CN218865966U - 一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及测试夹具技术领域,提供一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,包括:基座以及设置在基座上的样品夹具和调节盘;所述样品夹具上具有多个第一探针和两个第二探针;多个第一探针上方可拆卸设置上盖,所述上盖上具有放置样品的凹槽;所述第一探针和第二探针从凹槽中伸出;所述第二探针与测试仪器电连接;所述调节盘具有机械旋钮和多个连接点位;所述机械旋钮位于调节盘的中心,且所述机械旋钮的底部设置连接指针;所述连接指针位于调节盘下方;所述连接指针与测试仪器电连接;所述连接点位与第一探针的数量一致,且连接点位与第一探针一一对应电连接。本实用新型能够方便器件的固定,方便更换测试位置,提高测试便捷性。
Description
技术领域
本实用新型涉及测试夹具技术领域,尤其涉及一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置。
背景技术
在半导体光电产品的开发过程中,往往会对关键的半导体光电器件进行测试,来筛选出合格的器件。在半导体光电器件进行瞬态光电流、光电压测试时,在测试过程中需要将样品进行固定及切换连接。
现有的器件固定方式有使用锡焊接技术将导线和电路板进行分别连接、使用铜箔导电胶带将导线和电路板进行分别连接以及使用全铜导电鳄鱼夹将导线和电路板进行分别连接等方式。
现有的固定方式虽然可以简单快速的起到固定效果,但是,使用胶带固定的方式存在固定不牢固,使用过程中会存在脱落问题,影响使用;使用锡焊接固定方式需要每次进行重新连接,增加测试人员的工作量且容易因为连接操作失误影响后续的使用,且容易对器件表面造成损伤;使用全铜导电鳄鱼夹连接易脱落,且体积占用较大。
实用新型内容
本实用新型主要解决现有技术的使用胶带固定的方式存在固定不牢固、使用锡焊接固定方式需要每次进行重新连接以及使用全铜导电鳄鱼夹连接易脱落等技术问题,提出一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,以方便器件的固定,方便更换测试位置,提高测试便捷性,且不会对器件造成损害。
本实用新型提供了一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,包括:基座以及设置在基座上的样品夹具和调节盘;
所述样品夹具上具有多个第一探针和两个第二探针;多个第一探针上方可拆卸设置上盖,所述上盖上具有放置样品的凹槽;所述第一探针和第二探针从凹槽中伸出;所述第二探针与测试仪器电连接;
所述调节盘具有机械旋钮和多个连接点位;所述机械旋钮位于调节盘的中心,且所述机械旋钮的底部设置连接指针;所述连接指针位于调节盘下方;所述连接指针与测试仪器电连接;多个连接点位分布在机械旋钮的周向外侧;
所述连接点位与第一探针的数量一致,且连接点位与第一探针一一对应电连接。
优选的,所述第一探针的数量为6个,6个第一探针对称分布在样品夹具的两侧。
优选的,所述基座上设置有BNC接头,所述第二探针通过BNC接头与测试仪器连接。
优选的,所述上盖通过磁铁吸附在基座上。
优选的,所述基座安装在底板上。
本实用新型提供的一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,与现有技术相比具有以下优点:
1、将器件放置在上盖的凹槽中,通过磁力使器件表面与对应的探针全部接触,用一束激发光照射器件对应测试区域中的一个,使其产生光电流光电压,再用机械旋钮将连接指针旋转至对应连接点位,测试仪器获取光电流光电压数据,从而完成该测试区域的测试;测试操作便捷,测试结果更可靠。器件固定更稳定,不会脱落;器件固定更方便。
2、测试器件不同测试区域时,只需改变激发光照射位置,并转动机械旋钮至对应连接点位连接即可。不需要更改器件连线,测试更方便,测试效率更高。
3、上盖可拆卸可更换,针对不同的器件只需更换对应的上盖即可;上盖通过磁铁吸附在基座上,更换器件只需拔出上盖,方便更换上盖和器件,不会对器件造成损害。
4、本实用新型优化外观,缩小整体尺寸,从而降低整体设备尺寸。
附图说明
图1是本实用新型提供的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置的俯视图;
图2是本实用新型提供的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置的侧视图;
图3是本实用新型提供的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置的内部连接示意图。
附图标记:1、基座;2、调节盘;3、磁铁;4、上盖;5、连接点位;6、BNC接头;7、第一探针;8、连接指针;9、机械旋钮;10、第二探针;11、测试仪器;12、导线固定装置。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
如图1-3所示,本实用新型实施例提供的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,包括:基座1以及设置在基座1上的样品夹具和调节盘2。
在本实施例中,所述基座1安装在底板上,基座1具有一定厚度,能够容纳样品夹具和调节盘2。
所述样品夹具上具有多个第一探针7和两个第二探针10;多个第一探针7上方可拆卸设置上盖4,所述上盖4上具有放置样品的凹槽,样品即为待检测的半导体光电器件,上盖4可拆卸可更换,针对不同的器件只需更换对应的上盖4即可;所述第一探针7和第二探针10从凹槽中伸出;所述第二探针10与测试仪器11电连接。具体的,所述基座1上设置有BNC接头6,所述第二探针10通过BNC接头6与测试仪器11连接。其中,测试仪器11可以是源表、电压表、电流表或示波器,根据器件测试需求可进行更换。
所述上盖4通过磁铁3吸附在基座1上。具体的,上盖4上设置两列磁铁3,基座1上对应位置也相应的设置两列磁铁3,通过磁铁3的磁吸实现上盖4固定在基座1上;方便更换上盖4和器件,不会对器件造成损害。另外,所述上盖4的固定方式也可以采用卡式固定。
具体的,所述第一探针7的数量为6个,6个第一探针7对称分布在样品夹具的两侧,即形成两列第一探针7,每列第一探针7对应一个第二探针10。两个第二探针10上下布置。第一探针7对应样品的正极,第二探针10对应样品的负极。第一探针7的数量与样品的测试区域数量一致,第一探针7的数量可以根据样品的测试区域数量进行调整。
所述第一探针7和第二探针10采用可伸缩式结构,通过上盖4与基座1连接,第一探针7和第二探针10表面受到压力时长度可缩短;第一探针7和第二探针10从上盖4的凹槽中伸出,与上盖4中的样品接触,实现第一探针7与样品的电连接。
所述调节盘2具有机械旋钮9和多个连接点位5;多个连接点位5分布在机械旋钮9的周向外侧;所述连接点位5与第一探针7的数量一致,且连接点位5与第一探针7一一对应电连接。在本实施例中,连接点位5与第一探针7具有6组连接。
所述机械旋钮9位于调节盘2的中心,且所述机械旋钮9的底部设置连接指针8;所述连接指针8位于调节盘2下方;所述连接指针8与测试仪器11电连接,具体的,连接指针8可以与导线固定装置12电连接,再通过导线固定装置12与测试仪器11电连接。
通过转动机械旋钮9可以使连接指针8旋转,使连接指针8与不同的连接点位5对接实现电连接;能够改变连接点位5,实现对不同连接点位5光电流光电压的测试。机械旋钮9也可以采用电动旋钮装置。
本实用新型的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置的测试过程:将器件放置在上盖4的凹槽中,通过磁力使器件表面与对应的探针全部接触,后用一束激发光照射器件对应6个测试区域中的一个,使其产生光电流光电压,再用机械旋钮9将连接指针8旋转至对应连接点位5;此时器件、第一探针7、连接点位5、连接指针8、机械旋钮9、测试仪器11、第二探针10形成回路;测试仪器11获取光电流光电压数据,从而完成该测试区域的测试;如需测试其它测试区域的光电流光电压,只需改变激发光照射位置,并转动机械旋钮9至对应连接点位5连接即可。
本实用新型的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,一侧为样品夹具部分,通过上盖4放置样品,通过第一探针7和第二探针10与样品电连接;另一侧为调节盘2,调节盘2上设置机械旋钮9、连接点位5和连接指针8,通过转动机械旋钮9改变连接点位5,从而实现对不同点位光电流光电压的连接,后外接测试仪器11对不同点位光电流光电压进行测试。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (5)
1.一种瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,其特征在于,包括:基座(1)以及设置在基座(1)上的样品夹具和调节盘(2);
所述样品夹具上具有多个第一探针(7)和两个第二探针(10);多个第一探针(7)上方可拆卸设置上盖(4),所述上盖(4)上具有放置样品的凹槽;所述第一探针(7)和第二探针(10)从凹槽中伸出;所述第二探针(10)与测试仪器(11)电连接;
所述调节盘(2)具有机械旋钮(9)和多个连接点位(5);所述机械旋钮(9)位于调节盘(2)的中心,且所述机械旋钮(9)的底部设置连接指针(8);所述连接指针(8)位于调节盘(2)下方;所述连接指针(8)与测试仪器(11)电连接;多个连接点位(5)分布在机械旋钮(9)的周向外侧;
所述连接点位(5)与第一探针(7)的数量一致,且连接点位(5)与第一探针(7)一一对应电连接。
2.根据权利要求1所述的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,其特征在于,所述第一探针(7)的数量为6个,6个第一探针(7)对称分布在样品夹具的两侧。
3.根据权利要求1所述的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,其特征在于,所述基座(1)上设置有BNC接头(6),所述第二探针(10)通过BNC接头(6)与测试仪器(11)连接。
4.根据权利要求1或3所述的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,其特征在于,所述上盖(4)通过磁铁(3)吸附在基座(1)上。
5.根据权利要求4所述的瞬态光电流光电压测试用的器件夹具装置,其特征在于,所述基座(1)安装在底板上。
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