JP5230330B2 - 圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5230330B2 JP5230330B2 JP2008255781A JP2008255781A JP5230330B2 JP 5230330 B2 JP5230330 B2 JP 5230330B2 JP 2008255781 A JP2008255781 A JP 2008255781A JP 2008255781 A JP2008255781 A JP 2008255781A JP 5230330 B2 JP5230330 B2 JP 5230330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- piezoelectric device
- piezoelectric
- stress
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
10 第一基板
11 凹部(キャビティ)
12 マウント電極
13 外部電極
14 引き回し配線
15 貫通電極
16a 第一の絶縁層
16b 第二の絶縁層
16c 第三の絶縁層
16d 第四の絶縁層
16e 第五の絶縁層
20 第二基板
30 圧電振動素子
100 圧電デバイス
110 半導体基板
111 凹部
112 実装用端子
113 外部接続端子
114 引き回し配線
115 貫通電極
120 蓋部材
130 圧電振動素子
200 圧電発振器
210 パッケージ
220 集積回路
230 圧電振動子
Claims (26)
- 第一基板と第二基板からなるパッケージ内に、圧電振動素子を収納した圧電デバイスであって、前記パッケージの互いに異なる表面にそれぞれ前記パッケージの反りを相殺する、引張応力材料及び/又は圧縮応力材料からなる応力膜が形成され、前記互いに異なる表面の少なくとも一方の前記応力膜は積層されていることを特徴とする圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第一基板に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板に前記圧電振動素子を収納するキャビティが形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第一基板のキャビティ内面に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第一基板のキャビティ外面に形成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板が導電性材料からなることを特徴とする請求項1〜5の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板が金属材料からなることを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板が半導体材料からなることを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板が絶縁性材料からなることを特徴とする請求項1〜5の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板がセラミックからなることを特徴とする請求項9に記載の圧電デバイス。
- 前記第一基板がガラスからなることを特徴とする請求項9に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜がポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、SiO2、SiNのうちの何れか一つ又は二つ以上から選択されるものであることを特徴とする請求項11に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第二基板に形成されていることを特徴とする請求項1〜12の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板に前記圧電振動素子を収納するキャビティが形成されていることを特徴とする請求項1〜13の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第二基板のキャビティ内面に形成されていることを特徴とする請求項14に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が前記第二基板のキャビティ外面に形成されていることを特徴とする請求項14又は15に記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板が導電性材料からなることを特徴とする請求項1〜16の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板が金属材料からなることを特徴とする請求項17に記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板が半導体材料からなることを特徴とする請求項17に記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板が絶縁性材料からなることを特徴とする請求項1〜16の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板がセラミックからなることを特徴とする請求項20に記載の圧電デバイス。
- 前記第二基板がガラスからなることを特徴とする請求項20に記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜が絶縁性材料からなることを特徴とする請求項1〜22の何れか一つに記載の圧電デバイス。
- 前記応力膜がポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、SiO2、SiNのうちの何れか一つ又は二つ以上から選択されるものであることを特徴とする請求項23に記載の圧電デバイス。
- 前記パッケージには前記圧電振動素子と電気的に接続された配線が設けられ、前記応力膜が当該配線と前記パッケージとの間に配置されていることを特徴とする請求項23又は24に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電振動素子が水晶からなることを特徴とする請求項1〜25の何れか一つに記載の圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008255781A JP5230330B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008255781A JP5230330B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010087929A JP2010087929A (ja) | 2010-04-15 |
JP5230330B2 true JP5230330B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=42251407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008255781A Expired - Fee Related JP5230330B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5230330B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021189817A1 (zh) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 | 封装结构、半导体器件和封装方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6257150B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2018-01-10 | セイコーインスツル株式会社 | 電子部品パッケージ及び電子部品パッケージの製造方法 |
JP7238438B2 (ja) | 2019-01-31 | 2023-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、振動モジュールおよび振動デバイスの製造方法 |
CN113328725B (zh) * | 2021-05-21 | 2024-04-05 | 武汉衍熙微器件有限公司 | 声波谐振结构、滤波器及声波谐振结构的制造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3834417B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2006-10-18 | 株式会社住友金属エレクトロデバイス | 圧電デバイス用パッケージおよびその製造方法 |
JP2000134055A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Tokyo Denpa Co Ltd | 圧電体用気密容器 |
JP2000165176A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Seiko Epson Corp | 圧電装置及びその製造方法 |
JP3473529B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2003-12-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
JP2002198767A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用容器 |
JP4039012B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2008-01-30 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電発振器 |
JP2003282790A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP4221756B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電発振器およびその製造方法 |
JP3781119B2 (ja) * | 2003-03-17 | 2006-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス用パッケージ及び圧電デバイス |
JP2005020547A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP4439291B2 (ja) * | 2004-02-24 | 2010-03-24 | 京セラ株式会社 | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 |
JP2005244543A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 |
JP2006279872A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子及びその製造方法並びにその圧電振動子を用いた圧電発振器の製造方法 |
JP2008042512A (ja) * | 2006-08-07 | 2008-02-21 | Nec Schott Components Corp | 電子部品用パッケージ |
JP2008131197A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 |
JP2009194091A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 電子部品、電子機器、及びベース部材製造方法 |
JP2008211806A (ja) * | 2008-03-06 | 2008-09-11 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、半導体装置の製造方法、電子部品、回路基板及び電子機器 |
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008255781A patent/JP5230330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021189817A1 (zh) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 | 封装结构、半导体器件和封装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010087929A (ja) | 2010-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4221756B2 (ja) | 圧電発振器およびその製造方法 | |
US11342899B2 (en) | Crystal resonator device | |
JP2008060382A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP6822118B2 (ja) | 振動子、発振器、電子機器、および移動体 | |
JP5230330B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2013050321A (ja) | 物理量検出器及び電子機器 | |
JP2013217667A (ja) | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器、並びに物理量検出デバイスの製造方法 | |
JP2008039626A (ja) | 圧力検出装置 | |
US20220278268A1 (en) | Piezoelectric vibration element, piezoelectric resonator unit, and electronic device | |
JP6015010B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器および電子機器 | |
JP5712755B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
JP6666166B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP6229456B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP5838694B2 (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス及び電子機器 | |
JP2009100213A (ja) | 圧電振動装置の製造方法 | |
WO2014148107A1 (ja) | 水晶振動装置 | |
JP5301182B2 (ja) | 電極構造、及び電子デバイス | |
JP5867631B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
JP2012242344A (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
US20230291381A1 (en) | Vibrator device and method for manufacturing vibrator device | |
US11652467B2 (en) | Vibration device | |
JP2010243155A (ja) | 圧力センサーモジュール | |
JP2013024828A (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器及び物理量検出器の製造方法 | |
TWI835299B (zh) | 壓電振動裝置 | |
US20240195359A1 (en) | Piezoelectric oscillator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130319 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5230330 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |