JP3834787B2 - 不揮発性ラッチ回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電源の供給を遮断した場合であっても遮断前の状態を保持する不揮発性のラッチあるいはレジスタ回路に関し、特に、一般的なロジック回路と同等な動作速度を有し、かつ、ロジック回路の製造工程に若干の工程を追加するのみでロジック回路内に集積が可能な不揮発性ラッチ回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
CPU(central processing unit)等のロジック回路には、ラッチ回路あるいは1ビットの情報を保持するレジスタ回路(以下単にラッチ回路という)が多用される。ラッチ回路はハイあるいはローの2つの状態(1ビットの情報)を保持し、たとえば2つのインバータ回路を相互に交差接続させるフリップフロップ回路が例示できる。これら回路の動作速度は、トランジスタのターンオンおよびターンオフ時間で制限され、4つのMOSFETによるC−MOS回路では、ナノセカンドオーダの動作が保証される。1ビッドの読み出しあるいは書き込みに必要な時間を仮に1nsだとすると、1GHzのクロック周波数での動作が可能になる。
【0003】
これらフリップフロップ回路等の状態保持回路への電源印加が遮断されると、その状態が保持されない(揮発する)ことは明白である。仮にロジック回路のある動作状態におけるラッチ(レジスタ)状態が電源の有無に関わらず記憶されれば、電源再投入の際に、速やかに電源遮断時の状態への復帰が実現でき、電源の遮断・再投入を挟んだ連続的な回路動作が可能になる。
【0004】
これを実現するには、電源遮断時の各ラッチ状態を不揮発性メモリに記録する方法がある。不揮発性メモリに電源遮断時のラッチ状態を記録し、電源再投入時にこれら不揮発性メモリに記録したデータを読み出して計算等の処理を続行することが可能になる。
【0005】
不揮発性メモリには、フローティングゲート型のメモリ素子と、スピンバルブを用いるメモリ素子が例示できる。フローティングゲート型のメモリ素子は、制御ゲートとは電気的に分離されたフローティングゲートを備え、このフローティングゲートにトンネル電子を注入し、トランジスタのしきい値電圧をシフトさせることによって情報を記録するものである。たとえばEEPROM(electrically erasable programmable ROM)やフラッシュEEPROM等が例示できる。
【0006】
スピンバルブ型のメモリ素子は、磁化の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗効果(Magneto Resistive Effect)を用いたメモリ素子である。磁気抵抗効果には、異方性磁気抵抗効果(AMR)や巨大磁気抵抗効果(GMR)が知られており、特にトンネル電流を利用して磁気抵抗効果を得るトンネル磁気抵抗効果(TMR)は大きな抵抗変化を得ることができる点で注目されている。
【0007】
TMRを用いたスピンバルブ素子は、少なくとも強磁性層(ピン層)、絶縁層(トンネル層)、強磁性層(フリー層)の三層積層構造を有し、MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子と呼ばれる。一般に強磁性層(ピン層)に接して反強磁性層が形成される。反強磁性層は隣接する強磁性層(ピン層)の磁化の方向を固定する機能を有する。フリー層の磁化方向がピン層の磁化方向と一致する場合に絶縁層にトンネル電流が流れ、フリー層の磁化方向がピン層の磁化方向と逆の場合には絶縁層に流れる電流は一致の場合のトンネル電流より少なくなる。つまり、フリー層の磁化方向(電子スピンの方向)によって、MTJ素子の積層方向の抵抗値が変化する。このようなフリー層の磁化方向によって「0」あるいは「1」の情報を記録する。
【0008】
前記原理から明らかに、MTJ素子に記録された情報は不揮発性であり、情報の読み出しによる記録内容の破壊が起こらないスタティック素子である。また、情報の読み出しはMTJ素子の抵抗変化を検出するのみである。よって、1ビットを記録する基本セルに必要とされる選択トランジスタ等のスイッチング素子は1つでよい。このためDRAM(Dynamic Random Access Memory)並みの集積度が期待でき(つまり低コスト)、EEPROM(electrically erasable programmable Read Only Memory)のような不揮発性メモリを実現できる。かつ、SRAM(Static Random Access Memory)のようなリフレッシュ動作を必要としない固体メモリ素子が実現できる。しかも、EEPROMのように情報の書き換え回数に制限がなく、また書き換え速度もEEPROMに比較して格段に速く、さらに書き換えに高電圧を必要としない。読み出し、書き込みの速度もDRAM並みである。このような極めて顕著なメリットを多数有するため、MTJ素子を応用したメモリは既存の固体メモリを置き換える極めて有望なメモリ装置であると期待されている。
【0009】
このようにフローティングゲート型のメモリ素子あるいはスピンバルブ型のメモリ素子を用いることにより、ロジック回路への電源供給が遮断された場合であっても、ラッチあるいはレジスタの状態をメモリ素子に移動して保持し、電源再投入後の処理を継続して実行できるようになる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらフローティングゲート型メモリ素子あるいはスピンバルブ型メモリ素子をロジック回路内のラッチ状態を保持する不揮発性メモリに適用しようとした場合、以下のような問題がある。
【0011】
すなわち、フローティングゲート型メモリ素子の情報消去あるいは書き込みにはμsオーダかそれ以上の時間が必要である。このため、フローティングゲート型メモリ素子の動作をロジック回路の動作周期に同期させることができない。仮に、ロジック回路内のラッチ回路に個別にこれら記録素子を設置した場合には、各ラッチ回路の動作が終了しても記録素子への情報(ラッチ状態)の記録は完了せず、ロジック回路の高速動作性能を損なうことになる。ロジック回路の高速動作を確保するには、フローティングゲート型メモリ素子をロジック回路とは別に設け、電源遮断前にロジック回路内の状態をフローティングゲート型メモリ素子に転送し、その転送が終了した段階で電源を遮断するオペレートが必要になる。つまり、突然の電源遮断が生じたときには、ロジック回路内のラッチ状態をフローティングゲート型メモリ素子に記録することができないことになる。
【0012】
また、フローティングゲート型メモリ素子の書き込みあるいは消去に要求される電圧は、ロジック回路の動作電圧(電源電圧)よりも高い。このため、ロジック回路の出力信号によってフローティングゲート型メモリ素子の書き込み動作を直接オペレートすることはできず、フローティングゲート型メモリ素子の書き込み消去電圧をLSI外部から供給するかあるいはLSIチップの内部で生成する必要がある。
【0013】
これら動作速度の低さおよび必要電圧の高さに起因して、フローティングゲート型メモリ素子はロジック回路内に個別に適用されることは無く、FPGAs(Field-Programmable Gate Arrays)やFPLDs(Field-Programmable Logic Devices)のプログラム記録メモリのように、ロジック回路とは別領域に形成されるメモリ領域への適用に止まっている。これらプログラム記録メモリは、一般にメモリセルアレイとして構成される。
【0014】
さらに、フローティングゲート型メモリ素子の場合には、製造工程上の問題もある。一般にフローティングゲート型メモリ素子の製造工程は、ロジック回路を構成する通常のトランジスタの製造工程と比較して複雑である。よって、ロジック回路とフローティングゲート型メモリ素子とを同一基板に形成しようとすると、工程が複雑化する。さらにロジック回路を構成するトランジスタを形成後に熱工程等が介在するため、トランジスタの性能を損なう場合もある。
【0015】
一方、スピンバルブ素子は原理的に受動素子であり、その出力はセンスアンプ等によって増幅しなければ読み出すことができない。よって、一般的にRAM(Random Access Memory)への適用で検討されているように周辺回路領域にセンスアンプを配置して情報を読み出すことになる。この方式によれば、メモリセルアレイを構成する必要があり、たとえばデコーダ等によってアドレッシングを行う必要がある。
【0016】
本発明の目的は、前記した問題点を解決することにある。つまり、ロジック回路内に不揮発性メモリ素子を個別に配置する構成において、アドレス回路やセンス回路等の周辺回路を必要とせず、回路全体の動作速度を損なうことがない不揮発性ラッチ回路を提供することにある。また、高い供給電圧を不要にし、かつ、突然の電源遮断に対しても電源再投入後の復帰が直ちに行われる不揮発性ラッチ回路を提供することにある。また、これら不揮発性ラッチ回路を簡便に実現することにある。さらに、不揮発性メモリ素子を設けることによる製造工程上のトランジスタ性能に対する不利益を生じることがなく、製造工程の増加分も少ない不揮発性ラッチ回路を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本願の発明の概略を説明すれば、以下の通りである。すなわち、本発明の不揮発性ラッチ回路は、第1電位に保持される第1電源供給ノードと、第1電位とは相違する第2電位に保持される第2電源供給ノードと、第1出力信号を生成する第1出力ノードと、第1出力信号とは相違する第2出力信号を生成する第2出力ノードと、一方の電源端が第1電源供給ノードに接続され、入力が第1出力ノードに接続され、出力が第2出力ノードに接続された第1インバータと、一方の電源端が第1電源供給ノードに接続され、入力が第2出力ノードに接続され、出力が第1出力ノードに接続された第2インバータと、一端が第1インバータの他方の電源端に接続され、他端が第2電源供給ノード側に接続された第1抵抗素子と、一端が第2インバータの他方の電源端に接続され、他端が第2電源供給ノード側に接続された第2抵抗素子と、一方のソースまたはドレイン端が第1電源供給ノードに接続され、他方のソースまたはドレイン端が第1出力ノードに接続された第1トランジスタと、一方のソースまたはドレイン端が第1電源供給ノードに接続され、他方のソースまたはドレイン端が第2出力ノードに接続された第2トランジスタと、を有し、第1抵抗素子または第2抵抗素子の少なくとも一方の抵抗素子が、ピン層およびフリー層の相対的磁化方向関係によってその抵抗値が変化するスピンバルブ素子であり、スピンバルブ素子の抵抗値変化によって第1抵抗素子および第2抵抗素子の抵抗値の大小関係が逆転するものである。
【0018】
このような不揮発性ラッチ回路によれば、1ビットの情報を記録するラッチ回路毎に不揮発性のメモリ素子であるスピンバルブ素子が形成される。つまり、ロジック回路領域とは別に状態を記録するメモリセルアレイ領域を形成する必要がない。スピンバルブ素子は、ロジック回路の動作速度に追随できる情報の読み取りおよび書き込み速度を実現できるので、高速動作可能なロジック回路(ラッチ回路)を構成できる。よって、ラッチ回路の動作周期毎の記録読み取り動作が可能になり、突然の電源遮断によっても、その時のラッチ状態を記録することが可能になる。また、電源再投入後の復帰を直ちに行うことが可能になる。また、本実施の形態のラッチ回路では、ラッチ状態は第1抵抗素子と第2抵抗素子との抵抗値の大小関係で記録される。第1および第2インバータで構成されるフリップフロップ回路は、第1および第2抵抗素子の抵抗値大小関係(記録情報)を検出してロジック回路の動作電位に増幅する作用を持ち、このため、ラッチと記録情報の増幅とを少ない素子点数で効率良く実現できる。さらに、スピンバルブ素子は、ロジック回路を構成するトランジスタを半導体基板上に形成した後に、配線層の一部として形成できるので、スピンバルブ素子の占有面積が集積化・微細化を損なうことがない。また、スピンバルブ素子の形成工程は簡単であり、従来のロジック回路形成工程に数枚のマスクを追加するのみで形成が可能である。全工程に対するスピンバルブ形成工程の増加分は少なく、本発明による製造工程上のデメリットは小さい。また、ロジック回路を構成するトランジスタを形成後、スピンバルブ素子を形成する工程では高い処理温度を有する熱工程は介在せず、トランジスタの性能を損なうこともない。なお、プリチャージ及びその後の第1および第2トランジスタの遮断によって、第1および第2抵抗素子の抵抗値大小関係として記録された情報が出力ノードの状態として検出される。すなわち、第1制御信号を本発明の不揮発性ラッチ回路のリフレッシュ信号として機能させることができる。
【0019】
前記不揮発性ラッチ回路において、前記プリチャージによる第1および第2抵抗素子に流れる電流を制限する電流制限素子を、第1および第2抵抗素子と第2電源供給ノードとの間に設けることができる。電流制限素子を設けることにより、プリチャージおよびリフレッシュ時の電流消費を抑制することが可能になる。ここで、電流制限素子には、第2制御信号の入力によってオフになる第3トランジスタを例示できる。第3トランジスタのオフ期間が第1および第2トランジスタのオン期間を含むまたは一致することにより、プリチャージ期間の電流通過を遮断し、消費電力を大幅に抑制することが可能になる。
【0020】
第1および第2抵抗素子は、トンネル磁気抵抗素子とすることができる。あるいは、第1抵抗素子または第2抵抗素子の何れか一方の抵抗素子をトンネル磁気抵抗素子とし、他方の抵抗素子を固定抵抗値の抵抗素子とすることができる。また、トンネル磁気抵抗素子のフリー層は、単一または複数のデータ書き込み線を流れる電流により生成される磁界または合成磁界に応じて磁化されるものとすることができる。複数の書き込みデータ線により情報を書き込む場合、各データ線を流れる電流値を小さくすることができる。
【0021】
また、データ書き込み線を流れる電流は、第3制御信号を制御入力とする第4トランジスタによってオンまたはオフにすることができる。入力信号の如何に関わらず、第4トランジスタをオンする期間にのみ書き込み電流を流して消費電力を節減できる。データ書き込みに要する時間はフリー層の磁化方向を変更するに必要な時間である。この時間は、たとえば、2001年2月刊行の、松山公秀著、「磁性ランダムアクセスメモリの現状と課題」、日本応用磁気学会誌、Vol.25,No.2,pp.51−58に記載されているように、1ns以下にできることが知られている。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ただし、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本実施の形態の記載内容に限定して解釈すべきではない。なお、実施の形態の全体を通して同じ要素または部材には同じ番号を付するものとする。
【0023】
図1は、本発明の一実施の形態である不揮発性ラッチ回路の一例を示した回路図である。本実施の形態の不揮発性ラッチ回路は、センス・ラッチ回路部C1と書込電流生成回路C2とを有する。不揮発性ラッチ回路は、入力信号INおよびINバーを受けて、出力信号OUTおよびOUTバーを出力する。また、不揮発性ラッチ回路には、制御信号REFRESHNおよびDATAGETが入力される。これら制御信号の動作については後述する。
【0024】
なお、信号SとSバーとは相補的な関係にあり、Sが「Highレベル」にある場合Sバーは「Lowレベル」にあり、Sが「Lowレベル」にある場合Sバーは「Highレベル」にある。図においてバーは記号上の横線として示す。また、ここでは入力信号INおよびINバーを両方入力する例を示しているが、入力信号INのみを入力し、適当なインバータによって入力信号INバーを生成させても良い。同様に出力信号OUTのみを取り出し、適当なインバータによってOUTバーを生成しても良い。本実施の形態の不揮発性ラッチ回路の後段に接続されるロジック回路において、出力信号OUTあるいはOUTバーのみが必要な場合、何れか一方のみが出力されても良いことは勿論である。
【0025】
センス・ラッチ回路部C1には、インバータ回路INV1,INV2を含む。INV1は、pチャネル型のMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)Tr1とnチャネル型のMOSFETTr2とからなる。INV1の入力はTr1とTr2との共通のゲートであり、INV2の出力ノードn2に接続される。Tr1のソースは電源電圧Vddに接続され、Tr1のドレインはTr2のドレインに接続される。またTr2のソースは後に説明するトンネル磁気抵抗素子MTJ0の一端に接続される。Tr1のドレインとTr2のドレインとの接続点はINV1の出力ノードn1である。出力ノードn1は、出力信号OUTバーを出力する。
【0026】
INV2はpチャネル型MOSFETTr3とnチャネル型MOSFETTr4とからなる。INV2の入力はTr3とTr4との共通のゲートであり、INV1の出力ノードn1に接続される。Tr3のソースは電源電圧Vddに接続され、Tr3のドレインはTr4のドレインに接続される。またTr4のソースは後に説明するトンネル磁気抵抗素子MTJ1の一端に接続される。Tr3のドレインとTr4のドレインとの接続点はINV2の出力ノードn2である。出力ノードn2は、出力信号OUTを出力する。
【0027】
ここで、不揮発性ラッチ回路を構成するトランジスタとしてMOSFETを例示しているが、ゲート絶縁膜が窒化珪素その他の絶縁膜からなるMISFET(Metal Insulator Semiconductor FET)であってもよく、また、バイポーラトランジスタであってもよい。以降に説明するMOSFETについても同様である。さらに、Tr1とTr3とを抵抗素子等の適当な負荷素子に置き換えてもよい。
【0028】
センス・ラッチ回路部C1には、さらにトンネル磁気抵抗素子MTJ0,MTJ1を含む。MTJ0およびMTJ1は、少なくともピン層、絶縁膜およびフリー層の3層を有する。MTJ0およびMTJ1は、ピン層とフリー層との磁化方向が相違する場合にピン層からフリー層に達する径路の抵抗値が高く、磁化方向が一致する場合に抵抗値が低くなる抵抗素子である。本実施の形態では、MTJ0が低抵抗値を示す場合(つまりフリー層とピン層との磁化方向が一致する場合)にはMTJ1は高抵抗値を示す(つまりフリー層の磁化方向がピン層の磁化方向と相違する)ように構成される。このような構成は、以下のように書き込みデータ線DWLを配置することにより実現できる。たとえばDWLへのある方向の電流通過に対して、たとえばMTJ0に対してはピン層と同じ方向の磁場が発生するように、MTJ1に対してはピン層と異なる方向に磁場が発生するようにDWLを配置する。これにより、ある方向のDWL通過電流によって、常に、MTJ0かMTJ1の何れか一方のフリー層はそのピン層との磁化方向が一致し、他方のフリー層の磁化方向はそのピン層の磁化方向と相違するようになる。つまり、MTJ0の抵抗値とMTJ1との抵抗値は何れか一方が大きく他方が小さくなる。DWLへの通過電流の方向を逆にすることによりMTJ0とMTJ1との抵抗値の大小関係を逆にすることができる。MTJ0,MTJ1とDWLとの配置については後述する。
【0029】
なお、ここでは、MTJ0およびMTJ1をスピンバルブ素子の一例として示すが、トンネル磁気抵抗効果(TMR)以外の磁気抵抗効果(GMR、AMR)を用いるスピンバルブ素子に置き換えることが可能である。
【0030】
センス・ラッチ回路部C1には、さらにpチャネル型のMOSFETTr5,Tr6とnチャネル型のMOSFETTr7とを有する。Tr5およびTr6のソースはVddに接続され、Tr5のドレインはn1に、Tr6ドレインはn2に接続される。Tr7のドレインはMTJ0とMTJ1の他端を接続した接続点SETに接続され、Tr7のソースは接地される。Tr5,Tr6,Tr7の各ゲートには制御信号REFRESHNが入力される。Tr5,Tr6,Tr7の動作については後述する。なお、Tr5およびTr6の駆動力がTr2およびTr4のそれに比べて十分に大きい場合、Tr7はなくても良い。ここで、駆動力は、代表的にはオン抵抗の小ささで表すことができる。
【0031】
書込電流生成回路C2には、nチャネル型のMOSFETTr8,Tr9,Tr10,Tr11,Tr12を有する。Tr8およびTr9のドレインはVddに接続される。Tr8およびTr9のソースは各々Tr10およびTr11のドレインに接続され、Tr10およびTr11のソースが互いに接続されてTr12のドレインに接続される。Tr12のソースは接地される。Tr8およびTr11のゲートには入力信号INが入力され、Tr9およびTr10のゲートには入力信号INバーが入力される。Tr8のソースとTr10のドレインの接続部はデータ書き込み線DWLの出力ノードn3であり、また、Tr9のソースとTr11のドレインの接続部はDWLの出力ノードn4である。たとえば入力信号INがHighレベルにあるときTr8はオン状態でありn3は電位Vddの電源につながる(INバーはLowレベルなのでTr10はオフ状態である)。一方、Tr11はオン状態であるからTr12がオン状態の時にはn4は接地につながる。つまりこの状態の場合DWLには矢印の正方向に電流i(i>0)が流れる。逆に入力信号INがLowレベルの時にはDWLには矢印の逆方向に電流iが流れる。Tr12のゲートには制御信号DATAGETが入力される。DATAGETとしてHighレベルが印加されている期間にのみDWLに書き込み電流が流れる。
【0032】
なお、ここでは書込電流生成回路C2として上記のような構成を例示するが、入力信号INあるいはINバーに応答して、書き込みデータ線DWLに流れる電流の方向を制御できる回路である限り、前記構成に代えることができる。
【0033】
図2は、本実施の形態の不揮発性ラッチ回路の一部を例示した平面図(a)および断面図(b)である。図2では、不揮発性ラッチ回路の全体を示しているわけではない。また、図示する不揮発性ラッチ回路の一部は、単一の半導体基板(チップ)に形成されるロジック回路の一部を構成する。なお、図2(b)の断面図は、図2(a)の平面図におけるb−b線断面を示す。
【0034】
半導体基板1上には素子分離領域2が形成され、素子分離領域2で囲まれた活性領域3に不揮発性ラッチ回路を構成するMOSFETが形成される。MOSFETは前記したTr1等である。
【0035】
半導体基板1はたとえば単結晶シリコンからなる。MOSFETがnチャネル型の場合、半導体基板1自体がp型であるか、半導体基板1にp型ウェル領域が形成される。MOSFETがpチャネル型の場合、半導体基板1自体がn型であるか、半導体基板1にn型ウェル領域が形成される。
【0036】
素子分離領域2はたとえば酸化シリコンからなる。素子分離領域2はたとえば半導体基板1の表面に溝を形成した後に酸化シリコン膜をCVD(Chemical Vapor Deposition)法等により形成し、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用いて溝以外の領域の酸化シリコン膜を除去して形成される。活性領域3は、素子分離領域2で囲まれた領域である。
【0037】
活性領域3上にはMOSFETのゲート絶縁膜4が形成され、その上にさらにMOSFETのゲート電極5が形成される。ゲート電極5の両側の活性領域3の表面付近には、MOSFETのソースまたはドレインとなる半導体領域6が形成される。ゲート電極5は、たとえば低抵抗化された多結晶シリコン膜で形成される。低抵抗化のためには、たとえばボロンまたはリンが高濃度にドープされる。なお、多結晶シリコン膜の低抵抗化のために表面を金属シリサイド化しても良く、また中間層を介してタングステン等の金属を表面に形成しても良い。ゲート絶縁膜4は、たとえば熱酸化法あるいは熱CVD法等で形成されたシリコン酸化膜である。半導体領域6には、MOSFETがnチャネル型の場合、たとえばリン等のn型不純物がドープされる。MOSFETがpチャネル型の場合、ボロン等のp型不純物がドープされる。半導体領域6の表面は低抵抗化あるいはコンタクト抵抗の低減のために金属シリサイド化されても良い。なお、半導体領域6はゲート電極をマスクに用いて自己整合で形成される。
【0038】
半導体領域6の上部にはプラグ7を介して第1層金属配線M1(8)が形成される。プラグ7と配線M1の形成には、ダマシンプロセスを用いることができる。つまり、シリコン酸化膜等からなる層間絶縁膜を堆積後、その表面をたとえばCMP法で平坦化し、接続孔あるいは配線溝をたとえばドライエッチング法で形成する。その後導電材料(たとえばタングステン、銅、アルミニウム等)を堆積し、接続孔、配線溝以外の領域の層間絶縁膜表面の余分な導電材料をたとえばCMP法で除去する。これらダマシンプロセスは後に説明する配線、プラグ等の形成にも適用できる。後述の説明においてダマシンプロセスの説明は省略する。
【0039】
第1層金属配線M1の上部にはプラグ9を介して第2層金属配線M2(10,11)が形成される。M2には、データ書き込み線DWLを含む。データ書き込み線DWLは図2(a)の平面図に図示するようにU字型にパターニングされる。一般にMTJのピン層の磁化方向は、外部磁界を加えた状態で、温度を上昇しさらに下降させることにより揃えられる。すなわち、反強磁性体の常磁性状態への磁気転移温度であるネール温度以上に一旦温度を上昇し、このネール温度以上の温度から外部磁界を印加しつつ温度を下降させることにより、磁化方向を揃える。図2(a)の場合、ピン層の磁化方向はx方向またはその負の方向に揃えて形成される。このような状況下で、DWLのある方向に電流を流せば、その磁界によってフリー層の磁化方向がMTJ0とMTJ1とでは相反する方向になる。すなわち前記した通り、MTJ0とMTJ1の抵抗値の大小関係を生ずることができ、DWLの通過電流方向によってその大小関係を反転させることができる。
【0040】
第2層金属配線M2の上部には、絶縁膜を介してローカル配線12が形成され、ローカル配線12上には磁気抵抗素子MTJ0,MTJ1が形成される。さらにMTJ0,MTJ1の上部には、第3層金属配線M3が形成される。
【0041】
M2とローカル配線12との間の絶縁膜の膜厚は、たとえば50〜100mと薄くする。十分に薄い膜厚とすることにより、DWLによって生成される磁界が十分な大きさでMTJ0,MTJ1のフリー層に達するようにする。また、十分薄い膜厚とすることにより、ローカル配線12に接続するためのコンタクトホールにプラグ(スタッド)等の接続部材を形成する必要がなくなる。
【0042】
図示するようにMTJ0,MTJ1は、DWLの上部に形成される。すなわち、DWLにより生成される磁界の影響を受ける位置に形成される。MTJ0,MTJ1は、前記のとおり強磁性体のフリー層13、絶縁層14、強磁性体のピン層15、反磁性層16を含む。これら各層あるいはその上下端層に適当な中間層を設けても良い。フリー層13およびピン層15にはたとえばコバルト(Co)膜を用い、反磁性層16にはたとえばFeMn膜を用いることができる。また、絶縁層14には、シリコン酸化膜あるいはアルミナ(Al2O3)膜を用いることができる。これら薄膜はスパッタ法あるいはCVD法を用いて形成できる。なお、フリー層13とローカル配線12との間および反磁性層16の上層にチタン等の金属層を形成しても良い。
【0043】
また、図示するようにMTJ0およびMTJ1は、第2層金属配線M2と第3層金属配線との間の層間絶縁膜に形成される。このため、MTJにのみ占有されるデバイスの平面積は実質的にゼロであり、MTJを形成することによる面積的なデメリットはほとんどない。また、MTJを形成するために必要なフォトマスクは、ローカル配線12と第2層金属配線10とを接続するためのコンタクトホール形成のためのマスクと、ローカル配線12をパターニングするためのマスクと、MTJの各層をパターニングするためのマスクとの高々3枚である。全ての製造プロセスに占める割合からすると、この3枚のマスクに対応するフォトリソグラフィプロセスの追加は十分小さいレベルであり、従来のロジック回路の製造プロセスと比較して本実施の形態の不揮発性ラッチ回路の製造プロセスにおける工程負荷の増加は小さいといえる。しかも、MOSFETを製造した後の工程は、CVD、スパッタ等400℃以下の低温プロセスであり、MTJを形成することによるMOSFETの劣化の心配もない。
【0044】
上記のようなデバイス構成により、図1に示す不揮発性ラッチ回路が実現できる。ただし、図2に示したデバイス構成はあくまでも例示であり、他の構成によって図1の回路を実現することも可能である。
【0045】
次に、本実施の形態の不揮発性ラッチ回路の動作を説明する。図3は、不揮発性ラッチ回路の動作を説明するためのタイミングの一例を示した図である。まず、データ書き込み動作を説明する。
【0046】
時刻t1で入力信号INおよびINバーが入力され、時刻t1〜t4の間、図示するようにINはHighレベル、INバーはLowレベルに維持されたとする。時刻t1〜t4の間、図1に示すTr8およびTr11はオン状態、Tr9およびTr10はオフ状態になる。時刻t1〜t2の間はノードn3の電位はVdd−Vthであるが(ここで、VthはTr8等トランジスタのしきい値電圧である)、Tr12がオフ状態であるのでノードn4の電位もVdd−Vthであり、データ書き込み線DWLには電流は流れない。
【0047】
時刻t2で制御信号DATAGETがHighレベルに変わるとTr12がオン状態になる。この時点でn4の電位が接地電位に向かって下がり、DWLにデータ書き込み電流が流れ出す。電流の方向は矢印の方向である。DWLへの電流通過によりDWL周辺に磁界を発生させ、トンネル磁気抵抗素子MTJ0,MTJ1のフリー層の磁化方向を変化あるいは維持させる。なお、ピン層の磁化方向は、前記したINおよびINバーの状態の場合にMTJ0の抵抗値がMTJ1に比較して小さくなるようなフリー層およびピン層の磁化方向関係となるよう予め決定されているとする。
【0048】
時刻t3でDATAGETがLowレベルになるまでデータ書き込み電流が維持される。電流はMTJ0,MTJ1のフリー層の磁化方向が変化するに必要な最小時間以上流す必要があるので、時刻t3にはそのような最小時間を確保できる時間を設定する。磁化反転に必要な時間(t3−t2の最小時間)は1ns以下で良いことは前記したとおりである。
【0049】
このようにして入力信号状態がMTJ0,MTJ1に反映され、データ書き込み動作が終了する。なお、入力信号は時刻t3以降も所定のデータホールドタイムを確保するため、時刻t4まで維持される。なお、時間(t3−t1)はデータセットアップタイムであり、時間(t4−t3)はデータホールドタイムである。
【0050】
本実施の形態の書き込み動作では、入力信号が入力されただけではDWLに電流は流れず、DWLへの電流印加は制御信号DATAGETのみによって制御される。よって、入力信号に要求されるタイミング仕様は所定のデータセットアップタイムおよびデータホールドタイムを確保するだけであり、INとINバーのタイミングを完全に一致させる必要がない。また、DATAGET信号がHighレベルにある時間はMTJのスイッチングタイム以上であれば良く、Tr12によってその時間を最小限に制御することができる。これによりデータ書き込みにかかる消費電流を最小限に抑制することが可能になる。なお、消費電流および入力信号のタイミングを考慮しなければTr12は特に必要ではない。
【0051】
次に、MTJからの情報の読み取り動作を説明する。時刻t5で制御信号REFRESHNがHighレベルからLowレベルに変化し、時刻t7でHighレベルに復帰する場合を考える。
【0052】
時刻t5以前では、Tr5およびTr6はオフ状態であり、Tr7はオン状態であるので、MTJへの書き込みに関わらずそれ以前の状態が保持されている。なお、Tr7がオン状態であってもTr1およびTr2、Tr3およびTr4がC−MOS構造を持つので電流は流れず、消費電流は節約されている。
【0053】
時刻t5でREFRESHNがLowレベルに変わると、Tr5およびTr6がオン状態に、Tr7がオフ状態に変わる。Tr5およびTr6がオン状態、Tr7がオフ状態であるので、ノードn1およびn2の電位がVddになり、その結果Tr2およびTr4がオン状態になる。したがって、Tr2およびMTJ0を通して、また、Tr4およびMTJ1を通して、SETはVdd−Vthにプリチャージされる。同時にTr7がオフ状態になるのでこのプリチャージによる定常電流は流れない。このためリフレッシュ(データ読み取り)時の消費電流を最小限に抑制できる。
【0054】
プリチャージ以前のn2およびn1の電位(出力信号OUTおよびOUTバー)が図3に示すように各々LowレベルおよびHighレベルであったとすると、プリチャージによりOUT(ノードn2)がHighレベルに変化する。図3ではプリチャージに要する時間をt6−t5としている。
【0055】
時刻t7でREFRESHNがHighレベルに変わると、Tr5およびTr6がオフ状態に、Tr7がオン状態に変わる。この状態では、Tr1およびTr2、Tr3およびTr4がインバータとしての動作を開始し、ノードn1とノードn2の何れか一方がHighレベルに、他方がLowレベルになろうと動作する。この過渡状態における初期では、n1およびn2の何れもがHighレベルにあるためTr2およびTr4の何れもがオン状態にあり、またTr7もオン状態にあるためn1およびn2の電位は回路の時定数に従って接地電位に遷移する動作に入る。n1およびn2の何れか先に電位が低下した方がTr2あるいはTr4をオフ状態にして定常状態になる。Tr2が先にオフ状態に入った場合はn1がHighレベル、n2がLowレベルの定常状態になる。Tr4が先にオフ状態に入った場合はn1がLowレベル、n2がHighレベルの定常状態になる。つまり、Tr1およびTr2、Tr3およびTr4からなる回路は、ノードn1およびn2の電位差をロジックレベルに増幅するセンス回路の役割を持つ。なおこの回路において、その状態遷移の期間にのみ電流が流れ、状態が安定化している期間には電流が流れないので、電力消費は極めて小さくなる。
【0056】
何れのノードが先に電位が低下するかは前記した通り回路の時定数で決まる。n1の時定数は、主にMTJ0の抵抗値と、Tr2およびTr7のオン抵抗と、浮遊容量とで決定され、n2の時定数は、主にMTJ1の抵抗値と、Tr4およびTr7のオン抵抗と、浮遊容量とで決定される。回路の浮遊容量はあまり大きくなく、回路を対称形に作れば、n1側とn2側の浮遊容量はほぼ同じになるので、ほぼMTJの抵抗値で時定数の違いが決まる。前記した状態では、MTJ0の方が抵抗値が小さいので、n1の電位の方が先に低下し、Tr4が先にオフ状態になる。つまりn2(OUT)がHighレベルにn1(OUTバー)がLowレベルに定常化する。図3では、この遷移時間をt8−t7としている。
【0057】
上記のように、MTJに記録された状態を読み出して出力信号OUTおよびOUTバーとして出力する。この読み出し動作はREFRESHN信号を契機に行うが、たとえば電源投入を契機に読み出しを行うことも可能である。また、前記したプリチャージ動作の際、ノードn1およびn2の電位は必ずしも一致する必要がない。つまり、プリチャージ動作の途中でも、インバータペアからなるラッチ回路がプリチャージ後にMTJの抵抗値の相違を反映した状態になるようにn1およびn2の電位が上がっていれば良いので、Tr2およびTr4がともに十分なオン状態になる電位を実現できる限り、たとえばTr7を抵抗素子等の電流制限素子に置き換えることができる。また、Tr5とTr6の駆動力を十分に大きくできる場合は、SETノードを接地電位に直結することも可能である。
【0058】
なお、制御信号DATAGETのHigh状態とREFRESHNのLow状態とを時間的に重ね合わせることができる。重ね合わせの条件として、REFRESHNの立上りエッジまでに、MTJの状態が確定するようになっていることが必要である。
【0059】
また、DATAGETのHigh状態とREFRESHNのLow状態は時間的に任意に離すことができる。すなわち、入力データの取り込みタイミングと出力データを有効にするタイミングとを任意に設定することが可能である。これにより、本回路をマスタースレーブタイプのフリップフロップのように動作させることが可能になる。
【0060】
なお、図4に上記読み出し動作を実際のデバイスに当てはめた場合のシミュレーション結果を示す。縦軸は電圧であり、横軸は時間である。9.0nsの時刻にREFRESHN信号をLowレベルにし始め、約9.5nsでREFRESHN信号はほぼLowレベルに達する。OUT(n2電位)およびOUTバー(n1電位)はREFRESHN信号に約0.2ns遅れて変化し、約9.7nsでプリチャージが終了している。SETの電位もほぼこの動作に追随する。時刻11.0nsでREFRESHN信号をHighレベルにし始めると、約0.2ns遅れてOUT(n2電位)およびOUTバー(n1電位)が低下し始め、約11.3nsの時点でOUTバー(n1電位)がHighレベルにOUT(n2電位)がLowレベルに分かれて11.7nsには定常状態に達する。なお、このシミュレーションでは、REFRESHNの立上り時間、立下り時間を0.5nsとしているが、これらを小さくすることによりさらに回路の動作を速くすることができる。
【0061】
このように、実際のデバイスに当てはめてみても、本実施の形態の不揮発性ラッチ回路の動作は1ns以下の遷移時間で完了でき、高速動作を実現できることがわかる。したがって、ロジック回路内のかなりのラッチやフリップフロップを本発明の不揮発性ラッチ回路で置き換えることができる。しかも原理的に電源電圧を遮断しても入力信号の状態はMTJに保持され、電源再投入後にその状態を再現することが可能である。なお、電源再投入時の電源の立ち上がりに伴って、MTJ素子に記憶された状態がラッチ回路C1の出力に自動的に反映される。しかし、念のために電源安定後にREFRESHNのLowパルスを生成してもよい。
【0062】
また本実施の形態の不揮発性ラッチ回路では、不揮発性の記憶素子(MTJ)が各ラッチ回路に各々配置される。このためデコーダ等を用いてメモリセルアレイから情報を読み取る必要はない。つまり、電源遮断前にラッチ状態をメモリセルアレイに書き込む必要がない。そもそも前記した通り、ラッチ動作と完全に同期した状態で情報がMTJに記録されるので、これら情報退避処理を行う必要性が全くない。
【0063】
また、本実施の形態の不揮発性ラッチ回路では、マスタースレーブラッチとしてラッチのタイミングと出力を有効にするタイミングとを自由に設定できるので、柔軟で効率の良いロック回路の設計が可能になる。
【0064】
また、本実施の形態のMTJはロジック回路の配線層に形成される。このためMTJを形成する面積的なデメリットは存在せず、高集積化に容易に対応できる。また、MTJの形成は低温プロセスで実現できるので、MTJを形成することによるトランジスタの性能低下の心配もない。また、MTJを形成するための工程負荷も限られたものであり、製造工程上のデメリットも小さい。
【0065】
また、前記した通り、本実施の形態の不揮発性ラッチ回路に必要な電源電圧はロジック回路の動作に必要なVddのみである。フラッシュEEPROM等に要求される高い電圧は必要ない。
【0066】
以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更することが可能である。
【0067】
たとえば、前記実施の形態では、抵抗素子としてMTJのペアを例示したが、その一方の抵抗のみがスピンバルブ素子であっても良い。図5は抵抗ペアのうち、一方が純抵抗R、他方がトンネル磁気抵抗素子MTJである場合を例示した回路図である。この場合、データ書き込み線DWLを図2に示すようなU字型にする必要がない。なお、図5に示す場合は、MTJの抵抗値変化がRhとRlの間で変化するとすれば、Rh>R>Rlの関係を満たす必要がある。ただしRは純抵抗Rの抵抗値である。
【0068】
また、前記実施の形態では、データ書き込み線DWLが1本の場合を例示したが、データ書き込み線を複数本で構成しても良い。図6は、データ書き込み線がDWL1とDWL2の2本で構成された場合を例示した回路図である。この場合、DWL1とDWL2とは互いに直交させ、あるいは平行に配置して、その合成磁界によってMTJのフリー層を磁化することができる。これにより書き込み電流を小さくすることが可能になる。なお、図示するTr13、Tr14による回路は、DWL2に流す書き込み補助電流を生成する回路の例である。この例を図1あるいは図5の例に適用できることは勿論である。また、図6の例に示す複数本のデータ書き込み線を図5の例に適用できることも言うまでもない。
【0069】
また、信号出力部にバッファを設けること、信号出力がOUTもしくはOUTバーの何れか一方のみでもよいこと、入力信号INあるいはINバーの一方からインバータを用いて他方の入力信号を生成できること、若干の配線変更とともにpチャネル型MOSFETとnチャネル型MOSFETとを入れ替えたり、nチャネル型MOSFETの代わりにpチャネル型MOSFETを使用すること、入力信号とDATAGET信号の単純なAND回路によって書込電流生成回路を一時停止する回路とすること等、その他の変更が可能なことは言うまでもない。
【0070】
また、前記実施の形態では、データ書き込み線DWLをMTJとは電気的に絶縁した状態で配置した例を説明したが、MTJに接して形成されても良く、この場合、データ書き込み以外の用途に配線が用いられても構わない。
【0071】
また、MTJの記憶状態には「0」または「1」の2値の場合を例示した。磁化の状態に中間値を持たせてもよい。ただし、MTJ0とMTJ1との抵抗値の大小関係は明確に保持されるものとする。
【0072】
前記した実施の形態における各部材の材料はあくまでも例示である。所定の性能が達成できる限り他の材料を用いることも可能である。たとえば半導体材料はシリコンに限らず、化合物半導体を用いることも可能である。
【0073】
【発明の効果】
本願で開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果は、以下の通りである。すなわち、ロジック回路内に不揮発性メモリ回路(ラッチ回路、フリップフロップ回路)を個別に配置することができる。また、本発明の不揮発性ラッチ回路を適用したロジック回路全体の動作速度を損なうことがない。また、不揮発性ラッチ回路の記憶素子にデータを記録するための高い供給電圧は不要である。さらに、突然の電源遮断に対しても電源再投入後の復帰が直ちに行われる不揮発性ラッチ回路を提供できる。また、不揮発性メモリ素子を設けることによる製造工程上の不利益が小さい不揮発性ラッチ回路を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である不揮発性ラッチ回路の一例を示した回路図である。
【図2】本発明の一実施の形態である不揮発性ラッチ回路の一部を例示した平面図(a)および断面図(b)である。
【図3】不揮発性ラッチ回路の動作を説明するためのタイミングの一例を示した図である。
【図4】上記読み出し動作を実際のデバイスに当てはめた場合のシミュレーション結果を示す図である。
【図5】抵抗ペアのうち、一方が純抵抗R、他方がトンネル磁気抵抗素子MTJである場合を例示した回路図である。
【図6】データ書き込み線がDWL1とDWL2の2本で構成された場合を例示した回路図である。
【符号の説明】
1…半導体基板、2…素子分離領域、3…活性領域、4…ゲート絶縁膜、5…ゲート電極、6…半導体領域、7,9…プラグ、12…ローカル配線、13…フリー層、14…絶縁層、15…ピン層、16…反磁性層、C1…センス・ラッチ回路部、C2…書込電流生成回路、DATAGET…制御信号、DWL…データ書き込み線、IN、INバー…入力信号、INV1,INV2…インバータ回路、M1…第1層金属配線、M2…第2層金属配線、M3…第3層金属配線、MTJ0,1…トンネル磁気抵抗素子、OUT,OUTバー…出力信号、R…純抵抗、REFRESHN…制御信号、Tr1,3,5,6…pチャネル型MOSFET、Tr2,4,7,8〜12…nチャネル型MOSFET、Vdd…電源電圧、Vss…接地電位、i…電流、n1〜4…ノード、t1〜8…時刻。
Claims (8)
- 第1電位に保持される第1電源供給ノードと、
前記第1電位とは相違する第2電位に保持される第2電源供給ノードと、
第1出力信号を生成する第1出力ノードと、
前記第1出力信号とは相違する第2出力信号を生成する第2出力ノードと、
一方の電源端が前記第1電源供給ノードに接続され、入力が前記第1出力ノードに接続され、出力が前記第2出力ノードに接続された第1インバータと、
一方の電源端が前記第1電源供給ノードに接続され、入力が前記第2出力ノードに接続され、出力が前記第1出力ノードに接続された第2インバータと、
一端が前記第1インバータの他方の電源端に接続され、他端が前記第2電源供給ノード側に接続された第1抵抗素子と、
一端が前記第2インバータの他方の電源端に接続され、他端が前記第2電源供給ノード側に接続された第2抵抗素子と、
一方のソースまたはドレイン端が前記第1電源供給ノードに接続され、他方のソースまたはドレイン端が前記第1出力ノードに接続され、その制御端子への制御信号の入力により前記第1出力ノードを前記第1電位の方向にプリチャージする第1トランジスタと、
一方のソースまたはドレイン端が前記第1電源供給ノードに接続され、他方のソースまたはドレイン端が前記第2出力ノードに接続され、その制御端子への制御信号の入力により前記第2出力ノードを前記第1電位の方向にプリチャージする第2トランジスタと、を有し、
前記第1抵抗素子または第2抵抗素子の少なくとも一方の抵抗素子が、ピン層およびフリー層の相対的磁化方向関係によってその抵抗値が変化するスピンバルブ素子であり、前記スピンバルブ素子の抵抗値変化によって前記第1抵抗素子および第2抵抗素子の抵抗値の大小関係が逆転するものであり、
前記第1抵抗素子および前記第2抵抗素子は、前記第1インバータおよび前記第2インバータを構成するトランジスタ、前記第1トランジスタまたは前記第2トランジスタが形成された半導体基板の上層に形成された複数の配線層の間に形成されたものである不揮発性ラッチ回路。 - 前記第1および第2抵抗素子と前記第2電源供給ノードとの間に、前記プリチャージにより前記第1および第2抵抗素子に流れる電流を制限する電流制限素子をさらに有する請求項1記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記電流制限素子は、その制御端子の入力を第2制御信号とする第3トランジスタであり、前記第2制御信号を入力することにより、前記第3トランジスタをオフ状態にするものである請求項2記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記第3トランジスタのオフ期間は、前記第1および第2トランジスタのオン期間を含む、または、一致する請求項3記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記第1および第2抵抗素子は、トンネル磁気抵抗素子である請求項1記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記第1抵抗素子または第2抵抗素子の何れか一方の抵抗素子はトンネル磁気抵抗素子であり、他方の抵抗素子は固定抵抗値の抵抗素子である請求項1記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記トンネル磁気抵抗素子のフリー層は、単一または複数のデータ書き込み線を流れる電流により生成される磁界または合成磁界に応じて磁化される請求項5または6記載の不揮発性ラッチ回路。
- 前記データ書き込み線を流れる前記電流は、第3制御信号を制御入力とする第4トランジスタによってオンまたはオフにされる請求項7記載の不揮発性ラッチ回路。
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