JP3864947B2

JP3864947B2 - プリントコイル用アートワーク

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Publication number: JP3864947B2
Application number: JP2003353306A
Authority: JP
Inventors: 久永高野
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2003-10-14
Filing date: 2003-10-14
Publication date: 2007-01-10
Anticipated expiration: 2023-10-14
Also published as: JP2005123228A

Description

本発明は、テストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークに関し、特に、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能な好適なプリントコイル用アートワークに関する。

従来のプリントコイル用アートワークは、プロセスの品質を管理するテストクーポンを備える。そして、一般的に、テストクーポンは、アートワークの周辺部分、即ち、枠領域に形成する。一方、アートワークの中央領域（製品領域）には、製品が形成される。

また、プリントコイル用アートワークは、複数のプリントコイルパターンを所定の位置に格子状に配置する。さらにまた、各層のプリントコイル用アートワークに基づきアートワーク積層板を形成し、アートワーク積層板を切断して複数個のプリントコイルを形成する。そして、アートワーク積層板は、各層をエポキシ樹脂で充填し、積層して形成する。

さらに、アートワーク積層板のテストクーポン領域は断面カットされる。そして、その断面は、研磨の後スケール付きの顕微鏡等を利用して目視検査する。このようにして、テストクーポンからエッチング精度が十分かどうか、めっき厚が十分であるかどうか等を確認する。

また、従来の多層配線板は、製品領域内に形成すると共に、テスターによる導通検査を行うテストクーポンを備えるものがある（例えば、特許文献１参照。）

特開２０００−２２３８４０号公報

しかしながら、従来のプリントコイル用アートワークは、テストクーポンの形成により、製品領域は圧迫され、製品の取り数は減少するという課題があった。

また、テストクーポンを枠領域に形成する場合では、製品領域内におけるプロセスのばらつきを確認することができないという課題があった。

さらに、テストクーポンを目視検査する検査方法は、検査時間が長いという課題があった。

本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能なプリントコイル用アートワークを提供することにある。

このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（１）格子状に配置され、複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成すると共に、前記プリントコイル用アートワーク内の四隅に配置することを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（２）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中心部に形成された第１スルーホールと、この第１スルーホールから所定の間隙を隔てて十字状に延長して形成されたパターンと、このパターンのそれぞれの他端に接して形成された第２スルーホールを備え、前記パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（３）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状のコイルパターンと、この渦巻き状のコイルパターンの中心部に接して形成された第１スルーホールと、前記渦巻状コイルの最外周の端部に接して形成された第２スルーホールを備え、前記コイルパターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（４）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中心部にエッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有して平行に形成された複数本のパターンと、この複数本のパターンのうち中央に位置するパターンの両端から延長したパターンの端部に形成された第１，第２スルーホールと、前記複数本のパターンのうち両側部のパターンの両端から所定の広がりをもって延長されたパターンのそれぞれの端部に形成された第３〜第６スルーホールを備え、前記パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（５）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域に互いのくし部が非接触状態で入りこんで形成された第１,第２のくし型パターンと、この
くし型パターンのそれぞれの基部に電気的に接するとともに所定の間隔を隔てて形成されたそれぞれ２つのスルーホールを備え、前記くし型パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。

（６）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中央部を挟んで所定の距離を隔てて対向して形成された第１，第２のスルーホールと、これら第１，第２のスルーホールの中心を結ぶ線上であって、かつ、これら第１，第２のスルーホールを挟んで逆向きに形成された２つのＶ字状パターンとを備え、このＶ字状パターンの折返し部（谷部）が前記第１，第２のスルーホールに接触し、前記Ｖ字状パターンの開放端のそれぞれに接触して第３〜第６のスルーホールが形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（７）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域の中央部に形成された第１のスルーホールと、最外層の一方の面と他方の面で逆方向に形成された２つのＶ字状パターンとを備え、これらのＶ字状パターンの折返し部（谷部）に前記第１のスルーホールが接触し、前記２つのＶ字状パターンの開放端のそれぞれに第２〜第５のスルーホールが接触するように形成するとともに、前記第２〜第５のスルーホールは前記第１，第２スルーホールの径よりも大きな径を有してそれぞれ形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

（８）複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域とほぼ同形状に形成された所定の厚さを有するベタパターンと、このベタパターンの内周に等分に形成された複数個のスルーホールを備え、前記ベタパターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成するとともに、前記複数個のスルーホールの２つを一組として前記ベタパターンのいずれかの層のパターンとが所定のキャパシタンスとなるように接続したことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
本発明によれば、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能なプリントコイル用アートワークを提供できる。そして、高信頼・低コストのプリントコイルを提供できる。

また、検査の自動化・省力化・迅速化ができる。さらに、アートワークの製品領域内における品質の分布を確認できる。そして、精度の高いプロセス管理が可能となる。

以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す平面図である。

図１の実施例の特徴は、テストクーポン１３の配置にある。

同図において、アートワーク１０は、複数のプリントコイルパターン１１、アートワーク枠１２、テストクーポン１３、アートワーク基準穴１４、アートワーク識別バーコード１５、アートワーク識別バーコード１６を備える。

また、複数のプリントコイルパターン１１は所定の位置に格子状に配置する。さらに、テストクーポン１３は、プリントコイルのコア穴領域に形成する。そして、コア穴領域は、アートワークの製品領域に属する。

このような、テストクーポン１３は、製品領域を圧迫しない。即ち、プリントコイルパターン１１（製品）の取り数は、テストクーポン１３に左右されない。そして、テストクーポン１３に対応する領域であるコア穴領域に対応する領域は、アートワーク積層板からプリントコイルを形成する際に切り取られる。

よって、図１の実施例に基づくプリントコイルは、無駄になる材料が少なく、低コストになる。

さらに、テストクーポン１３は、アートワーク１０内の四隅に配置する。このような配置によれば、積層ずれ等を精度よく検出可能となる。そして、例えば、四隅の積層ずれが全て中心方向のときは、積層時に収縮が発生したと推測する。なお、図１の実施例とは別に、テストクーポン１３を全面に配置するようにしてもよい。

また、図１の実施例によれば、テストクーポン１３は、プリントコイルパターン１１に非常に近い領域に配置するため、テストクーポン１３の領域におけるプロセスの品質は、プリントコイルパターン１１の領域におけるプロセスの品質とほぼ等しくなり、高信頼のプリントコイルの製造が可能となる。さらに、低コスト化にも寄与する。

さらに、図１の実施例のアートワーク１０は、プリントコイルの各層毎に形成する。そして、これらのアートワーク１０に基づき各層のプリントコイルパターン等を形成し、各層を積層してアートワーク積層板を形成する。また、各層を積層した後に、スルーホール等を形成する。

第１に、図２を用いて積層ずれに係るテストクーポンについて説明する。図２（ａ）は、本発明の実施例の積層ずれに係るテストクーポンを示す平面図であり、図２（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板２６のテストクーポン領域の断面図である。

図２の実施例の特徴は、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１と、パターン２２からパターン２５との構成にある。

まず、図２（ａ）において、コア穴２０の内部に形成するテストクーポンは、スルーホール領域ＴＨ１、第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２からスルーホール領域ＴＨ５、パターン２２からパターン２５を備える。そして、この図２（ａ）のテストクーポンは、図１のテストクーポン１３に対応する。

また、図２（ａ）のパターン２２からパターン２５は、スルーホール領域ＴＨ１を囲むように十字形に配置する。さらに、パターン２２からパターン２５とスルーホール領域ＴＨ１との間はそれぞれ間隙ｄを有する。そして、間隙ｄは積層ずれの検出間隙ｄとなる。

次に、図２（ｂ）は、図２（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図２（ｂ）のアートワーク積層板２６は、最外層と内部の６層とを備え、合計８層を備える。さらに、図２（ａ）のテストクーポンの構成は、図２（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。

また、図２（ｂ）の実施例の最外層は、図２（ａ）のパターン２３からパターン２５に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からスルーホール領域ＴＨ５に対応するランドを有する。

さらに、図２（ｂ）の実施例における内部の６層は、図２（ａ）のパターン２３に対応するパターン２３１からパターン２３６の構成と、図２（ａ）のパターン２５に対応するパターン２５１からパターン２５６の構成とを備える。また、内部の６層は、スルーホール領域ＴＨ１に対応するランドを有しない。

そして、図２（ｂ）の実施例のアートワーク積層板２６は、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からスルーホール領域ＴＨ５に、スルーホールＴＨ１からスルーホールＴＨ５を形成するステップを備える。さらに、各層を積層するステップにおいて、それぞれの層は積層ずれを有する。

また、図２（ｂ）において、パターン２３１及びパターン２５１の層、パターン２３５及びパターン２５５の層、パターン２３６及びパターン２５６の層は、積層ずれがゼロである。

さらに、パターン２３４及びパターン２５４の層は右方向への積層ずれｄ１を有する。また、パターン２３２及びパターン２５２の層も右方向への積層ずれを有する。さらに、パターン２３３及びパターン２５３の層は左方向への積層ずれｄ２を有する。そして、図２（ｂ）の積層ずれｄ１及び積層ずれｄ２は図２（ａ）の検出間隙ｄよりも小さい。

よって、図２（ｂ）の実施例において、積層ずれはそれぞれ検出間隙ｄより小さく、各層の積層状態はそれぞれ良好である。

また、図３を用いて、積層ずれが検出間隙ｄを越える場合を説明する。図３は、図２（ｂ）の断面図において、積層ずれが検出間隙ｄを越える場合の断面図である。なお、図２（ｂ）と同一の要素には同一符号を付し、説明を省略する。

図３（ａ）は、パターン２３３及びパターン２５３の層における左方向への積層ずれが検出間隙ｄを越える場合である。そして、図３（ａ）において、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とは、パターン２５３を介してショートとなる。

図３（ｂ）は、パターン２３３及びパターン２５３の層における左方向への積層ずれが検出間隙ｄを越えると共に、パターン２３４及びパターン２５４の層における右方向への積層ずれが検出間隙ｄを越える場合である。そして、図３（ｂ）において、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とはパターン２５３を介してショートとなると共に、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３とはパターン２３４を介してショートとなる。

よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との導通試験により、左方向への積層ずれを検出できる。また、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験により、右方向への積層ずれを検出できる。

さらに、前述の例とは別に、間隙ｄを段階的に変化する複数種類の図２（ａ）のテストクーポンを、図１のアートワーク上に配置し、アートワーク積層板２６を形成し、それぞれのスルーホール間の導通試験を実行すると、積層ずれの程度を段階的に精度良く検出できる。

第２に、図４を用いてエッチング精度に係るテストクーポンについて説明する。図４（ａ）は、本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図であり、図４（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板４６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図４の実施例の特徴は、コイルパターン４１の構成にある。

まず、図４（ａ）において、コイルパターン４１の一端に第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１を接続する。また、コイルパターン４１の他端に第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２を接続する。さらに、コイルパターン４１は、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状に形成する。そして、スルーホールＴＨ１領域はコイルパターン４１の渦巻きの中心部に配置し、スルーホール領域ＴＨ２はコイルパターン４１の渦巻きの周辺に配置する。

次に、図４（ｂ）は、図４（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図４（ｂ）のアートワーク積層板４６は、最外層と内部の６層とを備え、合計８層を備える。さらに、図４（ａ）のテストクーポンの構成は、図２（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。

図４（ｂ）の実施例の最外層は、図４（ａ）のコイルパターン４１に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２に対応するランドを有する。さらに、図４（ｂ）の実施例における内部の６層は、図４（ａ）のコイルパターン４１に対応するコイルパターン、例えばコイルパターン４１６を備える。

そして、図４（ｂ）の実施例のアートワーク積層板４６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２にスルーホールＴＨ１，ＴＨ２を形成するステップを備える。

このような、コイルパターン４１６等は、インダクタンスを有する。また、コイルパターン４１６のインピーダンスは、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定の実行により測定できる。

そして、プロセスがエッチング不足であるときは、形成されるコイルパターン４１６は短絡し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンスはショートとなる。また、プロセスがエッチング過剰であるときは、形成されるコイルパターン４１６は断線し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンスはオープンとなる。

よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定により、エッチングの程度を検出できる。

さらに、前述の例とは別に、コイルパターンの幅及び間隙を段階的に変化する複数種類の図４（ａ）のテストクーポンを、図１のアートワーク上に配置し、アートワーク積層板４６を形成し、それぞれのスルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定を実行すると、エッチングの程度を段階的に精度良く検出できる。

また、図４（ｂ）の実施例において、各層のパターン幅ｄ３及びパターン間隙ｄ４はそれぞれ所定の値であり、各層のエッチングはそれぞれ良好である。

さらに、このような図４のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板４６を形成し、それぞれのスルーホール間におけるインピーダンスの測定を実行すると、アートワークの製品領域内におけるエッチングの状態の分布を検出できる。

第３に、図５を用いて他のエッチング精度に係るテストクーポンについて説明する。図５（ａ）は、本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図であり、図５（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板５６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図５の実施例の特徴は、パターン５１からパターン５５の構成にある。

まず、図５（ａ）において、パターン５１の一端は第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１に接続し、パターン５１の他端は第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２に接続する。さらに、パターン５２の一端は第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ３に接続し、パターン５２の他端は第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ４に接続する。

また、パターン５３の一端は第５測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ５に接続し、パターン５３の他端は第６測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ６に接続する。そして、パターン５１からパターン５５は平行に形成する。さらにまた、パターン５４はパターン５１とパターン５２との間の一部分に形成し、パターン５５はパターン５１とパターン５３との間の一部分に形成する。

さらに、図５（ａ）において、中心部のパターン５４及びパターン５５に近い領域５８は、銅箔が蜜になる領域であり、外辺部のパターン５４から遠い領域５９は、銅箔が疎になる領域である。即ち、パターン５１，５２，５３は、それぞれ、銅箔が蜜になる領域５８と銅箔が疎になる領域５９とを備える。また、パターン５１からパターン５５の幅及び間隙は、エッチング精度に基づく所定の値にする。

次に、図５（ｂ）は、図５（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図５（ｂ）は、８層のアートワーク積層板５６の断面図である。さらに、図５（ａ）のテストクーポンの構成は、図５（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。

図５（ｂ）の実施例の最外層は、図５（ａ）のパターン５１からパターン５５に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２に対応するランドを有する。さらに、図５（ｂ）の実施例における内部の６層は、図５（ａ）のパターン５１からパターン５５に対応するパターン、例えばパターン５２６を備える。

そして、図５（ｂ）の実施例のアートワーク積層板５６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ６にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ６を形成するステップを備える。

また、プロセスがエッチング不足であるときは、パターン５１，５４，５２に基づいて形成されるパターン５２６等は短絡し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験またはスルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ４との導通試験はショートとなる。特に、銅箔が蜜になる領域５８に対応する領域でエッチング不足になりやすい。

さらに、プロセスがエッチング過剰であるときは、パターン５１，５２に基づいて形成されるパターン５２６等は断線し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験またはスルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との導通試験はオープンとなる。特に、銅箔が疎になる領域５９に対応する領域でエッチング過剰になりやすい。

よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との導通試験、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験、スルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ４との導通試験により、エッチングの程度を検出できる。

また、図５（ａ）のテストクーポンのように銅箔が蜜になる領域５８と銅箔が疎になる領域５９とを備える構成は、精度良くエッチングの程度を検出できる。

同様に、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験、スルーホールＴＨ５とスルーホールＴＨ６との導通試験、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との導通試験、スルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ６との導通試験により、エッチングの程度を検出できる。即ち、図５（ａ）のテストクーポンは、複数種類の試験が可能である。

さらに、図５（ｂ）の実施例において、各層のパターン幅ｄ３及びパターン間隙ｄ４はそれぞれ所定の値であり、各層のエッチングはそれぞれ良好である。

また、このような図５のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板５６を形成し、それぞれのスルーホール間の導通試験を実行すると、アートワークの製品領域内におけるエッチングの状態の分布を検出できる。

第４に、図６を用いてマイグレーションに係るテストクーポンについて説明する。図６（ａ）は、本発明の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図であり、図６（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板６６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図６の実施例の特徴は、くし型パターン６１とくし型パターン６２との構成にある。

まず、図６（ａ）において、くし型パターン６１の一端は第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１に接続する。また、第２くし型パターン６２の一端は第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２に接続する。さらに、第１くし型パターン６１と第２くし型パターン６２とは、マイグレーションに基づく所定の間隙を有する。

また、くし型パターン６１の他の一端は第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ３に接続する。また、第２くし型パターン６２の他の一端は第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ４に接続する。そして、スルーホール領域ＴＨ３及びスルーホール領域ＴＨ４は、４端子法の測定を可能にする。

次に、図６（ｂ）は、図６（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図６（ｂ）は、８層のアートワーク積層板６６の断面図である。さらに、図６（ａ）のテストクーポンの構成は、図６（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。

図６（ｂ）の実施例の最外層は、図６（ａ）のくし型パターン６１及びくし型パターン６２に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ４に対応するランドを有する。さらに、図６（ｂ）の実施例における内部の６層は、図６（ａ）のくし型パターン６１及びくし型パターン６２に対応するパターン、例えばパターン６１６を備える。

そして、図６（ｂ）の実施例のアートワーク積層板６６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ４を形成するステップを備える。

このような図６のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との間にＤＣ電圧を印加し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間に絶縁抵抗計を接続する。そして、このテストクーポンは高湿高温槽に保持し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗の経時変化をモニターする。

また、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、マイグレーションが発生し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。

第５に、図７を用いてマイグレーションに係るテストクーポンについて説明する。図７（ａ）は、本発明の他の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図であり、図７（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板７６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図７の実施例の特徴は、第１スルーホール領域ＴＨ１と、第２スルーホール領域ＴＨ２と、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１１と、第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１２との構成にある。

まず、図７（ａ）において、第１スルーホール領域ＴＨ１と第２スルーホール領域ＴＨ２とはマイグレーションに基づく所定の間隙を有する。また、スルーホール領域ＴＨ１１はパターン７１を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１２はパターン７２を介して第２スルーホール領域ＴＨ２に接続する。

また、第１スルーホール領域ＴＨ１は、パターン７３を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１３に接続する。また、第２スルーホール領域ＴＨ２は、パターン７４を介して、第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１４に接続する。そして、スルーホール領域ＴＨ１３及びスルーホール領域ＴＨ１４は、４端子法の測定を可能にする。

次に、図７（ｂ）は、図７（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図７（ｂ）は、８層のアートワーク積層板７６の断面図である。さらに、図７（ａ）のテストクーポンの構成は、図７（ｂ）実施例の最外層におけるテストクーポンの構成に対応する。

図７（ｂ）の実施例の最外層は、図７（ａ）のパターン７１からパターン７４に対応するパターン、例えばパターン７３７及びパターン７４７を有する。また、図７（ｂ）の実施例における内部の６層は、図７（ａ）のパターン７１からパターン７４に対応する構成を有しない。

そして、図７（ｂ）の実施例のアートワーク積層板７６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ１４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ１４を形成するステップを備える。

このような図７のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２との間にＤＣ電圧を印加し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に絶縁抵抗計を接続する。そして、このテストクーポンは高湿高温槽に保持し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗の経時変化をモニターする。

また、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、マイグレーションが発生し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。

さらにまた、図７のスルーホールＴＨ１及びスルーホールＴＨ２はガラスクロスを切断するため、図７のテストクーポンは図６のテストクーポンよりも、マイグレーションが発生しやすい。そして、図７のテストクーポンはガラスクロス経由でマイグレーションが発生しやすい。

第６に、図８を用いてヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンについて説明する。図８（ａ）は、本発明の他の実施例のヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンを示す平面図であり、図８（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板８６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図８の実施例の特徴は、スルーホール領域ＴＨ１と、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１１または第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１２との構成にある。

まず、図８（ａ）において、スルーホール領域ＴＨ１はヒートサイクル加速試験等に基づく所定の形状を有する。また、スルーホール領域ＴＨ１１はパターン８１を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１は、パターン８３を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１３に接続する。

また、前述の図８（ａ）の場合とは別に、図８（ａ）のパターン８１及びパターン８３を削除し、パターン８２及びパターン８４を追加する場合がある。このとき、スルーホール領域ＴＨ１２はパターン８２を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１は、パターン８４を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１４に接続する。

次に、図８（ｂ）は、図８（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図８（ｂ）は、８層のアートワーク積層板８６の断面図である。さらに、図８（ａ）のテストクーポンの構成は、図８（ｂ）実施例の最外層におけるテストクーポンの構成に対応する。

図８（ｂ）の実施例の最上層は、図８（ａ）のパターン８１及びパターン８３に対応するパターン、例えばパターン８３７等を有する。また、図８（ｂ）の実施例における内部の６層は、図８（ａ）のパターン８１からパターン８４に対応する構成を有しない。

また、図８（ｂ）の実施例の最下層は、図８（ａ）のパターン８２及びパターン８４に対応するパターン、例えばパターン８４０等を有する。

そして、図８（ｂ）の実施例のアートワーク積層板８６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ１４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ１４を形成するステップを備える。

さらに、スルーホールＴＨ１１からＴＨ１４の径は、スルーホールＴＨ１の径よりも大きく形成する。このようにすると、スルーホールＴＨ１１からＴＨ１４の信頼性は、スルーホールＴＨ１の信頼性よりも高くなる。

このような図８のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２との間に所定のＤＣ電流または所定のＡＣ電流を印加し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に電圧計を接続する。そして、このテストクーポンにヒートサイクル加速試験を実行し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧を４端子法で測定する。そしてまた、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧より、スルーホールＴＨ１の抵抗値を算出する。

また、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、クラック等発生し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。

なお、スルーホールＴＨ１は、めっきにより形成されるため、パターン８１からパターン８４等よりもクラックが発生しやすい。よって、スルーホールＴＨ１による信頼性評価は、アートワーク積層板８６（プリントコイル）の寿命を決定する。さらに、スルーホールＴＨ１の信頼性は、めっき厚みとプリント板の基板材料の熱膨張係数に依存する。

そして、めっき厚みに係るスルーホールＴＨ１の信頼性は、図８のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板８６を形成し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値の測定を実行し、アートワークの製品領域内におけるスルーホールＴＨ１の信頼性の分布を検出し、評価する。

また、プリント板の基板材料の熱膨張係数に係るスルーホールＴＨ１の信頼性は、図８のテストクーポンを図１のアートワーク上の一部に配置し、アートワーク積層板８６を形成し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値の測定を実行し、評価する。

第７に、図９を用いて層間厚みに係るテストクーポンについて説明する。図９（ａ）は、本発明の他の実施例の層間厚みに係るテストクーポンを示す平面図であり、図９（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板９６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。

図９の実施例の特徴は、ベタパターン９１と、スルーホール領域ＴＨ１との構成にある。

まず、図９（ａ）において、ベタパターン９１は層間厚みに基づく所定の形状及び位置を有する。そして、ベタパターン９１はコア穴９０とほぼ同じ形に形成する。また、図９（ａ）のテストクーポンは、所定の位置に形成する測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８を備える。

さらに、スルーホール領域ＴＨ１はベタパターン９１に接続する。なお、アートワーク積層板（プリントコイル）の積層数に基づいて、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８のいずれかをベタパターン９１に接続する

次に、図９（ｂ）は、図９（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図９（ｂ）は、８層のアートワーク積層板９６の断面図である。さらに、図９（ａ）のテストクーポンの構成は、図９（ｂ）実施例の下側から数えて第７層目におけるテストクーポンの構成に対応する。

また、図９（ｂ）の実施例の第７層は、スルーホール領域ＴＨ１とベタパターン９１とに対応するベタパターン９１６を備える。さらにまた、ベタパターン９１６とスルーホールＴＨ１とは接続する。

さらに、図９（ｂ）の実施例の最外層は、ベタパターン９１に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８に対応するランドを有する。さらに、図９（ｂ）の実施例の第２層から第７層は、ベタパターン９１に対応するベタパターン９１１から９１６を備える。また、ベタパターン９１１から９１５とスルーホールＴＨ１とは接続しない。さらに、図９（ｂ）の実施例の第４層におけるベタパターン９１３と、スルーホールＴＨ５とは接続する。

そして、図９（ｂ）の実施例のアートワーク積層板９６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ８を形成するステップを備える。

このような、ベタパターン９１３とベタパターン９１６とは、キャパシタンスを有する。また、このキャパシタンスは、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とのインピーダンス測定の実行により測定できる。

アートワーク積層板９６の誘電率をε、層間厚みをｄ、ベタパターン９１の面積をＳ、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との間のキャパシタンスをＣとすると、式（１）を満足する。
ｄ＝ε・Ｓ／Ｃ（１）

したがって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とのキャパシタンス測定により、層間厚みを検出できる。

また、複数の層間厚みをそれぞれ検出する場合について、図１０を用いて説明する。図１０は、図９のテストクーポンを４ビットでコード化するときのアートワーク積層板の構成図である。

図１０において、テストクーポン１は、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２とベタパターン１０１１から１０１４とを備える。また、ベタパターン１０１１から１０１４はスルーホールＴＨ１２に接続する。

また、テストクーポン２は、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とベタパターン１０２１から１０２４とを備える。また、ベタパターン１０２１、１０２２はスルーホールＴＨ２１に接続し、ベタパターン１０２３、１０２４はスルーホールＴＨ１２に接続する。

さらに、テストクーポン３は、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とベタパターン１０３１から１０３４とを備える。また、ベタパターン１０３１、１０３３はスルーホールＴＨ３１に接続し、ベタパターン１０３２、１０３４はスルーホールＴＨ３２に接続する。

また、テストクーポン４は、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とベタパターン１０４１から１０４４とを備える。また、ベタパターン１０４２、１０４３はスルーホールＴＨ４１に接続し、ベタパターン１０４１、１０４４はスルーホールＴＨ４２に接続する。

さらに、アートワーク積層板は、ベタパターン１０１１、１０２１、１０３１、１０４１の層とベタパターン１０１２、１０２２、１０３２、１０４２の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ１を備え、ベタパターン１０１２、１０２２、１０３２、１０４２の層とベタパターン１０１３、１０２３、１０３３、１０４３の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ２を備え、ベタパターン１０１３、１０２３、１０３３、１０４３の層とベタパターン１０１４、１０２４、１０３４、１０４４の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ３を備える。

また、図１０のテストクーポンは、４ビットでコード化されている。４ビット中１ビットは、パリティビットとする。そして、図１０のテストクーポンに対応するコード“００００”、“００１１”、“０１０１”、“０１１０”は、それぞれの違いが２ビット以上異なる（パリティ距離が２以上）。

このような、図１０のテストクーポン２において、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とのキャパシタンスはＣ２となる。また、図１０のテストクーポン３において、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とのキャパシタンスは（Ｃ１とＣ２とＣ３）となる。図１０のテストクーポン４において、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とのキャパシタンスは（Ｃ１とＣ３）となる。

そして、これらを測定し、キャパシタンスＣ１，Ｃ２，Ｃ３を算出する。さらに、それぞれの層間厚みを検出する。即ち、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とのキャパシタンスと、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とのキャパシタンスと、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とのキャパシタンスより、それぞれの層間厚みを検出できる。

さらに、一つのテストクーポンに対応するスルーホールの数ａ、テストクーポンの配置数（ｂ＋１）とすると、組み合わせの数はａ（ａ−１）ｂ／２となる。そして、アートワーク積層板（プリントコイル）の積層数ｍがこの組み合わせの数以下であれば、パリティ距離が２以上となるようにコード化できると共に、層間厚みを検出できる。

例えば、図１０のテストクーポンは、ａ＝２、ｂ＝４であり、組み合わせの数は３となり、３つの層間厚みを検出できる。即ち、図１０のテストクーポンは、４層のアートワーク積層板（プリントコイル）の層間厚みを検出できる。

また、図９（ａ）のテストクーポンにおいて、ａ＝８、ｂ＝３とすると、組み合わせの数は５６となる。よって、図９（ａ）に相当するテストクーポンを３個アートワーク上に配置すると、５６層までの層間厚みを検出できる。

さらに、このような図９及び図１０のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板を形成し、それぞれのスルーホール間におけるキャパシタンスの測定を実行すると、アートワークの製品領域内における積層厚みの状態の分布を検出できる。

以上のように、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの変更及び変形を含むものである。

本発明の一実施例を示す平面図である。本発明の実施例の積層ずれに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。図２（ｂ）の断面図において、積層ずれが検出間隙を越える場合の断面図である。本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。本発明の実施例のエッチング精度に係る他のテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。本発明の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。本発明の実施例のマイグレーションに係る他のテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。本発明の実施例のヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。本発明の実施例の層間厚みに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。図９のテストクーポンを４ビットでコード化するときのアートワーク積層板の構成図である。

符号の説明

１０アートワーク
１３テストクーポン
２０，４０，５０，６０，７０，８０，９０コア穴
ＴＨ１からＴＨ８，ＴＨ１１からＴＨ１４スルーホール領域（スルーホール）
２３から２５，５１から５５パターン
４１コイルパターン
６１，６２くし型パターン
９１ベタパターン
２３１から２３６，２５１から２５６，５２６パターン
４１６コイルパターン
６１６くし型パターン
２６，４６，５６，６６，７６，８６，９６アートワーク積層板
９１１から９１６ベタパターン

Claims

格子状に配置され、複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成すると共に、前記プリントコイル用アートワーク内の四隅に配置することを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中心部に形成された第１スルーホールと、この第１スルーホールから所定の間隙を隔てて十字状に延長して形成されたパターンと、このパターンのそれぞれの他端に接して形成された第２スルーホールを備え、前記パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状のコイルパターンと、この渦巻き状のコイルパターンの中心部に接して形成された第１スルーホールと、前記渦巻状コイルの最外周の端部に接して形成された第２スルーホールを備え、前記コイルパターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中心部にエッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有して平行に形成された複数本のパターンと、この複数本のパターンのうち中央に位置するパターンの両端から延長したパターンの端部に形成された第１，第２スルーホールと、前記複数本のパターンのうち両側部のパターンの両端から所定の広がりをもって延長されたパターンのそれぞれの端部に形成された第３〜第６スルーホールを備え、前記パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域に互いのくし部が非接触状態で入りこんで形成された第１,第２のくし型パターンと、この
くし型パターンのそれぞれの基部に電気的に接するとともに所定の間隔を隔てて形成されたそれぞれ２つのスルーホールを備え、前記くし型パターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成されたことを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域の中央部を挟んで所定の距離を隔てて対向して形成された第１，第２のスルーホールと、これら第１，第２のスルーホールの中心を結ぶ線上であって、かつ、これら第１，第２のスルーホールを挟んで逆向きに形成された２つのＶ字状パターンとを備え、このＶ字状パターンの折返し部（谷部）が前記第１，第２のスルーホールに接触し、前記Ｖ字状パターンの開放端のそれぞれに接触して第３〜第６のスルーホールが形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域の中央部に形成された第１のスルーホールと、最外層の一方の面と他方の面で逆方向に形成された２つのＶ字状パターンとを備え、これらのＶ字状パターンの折返し部（谷部）に前記第１のスルーホールが接触し、前記２つのＶ字状パターンの開放端のそれぞれに第２〜第５のスルーホールが接触するように形成するとともに、前記第２〜第５のスルーホールは前記第１，第２スルーホールの径よりも大きな径を有してそれぞれ形成されたことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
複数層に形成されたプリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成され、このコア穴領域とほぼ同形状に形成された所定の厚さを有するベタパターンと、このベタパターンの内周に等分に形成された複数個のスルーホールを備え、前記ベタパターンは前記複数層に形成されたプリントコイルの最外層を除く内部の層に形成するとともに、前記複数個のスルーホールの２つを一組として前記ベタパターンのいずれかの層のパターンとが所定のキャパシタンスとなるように接続したことを特徴とするプリントコイル用アートワーク。