TW380189B - Weldless connector - Google Patents

Description

本發明係關於在半導體生產線之作用 用之無熔接接頭。 F用孔體配s糸統使 >以前半導體生產線在作用氣體上使用矽烷等毒性 =體^又’關於在該半㈣生產線連接之各種連接之機 ::為了確保其性能，常如其内部不接觸大氣般保管、、更 因此，藉著在半導體生產線設置例如圖9所示之沖洗 /ϋ用，頭100，在令毒性強之作用氣體不殘留在内部 ^換為‘Ml氣體。又’將各種連接之機器在其 觸大氣下更換。 丨卜授 在此，依照圖9、1 0說明該沖洗用接頭1 00。圖g ( a ) =圖9 (b)之侧視圖，圖9 (b)係沖洗用接頭1〇〇之剖面 圖。又，圖10係沖洗用接頭丨〇〇之分解剖面圖。如圖9所 不，沖洗用接頭1〇〇係用以連接2支管112A、管1123之益熔 接接頭。 在係沖洗用接頭100之本體之接頭本體114之右端面形 個扳手掛孔114d。又，自在其右端面中央形成之孔向 接頭本體H4之内部空間114b插入右侧之管112A。 在该管112A之外圍形成管槽。然後，在該管槽嵌合截 面為楔形之内套圈116A。此時，因内套圈丨邊擴大在其 f圍形成之多個槽邊裝在管槽’和管Π2Α變成一體，可在 官之軸線方向移動。 又’在内套圈11 6Α之右側，將外套圈11 5Α和内套圈 11 6A之楔組合後固定。然後’在外套圈11 5A之右端面裝入 五、發明說明（2) ^力軸承’變成令接頭本體114轉動fim也不轉動之構 到接頭本體114之左端面為止 段差，變成大徑，在其大徑部 陰螺紋11 4a螺入在螺帽11 3之 ’在螺帽113之中心形成孔， 左側之管11 2B。又，在螺帽 孔 1.1 3 b。 成管槽。然後，在該管槽嵌合 此時，因内套圈11 6B邊擴大在 槽嵌合’和管112B變成一體， 而’在内部空間1 1 4 b， 貫通，又，左端面附近附有 内圍形成陰螺紋114a。在該 外側形成之公螺紋1 13a。又 自該孔向内部空間114b插入 113之左端面形成6個扳手掛 在該管112B之外圍也形 截面為楔形之内套圈U6B。 其周圍形成之多個槽邊和管 可在管之軸線方向移動。 —又，在内套圈11 6B之左侧，也和外套圈丨丨5β組合後固 定。然後，在外套圈11 5Β之左端面裝入推力軸承，變 螺帽113轉動管112Β也不轉動之構造。 又，外套圈11 5Β之左端面碰觸螺帽113之右端面。 又，在管112Β之前端安裝在中央部形成了孔之墊圈119。 墊圈119係軟金屬製，由管ιΐ2Α和管112Β夾住，被壓住而 變形’具有防止漏氣之密封功用。 又，在管112Α和管112Β之連接位置，即在兩者之間隙 位置形成外部開口114C。然後，如圖9 (a)所示，外部開 口114C和在外部接頭118之中央形成之外部開口1183連 接。在外部接頭11 8之外圍形成陽螺紋。 其次’說明使用圖9所示沖洗用接頭丨〇 〇連接管丨丨2 A和 I [ 五、發明說明（3) ' 管11 2B之步驟。圖1 0係管11 2A和管11 2B分離之狀離。自該 圖10之狀態要連接管112A和管112B時，藉著將管f12A和管 112B夾住墊圈119後令碰觸，將螺帽us螺入接頭本體114 下去而連接。此外，將螺帽113螺入接頭本體114係利用扳 手掛孔11 3b及扳手掛孔11 4d螺入。 此時，藉著將螺帽113螺入接頭本體114向右推壓外套 圈115B。而且，外套圈ii5B利用楔向右推壓内套圈ιΐ6Β， 内套圈116B經由管槽向右推壓管112B。因此，管112β經由 墊圈119碰觸管112A，再壓住。此外，如上述所示，因設 置推力轴承’在螺帽113推壓外套圈1158之情況管ιΐ2β 也在不轉動下移動。 而，管11 2A經由管槽向右推壓内套圈116A。内套圈 116A之推壓力經由外套圈115A由接頭本體114承受。此 外，如上述所不，因設置了推力軸承，在外套圈n5A推壓 接頭本體114之情況，管11 2A也在不轉動下移動。 因此，藉著將螺帽113螺入接頭本體114，可用管112八 ^管11 2B自兩側夾住119後壓住，擠壓119可密封。此時， =2 A和官11 2B碰觸之位置，即墊圈丨丨9之位置總是位於 指定之位置，對應於該位置，形成外部開口丨丨4C。 因而’藉著鬆開螺帽11 3對接頭本體114之螺入，可在 對應於外部開口114(:之位置形成管112A和管1126之間隙。 f此，藉著經由外部開口丨丨4C重複真空排氣和沖洗，可將 督112A和管ii2B之内部置換為惰性氣體。因此，圖9所示 之沖洗用接頭1 〇 0也是將外部接頭丨丨8作為沖洗口之無熔接

第7頁 五、發明說明（4) 接頭。 此外，若藉著將螺帽11 3螺

和管H2B連接，因大氣不會混 體而令管U2A 種連接之機器。 s U2A或官112B連接之各 可是，在圖9所示之沖洗用接 U4之内部空間114b和大氣遮斷，將’為了將接頭本體 合。因此，在將螺帽i i 3螺入接頭本^和螺帽11 3嵌 人接=體1广帽113之間，鎖緊所需：力；〇。環117介 於提供-種無決來的，其目的* ί為W、各種連接之機器之更換等之作業性上ί置 益溶：而發明之如申請專利範圍第1項之 =接頭本體之内部以不^ = 方止來自該管之連接面之茂漏在接頭本體之内部豆 圈之無熔接接頭，其特徵在於也 止^ 頭本體之内部向外部之洩漏。 〆墊圈防止自该接 又，如申請專利範圍第2項之無熔接接 申請專利範圍第1項之盔熔接接頭，A 係開於如 該接頭本體之内部之零件広一接體接化頭其特徵在於該塾圈和 申申ϊ專利範圍第3項之無熔接接頭，係開於如 申明專利乾圍第2項之無溶接接頭，其特徵在於該塾獨和 第8頁 五、發明說明（5) 該官之分開一起分離 中請專利範ί ί ]_專至U : :4項一之無炼接接頭’係開於如 在於在該接頭本體設置沖“ 了項之無溶接接頭，其特徵 又如申请專利範圍第5項之益炫接垃-5 y 申請專利範圍第！至4項之1、”、'\接接項，係開於如 在於該管係用於作用氣體配；系：：無溶接接頭’其特徵 方係作用氧俨δΡ a I β，、接接頭，，、特徵在於該管之一 發統之連接之機器之連接口。 無面說：本在實接施^ ^ 中央开问 接頭本體14 ’自在其左端面之 UB、形成之孔向閘絕緣膜104之内部空間插入左側之管 藉著；= 之自套=如圖5或6所示， 嵌合截面成楔形之内套圈16Β。 圈16Β ’在該管槽 ⑱ 一，，此:圖4表示内套圈16Β之分解立體圖。如圖*所 不，在内套圈16Β之管12Β之前端侧加上墊圈丨 無轉動= 回到圖1 ’在Μ套圈16B之左側，將外套圈15B和内套

第9頁 五、發明說明（6) 圈16B之楔形件 ，, 端面裝入推力軸，，且σ後固定。然後，在外套圈1 5B之左 轉動之構造。此=，變成令接頭本體14轉動管ΐ2β也不會 之立體圖。 夕，圖3表示和外套圈15Β組合後之管12Β 回到圖1，拉_ 端面為止貫通，关碩本體14之内部空間到接頭本體14之右 其内部内圈形成ί硬^面附近無段差而變成直線狀，在 固定件1 3之外侧二&、、、、。在該陰螺紋20螺入在螺帽狀之 形成孔，右之自陽4二匕又’在固定件13之中心 太姑故 5 1 自該孔向内部空間插入。 异30自ΐΓ2Α之之外圍也形成管槽。如圖4所示，藉著使用治 模形IS圈=端套入内套圈16Α，*該管槽嵌合截面成 干，圖4表示内套圈16Α之分解立體圖。如圖4所 圖4%_ 圈16Α之管12Α之前端側加上墊圈17Α。又，如 18 套圈16Α在擴大在其周圍形成之多個楔形件 ^又在内套圈16Α之右侧，也和外套圈15Α組合後固 疋二然後，在外套圈1 5Α之右端面裝入推力軸承，變成令 固定件13轉動管12Α也不會轉動之構造。又，外套圈15Α 右端面碰觸固定件13之左端面。 卜套圈15Α之 又，藉著2支管12Α、12Β安裝内套圈16Α、ΐ6Β，設於 各自之前端之墊圈17Α、17Β藉著壓接2支管12α，12Β推 壓’具有防止自2支管12Α、12Β之連接面漏氣之密封功

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又’如圖1、2所示，在 在兩者之間隙之位置成沖洗 體14之内部空間為止。 管12A和管12B之連接位置，即 口 3。而，沖洗口 3到達接頭本

^ 次，說明使用圖1、2所示之無熔接接頭1連接管12A 口 s 1 2^之步驟。圖i係管丨2A和管丨2β分離之狀態。自該圖 之狀，癌要連接管12A和管12B時，藉著令管12A和管12B碰 觸後，$於接頭本體14之内部螺入固定件13下去。

此時，藉著固定件13螺入接頭本體14之内部，向左推 壓外套圈1 5 A。然後，外套圈1 5 A利用楔形件1 8 A向左推壓 :套圈一 16A ’内套圈16A經由管槽向左推壓管12八。因此， 經—由塾ϋ17Α、17B碰觸管12β ’再被推壓。此外，如 上述所不，因設置推力軸承，在固定件丨3推壓外套圈丨5 A 之情況，管12A也不轉動而移動。 而，官12B經由管槽向右推壓内套圈16B。内套圈16β 之推壓力經由外套圈15B由接頭本體14承受。此外，如上 述所不’因設置推力軸承，在外套圈15B推壓接頭本體14 之It况，官12B也在不轉動下移動。

一口此，藉著將固定件i 3螺入接頭本體1 4，可用管U B =g 1 2 A自兩侧壓住墊圈工7 a、工7 B而密封。此時，管1 2 b和 g 1 2 A碰觸之位置’即墊圈丨7 a、丨7 B之位置總是位於指定 之位置’和僉位置對應形成沖洗口 3。 因而’藉著鬆開固定件丨3對於接頭本體丨4之螺入，可 在和沖洗口 3對應位置形成管12B和管12Λ之間隙。在此，

第11頁 五、發明說明（8) 藉著經由沖洗口 3重複真空氣一 12A之内部置換為情性氣體。冲洗，可將官12B和管

和立若藉著將固定件13螺入接頭本體“，令管12B e A連接時，因大氣不會混入管12 可名：i肉和官12A之内部’ 連接^機器。接觸大氣下更換和管⑽或管以連接之各種 換俜ΪΪΓ說明在半導體生產線之作用氣體配管系統更 觸。之例子。為了在其内部不接 各自ΐ詈—換淨化器F1 ’如圖8所示，在淨化器F1之兩端 νι、；之：Ϊ閥。：ι，在設於淨化器F1之一端之-對閥 匕器F1之另一端之一對閥V3、V4之間也設置本實施例 二熔接接頭1。此外，和各無熔接接頭i之沖洗口 3連接 t官PI、P2和沖洗控制器N連接。 然後，首先在各自之無熔接接頭i，藉著鬆開固定件 /對=接頭本體14之螺入，設置管12β和管12A之間隙（圖 之狀態）。此時，設置了淨化器F丨之作用氣體配管系統 内部^由和沖洗口 3連接之*ρι、p2和沖洗控制器N連 接著’藉著利用該沖洗控制器N重複進行真空排氣和 =性氣體之沖洗，將設置了淨化器F1之作用氣體配管系統 充分置換為惰性氣體。 然後，在各自之無熔接接頭1，藉著將固定件13螺入 頭本體14，將管12B和管12A壓接而令連接（圖2之狀態 。又，將閥VI、V2、V3、V4全閉後，將淨化器F1更換為

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^— MMN- I I 五、發明說明（9) 新的。此時，雖然閥V1、V2 ^ ' 氣混入設置了、H ppm 士 V4王閉，卻無法避免大 :置：：化㈣之作用氣體配管系統之内部。 對於接頭本體之無熔接接頭1 ’藉著鬆開固定件13 之狀ίΓ =;…置管12B和管12A之間隙（圖1 工排虱和惰性氣體之沖洗，將設後退仃具 配管系統充分置換為惰性氣體。/ S《作用氣體 最後’在各自之無熔接接頭1，藉 y ”14 ’將管12B和管12A壓接而令連接 猎此，在半導體生產線之作用氣體配其 心 内部：接觸大氣下更換係其連接之機器F2 :淨化器F:在其 接頭本H詳細說明所示，本實施例之無熔接接頭1，在 2頭本體14之内部，2支管12A、管12 Ί f 軸向移動。而且，鎖絜和接頭本體 轉動下在其 ⑴夺’因2支管12A、管12β朝彼此之方向之固定件 必炼接就可連接2支管12A、管12B (參照則查接’不 此時，如圖U所示，在接頭本體14之内 墊圈17A、17B防止自2支管12A、管12B之遠接而、斤具有之 防止自接頭本體14之内部向外部$漏。而且力漏’還 體14之内部向外部之茂漏發生於接頭本體14和=接頭本 ^之固定件U之間，在本實施例之無熔接接則、其内部〜螺 件13之周圍未設置塾圈（密封件）。 在固疋 即，在本實施例之無熔接接頭丨，因在固定 圍未設置墊圈（密封件），在接 牛13之周 々興昇内部螺合 第13頁

之固定件13之間無墊圈（密封件）介入，可使鎖緊固定件 1 3所需之扭力變小。 又，因不必在固定件1 3之周圍設置墊圈（密封件）， 在固定件13之周圍可省略墊圈（密封件）之設置空間，可 使無熔接接頭1小塑化。 又’防止自2支管12A、管12B之連接面洩漏，而且防 止自接頭本體14之内部向外部洩漏之墊圈17A、17B如圖4 所示’因和係接頭本體14之内部零件之内套圈16A、16B一

體化，無熔接接頭1之組立或分解變得容易，而且也不必 擔心該墊圈17A、17B弄丟。 又’防止自2支管1 2A、管1 2B之連接面洩漏，而且防 止自接~頭本體1 4之内部向外部洩漏之墊圈1 7A、1 7B ,因如 矛2.支gl2A I12B之分開一起分離般和接頭本體η之内 部零件一體化，在將2支管12A、管12B壓接時，該墊圈 17A、17B =確實將2支管12A、管12B之連接面密封。 又，藉著在接頭本體14設置沖洗口3，如圖8所示一例 所示，可將本實施例之無熔接接頭〗用作沖洗接頭。又， 因對於作用氣體配管系統之管使用，在置換為惰性氣體、 各種連接之機器之更換等之作業性上優異。

f外’本發明未限定為上述實施例，在未超出本發明 之主旨之範圍内可實施各種變形。 大 例：’如圖7所示’將作用氣體配管系統之連接之機 ，F2之連接口用作fl2A、管12β之—方，也在置換為情性 虱體、各種連接之機器之更換等之作業性上優異。

第14頁 五、發明說明（11) 發明之效果 ，， 置密= υ接接頭，因不必在固定件之周圍設 封件介入，可；；部螺合之固定件之間無密 又，因 系u疋件所需之扭力變小。 周圍可省略密ί圍，置密封件，在固定件之 又，防止自2支总、可使無溶接接頭小型化。 體之内部向外部崎 之連接面洩漏，而且防止自接頭本 化，無熔接接頭之％1 係接頭本體之内部零件一體 該塾圈弄丢。m刀解變得容易’而且也不必擔心 俨之=卹=t自2支管之連接面洩漏’而且防止自接頭本 般和接頭本體之内圈：和2支管之分開-起分離 塾圈可確實?2支/之零連件接一面體密化封在將2支管麼接時，該 ㈣i頭體；置沖洗口，可將本實施例之無 管使用，或對於作用氣體配管系統之 作管之一方，在置；m糸統之連接之機器之連接口用 等之作業性上優異。 谷種運接之機器之更換 圖式之簡單說明 圖1係本發明之無熔接接頭之剖面圖。 圖2係本發明之無熔接接頭之剖面圖。 = 卜ί圈和内套圈裝在管時之分解立體圖。 圖4係内套圈之分解立體圖。 η 第15頁 五、發明說明（12) , , 圖5係將内套圈裝在管時之分解剖面圖。 圖6係將内套圈裝在管時之分解剖面圖。 圖7係表示本發明之無熔接接頭之其他實施例之 圖。 圖8係半導體生產線之作用氣體配管系統之一部分之 立體圖，係在說明係其連接之機器之淨化器之更換時使用 的。 圖9係習知技術之無溶接接頭之剖面圖。 圖1 0係習知技術之無熔接接頭之剖面圖。 符號說明 1無熔接接頭 3沖洗口 12A 、 12B 管 14接頭本體 16A、16B内套圈 17A 、 17B 墊圈 F2連接之機器 (藝

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Claims (1)

1. 六、申請專利範 疋件令在 接，而且 内部具有 向外部之 2. 如 和該接頭 3. 如 和該管之 4 ·如 頭本體設 5 ·如 用於作用 6.如 一方係作 其中該墊圈 其中該墊圈 其中在該接 其中該管係 用氣體配管系·统之連接之機器之連接 其中該管之 圚 ‘種無熔接接頭， ' 接頭本體才由 口接頭本體之内部螺合固 為了防止來自該管之連接面之峋、s ^ 4/· 5連 ^ ϋΙ , ^ , u m 逆接面之洩漏在接頭本體之 洩漏。 固丨乃此目孩接碩本體之内部 申請專利範圍第1項之無熔接接頭 本體之内部之零件一體化。 申請專利範圍第2項之無熔接接頭 分開一起分離。 、 申明專利範圍第1項之無熔接接 置沖洗口。 ' 申睛專利範圍第丨項之無熔接接 氣體配管系統的。 、 申請專利範圍第5項之無熔接接頭