JP3871428B2 - 溶接レス継手 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造ラインの作用ガス配管系において使用される溶接レス継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造ラインにおいては、作用ガスとしてシランガス等の毒性の強いガスが使われている。また、かかる半導体製造ラインに接続される各種の接続機器については、その性能を確保するために、その内部が大気に触れないように保管・交換されることが多い。
【０００３】
そこで、例えば、図９に示すパージ用継手１００を半導体製造ラインに設けることにより、毒性の強い作用ガスを内部に残留させることなく不活性ガスに置換していた。また、各種の接続機器をその内部が大気に触れることなく交換していた。
【０００４】
ここでは、かかるパージ用継手１００について、図９、図１０に基づいて説明する。図９（ａ）は、図９（ｂ）の側面図であり、図９（ｂ）は、パージ用継手１００の断面図である。また、図１０は、パージ用継手１００の分解断面図である。図９に示すように、パージ用継手１００は、２本のパイプ１１２Ａ、１１２Ｂを接続するための溶接レス継手である。
【０００５】
パージ用継手１００の本体である継手ボディ１１４には、その右端面に、６つのスパナ掛け孔１１４ｄが形成されている。また、その右端面中央に形成された孔から継手ボディ１１４の内部空間１１４ｂに向かって、右側のパイプ１１２Ａが挿入されている。
【０００６】
かかるパイプ１１２Ａの外周には、パイプ溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１１６Ａが嵌合されている。このとき、インナーフェルール１１６Ａは、その周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１１２Ａと一体となってパイプの軸線方向に動くことができる。
【０００７】
また、インナーフェルール１１６Ａの右側には、アウターフェルール１１５Ａが、インナーフェルール１１６Ａのくさびと組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１１５Ａの右端面にはスラスト軸受が組み込まれており、継手ボディ１１４を回転させてもパイプ１１２Ａが回転しない構造となっている。
【０００８】
一方、内部空間１１４ｂは、継手ボディ１１４の左端面まで貫通しており、また、左端面近くは段差が付いて大径になっており、その大径部内周には雌ねじ１１４ａが形成されている。かかる雌ねじ１１４ａには、ナット部材１１３の外側に形成された雄ねじ１１３ａがねじ込まれている。また、ナット部材１１３の中心には孔が形成され、その孔から左側のパイプ１１２Ｂが内部空間１１４ｂに向かって挿入されている。また、ナット部材１１３の左端面には、６つのスパナ掛け孔１１３ｂが形成されている。
【０００９】
かかるパイプ１１２Ｂの外周にも、パイプ溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１１６Ｂが嵌合されている。このとき、インナーフェルール１１６Ｂは、その周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝と嵌合しているので、パイプ１１２Ｂと一体となってパイプの軸線方向に動くことができる。
【００１０】
また、インナーフェルール１１６Ｂの左側にも、アウターフェルール１１５Ｂが組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１１５Ｂの左端面には、スラスト軸受が組み込まれており、ナット部材１１３を回転してもパイプ１１２Ｂが回転しない構造となっている。
【００１１】
また、アウターフェルール１１５Ｂの左端面は、ナット部材１１３の右端面に当接している。また、パイプ１１２Ｂの先端には、中央部に孔が形成されたガスケット１１９が装着されている。ガスケット１１９は、軟金属製でありパイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとで挟まれて、押圧されつぶされてガス漏れを防止するシールの役割を果たす。
【００１２】
また、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとの接続する位置、すなわち両者の間隙の位置に、外部開口１１４Ｃが形成されている。そして、図９（ａ）に示すように、外部開口１１４Ｃは、外部継手１１８の中央に形成された外部開口１１８ａに接続している。外部継手１１８の外周には、雄ねじが形成されている。
【００１３】
次に、図９に示すパージ用継手１００を使用して、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとを接続する手順について説明する。図１０は、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとが分離された状態である。この図１０の状態から、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとを接続するには、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂをガスケット１１９を挟んで当接させ、継手ボディ１１４に対してナット部材１１３をねじ込んでゆくことより行う。尚、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３にねじ込みは、スパナ掛け孔１１３ｂ及びスパナ掛け孔１１４ｄにより行われる。
【００１４】
このとき、ナット部材１１３が継手ボディ１１４にねじ込まれることにより、アウターフェルール１１５Ｂが右方向に押圧される。そして、アウターフェルール１１５Ｂがくさびによりインナーフェルール１１６Ｂを右方向に押圧し、インナーフェルール１１６Ｂがパイプ溝を介してパイプ１１２Ｂを右方向に押圧する。従って、パイプ１１２Ｂは、ガスケット１１９を介してパイプ１１２Ａと当接され、さらに押圧される。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、ナット部材１１３がアウターフェルール１１５Ｂを押圧している場合でも、パイプ１１２Ｂは回転しないで移動する。
【００１５】
一方、パイプ１１２Ａは、パイプ溝を介してインナーフェルール１１６Ａを右方向に押圧する。インナーフェルール１１６Ａの押圧力は、アウターフェルール１１５Ａを介して継手ボディ１１４により受けられる。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、アウターフェルール１１５Ａが継手ボディ１１４を押圧している場合でも、パイプ１１２Ａは回転しないで移動する。
【００１６】
従って、ナット部材１１３を継手ボディ１１４にねじ込むことにより、パイプ１１２Ｂとパイプ１１２Ａとで、両側からガスケット１１９を挟んで押圧でき、ガスケット１１９を押しつぶしてシールすることができる。このとき、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとが当接する位置、すなわちガスケット１１９の位置は、常に所定の位置となり、その位置に対応して、外部開口１１４Ｃが形成されている。
【００１７】
よって、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの間隙を、外部開口１１４Ｃに対応して位置に形成することができる。ここで、外部開口１１４Ｃを介して、真空排気とパージを繰り返すことにより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの内部を不活性ガスに置き換えることができる。従って、図９に示すパージ用継手１００は、外部継手１１８をパージポートとする溶接レス継手でもある。
【００１８】
さらに、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３をねじ込むことより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂを接続させれば、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの内部には大気が混入することがないので、パイプ１１２Ａやパイプ１１２Ｂに接続された各種の接続機器を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９に示すパージ用継手１００においては、継手ボディ１１４の内部空間１１４ｂを大気と遮断するために、Ｏリング１１７をナット部材１１３に嵌合していた。従って、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３のねじ込みにおいては、継手ボディ１１４とナット部材１１３の間にＯリング１１７が介在するため、締め付けに要するトルクが大きなものとなっていた。
【００２０】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、締め付けに要するトルクを小さくすることによって、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れた溶接レス継手を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項１に係る溶接レス継手は、継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプを、前記継手本体の内部に螺合する締付部材によって接続させるとともに、前記パイプの接続面からの漏れを防ぐために前記継手本体の内部にパッキンを有する溶接レス継手であって、前記継手本体の内部から外部への漏れも前記パッキンで防ぐことを特徴とする。
【００２２】
また、請求項２に係る溶接レス継手は、請求項１に記載する溶接レス継手であって、前記パッキンは前記継手本体の内部の部品と一体化されていることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項３に係る溶接レス継手は、請求項２に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの離間とともに前記パッキンは分割することを特徴とする。
【００２４】
また、請求項４に係る溶接レス継手は、請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する溶接レス継手であって、前記継手本体にパージポートが設けられたことを特徴とする。
【００２５】
また、請求項５に係る溶接レス継手は、請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する溶接レス継手であって、前記パイプは作用ガス配管系に使用されるものであることを特徴とする。
【００２６】
また、請求項６に係る溶接レス継手は、請求項５に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの一方が前記作用ガス配管系の接続機器の接続ポートであることを特徴とする。
【００２７】
このような構成を有する本発明の溶接レス継手では、継手本体の内部において、２本のパイプが回転することなくその軸方向上で移動することができる。そして、継手本体の内部に螺合する締付部材を締め付けると、２本のパイプは互いの方向に向かって移動し圧接するので、２本のパイプを溶接することなく接続することができる。
【００２８】
このとき、継手本体の内部に有したパッキンは、２本のパイプの接続面からの漏れを防いでいるが、さらに、継手本体の内部から外部への漏れも防いでいる。そして、継手本体の内部から外部への漏れは、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間で起こることから、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がない。
【００２９】
すなわち、本発明の溶接レス継手においては、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないので、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシール部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００３０】
また、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないことから、締付部材の周囲において、シール部材の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手を小型化することができる。
【００３１】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されていると、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【００３２】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、２本のパイプの離間とともに分離するように、継手本体の内部の部品と一体化されていると、２本のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは２本のパイプの接続面を確実にシールすることができる。また、継手本体にパージポートを設けることにより、本発明の溶接レス継手をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用したり、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本実施の形態の溶接レス継手について、図面に基づいて説明する。図１、図２は、溶接レス継手１の断面図である。継手本体１４には、その左端面の中央に形成された孔から継手本体１４の内部空間に向かって、左側のパイプ１２Ｂが挿入されている。
【００３４】
かかるパイプ１２Ｂの外周には、パイプ溝が形成されている。そして、図５や図６に示すように、冶具３０を用いて、パイプ１２Ｂの先端からインナーフェルール１６Ｂをはめこむことより、かかるパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１６Ｂが嵌合されている。
【００３５】
ここで、インナーフェルール１６Ｂの分解斜視図を図４に示す。図４に示すように、インナーフェルール１６Ｂのパイプ１２Ｂの先端側には、パッキン１７Ｂがライニングされている。また、図４に示すように、インナーフェルール１６Ｂは、その周囲に形成された複数のくさび部材１８Ｂを広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１２Ｂと一体となってパイプの軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【００３６】
図１に戻り、インナーフェルール１６Ｂの左側には、アウターフェルール１５Ｂが、インナーフェルール１６Ｂのくさび材１８Ｂと組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１５Ｂの左端面にはスラスト軸受が組み込まれており、継手本体１４を回転させてもパイプ１２Ｂが回転しない構造となっている。尚、図３に、アウターフェルール１５Ｂが組み合わされた配管１２Ｂの斜視図を示す。
【００３７】
図１に戻り、継手本体１４の内部空間は、継手ボディ１４の右端面まで貫通しており、また、右端面近くは段差が付くことなくストレート状になっており、その内部の内周には雌ねじ２０が形成されている。かかる雌ねじ２０には、ナット状の締付部材１３の外側に形成された雄ねじ２１がねじ込まれている。また、締付部材１３の中心には孔が形成され、その孔から右側のパイプ１２Ａが内部空間に向かって挿入されている。
【００３８】
かかるパイプ１２Ａの外周にも、パイプ溝が形成されている。そして、図５や図６に示すように、冶具３０を用いて、パイプ１２Ａの先端からインナーフェルール１６Ａをはめこむことより、かかるパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１６Ａが嵌合されている。
【００３９】
ここで、インナーフェルール１６Ａの分解斜視図を図４に示す。図４に示すように、インナーフェルール１６Ａのパイプ１２Ａの先端側には、パッキン１７Ａがライニングされている。また、図４に示すように、インナーフェルール１６Ａは、その周囲に形成された複数のくさび部材１８Ａを広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１２Ａと一体となってパイプの軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【００４０】
また、インナーフェルール１６Ａの右側にも、アウターフェルール１５Ａが組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１５Ａの右端面には、スラスト軸受が組み込まれており、締付部材１３を回転してもパイプ１２Ａが回転しない構造となっている。また、アウターフェルール１５Ａの右端面は、締付部材１３の左端面に当接している。
【００４１】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂがインナーフェルール１６Ａ、１６Ｂを装着することによって、それぞれの先端に設けられたパッキン１７Ａ、１７Ｂは、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂが圧接されることによって、押圧されて、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からのガス漏れを防止するシールの役割を果たす。また、図１、図２に示すように、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとの接続する位置、すなわち両者の間隙の位置に、パージポート３が形成されている。そして、パージポート３は、継手本体１４の内部空間まで達している。
【００４２】
次に、図、図２に示す溶接レス継手１を使用して、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続する手順について説明する。図１は、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとが分離された状態である。この図１の状態から、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続するには、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを当接させ、継手本体１４の内部に対して締付部材１３をねじ込んでゆくことより行う。
【００４３】
このとき、締付部材１３が継手本体１４の内部にねじ込まれることにより、アウターフェルール１５Ａが左方向に押圧される。そして、アウターフェルール１５Ａがくさび材１８Ａによりインナーフェルール１６Ａを左方向に押圧し、インナーフェルール１６Ａがパイプ溝を介してパイプ１２Ａを左方向に押圧する。従って、パイプ１２Ａは、パッキン１７Ａ、１７Ｂを介してパイプ１２Ｂと当接され、さらに押圧される。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、締付部材１３がアウターフェルール１５Ａを押圧している場合でも、パイプ１２Ａは回転しないで移動する。
【００４４】
一方、パイプ１２Ｂは、パイプ溝を介してインナーフェルール１６Ｂを右方向に押圧する。インナーフェルール１６Ｂの押圧力は、アウターフェルール１５Ｂを介して継手本体１４により受けられる。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、アウターフェルール１５Ｂが継手本体１４を押圧している場合でも、パイプ１２Ｂは回転しないで移動する。
【００４５】
従って、締付部材１３を継手本体１４にねじ込むことにより、パイプ１２Ｂとパイプ１２Ａとで、両側からパッキン１７Ａ、１７Ｂを押しつぶしてシールすることができる。このとき、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとが当接する位置、すなわちパッキン１７Ａ、１７Ｂの位置は、常に所定の位置となり、その位置に対応して、パージポート３が形成されている。
【００４６】
よって、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙を、パージポート３に対応して位置に形成することができる。ここで、パージポート３を介して、真空排気とパージを繰り返すことにより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの内部を不活性ガスに置き換えることができる。
【００４７】
さらに、継手本体１４に対する締付部材１３をねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを接続させれば、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの内部には大気が混入することがないので、パイプ１２Ａやパイプ１２Ｂに接続された各種の接続機器を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００４８】
その一例として、半導体製造ラインの作用ガス配管系において、その接続機器であるピュリアファイヤーＦ１の交換について、図８に基づいて説明する。ピュリアファイヤーＦ１を、その内部が大気に触れることなく交換するためには、図８に示すように、ピュリアファイヤーＦ１の両端にそれぞれ一対のバルブを設ける。そして、ピュリアファイヤーＦ１の一端に設けられた一対のバルブＶ１、Ｖ２の間において、本実施の形態の溶接レス継手１を設ける。同様にして、ピュリアファイヤーＦ１の他端に設けられた一対のバルブＶ３、Ｖ４の間においても、本実施の形態の溶接レス継手１を設ける。さらに、各溶接レス継手１のパージポート３に接続されたチューブＰ１、Ｐ２は、パージコントローラＮに接続される。
【００４９】
そして、先ず、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙設ける（図１の状態）。このとき、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部は、パージポート３に接続されたチューブＰ１、Ｐ２を介して、パージコントローラＮに接続される。そこで、かかるパージコントローラＮによって、真空排気と不活性ガスのパージを繰り返す行うことにより、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分に置換する。
【００５０】
その後、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを圧接して接続させる（図２の状態）。また、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４を全て閉じ、ピュリアファイヤーＦ１を新たなものと交換する。このとき、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４は全て閉じられているものの、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部に大気が混入することは避けられない。
【００５１】
そこで、再び、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙設ける（図１の状態）。そして、パージコントローラＮによって、真空排気と不活性ガスのパージを再び繰り返す行うことにより、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分に置換する。
【００５２】
最後に、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを圧接して接続させる（図２の状態）。これにより、半導体製造ラインの作用ガス配管系において、その接続機器であるピュリアファイヤーＦ１を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００５３】
以上詳細に説明したように、本実施の形態の溶接レス継手１では、継手本体１４の内部において、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂが回転することなくその軸方向上で移動することができる。そして、継手本体１４の内部に螺合する締付部材１３を締め付けると、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂは互いの方向に向かって移動し圧接するので、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂを溶接することなく接続することができる（図１、図２参照参照）。
【００５４】
このとき、図１、図２に示すように、継手本体１４の内部に有したパッキン１７Ａ、１７Ｂは、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防いでいるが、さらに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防いでいる。そして、継手本体１４の内部から外部への漏れは、継手本体１４とその内部に螺合する締付部材１３の間で起こることから、本実施の形態の溶接レス継手１においては、継締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設けていない。
【００５５】
すなわち、本実施の形態の溶接レス継手１においては、締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設けていないので、継手本体１４とその内部に螺合する締付部材１３の間にパッキン（シール部材）が介在することがなく、締付部材１３の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００５６】
また、締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設ける必要がないことから、締付部材１３の周囲において、パッキン（シール部材）の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手１を小型化することができる。
【００５７】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防ぐパッキン１７Ａ、１７Ｂが、図４に示すように、継手本体１の内部の部品であるインナーフェルール１６Ａ、１６Ｂと一体化されているので、溶接レス継手１の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが１７Ａ、１７Ｂ紛失するおそれもない。
【００５８】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防ぐパッキン１７Ａ、１７Ｂが、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの離間とともに分離するように、継手本体１４の内部の部品と一体化されているので、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂを圧接する際において、かかるパッキン１７Ａ、１７Ｂは２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面を確実にシールすることができる。
【００５９】
また、継手本体１４にパージポート３を設けることにより、図８に示す一例のように、本実施の形態の溶接レス継手１をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用しているので、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００６０】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００６１】
例えば、図７に示すように、作用ガス配管系の接続機器Ｆ２の接続ポートをパイプ１２Ａ、１２Ｂの一方として使用しても、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００６２】
【発明の効果】
本実施の形態の溶接レス継手においては、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないので、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシール部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００６３】
また、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないことから、締付部材の周囲において、シール部材の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手を小型化することができる。
【００６４】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されていると、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【００６５】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、２本のパイプの離間とともに分離するように、継手本体の内部の部品と一体化されていると、２本のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは２本のパイプの接続面を確実にシールすることができる。また、継手本体にパージポートを設けることにより、本発明の溶接レス継手をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用したり、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図２】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図３】パイプにアウターフェルールとインナーフェルールを組み付ける際の分解斜視図である。
【図４】インナーフェルールの分解斜視図である。
【図５】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の分解断面図である。
【図６】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の分解断面図である。
【図７】本発明に係る溶接レス継手のその他の実施形態を示した図である。
【図８】半導体製造ラインの作用ガス配管系の一部の斜視図であって、その接続機器であるピュリアファイヤーの交換について説明する際に使用するものである。
【図９】従来技術に係る溶接レス継手の断面図である。
【図１０】従来技術に係る溶接レス継手の断面図である。
【符号の説明】
１ 溶接レス継手
３ パージポート
１２Ａ、１２Ｂ パイプ
１４ 継手本体
１６Ａ、１６Ｂ インナーフェルール
１７Ａ、１７Ｂ パッキン
Ｆ２ 接続機器
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造ラインの作用ガス配管系において使用される溶接レス継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造ラインにおいては、作用ガスとしてシランガス等の毒性の強いガスが使われている。また、かかる半導体製造ラインに接続される各種の接続機器については、その性能を確保するために、その内部が大気に触れないように保管・交換されることが多い。
【０００３】
そこで、例えば、図９に示すパージ用継手１００を半導体製造ラインに設けることにより、毒性の強い作用ガスを内部に残留させることなく不活性ガスに置換していた。また、各種の接続機器をその内部が大気に触れることなく交換していた。
【０００４】
ここでは、かかるパージ用継手１００について、図９、図１０に基づいて説明する。図９（ａ）は、図９（ｂ）の側面図であり、図９（ｂ）は、パージ用継手１００の断面図である。また、図１０は、パージ用継手１００の分解断面図である。図９に示すように、パージ用継手１００は、２本のパイプ１１２Ａ、１１２Ｂを接続するための溶接レス継手である。
【０００５】
パージ用継手１００の本体である継手ボディ１１４には、その右端面に、６つのスパナ掛け孔１１４ｄが形成されている。また、その右端面中央に形成された孔から継手ボディ１１４の内部空間１１４ｂに向かって、右側のパイプ１１２Ａが挿入されている。
【０００６】
かかるパイプ１１２Ａの外周には、パイプ溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１１６Ａが嵌合されている。このとき、インナーフェルール１１６Ａは、その周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１１２Ａと一体となってパイプの軸線方向に動くことができる。
【０００７】
また、インナーフェルール１１６Ａの右側には、アウターフェルール１１５Ａが、インナーフェルール１１６Ａのくさびと組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１１５Ａの右端面にはスラスト軸受が組み込まれており、継手ボディ１１４を回転させてもパイプ１１２Ａが回転しない構造となっている。
【０００８】
一方、内部空間１１４ｂは、継手ボディ１１４の左端面まで貫通しており、また、左端面近くは段差が付いて大径になっており、その大径部内周には雌ねじ１１４ａが形成されている。かかる雌ねじ１１４ａには、ナット部材１１３の外側に形成された雄ねじ１１３ａがねじ込まれている。また、ナット部材１１３の中心には孔が形成され、その孔から左側のパイプ１１２Ｂが内部空間１１４ｂに向かって挿入されている。また、ナット部材１１３の左端面には、６つのスパナ掛け孔１１３ｂが形成されている。
【０００９】
かかるパイプ１１２Ｂの外周にも、パイプ溝が形成されている。そして、そのパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１１６Ｂが嵌合されている。このとき、インナーフェルール１１６Ｂは、その周囲に形成された複数の溝を広げながらパイプ溝と嵌合しているので、パイプ１１２Ｂと一体となってパイプの軸線方向に動くことができる。
【００１０】
また、インナーフェルール１１６Ｂの左側にも、アウターフェルール１１５Ｂが組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１１５Ｂの左端面には、スラスト軸受が組み込まれており、ナット部材１１３を回転してもパイプ１１２Ｂが回転しない構造となっている。
【００１１】
また、アウターフェルール１１５Ｂの左端面は、ナット部材１１３の右端面に当接している。また、パイプ１１２Ｂの先端には、中央部に孔が形成されたガスケット１１９が装着されている。ガスケット１１９は、軟金属製でありパイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとで挟まれて、押圧されつぶされてガス漏れを防止するシールの役割を果たす。
【００１２】
また、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとの接続する位置、すなわち両者の間隙の位置に、外部開口１１４Ｃが形成されている。そして、図９（ａ）に示すように、外部開口１１４Ｃは、外部継手１１８の中央に形成された外部開口１１８ａに接続している。外部継手１１８の外周には、雄ねじが形成されている。
【００１３】
次に、図９に示すパージ用継手１００を使用して、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとを接続する手順について説明する。図１０は、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとが分離された状態である。この図１０の状態から、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとを接続するには、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂをガスケット１１９を挟んで当接させ、継手ボディ１１４に対してナット部材１１３をねじ込んでゆくことより行う。尚、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３にねじ込みは、スパナ掛け孔１１３ｂ及びスパナ掛け孔１１４ｄにより行われる。
【００１４】
このとき、ナット部材１１３が継手ボディ１１４にねじ込まれることにより、アウターフェルール１１５Ｂが右方向に押圧される。そして、アウターフェルール１１５Ｂがくさびによりインナーフェルール１１６Ｂを右方向に押圧し、インナーフェルール１１６Ｂがパイプ溝を介してパイプ１１２Ｂを右方向に押圧する。従って、パイプ１１２Ｂは、ガスケット１１９を介してパイプ１１２Ａと当接され、さらに押圧される。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、ナット部材１１３がアウターフェルール１１５Ｂを押圧している場合でも、パイプ１１２Ｂは回転しないで移動する。
【００１５】
一方、パイプ１１２Ａは、パイプ溝を介してインナーフェルール１１６Ａを右方向に押圧する。インナーフェルール１１６Ａの押圧力は、アウターフェルール１１５Ａを介して継手ボディ１１４により受けられる。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、アウターフェルール１１５Ａが継手ボディ１１４を押圧している場合でも、パイプ１１２Ａは回転しないで移動する。
【００１６】
従って、ナット部材１１３を継手ボディ１１４にねじ込むことにより、パイプ１１２Ｂとパイプ１１２Ａとで、両側からガスケット１１９を挟んで押圧でき、ガスケット１１９を押しつぶしてシールすることができる。このとき、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂとが当接する位置、すなわちガスケット１１９の位置は、常に所定の位置となり、その位置に対応して、外部開口１１４Ｃが形成されている。
【００１７】
よって、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの間隙を、外部開口１１４Ｃに対応して位置に形成することができる。ここで、外部開口１１４Ｃを介して、真空排気とパージを繰り返すことにより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの内部を不活性ガスに置き換えることができる。従って、図９に示すパージ用継手１００は、外部継手１１８をパージポートとする溶接レス継手でもある。
【００１８】
さらに、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３をねじ込むことより、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂを接続させれば、パイプ１１２Ａとパイプ１１２Ｂの内部には大気が混入することがないので、パイプ１１２Ａやパイプ１１２Ｂに接続された各種の接続機器を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９に示すパージ用継手１００においては、継手ボディ１１４の内部空間１１４ｂを大気と遮断するために、Ｏリング１１７をナット部材１１３に嵌合していた。従って、継手ボディ１１４に対するナット部材１１３のねじ込みにおいては、継手ボディ１１４とナット部材１１３の間にＯリング１１７が介在するため、締め付けに要するトルクが大きなものとなっていた。
【００２０】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、締め付けに要するトルクを小さくすることによって、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れた溶接レス継手を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項１に係る溶接レス継手は、継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプを、前記継手本体の内部に螺合する締付部材によって接続させるとともに、前記パイプの接続面からの漏れを防ぐために前記継手本体の内部にパッキンを有する溶接レス継手であって、前記継手本体の内部から外部への漏れも前記パッキンで防ぐことを特徴とする。
【００２２】
また、請求項２に係る溶接レス継手は、請求項１に記載する溶接レス継手であって、前記パッキンは前記継手本体の内部の部品と一体化されていることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項３に係る溶接レス継手は、請求項２に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの離間とともに前記パッキンは分割することを特徴とする。
【００２４】
また、請求項４に係る溶接レス継手は、請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する溶接レス継手であって、前記継手本体にパージポートが設けられたことを特徴とする。
【００２５】
また、請求項５に係る溶接レス継手は、請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する溶接レス継手であって、前記パイプは作用ガス配管系に使用されるものであることを特徴とする。
【００２６】
また、請求項６に係る溶接レス継手は、請求項５に記載する溶接レス継手であって、前記パイプの一方が前記作用ガス配管系の接続機器の接続ポートであることを特徴とする。
【００２７】
このような構成を有する本発明の溶接レス継手では、継手本体の内部において、２本のパイプが回転することなくその軸方向上で移動することができる。そして、継手本体の内部に螺合する締付部材を締め付けると、２本のパイプは互いの方向に向かって移動し圧接するので、２本のパイプを溶接することなく接続することができる。
【００２８】
このとき、継手本体の内部に有したパッキンは、２本のパイプの接続面からの漏れを防いでいるが、さらに、継手本体の内部から外部への漏れも防いでいる。そして、継手本体の内部から外部への漏れは、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間で起こることから、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がない。
【００２９】
すなわち、本発明の溶接レス継手においては、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないので、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシール部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００３０】
また、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないことから、締付部材の周囲において、シール部材の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手を小型化することができる。
【００３１】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されていると、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【００３２】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、２本のパイプの離間とともに分離するように、継手本体の内部の部品と一体化されていると、２本のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは２本のパイプの接続面を確実にシールすることができる。また、継手本体にパージポートを設けることにより、本発明の溶接レス継手をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用したり、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本実施の形態の溶接レス継手について、図面に基づいて説明する。図１、図２は、溶接レス継手１の断面図である。継手本体１４には、その左端面の中央に形成された孔から継手本体１４の内部空間に向かって、左側のパイプ１２Ｂが挿入されている。
【００３４】
かかるパイプ１２Ｂの外周には、パイプ溝が形成されている。そして、図５や図６に示すように、冶具３０を用いて、パイプ１２Ｂの先端からインナーフェルール１６Ｂをはめこむことより、かかるパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１６Ｂが嵌合されている。
【００３５】
ここで、インナーフェルール１６Ｂの分解斜視図を図４に示す。図４に示すように、インナーフェルール１６Ｂのパイプ１２Ｂの先端側には、パッキン１７Ｂがライニングされている。また、図４に示すように、インナーフェルール１６Ｂは、その周囲に形成された複数のくさび部材１８Ｂを広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１２Ｂと一体となってパイプの軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【００３６】
図１に戻り、インナーフェルール１６Ｂの左側には、アウターフェルール１５Ｂが、インナーフェルール１６Ｂのくさび材１８Ｂと組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１５Ｂの左端面にはスラスト軸受が組み込まれており、継手本体１４を回転させてもパイプ１２Ｂが回転しない構造となっている。尚、図３に、アウターフェルール１５Ｂが組み合わされた配管１２Ｂの斜視図を示す。
【００３７】
図１に戻り、継手本体１４の内部空間は、継手ボディ１４の右端面まで貫通しており、また、右端面近くは段差が付くことなくストレート状になっており、その内部の内周には雌ねじ２０が形成されている。かかる雌ねじ２０には、ナット状の締付部材１３の外側に形成された雄ねじ２１がねじ込まれている。また、締付部材１３の中心には孔が形成され、その孔から右側のパイプ１２Ａが内部空間に向かって挿入されている。
【００３８】
かかるパイプ１２Ａの外周にも、パイプ溝が形成されている。そして、図５や図６に示すように、冶具３０を用いて、パイプ１２Ａの先端からインナーフェルール１６Ａをはめこむことより、かかるパイプ溝には、断面がくさび形状のインナーフェルール１６Ａが嵌合されている。
【００３９】
ここで、インナーフェルール１６Ａの分解斜視図を図４に示す。図４に示すように、インナーフェルール１６Ａのパイプ１２Ａの先端側には、パッキン１７Ａがライニングされている。また、図４に示すように、インナーフェルール１６Ａは、その周囲に形成された複数のくさび部材１８Ａを広げながらパイプ溝に装着されているので、パイプ１２Ａと一体となってパイプの軸線方向に無回転状態で動くことができる。
【００４０】
また、インナーフェルール１６Ａの右側にも、アウターフェルール１５Ａが組み合わされてセットされている。そして、アウターフェルール１５Ａの右端面には、スラスト軸受が組み込まれており、締付部材１３を回転してもパイプ１２Ａが回転しない構造となっている。また、アウターフェルール１５Ａの右端面は、締付部材１３の左端面に当接している。
【００４１】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂがインナーフェルール１６Ａ、１６Ｂを装着することによって、それぞれの先端に設けられたパッキン１７Ａ、１７Ｂは、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂが圧接されることによって、押圧されて、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からのガス漏れを防止するシールの役割を果たす。また、図１、図２に示すように、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとの接続する位置、すなわち両者の間隙の位置に、パージポート３が形成されている。そして、パージポート３は、継手本体１４の内部空間まで達している。
【００４２】
次に、図、図２に示す溶接レス継手１を使用して、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続する手順について説明する。図１は、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとが分離された状態である。この図１の状態から、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続するには、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを当接させ、継手本体１４の内部に対して締付部材１３をねじ込んでゆくことより行う。
【００４３】
このとき、締付部材１３が継手本体１４の内部にねじ込まれることにより、アウターフェルール１５Ａが左方向に押圧される。そして、アウターフェルール１５Ａがくさび材１８Ａによりインナーフェルール１６Ａを左方向に押圧し、インナーフェルール１６Ａがパイプ溝を介してパイプ１２Ａを左方向に押圧する。従って、パイプ１２Ａは、パッキン１７Ａ、１７Ｂを介してパイプ１２Ｂと当接され、さらに押圧される。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、締付部材１３がアウターフェルール１５Ａを押圧している場合でも、パイプ１２Ａは回転しないで移動する。
【００４４】
一方、パイプ１２Ｂは、パイプ溝を介してインナーフェルール１６Ｂを右方向に押圧する。インナーフェルール１６Ｂの押圧力は、アウターフェルール１５Ｂを介して継手本体１４により受けられる。尚、上述したように、スラスト軸受が設けられていることから、アウターフェルール１５Ｂが継手本体１４を押圧している場合でも、パイプ１２Ｂは回転しないで移動する。
【００４５】
従って、締付部材１３を継手本体１４にねじ込むことにより、パイプ１２Ｂとパイプ１２Ａとで、両側からパッキン１７Ａ、１７Ｂを押しつぶしてシールすることができる。このとき、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとが当接する位置、すなわちパッキン１７Ａ、１７Ｂの位置は、常に所定の位置となり、その位置に対応して、パージポート３が形成されている。
【００４６】
よって、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙を、パージポート３に対応して位置に形成することができる。ここで、パージポート３を介して、真空排気とパージを繰り返すことにより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの内部を不活性ガスに置き換えることができる。
【００４７】
さらに、継手本体１４に対する締付部材１３をねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを接続させれば、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの内部には大気が混入することがないので、パイプ１２Ａやパイプ１２Ｂに接続された各種の接続機器を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００４８】
その一例として、半導体製造ラインの作用ガス配管系において、その接続機器であるピュリアファイヤーＦ１の交換について、図８に基づいて説明する。ピュリアファイヤーＦ１を、その内部が大気に触れることなく交換するためには、図８に示すように、ピュリアファイヤーＦ１の両端にそれぞれ一対のバルブを設ける。そして、ピュリアファイヤーＦ１の一端に設けられた一対のバルブＶ１、Ｖ２の間において、本実施の形態の溶接レス継手１を設ける。同様にして、ピュリアファイヤーＦ１の他端に設けられた一対のバルブＶ３、Ｖ４の間においても、本実施の形態の溶接レス継手１を設ける。さらに、各溶接レス継手１のパージポート３に接続されたチューブＰ１、Ｐ２は、パージコントローラＮに接続される。
【００４９】
そして、先ず、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙設ける（図１の状態）。このとき、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部は、パージポート３に接続されたチューブＰ１、Ｐ２を介して、パージコントローラＮに接続される。そこで、かかるパージコントローラＮによって、真空排気と不活性ガスのパージを繰り返す行うことにより、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分に置換する。
【００５０】
その後、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを圧接して接続させる（図２の状態）。また、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４を全て閉じ、ピュリアファイヤーＦ１を新たなものと交換する。このとき、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４は全て閉じられているものの、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部に大気が混入することは避けられない。
【００５１】
そこで、再び、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込みを緩めることより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂの間隙設ける（図１の状態）。そして、パージコントローラＮによって、真空排気と不活性ガスのパージを再び繰り返す行うことにより、ピュリアファイヤーＦ１が設けられた作用ガス配管系の内部を不活性ガスで十分に置換する。
【００５２】
最後に、それぞれの溶接レス継手１において、継手本体１４に対する締付部材１３のねじ込むことより、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂを圧接して接続させる（図２の状態）。これにより、半導体製造ラインの作用ガス配管系において、その接続機器であるピュリアファイヤーＦ１を、その内部が大気に触れることなく交換することができる。
【００５３】
以上詳細に説明したように、本実施の形態の溶接レス継手１では、継手本体１４の内部において、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂが回転することなくその軸方向上で移動することができる。そして、継手本体１４の内部に螺合する締付部材１３を締め付けると、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂは互いの方向に向かって移動し圧接するので、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂを溶接することなく接続することができる（図１、図２参照参照）。
【００５４】
このとき、図１、図２に示すように、継手本体１４の内部に有したパッキン１７Ａ、１７Ｂは、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防いでいるが、さらに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防いでいる。そして、継手本体１４の内部から外部への漏れは、継手本体１４とその内部に螺合する締付部材１３の間で起こることから、本実施の形態の溶接レス継手１においては、継締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設けていない。
【００５５】
すなわち、本実施の形態の溶接レス継手１においては、締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設けていないので、継手本体１４とその内部に螺合する締付部材１３の間にパッキン（シール部材）が介在することがなく、締付部材１３の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００５６】
また、締付部材１３の周囲にパッキン（シール部材）を設ける必要がないことから、締付部材１３の周囲において、パッキン（シール部材）の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手１を小型化することができる。
【００５７】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防ぐパッキン１７Ａ、１７Ｂが、図４に示すように、継手本体１の内部の部品であるインナーフェルール１６Ａ、１６Ｂと一体化されているので、溶接レス継手１の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが１７Ａ、１７Ｂ紛失するおそれもない。
【００５８】
また、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体１４の内部から外部への漏れも防ぐパッキン１７Ａ、１７Ｂが、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの離間とともに分離するように、継手本体１４の内部の部品と一体化されているので、２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂを圧接する際において、かかるパッキン１７Ａ、１７Ｂは２本のパイプ１２Ａ、１２Ｂの接続面を確実にシールすることができる。
【００５９】
また、継手本体１４にパージポート３を設けることにより、図８に示す一例のように、本実施の形態の溶接レス継手１をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用しているので、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００６０】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００６１】
例えば、図７に示すように、作用ガス配管系の接続機器Ｆ２の接続ポートをパイプ１２Ａ、１２Ｂの一方として使用しても、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【００６２】
【発明の効果】
本実施の形態の溶接レス継手においては、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないので、継手本体とその内部に螺合する締付部材の間にシール部材が介在することがなく、締付部材の締め付けに要するトルクを小さくすることができる。
【００６３】
また、締付部材の周囲にシール部材を設ける必要がないことから、締付部材の周囲において、シール部材の設置スペースを省略することができるので、溶接レス継手を小型化することができる。
【００６４】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、継手本体の内部の部品と一体化されていると、溶接レス継手の組立や分解が容易になるとともに、かかるパッキンが紛失するおそれもない。
【００６５】
また、２本のパイプの接続面からの漏れを防ぐとともに、継手本体の内部から外部への漏れも防ぐパッキンが、２本のパイプの離間とともに分離するように、継手本体の内部の部品と一体化されていると、２本のパイプを圧接する際において、かかるパッキンは２本のパイプの接続面を確実にシールすることができる。また、継手本体にパージポートを設けることにより、本発明の溶接レス継手をパージ継手として使用することができる。また、作用ガス配管系のパイプに対して使用したり、作用ガス配管系の接続機器の接続ポートをパイプの一方として使用すれば、不活性ガスへの置換、各種の接続機器の交換などの作業性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図２】本発明に係る溶接レス継手の断面図である。
【図３】パイプにアウターフェルールとインナーフェルールを組み付ける際の分解斜視図である。
【図４】インナーフェルールの分解斜視図である。
【図５】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の分解断面図である。
【図６】パイプにインナーフェルールを組み付ける際の分解断面図である。
【図７】本発明に係る溶接レス継手のその他の実施形態を示した図である。
【図８】半導体製造ラインの作用ガス配管系の一部の斜視図であって、その接続機器であるピュリアファイヤーの交換について説明する際に使用するものである。
【図９】従来技術に係る溶接レス継手の断面図である。
【図１０】従来技術に係る溶接レス継手の断面図である。
【符号の説明】
１ 溶接レス継手
３ パージポート
１２Ａ、１２Ｂ パイプ
１４ 継手本体
１６Ａ、１６Ｂ インナーフェルール
１７Ａ、１７Ｂ パッキン
Ｆ２ 接続機器
Claims (6)
- 継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプを、前記継手本体の内部に螺合する締付部材によって接続させるとともに、前記パイプの接続面からの漏れを防ぐために前記継手本体の内部にパッキンを有する溶接レス継手において、
前記継手本体の内部から外部への漏れも前記パッキンで防ぐことを特徴とする溶接レス継手。 - 請求項１に記載する溶接レス継手において、
前記パッキンは前記継手本体の内部の部品と一体化されていることを特徴とする溶接レス継手。 - 請求項２に記載する溶接レス継手において、
前記パイプの離間とともに前記パッキンは分割することを特徴とする溶接レス継手。 - 請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する溶接レス継手において、
前記継手本体にパージポートが設けられたことを特徴とする溶接レス継手。 - 請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する溶接レス継手において、
前記パイプは作用ガス配管系に使用されるものであることを特徴とする溶接レス継手。 - 請求項５に記載する溶接レス継手において、
前記パイプの一方が前記作用ガス配管系の接続機器の接続ポートであることを特徴とする溶接レス継手。
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