JP3778062B2

JP3778062B2 - Ｃｏセンサ

Info

Publication number: JP3778062B2
Application number: JP2001352732A
Authority: JP
Inventors: 克彦宇野; 正雄牧; 孝丹羽; 邦弘鶴田; 孝裕梅田
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-11-19
Filing date: 2001-11-19
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2021-11-19
Also published as: JP2003149195A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス燃焼機器からのガス洩れや、室内燃焼機器の不完全燃焼により発生する一酸化炭素を検知するＣＯセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＣＯセンサは種々の方式、形状のものがあるが、その一例として図９に示すような固体電解質を用いたものがある。図９において１はアルミナなどのセラミック板より成る絶縁体で裏面にヒータ２が設定されている。３は絶縁板１上に併設された固体電解質で、上面に一対の白金電極４ａ、４ｂが形成されている。片方の白金電極４ａに対応する位置に酸化触媒５を設置している。６はリード線であり、電極４ａ、４ｂおよびヒータ２に導電性のペーストで接合されている。
【０００３】
一般にＣＯセンサは一酸化炭素、メタン、プロパン、水素、臭気などに感応し、ガス洩れ警報機や、ＣＯ警報機、臭いセンサなどの用途に用いられている。図９に示す固体電解質型センサは次のような原理でガスの検知を行う。なお、以下の説明では検知ガスを一酸化炭素（以下ＣＯと記す）とした場合について説明する。図９において電源（図示せず）からヒータ２に電力を供給し固体電解質３を所定温度（４００℃〜５００℃）に加熱すると、電極４と固体電解質３と空気の界面で電子の授受が行われ、酸素イオンが発生する。ここで、ＣＯが存在すると、酸化触媒５の乗った電極４ａではＣＯは酸化触媒５によって酸化され、電極４ａまでＣＯは到達しない。もう一方の電極４ｂではＣＯは電極４ｂ表面でＣＯ2に酸化される。その結果両電極間の電極反応に差が生じ、酸素イオンの平衡が崩れ、両電極間に電位差が発生する。電位差はリード線６によって検出回路（図示せず）へ導かれＣＯ濃度を検出することができる。しかし、白金電極は、酸化活性が強いために、ＣＯだけでなく、水素、アルコールなどにも酸化活性を示すため、これらの可燃性ガスにも感応していた。
【０００４】
ＣＯの選択性を向上させるために、特開平８−２４７９９１号公報、特開平１０−２３９２７２号公報に示される構成のガス検知素子が考案されている。特開平８−２４７９９１号公報に示すガス検知素子は図９の構成において、大気中に存在する可燃性ガスのうちで水素ガスと特に反応しやすい一対の白金電極に変えて、ＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、しかも高い電子伝導性および酸素イオン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸化物の一対の電極を設け、一方の電極を酸化触媒で覆う構成にしている。また、特開平１０−２３９２７２号公報に示すガス検知素子は、ＣＯに対する感度が大きく異なる金属酸化物で電極を構成することにより、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年家庭用機器でも省電力化の動きが顕著となり、待機電力の削減のため、燃焼機器に組み込むためのＣＯセンサに対しても小型、省電力化の要求が強くなってきている。さらにガス警報機などは、大幅な省電力化により電池駆動を目的とした開発に拍車がかかっている。しかし、特開平８−２４７９９１号公報に示すガス検知素子では、ＣＯの選択性には優れるものの、ガス検知素子の動作温度が４００〜５００℃と高温であり、所定の動作温度に固体電解質を加熱するのに多くの電力を要していた。また、特開平１０−２３９２７２号公報に示すガス検知素子は、ＣＯの選択性に優れ、かつ触媒が不要で構成が非常に簡単ではあるが動作温度が６００℃と高く、これも所定の動作温度に固体電解質を加熱するのに多くの電力を要するため省電力化の要求には対応できていなかった。
【０００６】
本発明は前記従来の課題を解決するもので、ＣＯ選択性に優れ長期間安定して使用できるとともに、消費電力を大幅に低減するＣＯセンサを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために本発明のＣＯセンサは、酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の表面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極とから構成したものである。
【０００８】
大気中に存在する可燃性ガスのうちで水素ガスと反応しやすい白金電極に変えて、電極材料をＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イオン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸化物とし、かつＣＯに対する感度が異なる別組成のペロブスカイト型複合酸化物で電極を構成することにより、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
請求項１に記載の発明は、酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の表面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有する構成としているので、ＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イオン伝導性を有するとともに、ＣＯに対する感度が異なる別組成のペロブスカイト型複合酸化物で電極を構成することにより、感度の差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたＣＯセンサを形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記固体電解質基板の他方の面に形成された前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有する構成としているのでペロブスカイト型複合酸化物のＣＯに対する感度の差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。また、固体電解質の両面に電極を設けることにより電極面積を大きくとり固体電解質板の厚み方向で酸素イオンの授受を行うため、インピダンスが低く安定した出力が得られる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有する構成としているので、ペロブスカイト型複合酸化物のＣＯに対する感度の差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。さらに固体電解質の一方の面だけで電極を構成するのでＣＯセンサの加工を簡単に行うことができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記固体電解質板の他方の面に絶縁材を介して形成されたヒータを有する構成としているので、請求項１の構成で得られる効果に加え、固体電解質の一方の面だけで電極を構成するので構成が簡単であるとともに、もう一方の面全体にヒータを形成することが可能となり、固体電解質を均一に加熱するので、安定した出力を得ることができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、耐熱低熱伝導性の基板と、前記基板上に形成されたヒータと、前記ヒータを覆うように設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられた酸素イオン伝導性の固体電解質膜と、前記固体電解質膜上に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有する構成としているので、ＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イオン伝導性を有するとともに、ＣＯに対する感度が異なる別組成のペロブスカイト型複合酸化物で電極を構成することにより、感度の差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。さらに、耐熱低熱伝導性の基板上に、ヒータ、絶縁膜、固体電解質、電極を薄膜で形成することにより、固体電解質、電極を瞬間的に所定の動作温度まで加熱することができるので、パルス的な駆動でセンサを動作させることが可能になり、消費電力を大幅に削減して、電池電源での動作を可能にする。
【００１４】
請求項６に記載の発明は第１電極と第２電極上に貴金属薄膜層を有した構成としているので、貴金属薄膜層が触媒的な作用をし、空気中に微量の可燃性ガスが存在したときにこれを酸化分解するので、可燃性ガスの影響を抑えるとともに、貴金属薄膜層が導電体となり、第１電極と第２電極間で生じた起電力を確実に出力として検出することができる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、酸素イオン伝導性固体電解質板と、前記固体電解質板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記第１電極および第２電極上に設定された多数の微細な孔を有する多孔質板と、前記固体電解質板のもう一方の面に絶縁材を介して形成されたヒータとを有する構成としているので、請求項５の構成で得られる効果に加え、電極上に設定した多孔質板によってシリコーン、イオウ酸化物などの進入による電極の被毒を防止し、長期間安定して使用できる。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、多数の微細な孔を有する多孔質板と、前記多孔質板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記第１電極および第２電極を覆うように形成された固体電解質膜と、前記固体電解質膜を覆うように形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されたヒータを有する構成としているので、多孔質板以外は放熱ロスの原因となる基板等を有していないので、固体電解質、電極を瞬間的に所定の動作温度まで加熱することができるので、パルス的な駆動でセンサを動作させることが可能になり、消費電力を大幅に削減して、電池電源での動作を可能にする。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、第１電極と多孔質板、および第２電極と多孔質板の間にそれぞれ貴金属膜層を有した構成としているので、貴金属薄膜層が触媒的な作用をし、空気中に微量の可燃性ガスが存在したときにこれを酸化分解するので、可燃性ガスの影響を抑えるとともに、貴金属薄膜層が導電体となり、第１電極と第２電極間で生じた起電力を確実に出力として検出することができる。
【００１８】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１におけるＣＯセンサの断面図を示すものである。図１（ａ）において、１１は酸素イオン伝導性の固体電解質基板である。酸素イオン伝導性固体電解質は、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ｙ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3またはＳｃ2Ｏ3で安定化されたＺｒＯ2、ＣａＯ、Ｇｄ2Ｏ3またはＬａ2Ｏ3とＣｅＯ2との混合物、などが利用可能であるが本実施例では８％Ｙ2Ｏ3安定化ＺｒＯ2を使用した。１２は固体電解質基板１１の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極、１３は固体電解質基板１１の他方の面に形成された第２電極で、第１電極１２とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる。
【００２０】
ペロブスカイト型複合酸化物はＡＢＯ3の結晶構造を持つもので、ＡはＬａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄなどの希土類元素、ＢはＶ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕなどの遷移金属元素である。１４は起電力出力を取り出すための電極リードである。ＣＯセンサを所定の温度まで加熱するためのヒータは図示していないが、ＣＯセンサの外周を包み込むように形成するか、第１電極１２もしくは第２電極１３の少なくとも一方の表面にガス透過性の多孔質体を設け、この多孔質体の他方の面にヒータを構成してもよい。
【００２１】
この構成では固体電解質の両面に電極を設けることにより電極面積を大きくとり固体電解質板の厚み方向で酸素イオンの授受を行うため、インピダンスが低く安定した出力が得られる。図１（ｂ）は実施例１の別の構成を示したものである。固体電解質基板１１の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極１２、第２電極１３を設けている。ヒータはＣＯセンサの外周を包み込むように形成してもよいが、図１（ｂ）の場合は固体電解質基板１１のもう一方の面を利用してヒータを構成することができる。すなわち、固体電解質基板１１のもう一方の面に絶縁材１５を接合し、絶縁材１５上に所定の温度になるように抵抗値を設定したヒータ１６をパターニングしている。１７は電源（図示せず）ヒータ１６に電力を供給するためのヒータリードである。絶縁材１５としては絶縁特性に優れ、かつヒータの熱伝導性の良い材料であれば良く、ここではアルミナを用いた。ペロブスカイト型複合酸化物の電極特性を調べるために図１（ｂ）の構成のＣＯセンサを用い、第１電極に基準電極としてＡｕを用い、第２電極１３のペロブスカイト型複合酸化物を種々変更してＣＯおよびＨ2に対する出力を測定した。
【００２２】
図２（ａ）はＬａＭｎＯ3、図２（ｂ）はＬａＣｏＯ3について動作温度２５０℃での出力を示したものである。いずれに場合もＣＯに対しては出力が得られ、Ｈ2に対してはほとんど出力がえられなかったことから、これらのペロブスカイト型複合酸化物がＣＯに対し優れた選択性を有することがわかる。また、同じ動作温度でも電極の種類によって出力挙動が異なることから、これらを組み合わせることによってＣＯに対して大きな出力を得ることができる。図３は第１電極１２をＬａＭｎＯ3、第２電極１３をＬａＣｏＯ3とし、ＣＯ濃度５００ppmに対して動作温度を変化させたときの出力を測定した結果を示す。２５０℃付近で最大値０．０２５Ｖを示した。図４は図３と同じ電極構成で動作温度２５０℃でＣＯ濃度に対する出力変化を測定した結果である。ＣＯ濃度変化に対して良好な出力特性を有しており、ＣＯ検出センサとして有用であることが明らかとなった。
【００２３】
従来例で示したように、一対の白金電極を用いた場合は動作温度は４００〜５００℃であり、また、同種のペロブスカイト型複合酸化物で一対の電極を構成した場合も４００から５００℃であるのに対し、本実施例では２５０℃でＣＯの検出が可能となった。これはＣＯの酸化活性の異なるペロブスカイト型複合酸化物を電極に用いることで、両極間に酸素イオン濃度差を生じさせ、ペロブスカイト型複合酸化物の電子伝導性および酸素イオン導電性によって低温で高出力が得られるためである。したがって、動作温度の大幅な低下が可能となり、消費電力を大幅に削減することができる。さらに本実施例の構成では触媒が不要となりセンサ構成も簡素化される。
【００２４】
（実施例２）
図５は本発明の実施例２の要部断面図である。基本的な構成は実施例１と同じであるので異なる点のみ説明する。１８は耐熱低熱伝導性基板でここでは石英ガラスを用いている。耐熱低熱伝導性基板１８上にはヒータ１６がスパッタ法や電子線蒸着法により所定のパターンが形成されている。１９は絶縁膜で、電機絶縁性、熱伝導性の良好なアルミナをスパッタ法や電子線蒸着法により成膜している。２０は絶縁膜１９上に形成された固体電解質膜で８％Ｙ2Ｏ3安定化ＺｒＯ2をスパッタ法や電子線蒸着法により成膜している。１２は固体電解質膜１９上に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極、１３は第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極であり、スクリーン印刷法、スパッタ法、電子線蒸着法などにより成膜している。
【００２５】
以上の構成において、耐熱低熱伝導性基板１８である石英ガラスは熱伝導係数が非常に小さいので、ヒータ１６によって与えられた熱はほとんど絶縁膜１９固体電解質膜２０、第１および第２電極１２、１３の加熱に使われ、瞬時に高温に達することができる。また、動作温度は２５０℃程度であるので、瞬間的に昇温されても熱膨張率の差によってクラックが発生することは無いので、パルス的な運転が可能になり、消費電力を大幅に低減することができる。また、図５の実施例では、第１、第２電極１２、１３上にＰｔ、Ｐｄ、Ｒｈなどの貴金属の薄膜層２１を有する構成としている。貴金属の薄膜層２１が触媒的な作用をし、空気中に微量の可燃性ガスが存在したときにこれを酸化分解するので、可燃性ガスの影響を抑えることができる。また、水蒸気の影響も低減できる。乾燥空気に対し加湿空気ではＣＯに対する出力が３０から５０％増加するが、薄膜層２１を設けることにより５から２０の増加に抑制された。また、貴金属の薄膜層が導電体となり、第１電極と第２電極間で生じた起電力を集電して、確実に出力として検出することができる。
【００２６】
（実施例３）
図６は本発明の実施例３の要部断面図である。図６において１１は酸素イオン伝導性の固体電解質基板で、この固体電解質基板１１の一方の面にペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極１２およびこの第１電極とは別組成ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極１３が形成されている。第１電極１２、第２電極１３上には多数の微細な貫通孔を有する多孔質板２２設定され、ガラスなどの接合材２３によって固体電解質板１１と密着接合されている。また、固体電解質基板１１のもう一方の面には絶縁材１５を介してヒータ１６が形成されている構成としている。多孔質板２２はゾルゲル法などにより、内部孔径を数Åから数１００Åに制御しており、シリコーンやイオウ酸化物などの進入による電極の被毒を防止し、長期間安定して使用できる。
【００２７】
図７は実施例３の別の構成を示す要部断面図である。図７では図６で示した構成の多孔質板２２以外を薄膜で形成する構成としている。すなわち、多数の微細な貫通孔を有する多孔質板２２の一方の面に、スパッタ法、電子線蒸着法によりロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極１２と、第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極１３を形成し、この第１電極１２および第２電極１３を覆うように固体電解質膜２０を形成している、さらに、この固体電解質膜２０を覆うように絶縁膜１９を形成し、この絶縁膜１９にヒータ１６がパターニングされている。さらにヒータ１６はその露出面を保護層２４で被覆し、シリコーンやイオウ酸化物などの被毒ガスによるヒータ１６の劣化を防止している。上記構成において、電極を異なった組成のペロブスカイト型複合酸化物によって形成することにより、動作温度を低下させて、大幅な消費電力の低下を図るのに加え、多孔質板２２以外は放熱ロスの原因となる基板等を有していないので、固体電解質、電極を瞬間的に所定の動作温度まで加熱することができる。
【００２８】
したがって、パルス的な駆動でセンサを動作させることが可能になり、消費電力を大幅に削減して、電池電源での動作を可能にする。
【００２９】
図８は実施例３のさらに別の構成を示す要部断面図である。基本構成は図７と同じであるので異なる点のみ説明する。第１電極１２と多孔質板２２、および第２電極１３と多孔質板２２の間にそれぞれ貴金属膜層を有した構成としている。すなわち、まず多孔質板２２一方の面に第１電極１２および第２電極１３と同一形状に、スパッタ法、電子線蒸着法などにより、貴金属の薄膜層２１を形成し、その後順次、第１電極１２、第２電極１３、固体電解質膜２０、絶縁膜１９、ヒータ１６を形成する。この構成により、図７の構成で得られる効果に加え、貴金属の薄膜層２１が触媒的な作用をし、空気中に微量の可燃性ガスが存在したときにこれを酸化分解するので、可燃性ガスの影響を抑えることができる。
【００３０】
また、水分の影響も低減できる。さらに、貴金属の薄膜層２１が導電体となり、第１電極１２と第２電極１３間で生じた起電力を集電して、確実に出力として検出することができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、電極を異なった組成のペロブスカイト型複合酸化物で構成することにより、ＣＯに対する感度が異なる別組成のペロブスカイト型複合酸化物で電極を構成することにより、感度の差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたＣＯセンサを形成するとともに、ＣＯセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。また、熱伝導性の低い基板上にＣＯセンサを薄膜で構成することにより、ＣＯセンサの熱容量を大幅に低下して、瞬間的に所定の温度までの昇温が可能になるので、ＣＯセンサをパルス的に駆動して消費電力を大幅に低減し電池電源での運転を可能にする。また、電極表面に貴金属の薄膜層を設けることにより、空気中の微量な可燃生ガスや水分の影響を低減することができる。さらに、気孔径を数Åから数１００Åに制御した多孔質板を付加することによりシリコーンやイオウ酸化物などの被毒ガスの進入を防止するのでＣＯセンサを長期間安定に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の実施例１におけるＣＯセンサの要部断面図
（ｂ）同本発明の実施例１におけるＣＯセンサの別構成の要部断面図
【図２】（ａ）本発明の実施例１におけるＣＯセンサの電極特性図
（ｂ）同本発明の実施例１におけるＣＯセンサの別の電極特性図
【図３】本発明の実施例１におけるＣＯセンサの出力特性図
【図４】本発明の実施例１におけるＣＯセンサの別の出力特性図
【図５】本発明の実施例２におけるＣＯセンサの要部断面図
【図６】同本発明の実施例３におけるＣＯセンサの要部断面図
【図７】同本発明の実施例３におけるＣＯセンサの別構成の要部断面図
【図８】同本発明の実施例３におけるＣＯセンサの別構成の要部断面図
【図９】従来例のＣＯセンサの要部断面図
【符号の説明】
１１固体電解質基板
１２第１電極
１３第２電極
１５絶縁材
１６ヒータ
１８耐熱低熱伝導性基板
１９絶縁膜
２０固体電解質膜
２１薄膜層
２２多孔質板

Claims

酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の表面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有するＣＯセンサ。
酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記固体電解質基板の他方の面に形成された前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有するＣＯセンサ。
酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有するＣＯセンサ。
酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記固体電解質板の他方の面に絶縁材を介して形成されたヒータを有するＣＯセンサ。
耐熱低熱伝導性の基板と、前記基板上に形成されたヒータと、前記ヒータを覆うように設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられた酸素イオン伝導性の固体電解質膜と、前記固体電解質膜上に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成のペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極を有するＣＯセンサ。
第１電極と第２電極上に貴金属薄膜層を有した請求項１から５のいずれかに記載のＣＯセンサ。
酸素イオン伝導性固体電解質板と、前記固体電解質板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記第１電極および第２電極上に設定された多数の微細な孔を有する多孔質板と、前記固体電解質板のもう一方の面に絶縁材を介して形成されたヒータとを有するＣＯセンサ。
多数の微細な孔を有する多孔質板と、前記多孔質板の一方の面に形成さ
れたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され前記第１電極とは別組成ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第２電極と、前記第１電極および第２電極を覆うように形成された固体電解質膜と、前記固体電解質膜を覆うように形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されたヒータを有するＣＯセンサ。
第１電極と多孔質板、および第２電極と多孔質板の間にそれぞれ貴金属膜層を有した請求項７または請求項８記載のＣＯセンサ。