JP3813222B2 - カラーフィルター用ブラックレジスト組成物 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶の表示装置または固体撮像素子と組み合わせて用いるカラーフィルターの製造に好適なブラックレジスト組成物である。ブラックマトリックスとなる黒色パターン形成に好適に使用できる。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルターは染色法、印刷法、電着法、顔料分散法などによりガラス基板上に赤、緑、青、などの微細な画素を形成したものである。これら公知の方法については以下のような特徴、問題点を有する。
染色法によるカラーフィルターはゼラチンやポリビニルアルコールなどに感光剤として重クロム酸塩を混合した感光性樹脂により画像を形成した後、染色して製造される。多色を同一基板に形成するためには、防染工程が必須であり、工程が複雑になる問題点がある。また、染料を使用しているため耐光性に劣る。感光剤として用いる重クロム酸は公害防止の観点からも問題である。
【0003】
印刷法によるカラーフィルターはスクリーン印刷またはフレキソ印刷などの方法で、熱硬化または光硬化インキをガラス基板に転写させる。画像形成、染色が不要であるため工程が簡略である反面、高精細な画像が得られず、インキの平滑性にも問題がある。
電着法によるカラーフィルターは、顔料または染料を含んだ浴に電極をもうけたガラス基板を浸し電気泳動により色相を付着させるものである。平滑性に優れるが、あらかじめ、ガラス基板に電極が必要なため、複雑なパターンを形成させるのが困難である。
【0004】
顔料分散法は光硬化性樹脂に顔料を分散させた着色レジストにより画像を形成する。高耐熱性、染色がいらないなどの利点があり、また、高精度な画像形成が可能である。品質、製造コストの点から上記他の製造法に比較し顔料分散法は優れているので、現在カラーフィルター製造の主流となっている。
さらに、赤、青、緑の着色画像の間には通常コントラストを向上させる目的のためブラックマトリックスと呼ばれる格子状の黒色パターンを配置するのが一般的である。ブラックマトリックスはガラス基板全体にクロムを蒸着し、エッチング処理によりパターン形成するのが一般的であるが、クロムを使用するため、高コスト、高反射率であり、廃液処理にも問題を有している。このため、微細加工のできる顔料分散法でブラックマトリックスを製造する検討が鋭意なされている。
【0005】
ブラックマトリックス形成用のブラックレジストは黒色顔料または数種の顔料を混合して黒色にした感光性組成物である。ブラックレジストは遮光を目的としているため、現像液に不溶の顔料を多量に含有する組成物である。このため、ブラックレジストは現像性が悪く、長時間の現像が必要であったり、必要とする解像力が得られない等の問題点があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のブラックレジストは含有される多量の黒色顔料により現像性が著しく阻害され、極端な場合には非画線部が現像液に不溶であったり、あるいは現像が可能であっても非画線部が大きな剥離片となって除去される形式となっていた。現像液への溶解性が低い場合には現像時間を延ばす、あるいは溶解力の強い現像液を使う必要性が生じる。現像時間を延ばすことでは生産性が低下し、溶解性の強い現像液では画線部をも侵してしまうため必要な解像力が得られない等の問題点が発生する。また、非画線部が剥離片となって現像されるブラックレジストでは剥離片が現像装置を汚染し、カラーフィルターに再付着するため歩留まり低下の原因となる。
本発明の目的は上記にあげた従来のブラックレジストの問題点を解決し、高現像性、高解像力のカラーフィルター用ブラックレジスト組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは鋭意研究を進めた結果、(a)のカルボキシル基を含有するアクリル樹脂、(b)のアクリルモノマー、(c)の光重合開始剤、(d)の顔料、(e)の溶剤を含むカラーフィルター用ブラックレジスト組成物において、(b)アクリルモノマーが3官能以上のアクリルモノマーを含有するものであり、(d)の顔料の数平均粒径φnが0.005〜0.5μ、重量平均粒径φwが0.005〜0.7μ、粒径分布φw/φnが1〜1.6とするブラックレジストにより上記問題点が解決できることを見いだし本発明に至った。
以下、本発明を具体的に説明する。尚、以下において、粒径を粒度、粒径分布を粒度分布と称することがある。
【0008】
本発明に用いられる、(a)のカルボキシル基を含有するアクリル樹脂は、具体的には(メタ)アクリル酸、(無水)マレイン酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、などのカルボキシル基を有するモノマーとスチレン、α−メチルスチレン、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、酢酸ビニル、アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル、(メタ)アクリル酸クロライド、ベンジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メタクリロイルモルホリン、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリルアミド、などのコモノマーを共重合させたバインダーポリマーが挙げられる。
【0009】
特に、(メタ)アクリル酸およびスチレンを含有するバインダーポリマーが好ましい。
尚、本明細書中で「(メタ)アクリ〜」は「アクリ〜またはメタクリ〜」と同義であり、例えば「(メタ)アクリル酸」は「アクリル酸またはメタクリル酸」と同義である。
また、これらの樹脂側鎖にエチレン性二重結合を付加させることもできる。エチレン性二重結合を導入する合成手段として、例えば、特公50−34443、特公50−34444などに記載の方法等が挙げられる。具体的には、カルボキシル基や水酸基にグリシジル基、エポキシシクロヘキシル基および(メタ)アクリロイル基を併せ持つ化合物やアクリル酸クロライドなどを反応させる方法が挙げられる。例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、(イソ)クロトン酸グリシジルエーテル、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸クロライド、(メタ)アリルクロライドなどの化合物を使用し、カルボキシル基や水酸基を有する樹脂に反応させることにより側鎖に重合基を有する樹脂を得ることができる。
【0010】
こうして得られたアクリル樹脂のGPCで測定した重量分子量の好ましい範囲は1000〜100000である。重量平均分子量が1000以下であると均一な塗膜をえるのが難しく、また、100000を超えると現像性が低下する傾向がある。また、カルボキシル基の好ましい含有量の範囲は酸価で5〜200である。酸価が5以下であるとアルカリ現像液に不溶となり、また、200を超えると感度が低下することがある。
【0011】
(b)のアクリルモノマーとしては以下の化合物が挙げられる。イソブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、セチルアクリレート、ステアリルクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソボニルアクリレート、ベンジルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、3−メトキシブチルアクリレート、エチルカルビトールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、テトラヒドロフリルアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルハイドロゲンフタレート、2−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、2−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、2−アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロハイドロゲンフタレート、モルホリノエチルメタクリレート、トリフルオロエチルアクリレート、トリフルオロエチルメタクリレート、テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、ヘキサフルオロプロピル(メタ)アクリレート、オクタフルオロペンチルアク(メタ)アクリレート、ヘプタデカフルオロドデシルアクリレート、トリメチルシロキシエチルメタクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、グリセリンメタクリレートアクリレート、ビスフェノールA,EO付加物ジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパンEO付加トリアクリレート、グリセリンPO付加トリアクリレート、トリスアクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ノボラックエポキシのアクリル酸変性物、ノボラックエポキシのアクリル酸および酸無水物の変性物、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、アクリル化イソシアヌレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステルアクリレートなどが挙げられる。
【0012】
これらのモノマーのなかでは特に3官能以上のアクリルモノマーが好ましい。これらのモノマーは単独または複数組み合わせて使用される。
(c)の光重合開始剤としては、紫外光によりエチレン性不飽和基を重合させるラジカルを発生させることのできる化合物があげられる。具体的には(4−メトキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−エトキシカルボニル−4−(4−エトキシナフチル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、などのハロメチル化トリアジン誘導体、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジ(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(2’−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、(4’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体などのイミダゾール誘導体、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル類、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどのアントラキノン誘導体、ベンズアンスロン誘導体、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトンなどのアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルオキサントンなどのチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチルなどの安息香酸エステル誘導体、9−フェニルアクリジン、9−(p−メトキシフェニル)アクリジンなどのアクリジン誘導体、9,10−ジメチルベンズフェナジンなどのフェナジン誘導体などが挙げられる。これらの光重合開始剤は単独または複数組み合わせて使用される。例えば、特公昭53−12802、特開平1−279903、特開平2−48664、特開平4−164902、特開平6−75373などに記載の開始剤の組み合わせなどが挙げられる。
【0013】
(d)の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジスアゾ顔料、フタロシアニン顔料、イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料、キナクリドン顔料、ペリノン系顔料、トリフェニルメタン系顔料、チオインジゴ顔料などの有機顔料を混合して黒色とすることも可能であるが、遮光力の強いカーボンブラックを用いるのが好ましい。
【0014】
具体的には三菱化学社製のカーボンブラック#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、ダイヤブラックA、ダイヤブラックN220M、ダイヤブラックN234、ダイヤブラックI、ダイヤブラックLI、ダイヤブラックII、ダイヤブラック339、ダイヤブラックSH、ダイヤブラックSHA、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックH、ダイヤブラックHA、ダイヤブラックSF、ダイヤブラックN550M、ダイヤブラックE、ダイヤブラックG、ダイヤブラックR、ダイヤブラックN760M、ダイヤブラックLR。キャンカーブ社製のカーボンブラックサーマックスN990、N991、N907、N908、N990、N991、N908。旭カーボン社製のカーボンブラック旭#80、旭#70、旭#70L、旭F−200、旭#66、旭#66HN、旭#60H、旭#60U、旭#60、旭#55、旭#50H、旭#51、旭#50U、旭#50、旭#35、旭#15、アサヒサーマル、デグサ社製のカーボンブラックColorBlack Fw200、ColorBlack Fw2、ColorBlack Fw2V、ColorBlack Fw1、ColorBlack Fw18、ColorBlackS170、ColorBlack S160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V等が挙げられる。
【0015】
これらのカーボンブラックはそのままの状態では顔料同士が凝集しているため、好ましい粒径及び粒度分布を作りだすためには分散処理が必要である。カーボンブラックに分散剤及び溶剤を加えてミルベースをつくり、それをボールミル、サンドミル、ビーズミル、3本ロール、ペイントシェーカー、超音波、バブルホモジナイザーなどの方法により粒度、都度分布を制御することができる。これらの処理方法は2つ以上組み合わせることも可能である。分散剤には(a)のような樹脂あるいは「色材」、65(9)、p575、(1992年)などに記載の公知の分散剤が使用可能である。また、溶剤には(e)の溶剤を使用することができる。粒径、粒度分布はミルベースの組成、分散処理方法、分散温度、分散時間等の分散条件を制御することにより変化させることができる。そして粒径及び粒度分布はレーザードップラー方式の粒度測定装置で測定することができる。
【0016】
数平均粒度 φn =Σni φi /Σni
重量平均粒度 φw =Σni φi 2 /Σni φi
粒度分布 φw /φn
このようにして得たカーボンブラックの好ましい粒度及び粒度分布は数平均粒度φn で0.005〜0.5μ、より好ましくは0.01〜0.45μ、重量平均粒度φw で0.005〜0.7μ、より好ましくは0.01〜0.65μ、粒度分布φw /φn は1〜1.6、より好ましくは1〜1.55である。
【0017】
上記範囲の上限を越えると現像性、解像性の低下が起こる。また、下限以下にするためにはカーボンブラックの1次粒子あるいはそれ以上に顔料粒子を細かくしなければならないため、製造が著しく困難である。
(e)の溶剤としては具体的に、ジイソプロピルエーテル、ミネラルスピリット、n−ペンタン、アミルエーテル、エチルカプリレート、n−ヘキサン、ジエチルエーテル、イソプレン、エチルイソブチルエーテル、ブチルステアレート、n−オクタン、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、ジイソブチレン、アミルアセテート、ブチルブチレート、アプコシンナー、ブチルエーテル、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘキセン、メチルノニルケトン、プロピルエーテル、ドデカン、Socal solvent No1およびNo2、アミルホルメート、ジヘキシルエーテル、ジイソプロピルケトン、ソルベッソ#150、(n,sec,t)−酢酸ブチル、ヘキセン、シェル TS28 ソルベント、ブチルクロライド、エチルアミルケトン、エチルベンゾネート、アミルクロライド、エチレングリコーリジエチルエーテル、エチルオルソホルメート、メトキシメチルペンタノン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルイソブチレート、ベンゾニトリル、エチルプロピオネート、メチルセロソルブアセテート、メチルイソアミルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピルアセテート、アミルアセテート、アミルホルメート、ビシクロヘキシル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジペンテン、メトキシメチルペンタノール、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、プロピルプロピオネート、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、カルビトール、シクロヘキサノン、酢酸エチル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸メチルエチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、ジグライム、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールアセテート、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテートなどの有機溶剤が挙げられる。
【0018】
溶剤は沸点が100℃から200℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120℃〜170℃の沸点をもつものである。これらの溶剤は単独もしくは混合して使用される。
本発明は(a)のアクリル樹脂100重量部に対し(b)のアクリルモノマーは5重量部〜80重量部、(c)の開始剤は0.01〜30重量部、(d)の顔料は100重量部〜500重量部、(e)の溶剤は200〜10000重量部の範囲で使用するのが好ましい。
【0019】
(b)のアクリルモノマーが上記範囲以下であると像露光された画線部の架橋密度が十分でなくなり良好な画像が得られにくく、また、上記範囲を超えると乾燥後のレジスト膜のベタつきが大きくなり作業性に劣るようになる。(c)の光重合開始剤の添加量が上記範囲以下であると十分な感度がえられず、また、上記範囲を超えると、ときに開始剤が感光液から析出することがある。(d)の顔料の添加量が上記範囲以下であると十分な色濃度が出しにくく、遮光力も劣る。また、上記範囲を超えると顔料の分散安定性を保持できなくなるため、顔料の凝集が起こり均一な塗膜が得られなくなる。(e)の溶剤の添加量が上記範囲以下であると塗布むらがでやすく膜厚の均一性に欠け、上記範囲を超えると十分な膜厚を得ることができず、また、ピンホールなどの塗布欠陥がでやすくなる。
【0020】
本発明にはこれら、必須成分以外に増感剤、塗布性改良剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤、などを好適に添加することができる。これらは単独もしくは数種併用することも可能である。
本発明の組成物はスピンコーター、ロールコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷などの公知の方法でガラス基板に塗布される。塗布膜厚は0.3μm〜10μmが好ましい。塗布膜を乾燥させるためにコンベクションオーブンまたはホットプレートが使用される。乾燥温度は50℃〜150℃、乾燥時間は30秒〜60分が好適である。露光は高圧水銀灯が一般的に用いられ、マスクを通して露光することによりレジスト膜に潜像が形成される。その後、未露光部分を溶解させる溶剤で現像することにより画像が形成される。現像液はアセトン、トルエン、MEKなどの有機溶剤も使用可能であるが、環境問題からアルカリ現像液の方が好ましい。一例をあげるならば水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム、アンモニア水、アトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、などが用いられる。アルカリ現像液には界面活性剤、消泡剤などが添加されていてもよい。現像方法としては、特に制限はなく、パドル法、デイッピング法、スプレー法など公知の方法でおこなうことができる。またプリウエットを採用してもよい。画像形成後現像液の乾燥、レジスト膜の硬化を高める目的でポストベーク、後光硬化などを採用してもよい。
【0021】
【発明の実施の形態】
次に、実施例を用いて具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。
合成例−1
酸価200、分子量5000のスチレン・アクリル酸樹脂20g、p−メトキシフェノール0.2g、ドデシルトリメチルアンモニウムクロリド0.2g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40gをフラスコに仕込み(3、4エポキシシクロヘキシル)メチルアクリレート7.6gを滴下し100℃の温度で30時間反応させた。反応液を水に再沈殿、乾燥させて樹脂を得た。KOHによる中和滴定をおこなったところ樹脂の酸価は80であった。
【0022】
カーボンブラックの分散
カーボンブラック100gに合成例−1の樹脂ワニス100g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gを混合、攪拌し、ミルベースを作った。これをビーズミルにより処理した。ビーズは粒径0.5mm、材質ジルコニアを用いた。分散温度は約60℃でディスク周速及び分散時間を変えることにより粒度及び粒度分布の異なる8種のカーボンブラックペーストを作った。
【0023】
粒度分布の測定
上記カーボンブラックペーストをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで200倍〜400倍に希釈し、レーザードップラー式粒度測定器マイクロトラップUPA(リーズ&ノースラップ社製)で測定し粒径φn 、φw 粒度分布を求めた。表1に粒径、粒度分布の測定結果を示した。
【0024】
ブラックレジストの調合
1)カーボンブラックペースト:40g
2)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート5g
3)ジシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロ−3−(ピロール−1−イル)−フェニル−1−イル0.5g
4)4,4’−ビス(ジエチエルアミノ)ベンゾフェノン0.5g
5)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート30g
以上の割合で混合しブラックレジスト感光液を調合した。
【0025】
レジストの評価
ブラックレジスト感光液をスピンコーターにてガラス基板に塗布し、ホットプレートで80℃、1分間乾燥した。乾燥後のレジスト膜厚は1μであった。このサンプルをマスクを通して高圧水銀燈で2000mj/cm2 像露光した。温度25℃、濃度0.05%の水酸化カリウム水溶液に浸漬現像してレジストパターンを得た。非画線部が現像される時間を目視観察することにより現像速度を求めた。また、形成できる最小レジストパターンを顕微鏡で観察し解像力を求めた。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】
【表3】
【0029】
【表4】
【0030】
【表5】
【0031】
【表6】
【0032】
【表7】
【0033】
【表8】
【0034】
【表9】
【発明の効果】
表2の実施例の如く、本発明のブラックレジスト組成物は現像性、解像性が高いため高精度のブラックマトリックスを高能率で形成できる。従って、本発明のレジスト組成物を用いることにより、高品位、低コストで液晶ディスプレー用カラーフィルターを製造することができる。
Claims (5)
- (a)カルボキシル基を含有するアクリル樹脂、(b)アクリルモノマー、(c)光重合開始剤、(d)顔料、(e)溶剤を含むカラーフィルター用ブラックレジスト組成物において、(b)アクリルモノマーが3官能以上のアクリルモノマーを含有するものであり、(d)の顔料の数平均粒径φnが0.005〜0.5μ、重量平均粒径φwが0.005〜0.7μ、粒径分布φw/φnが1〜1.6であることを特徴とするカラーフィルター用ブラックレジスト組成物。
- 顔料がカーボンブラックである請求項1のブラックレジスト組成物。
- (a)前記アクリル樹脂が構成モノマーとして少なくともスチレンおよび(メタ)アクリル酸を含む請求項1のカラーフィルター用ブラックレジスト組成物。
- 全固形分中の顔料濃度が25〜70%である請求項1又は2のカラーフィルター用ブラックレジスト組成物。
- (a)前記アクリル樹脂が樹脂側鎖にエチレン性二重結合を有する請求項1、2又は3のカラーフィルター用ブラックレジスト組成物。
Priority Applications (1)
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