JPH09257645A - 光学性能評価装置の照明装置 - Google Patents
光学性能評価装置の照明装置Info
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- JPH09257645A JPH09257645A JP7038796A JP7038796A JPH09257645A JP H09257645 A JPH09257645 A JP H09257645A JP 7038796 A JP7038796 A JP 7038796A JP 7038796 A JP7038796 A JP 7038796A JP H09257645 A JPH09257645 A JP H09257645A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、光源の光量を効率良く利用し、か
つ、不要なノイズ光を含まず高精度な測定を可能とする
光学性能評価装置の照明装置を提供する。 【解決手段】 光源からの光束で照明される複数のテス
トパターン２を設けたチャート８と、該チャート８のテ
ストパターン２の投影像を結像させる被検レンズ３と、
前記投影像の位置的光強度分布を時系列信号に変換する
像走査手段４と、該像走査手段４からの信号を処理する
信号処理手段５とを有し、被検レンズ３の異なる複数の
像高の結像性能を検査するレンズ性能検査装置に用いら
れる照明装置において、１つの高輝度ランプ１０と、前
記複数のテストパターン２毎に個別に配置した複数の照
明用ファイバー６と、前記高輝度ランプ１０からの光を
いずれか１つの照明用ファイバー６の光の入射端に選択
的に入射させる光路切り換え手段とを具備することを特
徴とする。
つ、不要なノイズ光を含まず高精度な測定を可能とする
光学性能評価装置の照明装置を提供する。 【解決手段】 光源からの光束で照明される複数のテス
トパターン２を設けたチャート８と、該チャート８のテ
ストパターン２の投影像を結像させる被検レンズ３と、
前記投影像の位置的光強度分布を時系列信号に変換する
像走査手段４と、該像走査手段４からの信号を処理する
信号処理手段５とを有し、被検レンズ３の異なる複数の
像高の結像性能を検査するレンズ性能検査装置に用いら
れる照明装置において、１つの高輝度ランプ１０と、前
記複数のテストパターン２毎に個別に配置した複数の照
明用ファイバー６と、前記高輝度ランプ１０からの光を
いずれか１つの照明用ファイバー６の光の入射端に選択
的に入射させる光路切り換え手段とを具備することを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検レンズにより
形成されるテストパターン投影像の位置的強度分布を測
定して、被検レンズの複数像高のテストパターン投影像
の結像状態を評価する光学性能評価装置に用いられる照
明装置に関する。
形成されるテストパターン投影像の位置的強度分布を測
定して、被検レンズの複数像高のテストパターン投影像
の結像状態を評価する光学性能評価装置に用いられる照
明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】写真レンズ等の被検レンズを介して、チ
ャートに設けられたスリット等のテストパターンを結像
させ、ＣＣＤ等の像走査手段で位置的強度分布を時系列
信号に変換し、像走査手段から得る時系列信号を解析し
て被検レンズの複数の像高での結像状態を検査する光学
性能評価装置の照明装置としては、蛍光灯を利用して、
チャートを直接照明するものや、ハロゲンランプと集光
照明系を組み合わせたものが知られている（特公昭６３
−３６４４９号公報）。
ャートに設けられたスリット等のテストパターンを結像
させ、ＣＣＤ等の像走査手段で位置的強度分布を時系列
信号に変換し、像走査手段から得る時系列信号を解析し
て被検レンズの複数の像高での結像状態を検査する光学
性能評価装置の照明装置としては、蛍光灯を利用して、
チャートを直接照明するものや、ハロゲンランプと集光
照明系を組み合わせたものが知られている（特公昭６３
−３６４４９号公報）。
【０００３】また、ハロゲンランプで直接チャートを照
明する照明装置も提案されている（特願平０５−０４１
９３３号）が、いずれもチャートに設けられた複数のテ
ストパターンを同時に照明する構成となっている。
明する照明装置も提案されている（特願平０５−０４１
９３３号）が、いずれもチャートに設けられた複数のテ
ストパターンを同時に照明する構成となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来
の、複数のテストパターンを１つの光源で同時に照明す
る構成の照明装置には、以下のような課題がある。
の、複数のテストパターンを１つの光源で同時に照明す
る構成の照明装置には、以下のような課題がある。
【０００５】（１）１つの光源で複数のテストパターン
を照明するために、光源の光がテストパターンの数に分
割されてしまうため、光源の光量をａ、テストパターン
の数をｎとすると、１つのテストパターン当りの光量は
最大でもａ／ｎとなり、個々のテストパターンの照度が
少なく（暗く）なる。
を照明するために、光源の光がテストパターンの数に分
割されてしまうため、光源の光量をａ、テストパターン
の数をｎとすると、１つのテストパターン当りの光量は
最大でもａ／ｎとなり、個々のテストパターンの照度が
少なく（暗く）なる。
【０００６】（２）ある１つのテストパターンの像を像
走査手段で解析するときに、他のテストパターンも同時
に照明されているため、測定したいテストパターン以外
のテストパターンから出る反射光が、散乱光として像走
査手段に入射してしまいある１つのテストパターンの測
定精度が低下してしまう。
走査手段で解析するときに、他のテストパターンも同時
に照明されているため、測定したいテストパターン以外
のテストパターンから出る反射光が、散乱光として像走
査手段に入射してしまいある１つのテストパターンの測
定精度が低下してしまう。
【０００７】本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされ
たものであり、光源の光量を効率良く利用し、かつ、不
要なノイズ光を含まず高精度な測定を可能とする光学性
能評価装置の照明装置を提供することを目的とする。
たものであり、光源の光量を効率良く利用し、かつ、不
要なノイズ光を含まず高精度な測定を可能とする光学性
能評価装置の照明装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するため手段】請求項１記載の発明は、光
源からの光束で照明される複数のテストパターンを設け
たチャートと、該チャートのテストパターンの投影像を
結像させる被検レンズと、前記投影像の位置的光強度分
布を時系列信号に変換する像走査手段と、該像走査手段
からの信号を処理する信号処理手段とを有し、被検レン
ズの異なる複数の像高の結像性能を検査するレンズ性能
検査装置に用いられる照明装置において、１つの光源
と、前記複数のテストパターン毎に個別に配置した複数
の照明用ファイバーと、前記１つの光源からの光をいず
れか１つの照明用ファイバーの光の入射端に選択的に入
射させる光路切り換え手段とを具備することを特徴とす
るものである。
源からの光束で照明される複数のテストパターンを設け
たチャートと、該チャートのテストパターンの投影像を
結像させる被検レンズと、前記投影像の位置的光強度分
布を時系列信号に変換する像走査手段と、該像走査手段
からの信号を処理する信号処理手段とを有し、被検レン
ズの異なる複数の像高の結像性能を検査するレンズ性能
検査装置に用いられる照明装置において、１つの光源
と、前記複数のテストパターン毎に個別に配置した複数
の照明用ファイバーと、前記１つの光源からの光をいず
れか１つの照明用ファイバーの光の入射端に選択的に入
射させる光路切り換え手段とを具備することを特徴とす
るものである。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明における前記光路切り換え手段は、前記１つの光源
と、前記複数の照明用ファイバーの各入射端との相対位
置を変えることで、前記１つの光源からの光の光路切り
換えを行うことを特徴とするものである。
明における前記光路切り換え手段は、前記１つの光源
と、前記複数の照明用ファイバーの各入射端との相対位
置を変えることで、前記１つの光源からの光の光路切り
換えを行うことを特徴とするものである。
【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明における前記光路切り換え手段は、前記１つの光源か
らの光を光学的に走査して前記複数の照明用ファイバー
のいずれかの入射端に導く光路切り換えを行うことを特
徴とするものである。
明における前記光路切り換え手段は、前記１つの光源か
らの光を光学的に走査して前記複数の照明用ファイバー
のいずれかの入射端に導く光路切り換えを行うことを特
徴とするものである。
【００１１】請求項４記載の発明は、光源からの光束で
照明される複数のテストパターンを設けたチャートと、
該チャートのテストパターンの投影像を結像させる被検
レンズと、前記投影像の位置的光強度分布を時系列信号
に変換する像走査手段と、該像走査手段からの信号を処
理する信号処理手段とを有し、被検レンズの異なる複数
の像高の結像性能を検査するレンズ性能検査装置に用い
られる照明装置において、１つの光源と、前記複数のテ
ストパターンに対応する個数に分岐された光の出射端を
備えるとともに前記１つの光源に光の入射端を臨ませた
照明用ファイバーとを具備することを特徴とするもので
ある。
照明される複数のテストパターンを設けたチャートと、
該チャートのテストパターンの投影像を結像させる被検
レンズと、前記投影像の位置的光強度分布を時系列信号
に変換する像走査手段と、該像走査手段からの信号を処
理する信号処理手段とを有し、被検レンズの異なる複数
の像高の結像性能を検査するレンズ性能検査装置に用い
られる照明装置において、１つの光源と、前記複数のテ
ストパターンに対応する個数に分岐された光の出射端を
備えるとともに前記１つの光源に光の入射端を臨ませた
照明用ファイバーとを具備することを特徴とするもので
ある。
【００１２】以下、本発明についてさらに詳述する。本
発明は、複数のテストパターンを照明する照明用ファイ
バーを各テストパターン毎に個別に配置し、各照明用フ
ァイバーの一方の端面、即ち、出射端を各テストパター
ンに対向させて配置し、１つの光源からの光を、いずれ
か１つの照明用ファイバーにおけるテストパターンとは
反対側の端面に、即ち、入射端に光路切り換え手段によ
り選択して入射できるように構成したものである。この
場合、光路切り換え手段は、前記１つの光源又は各照明
用ファイバーを移動することにより、さらには、１つの
光源からの光を光学的に走査することにより、光路切り
替えを行う。
発明は、複数のテストパターンを照明する照明用ファイ
バーを各テストパターン毎に個別に配置し、各照明用フ
ァイバーの一方の端面、即ち、出射端を各テストパター
ンに対向させて配置し、１つの光源からの光を、いずれ
か１つの照明用ファイバーにおけるテストパターンとは
反対側の端面に、即ち、入射端に光路切り換え手段によ
り選択して入射できるように構成したものである。この
場合、光路切り換え手段は、前記１つの光源又は各照明
用ファイバーを移動することにより、さらには、１つの
光源からの光を光学的に走査することにより、光路切り
替えを行う。
【００１３】また、途中で複数に分岐した照明用ファイ
バーを用い、分岐側をテストパターン、分岐元を１つの
光源側に配置する構成でもよい。
バーを用い、分岐側をテストパターン、分岐元を１つの
光源側に配置する構成でもよい。
【００１４】本発明の光学性能評価装置に前記照明装置
を用いると、光源から発した光は、光路切り換え手段に
よって任意の選択された照明用ファイバーの端面に入射
され、この照明用ファイバーに対応する所望のテストパ
ターンだけを照明することができる。
を用いると、光源から発した光は、光路切り換え手段に
よって任意の選択された照明用ファイバーの端面に入射
され、この照明用ファイバーに対応する所望のテストパ
ターンだけを照明することができる。
【００１５】このため、光源からの光を１つのテストパ
ターンに集中することができ、テストパターンを明るく
照明できることと、ある１つのテストパターンの投影像
を解析するとき他のテストパターンは照明されていない
ため、他のテストパタ一ンから出る散乱光によるノイズ
光が測定したいテストパターンの像走査手段に入射する
ことはなく、高精度な測定ができるという利点がある。
ターンに集中することができ、テストパターンを明るく
照明できることと、ある１つのテストパターンの投影像
を解析するとき他のテストパターンは照明されていない
ため、他のテストパタ一ンから出る散乱光によるノイズ
光が測定したいテストパターンの像走査手段に入射する
ことはなく、高精度な測定ができるという利点がある。
【００１６】また、途中で分岐した照明用ファイバーを
用いれば、２つ以上の複数のテストパターンを同時に解
析することが可能となって、測定時間が短縮できる利点
がある。
用いれば、２つ以上の複数のテストパターンを同時に解
析することが可能となって、測定時間が短縮できる利点
がある。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１８】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態１の光学性能評価装置及び照明装置を示す概略構成図
である。光学性能評価装置は、光源部１からの光により
照明されるテストパターン２を設けたチャート８と、該
チャート８におけるテストパターン２の投影像を結像さ
せる被検レンズ３と、前記投影像の位置的光強度分布を
時系列信号に変換する像走査手段４と、該像走査手段４
からの信号を処理する信号処理手段５とを有している。
前記像走査手段４は、テストパターン２の被検レンズ３
による投影像位置に配置され、また、像走査手段４は信
号処理手段５に接続されている。
態１の光学性能評価装置及び照明装置を示す概略構成図
である。光学性能評価装置は、光源部１からの光により
照明されるテストパターン２を設けたチャート８と、該
チャート８におけるテストパターン２の投影像を結像さ
せる被検レンズ３と、前記投影像の位置的光強度分布を
時系列信号に変換する像走査手段４と、該像走査手段４
からの信号を処理する信号処理手段５とを有している。
前記像走査手段４は、テストパターン２の被検レンズ３
による投影像位置に配置され、また、像走査手段４は信
号処理手段５に接続されている。
【００１９】前記光源部１は、ランプハウス１２に、キ
セノンランランプ又はハロゲンランプ等の１つの光源で
ある高輝度ランプ１０と、集光レンズ１１とを組み込ん
で構成されている。
セノンランランプ又はハロゲンランプ等の１つの光源で
ある高輝度ランプ１０と、集光レンズ１１とを組み込ん
で構成されている。
【００２０】前記チャート８は、透過型光拡散板として
のオパールガラス板の表面に、遮光膜としてクロム膜を
蒸着し、被検レンズ３の光軸上、光軸外の検査すべき像
高に対応する位置の遮光膜にスリット開口を設けて５個
のテストパターン２を形成したもので、５個の各テスト
パターン２に５本の照明用ファイバー６の一方の端面、
即ち、出射端を各テストパターン２に臨ませて配置して
いる。５本の照明用ファイバー６の端面には、各々遮光
部材１３が配置され、相互に漏れ光が干渉しないように
遮光されている。
のオパールガラス板の表面に、遮光膜としてクロム膜を
蒸着し、被検レンズ３の光軸上、光軸外の検査すべき像
高に対応する位置の遮光膜にスリット開口を設けて５個
のテストパターン２を形成したもので、５個の各テスト
パターン２に５本の照明用ファイバー６の一方の端面、
即ち、出射端を各テストパターン２に臨ませて配置して
いる。５本の照明用ファイバー６の端面には、各々遮光
部材１３が配置され、相互に漏れ光が干渉しないように
遮光されている。
【００２１】また、前記各照明用ファイバー６の他方の
端面、即ち、入射端には、光源である高輝度ランプ１０
からの光の集光点付近に一列配置に列設されている。
端面、即ち、入射端には、光源である高輝度ランプ１０
からの光の集光点付近に一列配置に列設されている。
【００２２】一方、前記光源部１は、ガイドブロック２
０を介して、ガイドレール２１によって、照明用ファイ
バー６の配列方向に移動できるよう保持されている。光
源部１のランプハウス１２に下側のベース２７上には、
前記照明用ファイバー６の配列方向に沿ってランプハウ
ス１２よりも大きい寸法を有する棒状の送りネジ２２が
その両端を保持部材２３によって回転可能な状態で支持
され、ランプハウス１２に固定したナット２５を前記送
りネジ２２に螺合している。
０を介して、ガイドレール２１によって、照明用ファイ
バー６の配列方向に移動できるよう保持されている。光
源部１のランプハウス１２に下側のベース２７上には、
前記照明用ファイバー６の配列方向に沿ってランプハウ
ス１２よりも大きい寸法を有する棒状の送りネジ２２が
その両端を保持部材２３によって回転可能な状態で支持
され、ランプハウス１２に固定したナット２５を前記送
りネジ２２に螺合している。
【００２３】前記送りネジ２２の一端は、カップリング
２４を介して、モータ２６の原動軸に連結されている。
このモータ２６と、保持部材２３と、ガイドレール２１
とは、ベース２７上に固着されている。前記ガイドレー
ル２１、送りネジ２２、ナット２５、モータ２６等によ
り光路切り換え手段を構成している。
２４を介して、モータ２６の原動軸に連結されている。
このモータ２６と、保持部材２３と、ガイドレール２１
とは、ベース２７上に固着されている。前記ガイドレー
ル２１、送りネジ２２、ナット２５、モータ２６等によ
り光路切り換え手段を構成している。
【００２４】（作用）次に、本実施の形態１のレンズ性
能評価装置及び照明装置の作用を詳細に説明する。前記
高輝度ランプ１０から発した光は、集光レンズ１１で集
光された後、５本の照明用ファイバー６のうちの任意の
照明用ファイバー６の入射端に入射する。照明用ファイ
バー６を経由した照明光は、各テストパターン２のうち
の対応する１つのテストパターン２を照明する。
能評価装置及び照明装置の作用を詳細に説明する。前記
高輝度ランプ１０から発した光は、集光レンズ１１で集
光された後、５本の照明用ファイバー６のうちの任意の
照明用ファイバー６の入射端に入射する。照明用ファイ
バー６を経由した照明光は、各テストパターン２のうち
の対応する１つのテストパターン２を照明する。
【００２５】そして、照明されたテストパターン２の投
影像が、被検レンズ３によって像走査手段４に結像さ
れ、像走査手段４によりテストパターン２の投影像の位
置的光強度分布が時系列信号に変換され、信号処理手段
５によって周波数強度が解析されて、被検レンズ３の光
学的性能が解析、評価される。
影像が、被検レンズ３によって像走査手段４に結像さ
れ、像走査手段４によりテストパターン２の投影像の位
置的光強度分布が時系列信号に変換され、信号処理手段
５によって周波数強度が解析されて、被検レンズ３の光
学的性能が解析、評価される。
【００２６】ここで、図示しないコンピュータや、マニ
ュアルスイッチ等の指令手段により、前記モータ２６に
回転指令をあたえ、モータ２６を回転さると、カップリ
ング２４を介して送りネジ２２が回転し、これによりナ
ット２５とともにこのナット２５に固着されている光源
部１もガイドレール２１にガイドされつつ照明用ファイ
バー６の配列方向に移動する。
ュアルスイッチ等の指令手段により、前記モータ２６に
回転指令をあたえ、モータ２６を回転さると、カップリ
ング２４を介して送りネジ２２が回転し、これによりナ
ット２５とともにこのナット２５に固着されている光源
部１もガイドレール２１にガイドされつつ照明用ファイ
バー６の配列方向に移動する。
【００２７】光源部１の高輝度ランプ１０からの光の集
光点が、これから測定したい任意のテストパターン２に
対応した照明用ファイバー６の端面に一致したところ
で、指令手段による回転指令を止めれば、当該テストパ
ターン２のみを照明することができる。
光点が、これから測定したい任意のテストパターン２に
対応した照明用ファイバー６の端面に一致したところ
で、指令手段による回転指令を止めれば、当該テストパ
ターン２のみを照明することができる。
【００２８】尚、複数のテストパターン２のうち２個以
上を同時に照明するには、図２に示すような、途中で分
岐した照明用ファイバー７を用いればよい。この照明用
ファイバー７は、テストパターン２側に２個のテストパ
ターン２に対応して２つに分岐された光の出射端を備え
るとともに、前記高輝度ランプ１０側に光の入射端を臨
ませたものであり、各出射端及び入射端に遮光部材１３
を取り付けている。
上を同時に照明するには、図２に示すような、途中で分
岐した照明用ファイバー７を用いればよい。この照明用
ファイバー７は、テストパターン２側に２個のテストパ
ターン２に対応して２つに分岐された光の出射端を備え
るとともに、前記高輝度ランプ１０側に光の入射端を臨
ませたものであり、各出射端及び入射端に遮光部材１３
を取り付けている。
【００２９】本実施の形態１によれば、測定に必要なテ
ストパターン２のみを照明することができるため、像走
査手段４に他のテストパターン２からの散乱光が入射す
ることを阻止でき、精度の高い測定ができる照明装置を
提供できる。
ストパターン２のみを照明することができるため、像走
査手段４に他のテストパターン２からの散乱光が入射す
ることを阻止でき、精度の高い測定ができる照明装置を
提供できる。
【００３０】また、照明用ファイバー６とテストパター
ン２の部分とを一体として交換し得るようにすれば、幾
つかの種類のテストパターンでレンズの性能を測定し、
評価することが可能となる。
ン２の部分とを一体として交換し得るようにすれば、幾
つかの種類のテストパターンでレンズの性能を測定し、
評価することが可能となる。
【００３１】［実施の形態２］図３、図４は、本発明の
実施の形態２の照明装置を示す概略構成図である。本実
施の形態２では、テストパターン２、被検レンズ３、像
走査手段４、信号処理手段５、高輝度ランプ１０、集光
レンズ１１は、実施の形態１の場合と同様であるため、
図示及び説明を省略する。
実施の形態２の照明装置を示す概略構成図である。本実
施の形態２では、テストパターン２、被検レンズ３、像
走査手段４、信号処理手段５、高輝度ランプ１０、集光
レンズ１１は、実施の形態１の場合と同様であるため、
図示及び説明を省略する。
【００３２】本実施の形態２において、図３に示すよう
に、５本の照明用ファイバー６は、保持部材３０によ
り、一列に保持され平坦な保持板３１に取り付けられて
いる。
に、５本の照明用ファイバー６は、保持部材３０によ
り、一列に保持され平坦な保持板３１に取り付けられて
いる。
【００３３】保持板３１は、ベース３２に対してガイド
レール３３、ガイドブロック３４を介して、照明用ファ
イバー６の配列方向に移動自在に保持されている。一
方、保持板３１の端面にはラック３５が固着され、この
ラック３５に噛み合うようにピニオン３６が配置され、
モータ３７でラック３６を回転することにより、保持板
３４をガイドレール３３に沿って移動できる構成となっ
ている。
レール３３、ガイドブロック３４を介して、照明用ファ
イバー６の配列方向に移動自在に保持されている。一
方、保持板３１の端面にはラック３５が固着され、この
ラック３５に噛み合うようにピニオン３６が配置され、
モータ３７でラック３６を回転することにより、保持板
３４をガイドレール３３に沿って移動できる構成となっ
ている。
【００３４】以下に実施の形態２の作用について説明す
る。本実施の形態２では、照明用ファイバー６を配列固
定した保持板３１を移動可能なように光路切り換え手段
を構成したもので、図示しない指令手段により、モータ
３７に回転指令を与え、保持板３１を適宜移動させるこ
とにより、任意の測定したいテストパターン２に対応し
た照明用ファイバー６に高輝度ランプ１０からの光を入
射させる光路切り換えを行うものである。
る。本実施の形態２では、照明用ファイバー６を配列固
定した保持板３１を移動可能なように光路切り換え手段
を構成したもので、図示しない指令手段により、モータ
３７に回転指令を与え、保持板３１を適宜移動させるこ
とにより、任意の測定したいテストパターン２に対応し
た照明用ファイバー６に高輝度ランプ１０からの光を入
射させる光路切り換えを行うものである。
【００３５】本実施の形態２によれば、照明用ファイバ
ー６のような軽量なものを移動させるだけでよく、大が
かりな機構を必要とせず小型簡略に構成できる利点があ
る。
ー６のような軽量なものを移動させるだけでよく、大が
かりな機構を必要とせず小型簡略に構成できる利点があ
る。
【００３６】［実施の形態３］図５は、本発明の実施の
形態３の照明装置を示す概略構成図である。また、図６
は、実施の形態３の照明装置の照明光の光路を示した説
明図である。
形態３の照明装置を示す概略構成図である。また、図６
は、実施の形態３の照明装置の照明光の光路を示した説
明図である。
【００３７】本実施の形態３においては、テストパター
ン２、被検レンズ３、像走査手段４、信号処理手段５
は、実施の形態１の場合と同様であるため、図示及び説
明を省略する。
ン２、被検レンズ３、像走査手段４、信号処理手段５
は、実施の形態１の場合と同様であるため、図示及び説
明を省略する。
【００３８】本実施の形態３の照明装置では、ハロゲン
ランプ１０ａから出た照明光を集光する集光レンズ１１
と、例えば、４本の照明用ファイバー６との間に、光路
切り換え手段としてのミラー４１を配置して、このミラ
ー４１をステッピングモータ４２の軸に固着し、図示し
ない指令手段によってステッピングモータ４２を回転駆
動し、ミラー４１を任意の角度に回転可能としたもので
ある。
ランプ１０ａから出た照明光を集光する集光レンズ１１
と、例えば、４本の照明用ファイバー６との間に、光路
切り換え手段としてのミラー４１を配置して、このミラ
ー４１をステッピングモータ４２の軸に固着し、図示し
ない指令手段によってステッピングモータ４２を回転駆
動し、ミラー４１を任意の角度に回転可能としたもので
ある。
【００３９】前記照明用ファイバー６の光源側の端面
は、保持部材４３によって、保持板４４に固定されると
ともに、これらの端面がステッピングモータ４２の回転
軸に向くように設定されている。
は、保持部材４３によって、保持板４４に固定されると
ともに、これらの端面がステッピングモータ４２の回転
軸に向くように設定されている。
【００４０】以下に実施の形態３の作用について図６を
も参照して説明する。前記ミラー４１が例えば図６に示
すＢ´の位置にあると、ハロゲンランプ１０ａからの光
はＡ乃至Ｄの各位置のうち、Ｂの位置にある照明用ファ
イバー６に入射する。
も参照して説明する。前記ミラー４１が例えば図６に示
すＢ´の位置にあると、ハロゲンランプ１０ａからの光
はＡ乃至Ｄの各位置のうち、Ｂの位置にある照明用ファ
イバー６に入射する。
【００４１】ステッピングモータ４２によりミラー４１
を図６に点線で示すＣ´の位置に回転させる光学走査を
行うと、ハロゲンランプ１０ａからの光は図６に示すＣ
の位置にある照明用ファイバー６に入射するようにな
る。即ち、前記ミラー４１を任意の角度に回転させるこ
とにより、ハロゲンランプ１０ａからの光の各照明用フ
ァイバー６に対する光路切り換えを行うことができる。
を図６に点線で示すＣ´の位置に回転させる光学走査を
行うと、ハロゲンランプ１０ａからの光は図６に示すＣ
の位置にある照明用ファイバー６に入射するようにな
る。即ち、前記ミラー４１を任意の角度に回転させるこ
とにより、ハロゲンランプ１０ａからの光の各照明用フ
ァイバー６に対する光路切り換えを行うことができる。
【００４２】本実施の形態３によれば、光路切り換え手
段としてステッピングモータ４２により回転駆動される
ミラー４１を用いているので、軽量であり、高速に光路
を切り換えることができる効果がある。
段としてステッピングモータ４２により回転駆動される
ミラー４１を用いているので、軽量であり、高速に光路
を切り換えることができる効果がある。
【００４３】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、光源から
の光を１つのテストパターンに集中することができ、他
のテストパターンから出る散乱光によるノイズ光が測定
したいテストパターンに入射することはなく、高精度な
測定及び評価を可能とする光学性能評価装置の照明装置
を提供することができる。
の光を１つのテストパターンに集中することができ、他
のテストパターンから出る散乱光によるノイズ光が測定
したいテストパターンに入射することはなく、高精度な
測定及び評価を可能とする光学性能評価装置の照明装置
を提供することができる。
【００４４】また、本発明によれば、途中で分岐した照
明用ファイバーを用いることによって、２つ以上の複数
のテストパターンを同時に解析することが可能となり、
測定時間の短縮に寄与し得る光学性能評価装置の照明装
置を提供することができる。
明用ファイバーを用いることによって、２つ以上の複数
のテストパターンを同時に解析することが可能となり、
測定時間の短縮に寄与し得る光学性能評価装置の照明装
置を提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態１の照明装置を示す概略構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の実施の形態１の照明装置における照明
用ファイバーの変形例を示す平面図である。
用ファイバーの変形例を示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態２の照明装置を示す概略構
成図である。
成図である。
【図４】本発明の実施の形態２の照明装置を示す概略構
成図である。
成図である。
【図５】本発明の実施の形態３の照明装置を示す概略構
成図である。
成図である。
【図６】本発明の実施の形態３の光の光路切り換え走査
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ 光源部 ２ テストパターン ３ 被検レンズ ４ 像走査手段 ５ 信号処理手段 ６ 照明用ファイバー ７ 照明用ファイバー ８ チャート １０ 高輝度ランプ １１ 集光レンズ １２ ランプハウス １３ 遮光部材 ２２ 送りネジ ２５ ナット ２６ モータ ２７ ベース ３１ 保持板 ３２ ベース ３５ ラック ３６ ピニオン ３７ モータ ４１ ミラー
Claims (4)
- 【請求項１】 光源からの光束で照明される複数のテス
トパターンを設けたチャートと、該チャートのテストパ
ターンの投影像を結像させる被検レンズと、前記投影像
の位置的光強度分布を時系列信号に変換する像走査手段
と、該像走査手段からの信号を処理する信号処理手段と
を有し、被検レンズの異なる複数の像高の結像性能を検
査するレンズ性能検査装置に用いられる照明装置におい
て、 １つの光源と、 前記複数のテストパターン毎に個別に配置した複数の照
明用ファイバーと、 前記１つの光源からの光をいずれか１つの照明用ファイ
バーの光の入射端に選択的に入射させる光路切り換え手
段と、 を具備することを特徴とする光学性能評価装置の照明装
置。 - 【請求項２】 前記光路切り換え手段は、前記１つの光
源と前記複数の照明用ファイバーの各入射端との相対位
置を変えることで、前記光源からの光の光路切り換えを
行うことを特徴とする請求項１記載の光学性能評価装置
の照明装置。 - 【請求項３】 前記光路切り換え手段は、前記１つの光
源からの光を光学的に走査して前記複数の照明用ファイ
バーのいずれかの入射端に導く光路切り換えを行うこと
を特徴とする請求項１記載の光学性能評価装置の照明装
置。 - 【請求項４】 光源からの光束で照明される複数のテス
トパターンを設けたチャートと、該チャートのテストパ
ターンの投影像を結像させる被検レンズと、前記投影像
の位置的光強度分布を時系列信号に変換する像走査手段
と、該像走査手段からの信号を処理する信号処理手段と
を有し、被検レンズの異なる複数の像高の結像性能を検
査するレンズ性能検査装置に用いられる照明装置におい
て、 １つの光源と、 前記複数のテストパターンに対応する個数に分岐された
光の出射端を備えるとともに前記１つの光源に光の入射
端を臨ませた照明用ファイバーと、 を具備することを特徴とする光学性能評価装置の照明装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038796A JPH09257645A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 光学性能評価装置の照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038796A JPH09257645A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 光学性能評価装置の照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257645A true JPH09257645A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13429993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7038796A Pending JPH09257645A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 光学性能評価装置の照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257645A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444268B1 (ko) * | 2002-06-05 | 2004-08-12 | 주식회사 한택 | 평면배열형 수광 소자를 이용한 광 측정 장치 및 방법 |
| CN114323584A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-12 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种光纤多参数测试装置及其控制方法 |
-
1996
- 1996-03-26 JP JP7038796A patent/JPH09257645A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444268B1 (ko) * | 2002-06-05 | 2004-08-12 | 주식회사 한택 | 평면배열형 수광 소자를 이용한 광 측정 장치 및 방법 |
| CN114323584A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-12 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种光纤多参数测试装置及其控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040518 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040721 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050329 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050816 |