JP3809013B2 - 電気的測定用の試料保持台 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,試料の電気抵抗の測定や試料中に存在するキャリア数(キャリア濃度)の測定,あるいは試料中でキャリアが動く速度(ホール移動度)の測定(ホール効果を利用した測定)などの電気的測定において,試料を所定の位置に保持しつつ,試料と測定装置とを電気的に接続させる機能をもった試料保持台に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば磁電変換材料などの半導体材料に垂直な磁界を加えた状態で電流を流すと,キャリア(電子あるいは正孔)はローレンツ力を受けて横方向に曲げられ,側面に分極が生じてホール電圧が発生する。そこで,このホール電圧を測定することにより,例えば半導体材料のホール係数を測定することが行われている。
【0003】
従来,Van der Pauw法測定用の試料をホール測定する場合,先ず,図2に示すように,プリント基板50上に試料aを載置し,試料aの四隅に付けられた例えばインジウムからなる微小な電極51と,プリント基板50表面の銅電極52とを,φ0.2mm程度の細いワイヤ53で接続して,プリント基板50上に試料aを保持している。そして,試料aに対して垂直に磁場が印加できるように配置されたフラットコネクタにプリント基板50を接続し,ホール測定を行っている。このような手法は,高橋徹夫,寺崎隆一,近藤康司,林豊による「電子技術総合研究所彙報,第49巻,第11号,82(1985)」に記載されている。
【0004】
また,Van der Pauw法測定用の試料をホール測定する他の従来の手法では,図3に示すように,ガラス板60上に試料aを載置し,試料aの四隅に例えばインジウムからなる微小な電極61を付け,この電極61に対して,ガラス板60表面にはんだこてなどで例えばインジウムなどからなる電極材料を溶かして形成したリード電極62を接続して,ガラス板60上に試料aを保持している。そして,ガラス板60に保持された試料aに対して垂直に磁場が印加できるようにセッティングし,各リード電極62に接続した外部配線用リード63を通じて所定の電流を流しつつ電圧を測定することにより,ホール測定を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし,先ず図2で説明した従来技術は,試料にワイヤを接続するのにワイヤボンディングが必要であるが,ワイヤボンディング装置がない場合には人手で接続しなければならない。また,図2で説明した従来技術によって1E10Ω以上などの高抵抗の試料を測定する場合,リーク電流を防止するために絶縁性の高いプリント基板やコネクタが必要となる。
【0006】
一方,図3で説明した従来技術は,試料の四隅に付けられた微小な電極を覆い被せるように溶着を行って電極を形成する必要があり,人手で接続しなければならない。そのため,先ず,試料に電極を接続して保持する作業には,職人的技術を持った熟練者が必要となり,作業の標準化が難しい。このため,図3で説明した従来技術は,多数の試料を短時間で測定処理できず,試料保持台の管理が繁雑となっている。
【0007】
本発明者らは,上述の問題点に対処すべく検討したところ,以下の点が原因であろうとの結論を得ることができた。
(1) ワイヤボンディング装置がない場合あるいは使用できない場合には,リード線の接続や試料の保持に人手が必要である。またワイヤの線径が0.5mm以上では通常の作業員でも可能であるが,線径が0.3mm以下となると柔らかく切れやすくなるため,接続作業に時間や手間がかかる。また,接続が不十分であると,断線の危険も発生する。さらに,接続が不十分であると,そこから外部ノイズが入りやすく測定データの変動の原因となる。このため接続作業には,熟練者の職人的な技に頼らなければならない。このため作業の標準化が難しい。
(2) (1)の理由により,リード線の接続や試料の保持には,熟練者による長時間の作業を要するため,製造の検査工程などでの数多くの試料をホール測定しなければならない検査については対応が難しい。例えば一例ではホール測定では検査数が平均20サンプル/1日となるが,このさいホール検査時間はサンプル製作時間を含め10時間となり,作業員1人では対応できず実用的とならない。
(3) 汎用性を持たせたホール測定装置にするためには,試料のサイズ(サイズは具体的には3×3mm〜15×15mm),形状(形状は具体的には長方形,台形,菱形など)や物性(物性は具体的には単結晶,多結晶)に対応できる試料保持台(例えば上述の例ではプリント基板50やガラス基板60,あるいはセラミック製基板など)を用意しなければならない。このため,試料保持台の管理が繁雑となる。
【0008】
従って本発明の目的は,試料への電気的接続や試料の保持が容易であり,多数の試料を短時間に測定処理でき,接続や保持の作業の標準化が容易に可能となり,しかも,試料のサイズや形状によらず,汎用性のある電気的測定用の試料保持台を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために,本発明は,電気的測定用の試料を載置させる保持台本体と,該保持台本体に載置された試料に電気的に接続される針とを備えた試料保持台であって,前記保持台本体に載置された試料の表面に前記針を圧接することにより,針の弾性力で試料を保持台本体に保持すると共に,試料に対して針が電気的に接続されるように構成されていることを特徴とする。
【0010】
この電気的測定用の試料保持台にあっては,保持台本体に電気的測定用の試料を載置させ,試料の表面に前記針を圧接することにより,針の弾性力で試料を保持台本体に保持すると共に,試料に対して針を電気的に接続させることができる。このため,針を試料へ容易に電気的に接続でき,試料の保持も容易である。そして,多数の試料を短時間に測定処理でき,接続や保持の作業の標準化が可能となる。
【0011】
この電気的測定用の試料保持台において,前記電気的測定は,例えば試料のホール係数の測定である。また,前記試料は,例えば磁電変換材料などの半導体材料である。
【0012】
そして,前記針は,例えば試料に対して電流を供給するための一対の電流用針と,試料に発生した電圧を測定するための一対の電圧用針とを備えている。また,前記針は,前記保持台本体の上面において金属板によって押さえられている。この場合,前記針が,前記金属板によって押さえられた部分を支点として回転できるように構成され,かつ,前記針が,前記試料の表面に対して進退できるように構成されている。更に,前記針は,例えばリン青銅からなる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の好ましい実施の形態を図面を用いて説明する。図1(a)は,本発明の実施の形態にかかる試料保持台1の平面図であり,図1(b)は,図1(a)におけるA−A断面矢視図である。この試料保持台1は,例えばホール係数測定などといった電気的測定を行うための試料aを載置させる保持台本体10と,この保持台本体10に載置された試料aに電気的に接続される4本の針20,21,22,23を備えている。試料aは,例えば磁電変換材料などといった半導体材料である。試料保持台1は,例えばテフロンやセラミックなどの絶縁材からなる。
【0014】
試料保持台1の中央には,断面形状が凹型となるように加工された凹部11が形成されており,試料aは,この凹部11のほぼ中央に載置される。図示の例では,凹部11は平面視で正方形の形状となっているが,この凹部11の形状は,例えば円形や楕円形などでも良い。また,凹部11の断面形状は,長方形が望ましいが台形や角の部分に丸みのある形状であっても良い。
【0015】
針20,21,22,23は,この例では,試料aに対して電流を供給するための一対の電流用の針20,22と,試料aに発生した電圧を測定するための一対の電圧用の針21,23からなる。各針20,21,22,23は,図示の例ではリン青銅の金属ばね材で構成されるが,導電性および弾性があり,所望の形状に加工できる他の金属などであっても良い。
【0016】
針20,22と針21,23は,互いに直交するようにして,試料aの対角線上の位置に対向して配置されている。これら針20,21,22,23は,いずれも「く」の字形状に下方に折り曲げられており,各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’が試料保持台1の凹部11内に進入した格好になっている。また,各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’は上方に折り返されており,これにより,各針20,21,22,23の先端よりも少し手前の箇所において試料aの四隅を上から押さえる構成になっている。
【0017】
各針20,21,22,23は,いずれも試料保持台1の上面において,ネジ25,26,27,28で取り付けられた金属板30,31,32,33によって押さえられている。各金属板30,31,32,33は,例えばニッケルクロムメッキした金属板などであるが,加工可能なその他の金属板などでも良い。なお,各ネジ25,26,27,28は,各針20,21,22,23が半固定,即ち金属板30,31,32,33によって押さえた部分を支点として各針20,21,22,23が回転でき,また各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’の位置を試料aの表面に対して進退させることができるように締め付けを調整する。更に,各ネジ25,26,27,28は,例えばM2.5プラスネジなどの,締め付けや緩める作業がやり易いようなものを選べばよい。また,各ネジ25,26,27,28にリード線35,36,37,38を接続することにより,図示しない測定装置に,各針20,21,22,23が金属板30,31,32,33を介して電気的に接続されるようになっている。
【0018】
さて,この実施の形態にかかる試料保持台1において,試料保持台1の上面に形成された凹部11のほぼ中央に,試料aを載置する。そして,試料a表面の四隅に各針20,21,22,23をあてがう。この場合,半固定化された各針20,21,22,23を適宜回転及び進退移動させることにより,各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’が試料aの表面四隅に丁度あてがわれるように調整する。
【0019】
そして,各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’を試料aの表面四隅に丁度あてがった状態にする。これにより,各針20,21,22,23の弾性力を利用して圧接し,試料保持台1の凹部11に載置された試料aを保持すると共に,試料aに対して各針20,21,22,23を電気的に接続し,試料aを図示しない測定装置に対して各リード線35,36,37,38で接続する。これにより,試料aについて所望の電気的測定が可能となる。
【0020】
このように,実施の形態の試料保持台1によれば,各針20,21,22,23を試料aへ容易に電気的に接続でき,また,試料保持台1の凹部11に載置された試料aの保持も容易である。このため,多数の試料aを短時間に測定処理でき,接続や保持の作業の標準化が可能になる。また,各針20,21,22,23を適宜回転及び進退移動させて位置を調整でき,各針20,21,22,23の弾性を利用して試料aを上から抑えるので,試料aの形状や厚みに適合させることができ,最適な状態で試料aを保持することが可能である。なお,先に説明したように,各針20,21,22,23の先端部20’,21’,22’,23’を上方に折り返して,各針20,21,22,23の先端よりも少し手前の箇所において試料aの表面を押さえることにより,試料a表面に鋭利な針先端が接触することなく,試料aを傷つけることを防ぐことができ,また,試料aの電極部との接触面積も大きくできて電気的接合及び保持がより優れるようになる。
【0021】
なお,各針20,21,22,23は,例のように「く」の字形状に折り曲げても良いが,金属板30,31,32,33を取り付ける試料保持台1の上面に勾配を持たせて各針20,21,22,23が斜めになるように固定しても良い。
【0022】
【実施例】
図1で説明した試料保持台を実際に作成し,凹部に試料を置き,ピンセットにて針をつまんで,試料の電極に接続し,試料を凹部内に保持させた。接続及び保持が完了するまでの作業時間は,わずか5秒程度であった。尚,各針の先端部を少し上方に折り曲げて面接触させた。
【0023】
一方,比較例では,ガラス板上に試料を置き,接続及び保持した。作業が完了するまでの時間は,作業に慣れた者で約3分,不慣れな者で約15分を要した。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば,任意のサイズや形状の試料に対して,簡単に短時間で電気的な接続及び保持を行うことができ,しかも,試料保持台1台で各種のサイズや形状の試料に対応できるようになる。また,試料の接続や保持作業の標準化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は,本発明の実施の形態にかかる試料保持台の平面図であり,図1(b)は,図1(a)におけるA−A断面矢視図である。
【図2】従来技術の説明図である。
【図3】他の従来技術の説明図である。
【符号の説明】
a 試料
1 試料保持台
10 保持台本体
11 凹部
20,21,22,23 針
25,26,27,28 ネジ
30,31,32,33 金属板
Claims (6)
- 電気的測定用の試料を載置させる保持台本体と,該保持台本体に載置された試料に電気的に接続される針とを備えた試料保持台であって,
前記保持台本体に載置された試料の表面に前記針を圧接することにより,針の弾性力で試料を載置部に保持すると共に,試料に対して針が電気的に接続されるように構成され,
前記針は,前記保持台本体の上面において金属板によって押さえられ,前記針が,前記金属板によって押さえられた部分を支点として回転でき,かつ,前記針が,前記試料の表面に対して進退できるように構成されていることを特徴とする,電気的測定用の試料保持台。 - 前記金属板は,保持台本体の上面にネジで取り付けられていることを特徴とする,請求項1に記載の電気的測定用の試料保持台。
- 前記電気的測定は,試料のホール係数の測定であることを特徴とする,請求項1または2に記載の電気的測定用の試料保持台。
- 前記試料が,半導体材料であることを特徴とする,請求項1,2又は3のいずれかに記載の電気的測定用の試料保持台。
- 前記針は,試料に対して電流を供給するための一対の電流用針と,試料に発生した電圧を測定するための一対の電圧用針とを備えていることを特徴とする,請求項1,2,3又は4のいずれかに記載の電気的測定用の試料保持台。
- 前記針が,リン青銅からなることを特徴とする,請求項1,2,3,4又は5のいずれかに記載の電気的測定用の試料保持台。
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---|---|---|---|
JP13390698A JP3809013B2 (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 電気的測定用の試料保持台 |
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JP13390698A JP3809013B2 (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 電気的測定用の試料保持台 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH11326476A JPH11326476A (ja) | 1999-11-26 |
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ID=15115875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP13390698A Expired - Lifetime JP3809013B2 (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 電気的測定用の試料保持台 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP3809013B2 (ja) |
-
1998
- 1998-05-15 JP JP13390698A patent/JP3809013B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH11326476A (ja) | 1999-11-26 |
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