JP3901711B2 - 平面配列型受光素子を利用した光測定装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は波長分割多重（Wavelength Division Multiplexing: WDM）光通信に係り、さらに具体的にはアレイ型光導波路から出力される光束の特性を測定する方法に関する。

ＷＤＭは、いくつかの情報をそれぞれ異なる波長の光に込めて１本の光信号で１回に伝送する原理の新技術であり、使用する波長数ほど伝送速度が倍化される効果がある。ＷＤＭを実現するためにはそれぞれ異なる波長の光を使用して信号化できる多チャンネルアレイ型光源が必要である。

アレイ導波路回折格子（Arrayed Waveguide Grating: AWG）素子、アレイ型可変光減衰器、光ファイバーアレイなどは多数の光導波路が並列に形成された部品の例である。これら並列型（またはアレイ型）導波路は通常的に複数の導波路が一定間隔を置いて形成され、各導波路では均一な光束特性及び形状が出るように設計される。しかし、製造上の誤差などにより実際光束の形状及び各光束間の間隔などが異なるが、このような現象は高度の精密作業を要求するアレイ光素子モジュールの製作において光結合効率や光信号特性はもちろん、生産収率を落とす要因になるので、モジュール製作工程の改善及び品質管理の側面で導波路アレイを通じて出力される光束に対する正確な測定は極めて重要になる。

一般的な並列光束測定装置は、複数の導波路が一定間隔をおいて設置された導波路アレイの各導波路に光源を入力する。その後、各精密ステージを２次元に（すなわち、ｘ軸及びｙ軸に）移動させつつ各導波路からの光束出力が最大である時に各導波路から放出される光束間の距離と光束の均一度、光量などの情報を測定する。しかし、このような光束測定装置は、導波路から放出された光束を受け入れるレンズの収差だけでなく、ステージの精密度によってその結果が大幅に異なりうる。

最近、数ｎｍ級の解像度を有するステージが開発されたが、最大移動範囲が僅か数百μｍ程度に制限され、移動距離を増やす場合に解像度が落ちるので、レーザー干渉距離計を付着するなどの装置の構成が複雑になる。

また、高解像度ステージやレーザー干渉距離計などを具備した測定装置は、極めて高価であるだけではなく、周辺環境の清浄度を一定レベル以上に維持しなければならず、装置の体積が大きく、持続的な使用による耐久性も制限される短所がある。

したがって、本発明の目的は、アレイ型光導波路から放出される光束の形状及び光束間の均一度を正確に測定できる光測定装置及び方法を提供するところにある。

本発明の他の目的は、レーザー干渉距離計のような別途の装置を使用せずにもアレイ型導波路から放出される光束の形状及び光束間の間隔などを正確に測定できる光測定装置及び方法を提供するところにある。

前記目的を解決するための本発明による光測定装置は、一定間隔をおいて並列に配列された複数の導波路を含む導波路アレイ、前記導波路を１つずつ順次に選択し、前記選択された導波路に光を提供する光スイッチ、前記選択された導波路から出力される光を受光する受光素子、そして前記受光素子に感光された結果を分析する光処理器を含む。

望ましい実施例で、前記光処理器は、前記受光素子に感光された結果を受け入れるコントローラ、そして前記コントローラを通じて前記受光素子に感光された結果を受け入れて前記選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点及び光度を測定し、測定結果を出力するデジタル信号処理器を含む。前記光スイッチは、選択信号に応答して前記導波路のうち１つを選択し、前記コントローラは前記選択信号を発生させる。

前記光処理器は、第１制御信号に応答して前記受光素子を前記導波路アレイから出力される前記光束の進行方向に予め設定された距離ほど移動させる第１移動器をさらに含み、前記コントローラは、前記受光素子に感光された結果が受信された後、前記第１制御信号を発生させる。

前記デジタル信号処理器は、前記受光素子が前記第１移動器により移動する前に前記デジタル信号処理から出力される前記測定結果と前記受光素子が前記第１移動器により移動した後、前記デジタル信号処理から出力される前記測定結果から前記選択された導波路から出力される光の発散角を測定する。

前記光処理器は、第２制御信号に応答して前記受光素子を前記導波路アレイと平行に所定距離ほど移動させる第２移動器をさらに含み、前記コントローラは、前記導波路アレイから出力される光束の数が多くて一部の出力光束の位置が前記受光素子の受光面積から外れる時、前記デジタル信号処理器から前記複数の導波路のうち一群の導波路に対する前記測定結果が出力された後、前記第２制御信号を発生させる。

この実施例で、前記第２移動器によって前記受光素子が移動する距離は、前記一群の導波路のうち少なくとも１つが他群の導波路に含まれるように設定される。または前記第２移動器によって前記受光素子が移動する距離は、前記一群の導波路のうち最後の２つの導波路が前記他群の導波路に含まれるように設定される。

前記デジタル信号処理器は、前記第２移動器によって前記受光素子が移動する前に前記一群及び他群の導波路に何れも含まれる導波路に対する前記測定結果と前記第２移動器によって前記受光素子が移動した後、前記一群及び他群の導波路に何れも含まれる導波路に対する前記測定結果との差を利用して前記他群の導波路に対する測定結果を補正する。

前記目的を解決するための本発明による一定間隔をおいて並列に配列された複数の導波路を含む導波路アレイの前記各導波路から放出される光を測定する方法は、前記複数の導波路のうち１つを選択する第１段階、光を前記選択された導波路に入力する第２段階、前記選択された導波路から出力されて第１位置の受光素子に感光された結果を分析する第３段階、そして前記第１ないし第３段階は前記導波路全体に対する前記光分析が完了するまで行い続ける第４段階を含む。

望ましい実施例において、前記第３段階は、前記受光素子を前記第１位置から前記光束の進行方向に所定距離離れた第２位置に移動させる第５段階、前記第２位置の前記受光素子に感光された結果から前記選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点及び光度を測定する第６段階、そして前記第１位置の前記受光素子に感光された結果と前記第２位置の前記受光素子に感光された結果から前記選択された導波路から出力される光の発散角及び光の中心点を測定する第７段階をさらに含む。

望ましい実施例において、前記導波路アレイから出力される光束の位置が前記受光素子の受光面積を外れる時、前記導波路アレイの一群の導波路に対する前記第１ないし第３段階を行い続ける段階、前記受光素子を前記導波路アレイと平行に所定距離移動させる段階、そして他群の導波路に対する前記第１ないし第３段階を行い続ける段階を含む。

本発明によると、アレイ型光導波路から放出される光束の形状及び光束間の均一度を正確に測定できる。また、本発明によると、レーザー干渉距離計のような別途の装置を使用せずにもアレイ型導波路から放出される光束の形状及び光束間の間隔などを正確に測定できる。

以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。

図１は、本発明の望ましい実施例による光測定装置の構成を示す図面である。

図１を参照すれば、光測定装置は、光スイッチ１００、導波路アレイ１１０、ｘ軸移動器１２０、受光素子１３０、ｚ軸移動器１４０、コントローラ１５０、メモリ１６０、デジタル信号処理器（Digital Signal Processor: DSP）１７０、そしてＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネル１８０を含む。

光スイッチ１００は、コントローラ１５０の制御に応答して導波路のうち何れか１つを選択し、選択された導波路に光源からの光を提供する。導波路アレイ２０の各導波路に順次に光を入力するための方法は多様である。例えば、それぞれの導波路入力部に光源を連結し、これら各光源を所定の時間間隔をおいて順に発光させる。他の方法は、１個の光源とアレイ光導波路間に１×Ｎ光スイッチング素子を挿入して光導波路アレイ１１０に順次に光源を入力することである。さらに他の方法は、１個の光源を１個の光導波路に入力した後、この光源を導波路アレイ１１０の配列方向と平行に一定間隔に移動して次の導波路に光束を入力することである。当業者は導波路に光源を入力するためにここに開示された方法だけではなく、多様な方法で実施できる。

図２は、図１に示された導波路アレイ１１０から出力される光束が受光素子１３０に到達することを例示的に示す図面である。図２を参照すれば、導波路アレイ１１０は一定間隔をおいて並列に配列された複数の導波路１１１を含む。例えば、導波路間の間隔は２５０ｎｍまたは１２７ｎｍである。図２で光源から放出された光束は光スイッチ１００と導波路アレイ１１０とを通過した後、受光素子１３０に配列されたピクセル１３２を発光させることが分かる。

受光素子１３０は、図２に示されたように格子形態に配列された多数のピクセル１３２を含む。分析の正確度を高めるためには受光素子１３０に入射される光の面積を可能な限り広くしなければならない。すなわち、受光素子１３０に入射された光が影響を与えるピクセル数が多くなるようにする。導波路から大気中に放出された光束は一定角度に広がって出てくるので、受光素子１３０の全体受光面積を超えない範囲で受光素子１３０を測定対象導波路アレイ１２０から可能な限り遠く位置させることが望ましい。

導波路アレイ１１０の導波路から同時に光束が放出されれば、ある１つの導波路から放出されて受光素子１３０に入射された光束の面積が隣接導波路の光束面積と重なるので、平面配列型受光素子１３０の各ピクセルに入力される光量が異なって個別光束に対する特性の分析が難しくなる。これを解決するために本発明の光スイッチ１００は、各導波路が受光素子１３０の反応時間より長い時間の間、光を一定時間間隔で順次に放出して測定のための一定単位時間に１つの導波路から放出された光のみが受光素子１３０の各ピクセルに入力されうるように、導波路をスイッチングする。

コントローラ１５０は、受光素子１３０の各ピクセル１３２に感光された情報を受け入れる。デジタル信号処理器１７０は、コントローラ１５０を通じて受光素子１３０の各ピクセル１３２に感光された情報を受け入れて選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点、光度、発散角及び平行度などを測定する。デジタル信号処理器１７０は測定された結果をコントローラ１５０に出力する。

コントローラ１５０は、デジタル信号処理器１７０からの測定結果をメモリ１６０に保存し、ＬＣＤパネル１８０にディスプレイする。また、コントローラ１５０はｘ軸移動器１２０とｚ軸移動器１４０とを制御するための制御信号を発生させる。

ｘ軸移動器１２０は、図２に示されたように、受光素子１３０を導波路アレイ１００と平行に（すなわち、ｘ軸方向に）移動させる。ｚ軸移動器１４０は、図２に示されたように、受光素子１３０を導波路アレイ１１０から出力される光の進行方向に（すなわち、ｚ軸方向に）移動させる。ｘ軸移動器１２０とｚ軸移動器１４０の具体的な動作は後述する。

次いで、図１及び図２に示された光測定装置の望ましい動作例を図３Ａ及び図３Ｂに示されたフローチャートを参照して説明する。この実施例で導波路アレイ２０に含まれた導波路の数、すなわちＮは８である。図３Ａ及び図３Ｂで、Ｋは導波路アレイ１１０に含まれた８個の導波路のうち光スイッチ１００により選択された導波路のインデックスであり、Ｉは導波路アレイ１３０から出力される光束のサイズと受光素子１３０の面積との関係によって受光素子１３０を移動させるために使われるインデックスである。

まず、図３Ａを参照すれば、段階Ｓ２００で、コントローラ１５０は導波路アレイ１１０の第１の導波路を選択し、内部カウンタのカウント値Ｋ、Ｉをそれぞれ１に設定する。段階Ｓ２０１で、コントローラ１５０はカウント値Ｋが導波路アレイ２０に含まれた導波路数Ｎより大きいか否かを判別する。現在、カウント値Ｋは１であるので、導波路アレイ２０に含まれた導波路数Ｎより小さい。したがって、その制御は段階Ｓ２０２に進む。

段階Ｓ２０２で、コントローラ１５０は導波路アレイ１１０の選択された導波路に光が入力されるように光スイッチ１００を制御する。選択された導波路に対応する光スイッチ１００がオンになることによって選択された導波路から出力される光は受光素子１３０の所定領域に感光される。

段階Ｓ２０３で、コントローラ１５０は受光素子１３０の各ピクセル１３２に感光された情報を受け入れる。分析の精密度を高めるために、選択された導波路から出力されて受光素子１３０に感光された情報を獲得する過程を反復的に行い、獲得された情報の平均値を選択された導波路から出力される光の情報として取れる。

段階Ｓ２０４で、コントローラ１５０は受光素子１３０から獲得されたイメージ情報をデジタル信号処理器１７０に提供する。デジタル信号処理器１７０はコントローラ１５０からのイメージ情報をフィルタリングする。段階Ｓ２０５で、デジタル信号処理器１７０はイメージの中心点を計算し、選択された導波路から出力された光束の強さ、サイズ及び形状などを算出する。

段階Ｓ２０６で、導波路アレイ１１０から出力される光束の発散角度及び光束間の平行度を測定するために、コントローラ１５０はｚ軸移動器１４０を制御して受光素子１３０を移動させる。図４は、平面配列型受光素子１３０を移動させて導波路アレイ２０から出力される光束の発散角度を計算する方法を図式化したものである。

図４を参照すれば、前記段階Ｓ２０３及び段階Ｓ２０４でデジタル信号処理器１７０は導波路アレイ１１０から一定距離ほど離れた第１位置Ｐ１に位置した受光素子３０から受信されたイメージデータで光の半径Ｒ１を測定する。そして、ｚ軸移動器１４０により受光素子１３０が光束方向に平行に所定距離Ｄほど離れた第２位置Ｐ２に移動した後、段階Ｓ２０７〜段階Ｓ２０９でデジタル信号処理器１７０は光の半径Ｒ２をさらに測定する。光の発散角度θは数式１のようである。

各導波路から出力される光束間の平行度を求める方法は発散角度を求める方法と類似している。すなわち、受光素子１３０が第１位置Ｐ１に位置した時、デジタル信号処理器１７０が受光素子１３０に感光された情報からＮ（Ｎは整数）個の導波路それぞれから出力された光束の中心点を測定し、受光素子１３０が第２位置Ｐ２に位置した時、デジタル処理器１７０が受光素子１３０に感光された情報からさらに各光束の中心点を測定する。そして、第１位置Ｐ１で光束の中心点間の距離Ｄ_１ｋ（ｋ＝１,２,…,Ｎ−１）と位置Ｐ２で光束の中心点間の距離Ｄ_２ｋを計算する。位置Ｐ１及びＰ２それぞれで測定した距離Ｄ_１ｋ及びＤ_２ｋの差Ｄ_１ｋ−Ｄ_２ｋを利用した簡単な数式で光束間の平行度を計算しうる。デジタル信号処理器１７０は選択された導波路から出力される光の特性、すなわちサイズ、形状、中心点、光度、発散角及び平行度などの測定結果をコントローラ１５０に出力する。

段階Ｓ２１０で、コントローラ１５０はデジタル信号処理器１７０から測定結果が受信されれば、受光素子１３０が初期位置である第１位置Ｐ１に移動するようにｚ軸移動器１４０を制御する。段階Ｓ２１１でコントローラ１５０はデジタル信号処理器１７０から受信された測定結果をメモリ１６０に保存する。段階Ｓ２１２でコントローラ１５０は、導波路アレイ１１０の次の導波路を選択するために、内部カウンタのカウント値Ｋ、Ｉをそれぞれ１ほど増加させる。

一方、導波路アレイから出力される光束の位置が受光素子の受光面積を外れる時には特別な処理が要求される。例えば、受光素子１３０が導波路アレイ１１０から出力される光束中に最大受信可能な光の数に対応する導波路の数Ａが８つであり、導波路アレイ１１０に具備された導波路の数Ｎが１６個である時、１６個の導波路それぞれから出力される光の特性を測定するための方法は、次のようである。

図５は、導波路アレイ１１０から出力される光束が受光素子１３０の面積を外れる時に受光素子１３０の移動方向及び移動距離を示す図面である。図３Ｂは、図３Ａに次いだ制御手順を示しており、特に導波路アレイから出力される光束の位置が受光素子の面積を外れる時の制御手順を示す図面である。

図３Ｂを参照すれば、段階Ｓ２３０で、コントローラ１５０はカウント値Ｉ（Ｉ＝１,２,…,Ｎ）が予め設定された値Ａより大きいか否かを判別する。この実施例で、予め設定された値Ａは８であるので、カウント値Ｉが１から８までである時、その制御は段階Ｓ２０１に進み、カウント値Ｉが８、すなわちＡより大きい時にその制御は段階Ｓ２３１に進む。

段階Ｓ２３１で、コントローラ１５０は受光素子１３０が導波路の配列方向と平行に（８×導波路間隔）ほど移動するようにｘ軸移動器１２０を制御する。結果的に、受光素子１３０は導波路アレイ１１０のあらゆる導波路１１１から放出された光束を受け入れられる。このように８個の導波路のサイズほど受光素子１３０を移動させる場合、先に測定した第１の導波路から第８の導波路までの光束の位置情報と第９の導波路から第１６の導波路までの光束の位置情報を連結させるために第１から第８までの導波路のうち一部の導波路を第９から第１６の間の導波路と共に測定することが望ましい。例えば、導波路アレイ２０の第１ないし第８の導波路に平行に位置した受光素子１３０が（８−２）×導波路間隔ほど移動した後で受光素子１３０は導波路アレイ１１０の第７ないし第１４の導波路に平行に位置する。

次に、内部カウンタのインデックスＫは２ほど減少し、他の内部カウンタのカウント値Ｉは１に設定される。したがって、選択された導波路のインデックスＫは、（９−２）、すなわち７になる。前記例で、導波路アレイ１１０に具備された導波路が共に１６個であれば、図５に示されたように、第１周期Ｔ１の間には第１ないし第８の導波路から出力される光束の特性が測定され、第２周期Ｔ２の間には第７ないし第１４の導波路から出力される光の特性が測定され、そして第３周期Ｔ３の間には第１３ないし第１６の導波路から出力される光の特性が測定される。

図５に示されたように、第７及び第８の導波路から出力される受光素子１３０の移動前後（すなわち、第１周期と第２周期両方で）に反復的に測定される。したがって、デジタル信号処理器１７０は受光素子１３０が移動する前の第１周期Ｔ１に第７及び第８の導波路から出力される光の特性と受光素子１３０が移動した後である第２周期Ｔ２に第７及び第８の導波路から出力される光の特性の差を利用して第９ないし第１４の導波路から出力される光束の特性を補正できる。

同様に、第１３及び第１４の導波路から出力される光は受光素子３０が移動する前である第２周期Ｔ２と移動した後である第３周期Ｔ３で反復的に測定される。デジタル信号処理器１７０は、受光素子３０が移動する前に第１３及び第１４の導波路から出力される光の特性と受光素子３０が移動してから第１３及び第１４の導波路から出力される光の特性との差を利用して、第１５及び第１６の導波路から出力される光の特性を補正できる。

前記過程が完了すれば、その制御は段階Ｓ２０１にリターンする。段階Ｓ２０１でＫがＮ以上であれば、コントローラ１５０は測定された結果をＬＣＤパネル１８０に出力し、あらゆる制御を終了する。

例示的な望ましい実施例を利用して本発明を説明したが、本発明の範囲は開示された実施例に限定されるものではない。かえって、本発明の範囲には多様な変形例及びそれと類似した構成を何れも含めるためのものである。したがって、特許請求の範囲はそういう変形例及びそれと類似した構成を何れも含むものと可能な限り幅広く解釈されねばならない。

本発明によれば、レーザー干渉距離計や高配率光学装置が付着された精密駆動ステージのような別途の装置を使用せずにアレイ型導波路から出力される光のサイズ、形状、光度、中心点、平行度、そして発散角などの光の物理的特性を測定できる。すなわち、光検出装置により測定された結果は光検出装置に具備された各装置の精密度による誤差に影響されないので、アレイ型導波路から出力される光の物理的特性を正確に測定できる。

図１は、本発明の望ましい実施例による光測定装置の構成を示す図面である。 図２は、本発明の望ましい実施例による並列光束の形状を測定するための装置を示す図面である。 図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の望ましい実施例による光束測定方法の制御手順を示すフローチャートである。 図４は、平面配列型受光素子を移動させて導波路アレイから出力される光束の発散角度を計算する方法を図式化したものである。 図５は、導波路アレイから出力される光束が受光素子の面積を外れる時に受光素子の移動方向及び移動距離を示す図面である。

符号の説明

１００ 光スイッチ
１１０ 導波路アレイ
１２０ ｘ軸移動器
１３０ 受光素子
１４０ ｚ軸移動器
１５０ コントローラ
１６０ メモリ
１７０ デジタル信号処理器
１８０ ＬＣＤパネル

Claims (11)

1. 所定の間隔をおいて並列に配列された複数の導波路を含む導波路アレイと、
   前記導波路を１つずつ順次に選択し、前記選択された導波路に光を提供する光スイッチと、
   格子状に配列された複数のピクセルで構成され、前記選択された導波路から出力される光を受光する受光素子と、
   前記受光素子のそれぞれのピクセルに感光された結果に基づいて光の中心点を含む測定結果を出力する光処理器と、を備え、
   前記光処理器は、
   前記受光素子に感光された結果を受け取るコントローラと、
   前記コントローラを通じて前記受光素子に感光された結果を受け取り、前記選択された導波路から出力される光の中心点を含む光特性を測定し、測定結果を出力するデジタル信号処理器と、
   第１制御信号に応答して前記複数の導波路のうち選択された連続的に配列された所定数の導波路で構成される第１導波路グループに属する導波路のうち少なくとも１つの導波路が、前記複数の導波路のうち選択された連続的に配列された所定数の導波路で構成された第２導波路グループに属するように設定された移動距離ほど前記受光素子を前記導波路アレイと平行な方向に移動させる第１移動器と、を備え、
   前記コントローラは、前記導波路アレイから出力される光束の位置が前記受光素子の受光領域を外れる時、前記デジタル信号処理器から前記第１導波路グループに属する導波路についての測定結果が出力された後、前記第１制御信号を発生させ、
   前記デジタル信号処理器は、前記第１移動器により前記受光素子が移動する前に、前記第１導波路グループ及び第２導波路グループにいずれも属する導波路についての測定結果と、前記第１移動器によって前記受光素子が移動した後に前記第１導波路グループ及び第２導波路グループにいずれも属する導波路についての測定結果との差を利用して、前記第２導波路グループにのみ属する導波路についての測定結果を補正することを特徴とする光測定装置。
2. 前記光スイッチは選択信号に応答して前記導波路のうちの１つを選択し、前記コントローラは前記選択信号を発生させることを特徴とする請求項１に記載の光測定装置。
3. 前記光処理器は、第２制御信号に応答して前記受光素子を前記導波路アレイから出力される前記光束の進行方向に予め設定された距離ほど移動させる第２移動器をさらに含み、前記コントローラは前記受光素子に感光された結果が受信された後、前記第２制御信号を発生させることを特徴とする請求項１に記載の光測定装置。
4. 前記デジタル信号処理器は前記受光素子が前記第２移動器により移動する前に前記デジタル信号処理器から出力される前記測定結果と前記受光素子が前記第２移動器により移動した後、前記デジタル信号処理器から出力される測定結果から前記選択された導波路から出力される光の発散角を測定することを特徴とする請求項３に記載の光測定装置。
5. 前記第１移動器によって前記受光素子が移動する距離は前記第１導波路グループに属する導波路のうち２つの導波路が前記第２導波路グループに属するように設定されることを特徴とする請求項１に記載の光測定装置。
6. 格子状に配列された複数のピクセルで構成された受光素子により、導波路アレイに所定の間隔をおいて並列に配列された複数の導波路のうち選択された導波路から放出される光を測定する方法において、
   （ａ）前記複数の導波路のうち１つの導波路を選択するステップと、
   （ｂ）光を前記選択された導波路に入力するステップと、
   （ｃ）前記選択された導波路から出力される光が前記受光素子のそれぞれのピクセルに感光された結果に基づいて光の中心点を含む測定結果を出力するステップと、
   （ｄ）既定数の導波路についての測定結果が出力されるまで、前記並列に配列された複数の導波路に対して前記（ａ）ステップないし（ｃ）ステップを順次に行うステップと、
   （ｅ）既定数の導波路についての測定結果が出力されれば、前記複数の導波路のうち選択された連続的に配列されている既定数の導波路で構成される第１導波路グループに属する導波路のうち少なくとも１つの導波路が、前記複数の導波路のうち選択された連続的に配列されている既定数の導波路で構成された第２導波路グループに属するように設定された移動距離ほど前記受光素子を前記導波路アレイと平行な方向に移動させるステップと、
   （ｆ）前記第２導波路グループに属する導波路に対して前記（ａ）ステップないし（ｃ）ステップを順次に行うステップと、
   （ｇ）前記（ｅ）ステップの実行前に前記第１導波路グループ及び第２導波路グループにいずれも属する導波路から出力されて前記受光素子に感光された結果と、前記（ｅ）ステップの実行後に前記第１導波路グループ及び第２導波路グループにいずれも属する導波路から出力されて前記受光素子に感光された結果との差を利用して、前記第２導波路グループに属する導波路から出力されて前記受光素子に感光された結果を補正するステップと、
   を含むことを特徴とする光測定方法。
7. 前記（ｃ）ステップにおいて、前記選択された導波路から出力されて前記第１位置の前記受光素子に感光された結果を複数回受信し、前記受信された複数の結果についての平均値を算出して、前記選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点及び強度を測定することを特徴とする請求項６に記載の光測定方法。
8. （ｈ）前記受光素子を第１位置から前記光束の進行方向に所定距離離れた第２位置に移動させるステップと、
   （ｉ）前記第２位置の前記受光素子に感光された結果から前記選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点、及び強度を測定するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の光測定方法。
9. （ｊ）前記受光素子を第１位置から前記光束の進行方向に所定距離離れた第２位置に移動させるステップと、
   （ｋ）前記第１位置での前記受光素子に感光された結果と前記第２位置の前記受光素子に感光された結果から前記選択された導波路から出力される光の発散角及び光の中心点を測定するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の光測定方法。
10. 前記選択された導波路から出力されて前記第２位置の前記受光素子に感光された結果を複数回受信し、前記受信された複数の結果についての平均値を算出して、前記選択された導波路から出力される光のサイズ、中心点及び強度を測定することを特徴とする請求項８に記載の光測定方法。
11. 前記（ｅ）ステップで、前記第１導波路グループに属する導波路のうち２つの導波路が前記第２導波路グループに属するように設定された移動距離により前記受光素子を移動させることを特徴とする請求項６に記載の光測定方法。

Images