JP2003270201A

JP2003270201A - ガスセンサ

Info

Publication number: JP2003270201A
Application number: JP2002069691A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiko Uno; 克彦宇野; Masao Maki; 正雄牧; Takashi Niwa; 孝丹羽; Kunihiro Tsuruta; 邦弘鶴田; Takahiro Umeda; 孝裕梅田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-03-14
Filing date: 2002-03-14
Publication date: 2003-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】ＣＯ選択性に優れ長期間安定して使用できる
とともに、消費電力を大幅に低減するガスセンサを提供
することを目的とする。【解決手段】酸素イオン伝導性固体電解質基板１１の
表面にペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極１
２と、金からなる第２電極１３を形成することにより、
電極間での酸素濃度の差を利用して、酸化触媒無しでＣ
Ｏに高感度のガスセンサをうるとともに、動作温度を大
幅に低下させる。また、耐熱低熱伝導性基板１８上に薄
膜でセンサを構成することにより、熱容量を大幅に低減
し、パルス駆動により電池電源での運転を可能にする。
また、電極上に形成した薄膜層２１、多孔質板２２によ
り、可燃性ガスや水分、被毒ガスの影響を軽減し長期間
安定な使用が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス燃焼機器から
のガス洩れや、室内燃焼機器の不完全燃焼により発生す
る一酸化炭素を検知するガスセンサに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のガスセンサは種々の方式、形状の
ものがあるが、その一例として図７に示すような固体電
解質を用いたものがある。図７において１はアルミナな
どのセラミック板より成る絶縁体で裏面にヒータ２が設
定されている。３は絶縁板１上に併設された固体電解質
で、上面に一対の白金電極４ａ、４ｂが形成されてい
る。片方の白金電極４ａに対応する位置に酸化触媒５を
設置している。６はリード線であり、電極４ａ、４ｂお
よびヒータ２に導電性のペーストで接合されている。

【０００３】一般にガスセンサは一酸化炭素、メタン、
プロパン、水素、臭気などに感応し、ガス洩れ警報機
や、ＣＯ警報機、臭いセンサなどの用途に用いられてい
る。図７に示す固体電解質型センサは次のような原理で
ガスの検知を行う。なお、以下の説明では検知ガスを一
酸化炭素（以下ＣＯと記す）とした場合について説明す
る。図７において電源（図示せず）からヒータ２に電力
を供給し固体電解質３を所定温度（４００℃〜５００
℃）に加熱すると、電極４と固体電解質３と空気の界面
で電子の授受が行われ、酸素イオンが発生する。

【０００４】ここで、ＣＯが存在すると、酸化触媒５の
乗った電極４ａではＣＯは酸化触媒５によって酸化さ
れ、電極４ａまでＣＯは到達しない。もう一方の電極４
ｂではＣＯは電極４ｂ表面でＣＯ₂に酸化される。その
結果両電極間の電極反応に差が生じ、酸素イオンの平衡
が崩れ、両電極間に電位差が発生する。電位差はリード
線６によって検出回路（図示せず）へ導かれＣＯ濃度を
検出することができる。しかし、白金電極は、酸化活性
が強いために、ＣＯだけでなく、水素、アルコールなど
にも酸化活性を示すため、これらの可燃性ガスにも感応
していた。

【０００５】ＣＯの選択性を向上させるために、特開平
８−２４７９９１号公報、特開平１０−２３９２７２号
公報に示される構成のガス検知素子が考案されている。
特開平８−２４７９９１号公報に示すガス検知素子は図
７の構成において、大気中に存在する可燃性ガスのうち
で水素ガスと特に反応しやすい一対の白金電極に変え
て、ＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、しかも高い電
子伝導性および酸素イオン伝導性を有するペロブスカイ
ト型複合酸化物の一対の電極を設け、一方の電極を酸化
触媒で覆う構成にしている。また、特開平１０−２３９
２７２号公報に示すガス検知素子は、ＣＯに対する感度
が大きく異なる金属酸化物で電極を構成することによ
り、酸化触媒無しでＣＯ選択性の優れたガス検知素子を
形成している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】近年家庭用機器でも省
電力化の動きが顕著となり、待機電力の削減のため、燃
焼機器に組み込むためのガスセンサに対しても小型、省
電力化の要求が強くなってきている。さらにガス警報機
などは、大幅な省電力化により電池駆動を目的とした開
発に拍車がかかっている。しかし、特開平８−２４７９
９１号公報に示すガス検知素子では、ＣＯの選択性には
優れるものの、ガス検知素子の動作温度が４００〜５０
０℃と高温であり、所定の動作温度に固体電解質を加熱
するのに多くの電力を要していた。

【０００７】また、特開平１０−２３９２７２号公報に
示すガス検知素子は、ＣＯの選択性に優れ、かつ触媒が
不要で構成が非常に簡単ではあるが動作温度が６００℃
と高く、これも所定の動作温度に固体電解質を加熱する
のに多くの電力を要するため省電力化の要求には対応で
きていなかった。

【０００８】本発明は前記従来の課題を解決するもの
で、ＣＯに対する出力が大きく、かつ消費電力を大幅に
低減するガスセンサを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために本発明のガスセンサは、酸素イオン伝導性固体
電解質基板と、前記固体電解質基板の表面に形成された
ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、金よ
りなる第２電極とから構成したものである。

【００１０】大気中に存在する可燃性ガスのうちで水素
ガスと反応しやすい白金電極に変えて、電極材料をＣＯ
ガスに酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性お
よび酸素イオン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸
化物で第１電極を構成し、かつ、第二電極を金で構成す
ることにより、第１電極と第二電極の酸素濃度差を大き
くとることができるので酸化触媒無しでＣＯに対する出
力の大きなガスセンサを形成するとともに、ガスセンサ
の動作温度を大幅に低下させ、省電力化を図ることがで
きる。

【００１１】

【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、酸素イ
オン伝導性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の表
面に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第
１電極と、金よりなる第２電極とを有する構成としてい
るので、ＣＯガスに酸化反応を起こさせ易く、かつ高い
電子伝導性および酸素イオン伝導性を有する第１電極
と、金よりなる第二電極で酸素濃度差を大きくとること
ができるので、酸化触媒無しでＣＯに対する出力の大き
なガスセンサを形成するとともに、ガスセンサの動作温
度を大幅に低下させ、省電力化を図ることができる。

【００１２】請求項２に記載の発明は酸素イオン伝導性
固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に形
成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極
と、前記固体電解質基板の他方の面に形成された金より
なる第２電極を有する構成としているので、ＣＯガスに
酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸
素イオン伝導性を有する第１電極と金よりなる第二電極
で酸素能濃度差を大きくとることができるので、酸化触
媒無しでＣＯに対する出力の大きなガスセンサを形成す
るとともに、ガスセンサの動作温度を大幅に低下させ、
省電力化を図ることができる。また、固体電解質の両面
に電極を設けることにより電極面積を大きくとり固体電
解質板の厚み方向で酸素イオンの授受を行うため、イン
ピダンスが低く安定した出力が得られる。

【００１３】請求項３に記載の発明は、酸素イオン伝導
性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に
形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電
極と、前記第１電極と同一面に形成された金よりなる第
二電極を有する構成としているので、ＣＯガスに酸化反
応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イオ
ン伝導性を有する第１電極と金よりなる第二電極で酸素
能濃度差を大きくとることができるので、酸化触媒無し
でＣＯに対する出力の大きなガスセンサを形成するとと
もに、ガスセンサの動作温度を大幅に低下させ、省電力
化を図ることができる。さらに固体電解質の一方の面だ
けで電極を構成するのでガスセンサの加工を簡単に行う
ことができる。

【００１４】請求項４に記載の発明は、酸素イオン伝導
性固体電解質基板と、前記固体電解質基板の一方の面に
形成されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電
極と、前記第１電極と同一面に形成され金よりなる第二
電極と、前記固体電解質板の他方の面に絶縁材を介して
形成されたヒータを有する構成としているので、請求項
１の構成で得られる効果に加え、固体電解質の一方の面
だけで電極を構成するので構成が簡単であるとともに、
もう一方の面全体にヒータを形成することが可能とな
り、固体電解質を均一に加熱するので安定した出力を得
ることができる。

【００１５】請求項５に記載の発明は、耐熱低熱伝導性
の基板と、前記基板上に形成されたヒータと、前記ヒー
タを覆うように設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に設
けられた酸素イオン伝導性の固体電解質膜と、前記固体
電解質膜上に形成されたペロブスカイト型複合酸化物よ
りなる第１電極と、前記第１電極と同一面に形成され金
よりなる第二電極を有する構成としているので、ＣＯガ
スに酸化反応を起こさせ易くかつ、高い電子伝導性およ
び酸素イオン伝導性を有する第１電極と金よりなる第二
電極で酸素能濃度差を大きくとることができるので、酸
化触媒無しでＣＯに対する出力の大きなガスセンサを形
成するとともに、ガスセンサの動作温度を大幅に低下さ
せ、省電力化を図ることができる。

【００１６】さらに、耐熱低熱伝導性の基板上に、ヒー
タ、絶縁膜、固体電解質、電極を薄膜で形成することに
より、固体電解質、電極を瞬間的に所定の動作温度まで
加熱することができるので、パルス的な駆動でセンサを
動作させることが可能になり、消費電力を大幅に削減し
て、電池電源での動作を可能にする。

【００１７】請求項６に記載の発明は、酸素イオン伝導
性固体電解質板と、前記固体電解質板の一方の面に形成
されたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極
と、前記第１電極と同一面に形成され金よりなる第２電
極と、前記第１電極および第２電極上に設定された多数
の微細な孔を有する多孔質板と、前記固体電解質板のも
う一方の面に絶縁材を介して形成されたヒータとを有す
る構成としているので、請求項４の構成で得られる効果
に加え、電極上に設定した多孔質板によってシリコー
ン、イオウ酸化物などの進入による電極の被毒を防止
し、長期間安定して使用できる。

【００１８】請求項７に記載の発明は、多数の微細な孔
を有する多孔質板と、前記多孔質板の一方の面に形成さ
れたペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、
前記第１電極と同一面に形成され金よりなる第２電極
と、前記第１電極および第２電極を覆うように形成され
た固体電解質膜と、前記固体電解質膜を覆うように形成
された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されたヒータを有
する構成としているので、多孔質板以外は放熱ロスの原
因となる基板等を有しておらず、固体電解質、電極を瞬
間的に所定の動作温度まで加熱することができるので、
パルス的な駆動でセンサを動作させることが可能にな
り、消費電力を大幅に削減して、電池電源での動作を可
能にする。

【００１９】請求項８に記載の発明は、第二電極の電極
材料を金で構成しているので、第１電極と第二電極の酸
素濃度差をさらに大きくして、ＣＯに対する出力を大き
くとることができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

【００２１】（実施例１）図１は、本発明の実施例１に
おけるガスセンサの断面図を示すものである。

【００２２】図１（ａ）において、１１は酸素イオン伝
導性の固体電解質基板である。酸素イオン伝導性固体電
解質は、ＣａＯ，ＭｇＯ，Ｙ₂Ｏ₃，Ｌａ₂Ｏ₃またはＳｃ
₂Ｏ₃で安定化されたＺｒＯ₂ 、ＣａＯ，Ｇｄ₂Ｏ₃また
はＬａ₂Ｏ₃とＣｅＯ₂との混合物、などが利用可能であ
るが本実施例では８％Ｙ₂Ｏ₃安定化ＺｒＯ₂を使用し
た。１２は固体電解質基板１１の一方の面に形成された
ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極、１３は
固体電解質基板１１の他方の面に形成された第２電極
で、金よりなる。ペロブスカイト型複合酸化物はＡＢＯ
₃の結晶構造を持つもので、ＡはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎ
ｄなどの希土類元素、ＢはＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｕなどの遷移金属元素である。

【００２３】第２電極は酸素吸着能力が低くかつＣＯ吸
着能力の高いＡｕを用いている。１４は起電力出力を取
り出すための電極リードである。ガスセンサを所定の温
度まで加熱するためのヒータは図示していないが、ガス
センサの外周を包み込むように形成するか、第１電極１
２もしくは第２電極１３の少なくとも一方の表面にガス
透過性の多孔質体を設け、この多孔質体の他方の面にヒ
ータを構成してもよい。この構成では固体電解質の両面
に電極を設けることにより電極面積を大きくとり固体電
解質板の厚み方向で酸素イオンの授受を行うため、イン
ピダンスが低く安定した出力が得られる。図１（ｂ）は
実施例１の別の構成を示したものである。固体電解質基
板１１の一方の面に形成されたペロブスカイト型複合酸
化物よりなる第１電極１２、金よりなる第２電極１３を
設けている。ヒータはガスセンサの外周を包み込むよう
に形成してもよいが、図１（ｂ）の場合は固体電解質基
板１１のもう一方の面を利用してヒータを構成すること
ができる。すなわち、固体電解質基板１１のもう一方の
面に絶縁材１５を接合し、絶縁材１５上に所定の温度に
なるように抵抗値を設定したヒータ１６をパターニング
している。１７は電源（図示せず）ヒータ１６に電力を
供給するためのヒータリードである。絶縁材１５として
は絶縁特性に優れ、かつヒータの熱伝導性の良い材料で
あれば良く、ここではアルミナを用いた。電極特性を調
べるために図１（ｂ）の構成のガスセンサを用い、第１
電極１２にペロブスカイト型複合酸化物であるＬａＭｎ
Ｏ３を用い、第２電極１３にＡｕ用いてＣＯに対する出
力を測定した。図２に動作温度３５０℃でＣＯ濃度に対
する出力を測定した結果を示す。Ａｕは酸素の吸着能力
が低いとともに、ＣＯの吸着能力が良いために、ＣＯが
存在する場合はＡｕ表面がＣＯで覆われてしまい、第二
電極表面の酸素濃度が極端に減少してしまう。

【００２４】一方、ペロブスカイト型複合酸化物である
ＬａＭｎＯ３よりなる第２電極はＣＯガスに酸化反応を
起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イオン伝
導性を有するので、第１電極と第二電極で酸素濃度差を
大きくして、ＣＯに対する出力を大きくとることができ
る。ＣＯ濃度変化に対して良好な出力特性を有してお
り、ＣＯ検出センサとして有用であることが明らかとな
った。図３は第１電極１２をＬａＭｎＯ₃、第２電極１
３をＡｕとし、ＣＯ濃度５００ｐｐｍに対して動作温度
を変化させたときの出力を測定した結果を示す。従来例
で示したように、一対の白金電極を用いた場合、動作温
度は４００〜５００℃であり、また、同種のペロブスカ
イト型複合酸化物で一対の電極を構成した場合も４００
から５００℃であるのに対し、本実施例では３５０℃で
ＣＯに対して高い出力が得られた。電極材料をＣＯガス
に酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および
酸素イオン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸化物
と酸素に対する吸着能力の低い導電性材料を電極に用い
ることで、両極間に酸素イオン濃度差を生じさせ、ペロ
ブスカイト型複合酸化物の電子伝導性および酸素イオン
導電性によって低温で高出力が得られるためである。図
３の結果では３５０℃以下でも高い出力が得られるが、
温度が低すぎると固体電解質としての動作が不十分であ
り、ＣＯに対する応答速度遅くなるなどの現象が出てく
るため、あまり低温度で動作させるのは好ましくない。

【００２５】このように、動作温度の低下が可能とな
り、消費電力を大幅に削減することができる。さらに本
実施例の構成では触媒が不要となりセンサ構成も簡素化
される。

【００２６】（実施例２）図５は本発明の実施例２の要
部断面図である。基本的な構成は実施例１と同じである
ので異なる点のみ説明する。１８は耐熱低熱伝導性基板
でここでは石英ガラスを用いている。耐熱低熱伝導性基
板１８上にはヒータ１６がスパッタ法や電子線蒸着法に
より所定のパターンが形成されている。１９は絶縁膜
で、電機絶縁性、熱伝導性の良好なアルミナをスパッタ
法や電子線蒸着法により成膜している。２０は絶縁膜１
９上に形成された固体電解質膜で８％Ｙ₂Ｏ₃安定化Ｚｒ
Ｏ₂をスパッタ法や電子線蒸着法により成膜している。
１２は固体電解質膜１９上に形成されたペロブスカイト
型複合酸化物よりなる第１電極、１３は金よりなる第２
電極で、ここではＡｕを用いスクリーン印刷法、スパッ
タ法、電子線蒸着法などにより成膜している。

【００２７】以上の構成において、耐熱低熱伝導性基板
１８である石英ガラスは熱伝導係数が非常に小さいの
で、ヒータ１６によって与えられた熱はほとんど絶縁膜
１９固体電解質膜２０、第１および第２電極１２、１３
の加熱に使われ、瞬時に高温に達することができる。ま
た、動作温度は２５０℃程度であるので、瞬間的に昇温
されても熱膨張率の差によってクラックが発生すること
は無いので、パルス的な運転が可能になり、消費電力を
大幅に低減することができる。

【００２８】（実施例３）図６は本発明の実施例３の要
部断面図である。図６において１１は酸素イオン伝導性
の固体電解質基板で、この固体電解質基板１１の一方の
面にペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極１２
および金よりなる第２電極１３が形成されている。第１
電極１２、第２電極１３上には多数の微細な貫通孔を有
する多孔質板２２設定され、ガラスなどの接合材２３に
よって固体電解質板１１と密着接合されている。また、
固体電解質基板１１のもう一方の面には絶縁材１５を介
してヒータ１６が形成されている構成としている。多孔
質板２２はゾルゲル法などにより、内部孔径を数Åから
数１００Åに制御しており、シリコーンやイオウ酸化物
などの進入による電極の被毒を防止し、長期間安定して
使用できる。

【００２９】図７は実施例３の別の構成を示す要部断面
図である。図７では図６で示した構成の多孔質板２２以
外を薄膜で形成する構成としている。すなわち、多数の
微細な貫通孔を有する多孔質板２２の一方の面に、スパ
ッタ法、電子線蒸着法によりロブスカイト型複合酸化物
よりなる第１電極１２と、金よりなる第２電極１３を形
成し、この第１電極１２および第２電極１３を覆うよう
に固体電解質膜２０を形成している、さらに、この固体
電解質膜２０を覆うように絶縁膜１９を形成し、この絶
縁膜１９にヒータ１６がパターニングされている。さら
にヒータ１６はその露出面を保護層２４で被覆し、シリ
コーンやイオウ酸化物などの被毒ガスによるヒータ１６
の劣化を防止している。上記構成において、電極を異な
った組成のペロブスカイト型複合酸化物によって形成す
ることにより、動作温度を低下させて、大幅な消費電力
の低下を図るのに加え、多孔質板２２以外は放熱ロスの
原因となる基板等を有していないので、固体電解質、電
極を瞬間的に所定の動作温度まで加熱することができ
る。したがって、パルス的な駆動でセンサを動作させる
ことが可能になり、消費電力を大幅に削減して、電池電
源での動作を可能にする。

【００３０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ＣＯガス
に酸化反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および
酸素イオン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸化物
で第１電極を構成し、かつ、第二電極を金で構成するこ
とにより、第一電極と第二電極で酸素濃度に差を生じさ
せ、この濃度差を利用して、酸化触媒無しでＣＯ出力の
大きなガスセンサを形成するとともに、ＣＯガスに酸化
反応を起こさせ易く、かつ高い電子伝導性および酸素イ
オン伝導性を有するペロブスカイト型複合酸化物を第１
電極に用いることによりガスセンサの動作温度を大幅に
低下させ、省電力化を図ることができる。

【００３１】また、熱伝導性の低い基板上にガスセンサ
を薄膜で構成することにより、ガスセンサの熱容量を大
幅に低下して、瞬間的に所定の温度までの昇温が可能に
なるので、ガスセンサをパルス的に駆動して消費電力を
大幅に低減し電池電源での運転を可能にする。

【００３２】また、電極表面に貴金属の薄膜層を設ける
ことにより、空気中の微量な可燃生ガスや水分の影響を
低減することができる。

【００３３】さらに、気孔径を数Åから数１００Åに制
御した多孔質板を付加することによりシリコーンやイオ
ウ酸化物などの被毒ガスの進入を防止するのでガスセン
サを長期間安定に使用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施例１におけるガスセンサの
要部断面図（ｂ）同本発明の実施例１におけるガスセンサの別構成
の要部断面図

【図２】本発明の実施例１におけるガスセンサの電極特
性図

【図３】本発明の実施例１におけるガスセンサの出力特
性図

【図４】本発明の実施例２におけるガスセンサの要部断
面図

【図５】同本発明の実施例３におけるガスセンサの要部
断面図

【図６】同本発明の実施例３におけるガスセンサの別構
成の要部断面図

【図７】従来例のガスセンサの要部断面図

【符号の説明】

１１固体電解質基板１２第１電極１３第２電極１５絶縁材１６ヒータ１８耐熱低熱伝導性基板１９絶縁膜２０固体電解質膜２１薄膜層２２多孔質板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者丹羽孝大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者鶴田邦弘大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者梅田孝裕大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 2G004 BB04 BC02 BE12 BE23 BE27 BF04 BJ02 BM07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前
記固体電解質基板の表面に形成されたペロブスカイト型
複合酸化物よりなる第１電極と、金よりなる第２電極を
有するガスセンサ。
【請求項２】酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前
記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイ
ト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記固体電解質基
板の他方の面に形成された金よりなる第２電極を有する
ガスセンサ。
【請求項３】酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前
記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイ
ト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同
一面に形成された金よりなる第二電極を有するガスセン
サ。
【請求項４】酸素イオン伝導性固体電解質基板と、前
記固体電解質基板の一方の面に形成されたペロブスカイ
ト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同
一面に形成され金よりなる第二電極と、前記固体電解質
板の他方の面に絶縁材を介して形成されたヒータを有す
るガスセンサ。
【請求項５】耐熱低熱伝導性の基板と、前記基板上に
形成されたヒータと、前記ヒータを覆うように設けられ
た絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられた酸素イオン伝導
性の固体電解質膜と、前記固体電解質膜上に形成された
ペロブスカイト型複合酸化物よりなる第１電極と、前記
第１電極と同一面に形成され金よりなる第二電極を有す
るガスセンサ。
【請求項６】酸素イオン伝導性固体電解質板と、前記
固体電解質板の一方の面に形成されたペロブスカイト型
複合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面
に形成され金よりなる第２電極と、前記第１電極および
第２電極上に設定された多数の微細な孔を有する多孔質
板と、前記固体電解質板のもう一方の面に絶縁材を介し
て形成されたヒータとを有するガスセンサ。
【請求項７】多数の微細な孔を有する多孔質板と、前
記多孔質板の一方の面に形成されたペロブスカイト型複
合酸化物よりなる第１電極と、前記第１電極と同一面に
形成され金よりなる第２電極と、前記第１電極および第
２電極を覆うように形成された固体電解質膜と、前記固
体電解質膜を覆うように形成された絶縁膜と、前記絶縁
膜上に形成されたヒータを有するガスセンサ。