JP3834417B2 - 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 - Google Patents
圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3834417B2 JP3834417B2 JP06664298A JP6664298A JP3834417B2 JP 3834417 B2 JP3834417 B2 JP 3834417B2 JP 06664298 A JP06664298 A JP 06664298A JP 6664298 A JP6664298 A JP 6664298A JP 3834417 B2 JP3834417 B2 JP 3834417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- piezoelectric device
- insulating film
- piezoelectric
- plate member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面実装型圧電部品に関し、特に圧電振動子等の圧電デバイスを収容するパッケージの構造、このパッケージの製造方法およびこのパッケージを用いた圧電部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、表面実装型の圧電部品は、セラミックス等の絶縁材料からなる容器(以下、「容器」をパッケージという)の内部に水晶振動子等の圧電素子を収容し、金属製あるいはセラミックス製の蓋部材を用いて気密に封止する構成のものが一般に知られている。
【0003】
図9は上記パッケージの構造を示す側面断面図である。一般にセラミックス製のパッケージは、底部を構成する板部材16と、胴部を構成する下枠部材17および上枠部材18とを積層し、これらを焼成して一体化することによって製造される。また、セラミックは表面が粗い物質であるため、板部材と枠部材との積層間には、そのすき間を埋めるためにアルミナ等の絶縁材料による絶縁膜19、20が介挿される場合がある。このようなパッケージを圧電素子用のパッケージとして利用する場合、圧電素子をパッケージ内に固定する方式として、いわゆる両持ち方式と片持ち方式とがある。
【0004】
両持ち方式の表面実装型圧電部品は図10に示すように、パッケージ内に収容される圧電素子21の一対のリード電極21a、21bが圧電素子両端に延在するよう形成するとともに、下枠部材17の上面の一部をパッケージ内部に露出せしめ、その露出した下枠部材の上面に圧電素子21のリード電極21a、bに対応して一対の固定電極22a、22bを設け、前記リード電極21a、21bとを接続することによって、圧電素子を両端固定により保持する。
【0005】
しかしながら、セラミックス等のパッケージと水晶振動子等の圧電素子とは熱膨張係数が異なるため、圧電素子を保持したパッケージ周囲の雰囲気温度が変化すると、温度変化による熱膨張に起因して圧電素子に応力が生じ、それにより周波数変化が生じて周波数温度特性に影響を及ぼすという問題点があり、最悪の場合には圧電素子に生じた熱応力により圧電素子が破壊される。
【0006】
一方、片持ち方式の表面実装型圧電部品は図11に示すように、パッケージ内に収容される圧電素子23の一対のリード電極23a、23bが共に素子の一端に延在するよう形成され、これに対応して下枠部材の一方の表面には一対の固定電極24a、24bが設けられ、前記リード電極23a、23bと固定電極24a、24bとが接続されることによって、圧電素子の一辺のみが保持される。したがって、片持ち方式では水晶振動子が自由に振動できるのみならず、温度変化による熱応力に起因した周波数温度特性に及ぼす影響はほとんどない。ただし圧電素子の保持部に応力が集中するため、耐振性と耐衝撃製の点で問題がある。そこで、圧電素子の自由端である他端の下方に下枠部材の他方を枕部材として配設し、圧電素子の自由端の変位を制限することによって振動、衝撃等を吸収している。
【0007】
以上のような特徴から、表面実装型圧電部品としては片持ち方式のものが比較的優れており、主流となっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の表面実装型圧電部品のパッケージは、両持ち方式にあっては固定電極を、片持ち方式にあっては固定電極および枕部材を構成するため下枠部材を設け、上枠部材、下枠部材および板部材の三層構造で構成されている。
しかしながら、三層構造であるため大型化を招き、例えば実装部品の低背化が要求される移動体通信用には不適であるという問題があった。
【0009】
また、特開平3−88373号公報には、例えば図12に示すように、板部材16の表面に固定電極25および枕部材26をメタライズにより直接形成し、片持ち構造の圧電素子の一端を導電性接着剤を介して固定電極に接続して保持する構成の表面実装型圧電装置が開示されている。このように構成された圧電部品にあっては、圧電素子の自由端である他端の下には枕部材26を配設しているので、振動、衝撃等が作用した場合、他端の変位を制限することができ、一端と固定電極との接続部の損傷を防止することができる。また、前記下枠部材が不要となり、パッケージ厚みを比較的薄くすることができるので、低背性が要求される移動体通信機器等には好適である。
【0010】
しかしながら、板部材16上にメタライズにより金属層を形成する場合、金属層の層厚を大きくすることができず、したがって、板部材に反り等が生じる可能性がある場合、板部材と圧電素子との接触を避けるため、固定電極および枕部材を所望の高さを有するように構成する必要があるが、メタライズのみでは、固定電極および枕部材の厚みを厚く設定したり、自由に設定することが困難であるとともに、メタライズ工程という余分な製造工程を要するという問題点があった。
【0011】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、圧電素子の特性に影響を及ぼすことなくパッケージ厚みを薄くすることができる耐振性と耐衝撃性が良好な圧電部品を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の請求項1記載の圧電デバイス用パッケージは、当該パッケージの底部し、焼成されたグリーンシートからなる板部材と、当該パッケージの胴部を構成し、焼成されたグリーンシートからなる枠部材と、前記板部材と枠部材との間に設けられ、パッケージ外周からパッケージ内部の所定位置に至るまで形成され、絶縁ペーストを熱処理することにより形成される絶縁膜と、この絶縁膜上のパッケージ内部にて露出する面に形成される固定電極とを備え、前記板部材と前記枠部材との間の前記絶縁膜は、前記板部材と前記枠部材とのすき間を埋め、前記パッケージの内部の前記絶縁膜は、前記板部材上から一定の厚みをもって形成されていることを特徴としている。
【0013】
また、本発明の請求項2記載の圧電デバイス用パッケージは、前記パッケージ内部の所定位置は、少なくとも圧電デバイスを収容した場合における当該デバイスの長手方向端部に相当する位置であることを特徴としている。
また、本発明の請求項3記載の圧電デバイス用パッケージは、前記板部材、枠部材および絶縁膜はいずれも同一の絶縁材料(セラミック材料)からなることを特徴としている。
【0014】
また、本発明の請求項4記載の圧電部品は、請求項1、2または3記載の圧電デバイス用パッケージに圧電デバイスを収容してなる圧電部品であって、前記圧電デバイスが両持ち構造である場合において、前記固定電極は上記対向する絶縁膜上面の両方に形成され、前記圧電デバイスの端部に形成されたリード電極と接続固定されることを特徴としている。
【0015】
また、本発明の請求項5記載の圧電部品は、請求項1、2または3記載の圧電デバイス用パッケージに圧電デバイスを収容してなる圧電部品であって、前記圧電デバイスが片持ち構造である場合において、前記固定電極は上記対向する絶縁膜上面の一方に形成され、前記圧電デバイスの端部に形成されたリード電極と接続固定されるとともに、前記対向する絶縁膜上面の他方を前記圧電デバイスの枕部材となることを特徴としている。
【0016】
また、本発明の請求項6記載の圧電デバイス用パッケージの製造方法は、前記パッケージの底部を構成する板部材となるグリーンシートに絶縁ペーストを印刷して、前記パッケージの外周から前記パッケージの内部の所定位置に至る絶縁パターンを形成する工程と、前記絶縁パターンの表面に電極パターンを形成する工程と、前記絶縁パターンの外周部に、前記パッケージの枠部材となるグリーンシートを一体化し、積層部材を形成する工程と、前記積層部材を焼成することで、前記絶縁パターンと前記電極パターンとを熱処理し、一体化後のパッケージの底部表面に露出する絶縁膜と固定電極とを形成する工程とを含むことを特徴としている。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
(第1実施例)
本発明に係わる圧電デバイス用パッケージを片持ち方式の圧電振動子に適用した第1実施例について、図1から図6を用いて説明する。
【0018】
図1に示すように、表面実装型圧電振動子は、水晶振動子1と、この水晶振動子1を収容するパッケージ2と、パッケージ2を気密封止する蓋部材3とを有している。パッケージ2は、アルミナ製であり、底部を構成する板部材4と、胴部を構成する枠部材5とを有し、板部材4と枠部材5との間には絶縁膜6が設けられており、この絶縁膜6の一部はパッケージ内部にて露出している。
【0019】
この露出した絶縁膜6のうち、水晶振動子の一端1aに対応する一方の絶縁膜6a表面には、一対の固定電極7a、7bが設けられ、また、前記露出した絶縁膜6のうち、水晶振動子1の他端1bに対応する他方の絶縁膜6bは、この水晶振動子1の自由端の下方に位置しており、これが枕部材として作用する。
固定電極7a、7bは、水晶振動子1に形成されたリード電極(図示せず)に導電性接着剤8等により電気的に接続され、水晶振動子1を片持ち状態で保持するとともに、板部材4の裏面に設けられたプリント基板等に搭載するための接続電極9と電気的導通のとれた状態となっている。また、パッケージ胴部を構成する枠部材5の上端部にはパッケージ2の内部を気密封止する蓋部材3が封止用低融点ガラス10により接着されている。
【0020】
以上のように構成した表面実装型圧電振動子は、板部材4と枠部材5とからなる2層構造であり、しかも固定電極7a、7bが絶縁膜6a上に形成されているので、パッケージ内底面である板部材4上から一定の厚みをもって形成されており、かつ枕部材として作用する絶縁膜6bの厚みを自由に設定することができるため、板部材が多少反っていても振動子がパッケージ底面に接触する恐れはないとともに、メタライズの工程が不要となり、安価にパッケージおよび圧電デバイスを製造することができる。
【0021】
次に上記パッケージの作製方法について説明する。
(1) アルミナ粉末にマグネシア、シリカ、カルシア等の焼結助剤を少量加えた粉体に、ジオクチルフタレート等の可塑剤、アクリル樹脂等のバインダおよびトルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤を加え、十分に混練して粘度2000〜40000cpsのスラリを作製し、ドクターブレード法によって例えば0.3mm厚の複数枚のアルミナのグリーンシートを形成する。
【0022】
(2) 各グリーンシートに打ち抜き型やパンチングマシーン等を用いて所望の形状に打ち抜き加工して、板部材4となるグリーンシートと、枠部材5となるグリーンシートとを作製する。
(3) 図2に示すように、板部材4となるグリーンシートの表面外周近傍に、上記の(1) で作製したアルミナのスラリと同様のアルミナペーストを印刷し、約30μm厚の絶縁パターン6を形成する。
【0023】
(4) 図3に示すように、絶縁パターン6の一端側の表面にタングステンやモリブデンの高融点金属の導体ペーストを印刷し、約30μm厚の電極パターン7a、7bを形成する。ここで、電極パターン7aは、絶縁パターン6の表面から端面4aを経由して板部材4となるグリーンシートの裏面まで形成される。また、電極パターン7bは、絶縁パターン6の表面から端面4bを経由して板部材4となるグリーンシートの裏面まで形成される。
【0024】
(5) 絶縁パターン6と電極パターン7a、7bとを形成したグリーンシート(図3参照)と、枠部材となるグリーンシート(図示せず)とを積層し、このグリーンシート積層体を例えば80〜150℃、50〜250kg/cm2 の条件で熱圧着して一体化する。
(6) 上記の(1) 〜(5) で作製したグリーンシート積層体を1400〜1600℃で焼成することにより、図4および図5に示すように、アルミナ製パッケージが得られる。アルミナ製パッケージ2は、板部材4と枠部材5の間に絶縁膜6が形成され、絶縁膜6の一端側の上面に固定電極7が形成され、さらに板部材4の裏面には固定電極7a、7bに導通する接続電極9a、9bが形成されている。固定電極7a、7bおよび接続電極9a、9bの表面には、通常、ニッケルまたは金、あるいはその両方がメッキ等にて形成される。図4に示すように、アルミナ製パッケージ2は、固定電極7aと固定電極7bとの水平方向の距離が比較的離れているので、両電極間の容量を低減することができる。
【0025】
(7) 図6に示すように、アルミナ製パッケージの固定電極7a、7bには水晶振動子1のリード電極を導通性接着剤8などにより接着して固定する。
(8) 水晶振動子1を収容したアルミナ製パッケージ2の開口端部にはアルミナ等のセラミックス製蓋部材3を封止用低融点ガラス10を用いて接着し、水晶振動子1を気密封止する。
【0026】
以上の(1) 〜(8) の工程により、図1に示すような表面実装型水晶振動子が得られる。このように製造されたパッケージでは、板部材と枠部材とを一体化する上で必要な絶縁膜を利用して、製造工数を増やすことなく固定電極面の高さを一定量確保することができる。
(第2実施例)
本発明を表面実装型水晶振動子に適用した第2実施例について、図7を用いて説明する。
【0027】
第2実施例の水晶振動子は、水晶振動子の他端に対応する絶縁膜の他端側6bの表面に、さらに約30μm厚の絶縁膜14を設けている。その他の構成は第1実施例と同様である。第1実施例と実質的に同一構成部分に同一符号を付す。このパッケージの場合、上記(3) の工程の後に再度アルミナペーストを印刷すればよく、(3) の工程を2回繰り返せばよいので製造は極めて簡単である。
【0028】
第2実施例においては、簡単な製造工程を追加するだけで枕部材の高さを微妙に高くすることができるので、振動、衝撃等が作用した場合、水晶振動子の他端の変位をさらに制限することができ、水晶振動子の一端と固定電極との接続部の損傷をさらに防止することができる。
(第3実施例)
本発明を表面実装型水晶振動子に適用した第3実施例について、図8を用いて説明する。
【0029】
第3実施例の水晶振動子は、水晶振動子の他端に対応する絶縁膜の他端側6bの表面に、さらに約30μm厚のダミー電極15を設けている。その他の構成は第1実施例と同様である。第1実施例と実質的に同一構成部分に同一符号を付す。このパッケージの場合、上記(4) の工程の際に固定電極7と同時にダミー電極15を形成することが可能であるので、製造工程を増やすことなく簡便に製造することができる。
【0030】
第3実施例においては、既存の製造工程で枕部材の高さを微妙に高くすることができるので、振動、衝撃等が作用した場合、水晶振動子の他端の変位をさらに制限することができ、水晶振動子の一端と固定電極との接続部の損傷をさらに防止することができる。
なお本発明の複数の実施例では、アルミナ等のセラミックス製蓋部材および封止用低融点ガラスを用いて水晶振動子を気密封止したが、本発明では、パッケージの開口端部に設けたコバール等のシールリングと、ニッケル、ステンレス、コバール、42アロイ等の金属からなる蓋部材とを溶接することにより、水晶振動子を気密封止してもよい。また、パッケージの開口部に設けたタングステン等の金属層にニッケルメッキまたは金メッキを施し、鉛錫共晶はんだ、金錫共晶はんだ、あるいは鉛と錫等の材料の比率を変更した高温はんだを封止用はんだとして用いてコバール、42アロイ等の金属からなる蓋部材や、封止部材となるところに導体ペーストが印刷、焼成されたセラミックス製蓋部材を接着することにより、水晶振動子を気密封止してもよい。
【0031】
また本発明の複数の実施例では、アルミナ製パッケージを用いたが、本発明はアルミナに限らず、窒化アルミ、ムライト、ガラス等のセラミックあるいはその他の絶縁材料製のパッケージを用いていもよい。
また本発明の複数の実施例では、圧電素子として表面実装型水晶振動子を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、四ほう酸リチウムもしくは圧電セラミックで構成する圧電振動子、弾性表面波素子等を用いた共振子もしくはフィルタにも適用可能である。
【0032】
また本発明の複数の実施例では、パッケージ内に圧電素子を単体で収容したものを例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、パッケージ内に圧電素子とともにIC等の発振回路を備えて構成した発振器等の圧電部品に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる圧電振動子パッケージの構成を示す断面図である。
【図2】本発明に係わる圧電振動子パッケージの構成を説明するための平面図である。
【図3】本発明の第1実施例の製造方法を説明するための平面図である。
【図4】本発明の第1実施例のアルミナ製パッケージを示す平面図である。
【図5】図4のV−V線断面図である。
【図6】本発明の第1実施例のアルミナ製パッケージに水晶振動子片を搭載した状態を示す断面図である。
【図7】本発明を表面実装型水晶振動子に適用した第2実施例を示す断面図である。
【図8】本発明を表面実装型水晶振動子に適用した第3実施例を示す断面図である。
【図9】従来の表面実装型圧電装置を示す断面図である。
【図10】従来の表面実装型圧電装置を示す断面図である。
【図11】従来の表面実装型圧電装置を示す断面図である。
【図12】従来の表面実装型圧電装置を示す断面図である。
【符号の説明】
1 水晶振動子
2 パッケージ
3 蓋部材
4 第1のセラミック層(板部材)
5 第2のセラミック層(枠部材)
6a 絶縁膜(台座)
6b 絶縁膜(枕部材)
7 固定電極
9 接続電極
Claims (6)
- 圧電デバイスを収容するパッケージであって、
当該パッケージの底部を構成し、焼成されたグリーンシートからなる板部材と、
当該パッケージの胴部を構成し、焼成されたグリーンシートからなる枠部材と、
前記板部材と枠部材との間に設けられ、パッケージ外周からパッケージ内部の所定位置に至るまで形成され、絶縁ペーストを熱処理することにより形成される絶縁膜と、
この絶縁膜上のパッケージ内部にて露出する面に形成される固定電極とを備え、
前記板部材と前記枠部材との間の前記絶縁膜は、前記板部材と前記枠部材とのすき間を埋め、
前記パッケージの内部の前記絶縁膜は、前記板部材上から一定の厚みをもって形成されていることを特徴とする圧電デバイス用パッケージ。 - 前記パッケージ内部の所定位置は、少なくとも圧電デバイスを収容した場合における当該デバイスの長手方向端部に相当する位置であることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス用パッケージ。
- 前記板部材、枠部材および絶縁膜はいずれも同一の絶縁材料からなることを特徴とする請求項1または2記載の圧電デバイス用パッケージ。
- 請求項1、2または3記載の圧電デバイス用パッケージに圧電デバイスを収容してなる圧電部品であって、
前記圧電デバイスが両持ち構造である場合において、
前記固定電極は上記絶縁膜上面の両方に形成され、前記圧電デバイスの端部に形成されたリード電極と接続固定されることを特徴とする圧電部品。 - 請求項1、2または3記載の圧電デバイス用パッケージに圧電デバイスを収容してなる圧電部品であって、
前記圧電デバイスが片持ち構造である場合において、
前記固定電極は上記絶縁膜上面の一方に形成され、前記圧電デバイスの端部に形成されたリード電極と接続固定されるとともに、前記絶縁膜上面の他方を前記圧電デバイスの枕部材としたことを特徴とする圧電部品。 - 圧電デバイスを収容するパッケージを製造する方法であって、
前記パッケージの底部を構成する板部材となるグリーンシートに絶縁ペーストを印刷して、前記パッケージの外周から前記パッケージの内部の所定位置に至る絶縁パターンを形成する工程と、
前記絶縁パターンの表面に電極パターンを形成する工程と、
前記絶縁パターンの外周部に、前記パッケージの枠部材となるグリーンシートを一体化し、積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成することで、前記絶縁パターンと前記電極パターンとを熱処理し、一体化後のパッケージの底部表面に露出する絶縁膜と固定電極とを形成する工程と、
を含むことを特徴とする圧電デバイス用パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06664298A JP3834417B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06664298A JP3834417B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11265955A JPH11265955A (ja) | 1999-09-28 |
JP3834417B2 true JP3834417B2 (ja) | 2006-10-18 |
Family
ID=13321766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06664298A Expired - Lifetime JP3834417B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3834417B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007037458A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Epson Toyocom Corporation | パッケージ及び電子デバイス |
JP2007142176A (ja) | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Seiko Epson Corp | 光モジュールの製造方法 |
JP2007140179A (ja) | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Seiko Epson Corp | 光モジュールおよびその製造方法 |
JP4868836B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2012-02-01 | 京セラ株式会社 | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電振動装置 |
JP5230330B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-10 | シチズンファインテックミヨタ株式会社 | 圧電デバイス |
JP2012209764A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
KR101532134B1 (ko) | 2013-06-03 | 2015-06-26 | 삼성전기주식회사 | 압전 소자 패키지 및 그 제조 방법 |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP06664298A patent/JP3834417B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11265955A (ja) | 1999-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5188752B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP3834417B2 (ja) | 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 | |
JP2009267866A (ja) | 圧電発振器 | |
JP5171148B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP6129491B2 (ja) | 多数個取り配線基板 | |
JP5101192B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP3981977B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2005268257A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP3046148B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2017130827A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP3937314B2 (ja) | 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP5005336B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP5368135B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2008252799A (ja) | 圧電デバイス | |
JP5188753B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2851745B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2011223425A (ja) | 電子部品素子収納用パッケージ | |
JP4113459B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP6305713B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージの製造方法 | |
JP4345971B2 (ja) | セラミックパッケージの製造方法 | |
JP4167614B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2006237274A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2000294664A (ja) | 電子部品用パッケージ | |
JP4777616B2 (ja) | 電子部品用パッケージの製造方法 | |
JP2005244146A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置ならびに電子装置の実装構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728 Year of fee payment: 7 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |