JP3881295B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラッシュメモリなどの不揮発性半導体記憶装置(不揮発性メモリ)に関し、特にYセレクタで選択したソース側のビット線をグランドに接続するかフローティングにするかが選択可能である仮想接地(Virtual Ground)方式の不揮発性メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】
不揮発性メモリとしては、EPROM,E2PROM,フラッシュメモリなどが知られており、それぞれ各種の変形例を有する。本発明は、仮想接地方式であれば、どのような不揮発性メモリにも適用可能であるが、ここではフラッシュメモリ、その中でも特にNOR型と呼ばれるフラッシュメモリを例として説明を行う。フラッシュメモリは広く使用されており、その基本的な構成については広く知られているので、ここではフラッシュメモリに関する詳しい説明は省略し、本発明に関係する部分についてのみ説明する。
【0003】
図1は、仮想接地方式のフラッシュメモリのアレイ構成を示す図である。図示のように、複数のワード線1と、複数のワード線1に直交する複数のビット線2が配列され、その交差部分に対応して複数の不揮発性メモリセル3が配列されており、これはメモリセルアレイと呼ばれる。各メモリセルは、フローティングゲートを有するトランジスタで構成され、ゲートがワード線1に接続され、ソース及びドレインがそれぞれ隣接するビット線2に接続される。Xデコーダ4は、複数のワード線1の1本に電圧を印加してアクセスするメモリセルアレイの行(ロウ)を選択する。Yセレクタ5は、複数のビット線のうちの隣接する2本を、I/O回路6の読み出し/書き込み(R/W)回路7とグランド回路8にそれぞれ接続する。
【0004】
例えば、図1で参照番号11で示すメモリセルにアクセスする場合には、Xデコーダ4が一番下側のワード線に選択電圧を印加し、Yセレクタ5が、メモリセル11のソースに対応するGで示したビット線をグランド回路8に、ドレインに相当するDで示したビット線をR/W回路7に接続する。書き込み時にはR/W回路7が書き込み状態になり、読み出し時にはR/W回路7が読み出し状態になる。この時、Dで示したビット線に隣接するもう1本のビット線はフローティング状態になる。そのため、メモリセル11に隣接するメモリセルのドレインはR/W回路7に接続され、ゲートには選択電圧が印加されるが、読み出しや書き込み動作は行われない。
【0005】
このように、図1のメモリセルアレイの構成では、ドレイン側のビット線(ドレインビット線)をR/W回路7に接続するか接続しないかが選択できるだけでなく、ソース側のビット線(ソースビット線)もグランド回路8に接続するか接続しないか(接続しない時にはフローティング状態になる)が選択できることが必要である。これが仮想接地方式と呼ばれる方式である。従って、仮想接地方式の場合には、ドレインビット線に接続されるYセレクタ5の端子をR/W回路7に接続するか選択する選択回路(スイッチ)と、ソースビット線に接続されるYセレクタ5の端子をグランド回路8に接続するか選択する選択回路の両方が必要である。Yセレクタ5は隣接する2本のビット線を選択し、選択された2本のビット線はそれぞれを対応するR/W回路7又はグランド回路8に接続される。
【0006】
現状のフラッシュメモリは、セクタ単位で部分一括消去が可能である。また、フラッシュメモリはデータの入出力が多ビット化されている。図2は、多ビット構成の1セクタのフラッシュメモリの構成示す図である。図2に示すように、1つの1セクタのメモリセルアレイ(通常、フラッシュメモリには複数のメモリセルアレイが設けられる。)を、ビット線に沿った複数のブロック10−0〜10−nに分割し、各ブロックにそれぞれデータ入出力(I/O)回路6−0〜6−nとYセレクタ(Ysel)5−0〜5−nとを設けて、ブロックの個数分(n+1)のデータを並列に入出力できるようにしている。例えば、16ビットの幅でデータ入出力する場合、1セクタを512Kビットとして、512×1024で配列する。これを512×64のメモリセルで構成される16個のブロックに分割し、16個のブロックのメモリセルアレイに対して並列にデータの入出力を行う。なお、1セクタのワード線は共通であり、16個のブロックの同一のワード線に接続されるメモリセルアレイがアクセスされる。
【0007】
更に、近年のフラッシュメモリは、ページモードと呼ばれる高速データ読み出しが可能な動作モードを有する。図3は、多ビット・ページモードのフラッシュメモリの構成示す図である。図示のように、各ブロック10−0〜10−n(ここではnは16)をビット線に沿って更に複数(例えば、ここでは4個)のページブロック10−0−0〜10−0−3,10−1−0〜10−1−3,…10−n−0〜10−n−3に分割し、各ブロックにそれぞれページブロックに対応してデータ入出力(I/O)回路6−0−0〜6−0−3,…6−n−0〜6−n−3とYセレクタ(Ysel)5−0−0〜5−0−3,…5−n−0〜5−n−3とを設けて、更に各ブロックにそれぞれマルチプレクサ9−0,9−1,…,9−nを設ける。読み出し時には、各ブロックの4個のページブロックの4個のメモリセルから同時にデータが読み出され、マルチプレクサで1つのページブロックに対応するデータを選択して順次出力される。各ブロックでも同様の動作が行われるので、上記の例では、4n個のメモリセルに対して同時に読み出し動作が行われ、読み出された4nビットのデータは、nビットずつ4サイクルで出力される。メモリセルからの読み出し動作に比べてマルチプレクサでの変換動作は高速に行うことが可能であり、これにより4倍の高速でデータを読み出すことが可能になる。なお、ここでは各ブロックを4個のページブロックに分割する例を示したが、8個など他の個数に分割することも可能である。
【0008】
また、ページモードはデータの読み出し動作にのみ設けられ、書き込み動作には設けられていない。これは、書き込み動作は、メモリセルの各部に比較的高電圧を印加する必要があるため動作時間が長く、電流量も多いためであり、書き込み動作は読み出し動作に比べて行われる頻度が少ないため、特に問題はない。
【0009】
フラッシュメモリでは、アクセスするメモリセルが接続されるワード線とビット線に所定の電圧を印加する。そのため、所定の電圧を印加するワード線とビット線に接続される他のメモリセルにも電気的なストレスがかかり、その記憶内容に悪影響を及ぼす。これをディスターブと呼んでおり、書き込み時には、消去状態の非選択メモリセルが書き込みの影響を受ける恐れがある。
【0010】
書き込み動作時にはメモリセル(トランジスタ)の各部に読み出し動作時より高い(絶対値が大きい)電圧を印加して、フローティングゲートに電子を注入する。図1に示すように、ワード線に書き込みのための選択電圧を印加し、隣接する2本のビット線をR/W回路7とグランド回路8に接続すると、メモリセル11にデータを書き込むことができる。この時、ビット線DにはR/W回路7から書き込みのためのドレイン電圧が印加され、ビット線Gはグランドに接続される。従って、メモリセル11以外のビット線DとGに接続されるメモリセル(メモリセル11と同一コラムのメモリセル)は、ゲートには選択電圧は印加されないが、ドレインとソースには書き込みのための電圧が印加され、電気的ストレスがかかることになる。これをドレインディスターブ(disturb)と呼ぶ。また、選択電圧が印加されるワード線に接続されるメモリセル11以外のメモリセルは、ゲートに書き込みのための選択電圧が印加されるので、同様にデータが変化するなどの問題が起こり得る。これをゲートディスターブと呼ぶ。
【0011】
特開2000−68485号公報は、仮想接地方式において書き込み時に一部のソース線やドレイン線がフローティング状態になることにより非選択セルに誤ったデータが書き込まれるのを防止するために、フローティングになるソース線やドレイン線を適当な電位にする技術を開示している。
【0012】
仮想接地方式のフラッシュメモリでは、アクセスするメモリセルの行方向に隣接するメモリセルに、上記のディスターブより強いストレスがかかることが分かった。図4はこの隣接するメモリセルへのストレスを説明する図である。
【0013】
図4の(A)に示すように、円で囲んだメモリセルAに書き込みを行うため、ゲートが接続されるワード線に書き込みゲート電圧(読み出し時より高い電圧)を印加し、ドレインが接続されるビット線に書き込みドレイン電圧(読み出し時より高い電圧)を印加し、ソースが接続されるビット線をグランドに接地する。この時、メモリセルAに隣接するメモリセルのゲートには書き込みゲート電圧が、ドレインには書き込みドレイン電圧が印加されており、ソースはフローティングである。
【0014】
上記のように、フラッシュメモリでは多ビット化のためにブロックに分割して各ブロックのメモリセルに対して並列に書き込みを行っており、図2のようなブロック構成であれば、図4の(A)に示すように、行方向に64セル離れたメモリセルBのソースが接続されるビット線はグランドに接地されている。ワード線には書き込みゲート電圧が印加されており、このワード線に接続されるすべてのメモリセルは導通状態であり、メモリセルAに隣接するメモリセルのソースは導通状態の64セルを介してグランドに接地されていることになる。そのため、ドレインが接続されるビット線を隣接する列で共用しない従来の方式、すなわち仮想接地方式でない場合に比べて、ディスターブは大きくなる。実際には、メモリセルはオン抵抗を有しており、64個のメモリセルの抵抗の合計は大きいので、隣接するメモリセルのソースは完全にはグランドにはならず、ほとんど問題は生じない。
【0015】
しかし、図4の(B)や(C)に示すように、1ブロックの幅が16セルや8セルになった場合には、隣接するブロックのアクセスされるメモリセルCとD及びEとFの間のセル個数も減少し、メモリセルのオン抵抗の合計値も小さくなるので、ディスターブはより大きくなり、悪影響が無視できなくなる。そのため、多ビット化のために複数のブロックに分割する場合には、ブロック幅(セル数)が所定以上に小さくならないようにブロック幅を決定する必要がある。
【0016】
【特許文献1】
特開2000−68485号公報(すべて)。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、高速データ読み出しのためにページモードが設けられている。ページモードでは、各ブロックを更に複数のページブロックに分割して各ページブロック毎にYセレクタと入出力回路を設け、読み出し動作時には複数のブロックの複数のページブロックのメモリセルに同時にアクセスする。Yセレクタの動作を読み出し処理と書き込み処理で異ならせるのは、配線数などの関係から難しいので、書き込み動作時にも複数のブロックの複数のページブロックのメモリセルに同時にアクセスすることになり、図4の(B)及び(C)に示した同時に書き込み動作が行われるメモリセルの間隔が狭くなるという問題が生じる。例えば、1ブロック幅が64セルで、各ブロックを4個のページブロックに分割する場合、同時に書き込み動作が行われるメモリセルの間隔は図4の(B)のように16セルになり、各ブロックを8個のページブロックに分割する場合には8セルになり、ディスターブを無視できない。
【0018】
このような問題を解決するために、ページモードでは読み出し動作時のみ複数のブロックの複数のページブロックのメモリセルが同時にアクセスされ、書き込み動作時には複数のブロックのメモリセルが同時にアクセスされるだけで、各ブロック内で複数のページブロックのメモリセルは同時にはアクセスされないことに着目した解決方法が参考例として考えられる。この参考例は、ページブロックの個数に対応した本数の中間グランド線を設け、各ページブロックのソース用ビット線はYセレクタを介して対応する中間グランド線に接続し、各中間グランド線をグランドに接続するスイッチを設け、読み出し動作時にはこれらのスイッチはすべて導通してすべての中間グランド線はグランドに接続され、書き込み動作時にはアクセスするページブロックに対応する中間グランド線のみをグランドに接続し、他の中間グランド線はフローティング状態にするようにスイッチを制御することが考えられる。しかし、この解決方法には問題があり、実際上はほとんど効果がない。
【0019】
図5は、上記の参考例が不充分であることを説明する図であり、1ブロックの幅が64セルで、各ブロックを4個のページブロックに分割する場合を示している。図示のように、4本の中間グランド線ARVSS21〜24を設け、各中間グランド線はスイッチ(トランジスタ)25〜28を介してグランドに接続される。あるブロックのメモリセルGに対して書き込みを行う場合、メモリセルGのソースが接続されるビット線に接続されるYセレクタのスイッチがオンし、16本、32本、48本離れたビット線に接続されるYセレクタのスイッチがオンし、スイッチ25はオンするが、スイッチ26〜28はオフになる。同様に、隣のブロックのメモリセルHに対しても書き込みが行われるので、メモリセルHのソースが接続されるビット線に接続されるYセレクタのスイッチがオンし、16本、32本、48本離れたビット線に接続されるYセレクタのスイッチがオンする。
【0020】
メモリセルGに隣接するメモリセルのソースが接続されるビット線に接続されるYセレクタのスイッチはオフであるが、オン状態のメモリセルおよびスイッチを介して、このビット線からグランドに至る点線のような経路が形成される。図示のように、この行のメモリセルはすべてオン状態であるため、メモリセルGに隣接するメモリセルのソースは、15個のメモリセルを介してオン状態のYセレクタのスイッチに接続されて中間グランド線22に接続される。中間グランド線22のスイッチ26はオフであるが、中間グランド線22は、中間グランド線22に接続される隣のブロックのオン状態のYセレクタのスイッチ、オン状態の16個のメモリセル、オン状態のYセレクタのスイッチを介して中間グランド線21に接続される。スイッチのオン抵抗を無視すれば、中間グランド線22はメモリセルのオン抵抗を16個直列に接続した経路で中間グランド線21に接続されることになる。入出力データ幅が16ビットの場合には16個のブロックがあり、上記中間グランド線22から中間グランド線21に至る経路が15個並列に存在することになるので、それらの経路の抵抗を合成すると、中間グランド線22から中間グランド線21に至る経路の抵抗はメモリセルのオン抵抗の16/15になる。従って、メモリセルGに隣接するメモリセルのソースは、メモリセルのオン抵抗の(15+16/15)=16.07倍の抵抗でグランドに接地されていることになる。すなわち、図4の(B)に示した、16セル離れた2個のメモリセルに同時に書き込み動作を行う場合とほぼ同じディスターブが生じることが分かる。
【0021】
以上のように、図5に示した解決方法では不充分である。
【0022】
本発明は、ディスターブの影響を低減した仮想接地方式でページモードを有する不揮発性半導体メモリの実現を目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するため、本発明の不揮発性半導体記憶装置は、メモリセルのソースが接続されるビット線に接続されるYセレクタのスイッチが接続される中間グランド線を、各ページブロック毎に独立にし、各ページブロックの中間グランド線はグランドに接続するかフローティングにするかが独立して設定できるようにする。そして、読み出し動作時には、すべての中間グランド線を接地するが、書き込み動作時には、書き込み動作を行うメモリセルが属するページブロックの中間グランド線のみを接地し、他の中間グランド線はフローティング状態にする。
【0024】
本発明によれば、書き込み動作時には、各ブロックにおいて、アクセスされるメモリセルのページブロックの中間グランド線は接地されるが、他のページブロックの中間グランド線は接地されず、しかも各中間グランド線は独立しているので、隣接するブロックを経由する経路も形成されない。従って、書き込み動作時に書き込みが行われるメモリセルに隣接するメモリセルのソースは、ページモードでない場合と同様に、ブロック幅のセル数を介してグランドに接地されることになり、ディスターブは小さく。
【0025】
当然のことながら、各ページブロックのページブロック別読み出し/書き込み(R/W)回路は、読み出し時にはすべての読み出し状態になり、書き込み時には各ブロック内の対応する1個のR/W回路のみが書き込み状態になり、他のR/W回路はオフ状態になる。
【0026】
中間グランド線とグランドとの間には1個のスイッチ回路を設け、これをオン/オフ制御して、中間グランド線を接地するかフローティング状態にするか切り換える。
【0027】
また、共通グランド線を設け、各中間グランド線をスイッチを介して対応する共通グランド線に接続し、更に共通グランド線をスイッチを介して接地するようにしてもよい。この構成により、例えば、中間グランド線をグランド以外の適当な電圧に設定できる。
【0028】
メモリセルアレイで、メモリセルのソースのみが接続されるビット線と、メモリセルのドレインのみが接続されるビット線を交互に配置する場合には、各ビット線はYセレクタを介してR/W回路とグランド回路の一方のみに接続される。
【0029】
近年、1個のメモリセルのソースとドレインに相当する端子に印加する電圧を逆にすることにより、1個のメモリセルで2値を記憶できるNROMと呼ばれる新しいフラッシュメモリが提案されている。本発明はこのNROMにも適用可能である。本発明をNROMに適用する場合には、各ビット線をR/W回路とグランド回路の両方に選択的に接続する必要がある。そこで、各ページブロックのYセレクタの端子を、独立にグランドに接続する複数のグランドスイッチとR/W回路に接続するR/Wスイッチを設ける。各ページブロックのページブロック別Yセレクタの端子を、隣接する3本は接続されないように他の端子と接続して本数を低減した複数の共通Y線とし、共通Y線の本数と同一数のグランドスイッチとR/Wスイッチを設け、各共通Y線をグランドスイッチとR/Wスイッチの両方にそれぞれ接続するように構成する。これにより、スイッチ数が低減できる。
【0030】
【発明の実施の形態】
図6は、本発明の第1実施例のフラッシュメモリのYセレクタとI/O回路の部分の構成を示す図である。第1実施例のフラッシュメモリは、図1から図3に示した仮想接地方式で多ビット構成のページモードを有するフラッシュメモリであり、1024セル幅のメモリセルアレイを、64セル幅の16個のブロックに分割し、更に各ブロックを16セル幅の4個のページブロックに分割するものとする。
【0031】
図示のように、各ページブロックのメモリセルのドレインが接続されるビット線(ドレインビット線)は、Yセレクタ5のYスイッチ(トランジスタ)を介してページブロック別ドレイン線41−0,42−0,43−0,44−0,41−1,42−1に接続される。ページブロック別ドレイン線41−0,42−0,43−0,44−0,41−1,42−1は、R/Wスイッチ(トランジスタ)45−0,46−0,47−0,48−0,45−1,46−1を介して、R/W回路6−0−0,6−0−1,6−0−2,6−0−3,6−1−0,6−1−2に接続される。各ページブロックのメモリセルのソースが接続されるビット線(ソースビット線)は、Yセレクタ5のYスイッチ(トランジスタ)を介してページブロック別グランド線(中間グランド線)31−0,32−0,33−0,34−0,31−1,32−1に接続される。中間グランド線31−0,32−0,33−0,34−0,31−1,32−1は、グランドスイッチ35−0,36−0,37−0,38−0,35−1,36−1を介してグランドに接続される。グランドスイッチ35−0,36−0,37−0,38−0,35−1,36−1は前述のグランド回路に相当する。
【0032】
図7は、各R/W回路の構成を示す図である。R/Wスイッチ45−0,46−0,47−0,48−0,45−1,46−1を介して接続されるR/W信号は、書き込み部と読み出し部に接続される。書き込み動作時には、書き込み部において、プログラムEN信号が「高(H)」になり、プログラムデータに応じてNANDゲート51の出力が変化し、レベルシフト回路52でレベルが調整され、トランジスタ53のゲートに印加される。トランジスタ53のソースにはプログラム(書き込み)用の電圧Vprogが供給され、書き込みデータを「1」から「0」に変化する時には、R/W信号として高電圧が出力される。読み出し動作時には、読出ENが「H」になり、R/W信号はトランジスタ54を通ってインバータ55とトランジスタ56に供給される。R/W信号が「低(L)」の時には、トランジスタ56がオン状態になり、読出出力として「L」が出力され、R/W信号が「H」の時には、トランジスタ56がオフ状態になり、読出出力として「H」が出力される。
【0033】
図6に戻り、読み出し動作時には、グランドスイッチ35−0,36−0,37−0,38−0,35−1,36−1とR/Wスイッチ45−0,46−0,47−0,48−0,45−1,46−1はすべてオン状態になり、複数のブロックの複数のページブロックのメモリセルからデータが読み出される。この例では、64個のメモリセルからデータが読み出される。
【0034】
書き込み動作時には、各ブロックの中の1個のページブロックのメモリセルに書き込みが行われる。この例では、16個のメモリセルに書き込みが行われる。例えば、各ブロックの一番左側のページブロックのメモリセルに書き込みを行う場合には、グランドスイッチ35−0,35−1とR/Wスイッチ45−0,45−1をオン状態にし、グランドスイッチ36−0,37−0,38−0,36−1とR/Wスイッチ46−0,47−0,48−0,46−1はすべてオフ状態にする。この時、書き込みを行うメモリセルに隣接するメモリセルのソースは、15個のオン状態のメモリセルを介して隣のページブロックのオン状態のYスイッチを介して中間グランド線32−0に接続されるが、中間グランド線32−0は他の中間グランド線には接続されておらず、グランドスイッチ36−0はオフ状態であり、フローティングであるので、ディスターブは起きない。従って、書き込みを行うメモリセルに隣接するメモリセルのソースは、64個のオン状態のメモリセルを介して、隣のブロックのグランドに接地されたビット線に接続されることになる。これは、図4の(A)の状態であり、ディスターブは問題にならない。
【0035】
図6の第1実施例の回路と図5の参考例の回路を比較すると、図5の回路では中間グランド線21〜24をグランドに接続するスイッチ25〜28は4個であるのに対して、図6の回路では64個のグランドスイッチを設ける必要があり、グランドスイッチの個数が16倍になる点で不利である。しかし、図5の回路のグランドスイッチは全体で4個だけであるので、図6の回路のグランドスイッチに比べて駆動能力を大きくする必要があり、必要な面積はあまり差がない。
【0036】
図8はこれを説明する図であり、図8の(A)は図5の回路のグランドスイッチのサイズを、図8の(B)は図6の回路のグランドスイッチのサイズを示す。図8において、T1とT3で示すトランジスタがグランドスイッチに相当し、ARVSS(w)は図5の中間グランド線(ARVSS)21〜24に対応し、ARVSSnwは図6の中間グランド線31−0,32−0,33−0,34−0,31−1,32−1、…のいずれかに相当する。図6のグランドスイッチを構成するトランジスタのサイズは、図5のそれの1/16である。なお、図6のグランドスイッチを制御する信号は、R/Wスイッチと同じ制御信号であり、グランドスイッチとR/Wスイッチを近接して配置すれば配線による面積の増加はほとんど問題にならない。
【0037】
図8において、T2とT4で示すトランジスタは、中間グランド線をグローバルVss線(GARVSS)に接続するスイッチであり、図5及び図6では図示していない。ソースビット線は、グランドに接地するかフローティング状態にするだけでなく、小さな電圧値を印加する場合もあり、グローバルVss線にはそのような電圧が供給される。
【0038】
図9は、本発明の第2実施例のフラッシュメモリのYセレクタとグランド接続部の構成を示す図である。ここでは、ソースビット線に接続されるYスイッチのトランジスタと、それらが接続される中間グランド線に関係する部分のみを示し、ドレインビット線に接続されるYスイッチのトランジスタやR/W回路は省略してある。図示のように、共通グランド線61を設け、各グランド線は、中間グランドスイッチ51−0,52−0,53−0,54−0,51−1を介して共通グランド線61に接続する。共通グランド線61は、グローバルVss線(GARVSS)であり、共通グランドスイッチ65を介して接地される場合と、適当な電圧が供給される場合がある。
【0039】
第2実施例では、書き込み動作時には、書き込みを行うメモリセルが属するページブロックの中間グランドスイッチのみがオン状態になり、他の中間グランドスイッチはオフ状態であるから、第1実施例と同様に、ディスターブは問題にならない。
【0040】
図10は、第2実施例の回路の中間グランドスイッチ及び共通グランドスイッチのサイズを示す。T6が中間グランドスイッチに、T5が共通グランドスイッチに対応する。図9の回路の中間グランドスイッチの個数は図8のT1で示すトランジスタの個数の16倍であるが、サイズは1/6になっており、図9の回路の共通グランドスイッチの個数は図8のT2で示すトランジスタの個数の1/4倍であるが、サイズは13倍になっている。従って、トランジスタのサイズは、全体では多少大きくなる。
【0041】
図11は、本発明の第3実施例のフラッシュメモリの全体構成を示す図である。第3実施例のフラッシュメモリは、1個のメモリセルのソースとドレインに相当する端子に印加する電圧を逆にすることにより、1個のメモリセルで2値を記憶できるNROMに本発明を適用した実施例である。図示のように、メモリセルアレイをnブロックに分割し、各ブロックを更に8個のページブロック10−0−0,10−0−1,…,10−0−7、10−1−0,…,10−1−7、10−n−0,…,10−n−7に分割する。これに応じて、ページブロック別Yセレクタ(Ysel)5−0−0,…,5−0−7、5−1−0,…,5−1−7、5−n−0,…,5−n−7と、ページブロック別I/O回路6−0−0,…,6−0−7、6−1−0,…,6−1−7、6−n−0,…,6−n−7と、n個のマルチプレクサ(MUX)が設けられる。
【0042】
図12は、1組のページブロック別Yセレクタとページブロック別I/O回路の構成を示す図である。NROMでは、各ビット線はドレインビット線にもソースビット線にもなる。各ビット線にはYセレクタのスイッチ(トランジスタ)5−0〜5−7が接続される。Yセレクタのスイッチ端子は、0番目と4番目、1番目と5番目、2番目と6番目、3番目と7番目が接続され、それぞれR/Wスイッチ71−0〜71−3を介してR/W回路7に接続され、グランドスイッチ72−0〜72−3を介してスイッチ73に接続される。スイッチ73はグランドに接続され、グランド回路に相当する。Yセレクタのスイッチ5−0〜5−7は隣接する2個が選択され、2個のYセレクタのスイッチの一方は、対応するR/Wスイッチがオン状態になってR/W回路7に接続され、他方は対応するグランドスイッチがオン状態になって接地される。このようにして、いずれのビット線も、R/W回路7とグランドの両方に選択的に接続することができる。
【0043】
第3実施例のフラッシュメモリの動作は、第1実施例の場合と同じであるので、ここでは省略する。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の仮想接地方式でページモードを有する不揮発性半導体メモリでは、ディスターブの影響を低減して信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】仮想接地方式フラッシュメモリのアレイ構成を示す図である。
【図2】多ビット構成のフラッシュメモリの構成を示す図である。
【図3】多ビット・ページモードのフラッシュメモリの構成を示す図である。
【図4】多ビット構成の仮想接地方式フラッシュメモリで、同時に書き込む時のセル間隔の影響を説明する図である。
【図5】ページモードで同時に読み出すセルの個数分共通グランド線を設けた参考例の問題点を説明する図である。
【図6】本発明の第1実施例のフラッシュメモリのYセレクタとI/O回路部分の構成を示す図である。
【図7】R/W回路の構成例を示す図である。
【図8】参考例と第1実施例のトランジスタサイズの比較を示す図である。
【図9】本発明の第2実施例のフラッシュメモリのYセレクタとグランド接続部分の構成を示す図である。
【図10】第2実施例のトランジスタサイズを示す図である。
【図11】本発明の第3実施例のフラッシュメモリの全体構成を示す図である。
【図12】第3実施例のYセレクタとI/O回路部分の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…ワード線
2…ビット線
3…メモリセル
4…Xデコーダ
5…Yセレクタ
6…I/O回路
7…R/W回路
8…グランド回路
31−0〜34−0,31−1,32−1…中間グランド線
35−0〜38−0,35−1,36−1…グランドスイッチ
Claims (8)
- 複数のワード線と、該複数のワード線に直交する複数のビット線と、前記複数のワード線と前記複数のビット線の交差部分に対応して配置された複数の不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、前記複数のワード線を選択的に駆動するXデコーダと、前記複数のビット線を選択するYセレクタと、対応する前記Yセレクタの端子が接続される読み出し/書き込み回路とグランド回路を有するデータ入出力回路と、を備え、
前記メモリセルアレイは、前記ビット線に沿った複数のブロックで構成され、各ブロックはそれぞれデータ入出力回路とYセレクタとを備え、
前記複数のブロックの前記メモリセルが同時にアクセスされて、前記ブロック数に対応するビット数分のデータが同時に入出力され、
各ブロックのメモリセルアレイは、更に前記ビット線に沿った複数のページブロックで構成され、各ページブロックはそれぞれページブロック別データ入出力回路とページブロック別Yセレクタとを備え、
各ブロックは、更に各ブロック内の複数のページブロックから同時に読み出したデータから1つのページブロックに対応するデータを選択するマルチプレクサを備え、
当該装置からデータの読み出す時には、前記複数のブロックの前記複数のページブロックのメモリセルから同時にデータが読み出された後、各ページブロックのデータは前記マルチプレクサで選択され、前記ブロック数に対応するビット数分のデータが前記ページブロック数に対応する数だけ連続したデータとして出力され、
当該装置にデータを書き込む時には、各ブロックで1個のメモリセルに同時にデータの書き込みを行う不揮発性半導体記憶装置において、
各ページブロックの前記ページブロック別データ入出力回路は、それぞれページブロック別読み出し/書き込み回路とページブロック別グランド回路とを備え、
各ページブロックの前記ページブロック別Yセレクタは、対応する前記ページブロック別読み出し/書き込み回路又は前記ページブロック別グランド回路に接続され、
読み出し時にはすべての前記ページブロック別グランド回路がオン状態になって対応する前記ページブロック別Yセレクタの端子をグランドへ接続し、書き込み時には各ブロック内の1個の前記ページブロック別グランド回路のみがオン状態になって対応する前記ページブロック別Yセレクタの端子をグランドへ接続し、他の前記ページブロック別グランド回路はオフ状態になって対応する前記ページブロック別Yセレクタの端子をフローティング状態にすることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 読み出し時にはすべての前記ページブロック別読み出し/書き込み回路が読み出し状態になり、書き込み時には各ブロック内の1個の前記ページブロック別読み出し/書き込み回路のみが書き込み状態になり、他の前記ページブロック別読み出し/書き込み回路はオフ状態になる請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 各ページブロック別グランド回路は、対応する前記ページブロック別Yセレクタの端子を共通にグランドに接続する1個のスイッチ回路を備える請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 共通グランド線と、
該共通グランド線をグランドに接続する共通グランドスイッチ回路とを備え、前記複数のブロックの前記複数のページブロック別グランド回路は、対応する前記ページブロック別Yセレクタの端子を前記共通グランド線に接続する中間スイッチ回路を備える請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 各ビット線は、前記読み出し/書き込み回路と前記グランド回路の一方のみに接続される請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 各ビット線は、前記読み出し/書き込み回路と前記グランド回路の両方に選択的に接続される請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ページブロック別グランド回路は、ブロック内の前記ページブロック別Yセレクタの端子をそれぞれ独立にグランドに接続する複数のグランドスイッチを備え、
前記ページブロック別読み出し/書き込み回路は、ブロック内の前記ページブロック別Yセレクタの端子にそれぞれ独立に接続するための複数のR/Wスイッチを備える請求項6に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 各ブロック内の前記ページブロック別Yセレクタの端子は、隣接する3本は接続されないように他の端子と接続されて、前記ページブロック別Yセレクタの端子数の半分以下の本数の共通Y線を形成し、
前記グランドスイッチと前記R/Wスイッチの個数は、前記複数の共通Y線の本数と同一であり、
前記複数の共通Y線は、前記グランドスイッチと前記R/Wスイッチの両方に接続される請求項7に記載の不揮発性半導体記憶装置。
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