用されるウレタン組成物とは、一般的に有機ジイソシアネート、ポリオール類及び鎖伸長剤とから成る。
【0020】
有機ジイソシアネートとしては、例えばジフェニルメタンー4、4’ージイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジクロヘキシルメタンー4、4’ージイソシアネート、ヘイサメチレンジイソシアネート等、或はこれらの混合物が挙げられる。
【0021】
またポリオールとしては、ポリエチレンアジペートグリコール、ポリプロピレンアジペートグリコール、ポリエチレンプロピレンアジペートグリコール、ポリブチレンアジペートグリコール、ポリエチレンブチレンアジペートグリコール、ポリペンタメチレンアジペートグリコール等のポリエステルポリオール類、或はポリエチレンエーテルグリコール、ポリプロピレンエーテルグリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール等のポリエーテルポリオール類、或はラクトン環を開環重合したポリカプロラクトン類の両末端に水酸基を有する分子量500〜8000のグリコール、或はポリヘキサメチレンカーボネート、更にはポリヘキサメチレンカーボネイトと上述のポリオール類を併合し共重合させたものが挙げられる。
【0022】
鎖伸長剤としては、活性水素基を含んだ低分子化合物、例えばエチレングリコール、、プロピレングリコール、ブチレングリコール、ジエチレングリコール等のグリコール類、、例えばエチレンジアミン、プロピレンジアミン、ブチレンジアミン等のジアミン類、あるいはアミノアルコール等を挙げることができる。
【0023】
上述の組成からなるウレタン組成物を溶解する溶剤としては、例えばジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、エトラヒドロフラン、ジメチルアセトアミド、エチルアセテート、ジオキサン等の水混和性有機溶剤を挙げることができるが、特にこれらに限定されるものではない。
【0024】
ウレタン組成物の固形分濃度は、好ましくは10〜40重量%、更に好ましくは15〜30重量%である。固形分濃度が低すぎると湿式凝固後のウレタン層表面に大きなうねりが発生し平滑性が悪化する。又固形分が高すぎる場合空気を巻き込みやすく湿式凝固後のウレタン表面に大きな陥没が発生する場合がある。
【0025】
上述の組成に調整されたウレタン組成物を、すでにコーティングされた熱可塑性樹脂層上にリバースコーター、ナイフコーター等の適宜な塗工手段を用いてコーティングする。コート量は、特に限定しないが150g〜1200g/m2 が好適である。
【0026】
ついで水、DMF(ジメチルアミド)混合溶液中にて湿式凝固せしめた後、脱溶剤のための水洗、乾燥をすることにより、コート層に発泡層が得られる。
【0027】
得られた保持材の表面そのままでも、十分保持材として使用可能であり、液晶ガラスの場合は、この保持材にガラスを水の表面張力により固定し研磨する。
【0028】
また、保持材の表面を、例えばサンドペーパー好ましくは#120〜#320番手のサンドペーパーを用いて、クリアランス0.3〜0.6mm、ラインスピード1〜10m/分、ペーパー回転数500〜3000rpmの条件にてバフィングを行う。
【0029】
シリコンウエハーの場合は、この様に表面処理された保持材を使用し、ウエハーサイズに開口した主としてガラス入りエポシキ樹脂にて形成されているテンプレートを配置し、その中に非研磨物であるシリコンウエハーを水吸着して研磨する。
【0030】
【実施例】
以下、実施例、比較例により本発明品を詳述する。尚、実施例、及び比較例中の「部」及び「%」は、特に断わりの無い限り重量当りの比率である「重量部」及び、単位重量当りの重量%比率である「重量%」を意味する。
剥離強力の測定方法
保持材を25mm×100mmの長方形状に切出し、これを試験片とした。2枚の試験片に、ウレタン系接着剤を10mmのつかみしろを残して塗布し、互いに接着する。次に、テンシロンU−1798(オリエンテック株式会社製)に、接着した試験片を固定し、相対的に100mm/分の速度で引っ張り、その強さを測定する。保持材の剥離強力の評価は、実測値(g/25mm)を求めるとともに、保持材の過酷な使用環境を考慮し、2000g/25mm以上を○、それ以下を×として行った。
実施例1〜3
ポリエステル:ポリウレタンのモル比を80:20、50:50、20:80に調整し、実施例1、2、3のそれぞれのポリエステル−ポリウレタン共重合体を得た。
【0031】
そのポリエステル−ポリウレタン共重合体をメチルエチルケトンで希釈して固形分25%に調整し、ポリエステルシート(東洋紡株式会社製、’クリスパーG1212( 厚み0.188mm))上に、ナイフコーターでクリアランス0.15mmにて塗布した。その後、80℃、15分間乾燥し、約35μmの熱可塑性層を形成しコートしたシートを得た。
【0032】
一方、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)をポリオール成分として用い、ジフェニル−4、4’−ジイスシアネート、ジアミンをジメチルホルムアミド中で溶液重合させて、濃度30%のポリウレタンエラストマー溶液を得た。このポリウレタンエラストマー溶液100部に、カーボンブラック粉3部、ステアリルアルコール3部、ジメチルホルムアミド100部を加え、塗布液を得た。
【0033】
得た塗布液を、上記シート上にリバースコーターで600g/m2 塗布した後、35℃の凝固浴(水:ジメチルアミド=90:10重量比)中にて凝固させ、温水で十分に脱溶媒した後、150℃にて熱風乾燥を行い、厚み0.6mmの保持材を得た。
比較例1
ポリエステルシート上に、同一組成のポリエステル樹脂(ポリウレタン樹脂不含)を使用する以外は、実施例1〜3と同一の方法で保持材を製造した。
比較例2
ポリエステルシート上に、同一組成のポリウレタン樹脂(ポリエステル樹脂不含)を使用する以外は、実施例1〜3と同一の方法で保持材を製造した。
【0034】
製造した各保持材は、それぞれテンシロンU−1798装置で剥離強力を測定した。その結果を表1に示した。実施例で明らかな様に、ポリエステルシートにポリエステル−ポリウレタン共重合体を用いた保持材は、剥離強力は飛躍的に増加し、強靭な保持材であることが分かる。
【0035】
【表1】
【0036】
【発明の効果】
得られた保持材は、剥離強力が2000g/2.5mm以上を有し、長時間の加工にも十分使用可能な保持材であった。
Claims (3)
- ポリエステル支持体上に、ポリエステル−ポリウレタン共重合体希釈液をコーテイングした後に乾燥して熱可塑性樹脂層コートしたシートを形成し、次いで該シートのコートされた熱可塑性樹脂層の上に、ポリウレタンエラストマー溶液を含む塗布液をコーティングした後に凝固浴中にて凝固させ、脱溶媒、乾燥してポリウレタン樹脂発泡層を積層形成することを特徴とする被研磨部材保持材の製造方法。
- 熱可塑性樹脂層は、ポリエステル−ポリウレタン共重合体の組成比(モル比)が20:80〜80:20の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の保持材の製造方法。
- 熱可塑性樹脂層は、厚み30〜60μmの範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の保持材の製造方法。
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