JP3774081B2 - フーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路及びその方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フーリオンチップ・ウェハレベルでバーンインテストをするためのフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路、及びその方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、不良DRAM(Dynamic Random Access Memory)を早期に選り分けるためスクリーニングテストを行うが、主に高温、高電圧動作試験であるバーンインテストモードを利用する。このバーンインテストは、高温、高電圧のように苛酷な条件でDRAMを動作させ短時間内に潜在的欠陥を露出させる動作である。
【0003】
従って、チップ内部の各部分が適切なストレス、特に加速ストレスを受けなければならないが、内部電源電圧(VINT)を採用しているDRAMにおいてもこのようなバーンインテストは勿論必要であり、内部電源回路はバーンインテスト時に内部回路が過度なストレスを受けないよう内部電圧を調節し、スクリーニングのためのストレスのみが印加されるようにしなければならない。
【0004】
バーンインテストを行う時、使用者が外部クロック信号を変更してDRAMにバーンインテストモードであることを知らせてバーンインテストモードに準備するようにする方法もあり得るが、単純に外部印加電圧(VEXT)を一定電圧以上に上昇させることだけでバーンインテストモードに自動的に進入させるのが一層便利である。
【0005】
さらに、内部電源電圧(VINT)と外部印加電圧(VEXT)との関係は次のような条件を満足しなければならない。
1)バーンインテストの際、回路全体が一定な電圧上昇比を有しなければならない。;チップ上の全体の回路に正常動作時に印加される電圧を、バーンインテスト時には全体的に一定比率に増加させる必要がある。
【0006】
従って、外部印加電圧(VEXT)を用いる回路と内部電源電圧(VINT)を用いる回路に印加されるバーンインテスト電圧の上昇比が互いに同じでなければならない。
【0007】
即ち、次式(1)の関係が成立しなければならない。
【数1】
【0008】
2)正常動作の際、静電圧区間の確保;DRAMは定格外部電圧が±10%変化しても正常動作するように規定されているので、メモリ動作の安定化のため、この区間内で一定なVINTN値を有しなければならない。
【0009】
即ち、次式(2)が成立しなければならない。
VINT = VINTN(0.9VEXTN ≦ VEXT ≦ 1.1VEXTN)・・・(2)
【0010】
また、従来の半導体素子では、バーンインテスト以後の初期信頼性欠陥(Initial Reliability Failure)をスクリーンするため、ストレススクリーン(Stress Screen)用電圧を外部からチップ(Die)内に入力(forcing)しなければならない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
従来の半導体素子では、バーンインテスト以後の初期信頼性欠陥(Initial Reliability Failure)をスクリーンするため、ストレススクリーン(Stress Screen)用電圧を外部からチップ(Die)内に入力(forcing)しなければならないが、この際、過度な外部電圧がチップに印加される場合、不安定な外部電圧により欠陥(Defect)が発生される欠点があり、前記欠陥によりバーンインテストの所期目的を達成することができないという問題があった。
【0012】
従って、バーンインテストのための他のウェハの準備に所要される時間的、経済的損失を伴うことになるという問題があった。
【0013】
本発明は、上記課題を解決するため、外部から供給された電圧と外部信号(WBI)を利用してストレススクリーン用電圧をチップ内部で発生することにより、ウェハバーンインテストを行うことができるようにしたフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路及びその方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記したような目的を達成するため請求項1記載の発明は、
外部電源電圧(Vext)を受信しゲート酸化膜欠陥スクリーン用高電圧(Vpp)を発生させる高電圧発生器(10)と、
ウェハバーンイン信号(WBI)を検出するパッドオンチップ(20)と、
前記パッドオンチップ(20)を介して検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セル(50)のゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)を発生させるビットラインプリチャージ電圧発生器(30)と、
前記パッドオンチップ(20)を介して検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セル(50)のセルプレート電圧(Vcp)を発生させるセルプレート電圧発生器(40)と、
を含み、
前記セルプレート電圧発生器(40)は、
前記ウェハバーンイン信号( WBI )により、正常モード時には前記セルプレート電圧( Vcp )を一定レベルに設定してセルプレートに印加するセルプレート電圧レベル生成部(41)と、
前記ウェハバーンイン信号( WBI )により、バーンインモード時には前記セルプレート電圧( Vcp )を、グラウンド電圧レベルに初期化させ、その初期化後に前記外部電源電圧( Vext )を分圧し、キャパシタ欠陥スクリーン用セルプレート電圧( Vcp )を発生させて前記セルプレートに印加する電圧分配部(42)と、を備えることを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記パッドオンチップは、前記ウェハバーンイン信号( WBI )を生成するためチップ内部に検出回路を有することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記電圧分配部は、CMOSトランジスタを用いて構成することを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記電圧分配部は、CMOSではない他のトランジスタを用いて構成することを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記電圧分配部は、CMOSトランジスタとレジスタを用いて構成することを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記電圧分配部は、CMOS以外のトランジスタとレジスタを用いて構成することを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、
前記電圧分配部は、CMOSとCMOS以外のトランジスタを直列に連結しダイオード電圧降下を利用して構成することを特徴とする。
【0015】
さらに、前記したような目的を達成するため請求項8記載の発明は、半導体素子内の初期信頼性テストにおいて、フーリオンチップ・ウェハレベルでバーンインテストをするため、
外部電源電圧(Vext)を受信しゲート酸化膜欠陥スクリーン用高電圧(Vpp)を発生させる第1過程と、
ウェハバーンイン信号(WBI)を検出する第2過程と、
前記第2過程で検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セルのゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)を発生させる第3過程と、
前記第2過程で検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、正常モード時には前記ゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧( Vblp )レベルのセルプレート電圧( Vcp )を発生させ、バーンインモード時には前記セルプレート電圧( Vcp )をグラウンド電圧レベルに初期化させ、その初期化後に前記外部電源電圧( Vext )を分配したセルのキャパシタ欠陥スクリーン用セルプレート電圧( Vcp )を発生させて前記セルプレートに印加する第4過程と、を含むことを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
前記第2過程は、ウェハバーンインテストモード進入を知らせるため、チップで既使用される信号を用いることを特徴とする。
請求項10に記載の発明は、請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
前記第2過程は、制御信号(例えば /RAS 、 /CAS 、 /OE 、 /WE )用パッドを用いて前記ウェハバーンイン信号( WBI )を生成することを特徴とする。
請求項11に記載の発明は、請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
前記第2過程は、データ信号( DQ )用パッドを用いて、前記ウェハバーンイン信号( WBI )を生成することを特徴とする。
請求項12に記載の発明は、請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
前記第2過程は、アドレス( A0 、 A1 等)用パッドを用いて、前記ウェハバーンイン信号( WBI )を生成することを特徴とする。
請求項13に記載の発明は、請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
前記第2過程は、前記ウェハバーンイン信号( WBI )を生成するため、特定電圧レベルで制御することを特徴とする。
【0016】
したがって、半導体素子の種々なテスト項目等の中、バーンインテスト以後の信頼性欠陥をスクリーンするため、バーンインテスト以後の素子内の信頼性欠陥の中、ゲート酸化膜欠陥とキャパシタ欠陥をスクリーンすることにより、フーリオンチップテスト(Fully On−Chip Test)を可能にして、半導体素子のテスト項目進行において消耗される時間を節約し、その費用を軽減できる。また、本発明は、DRAM、SRAM等の半導体素子を利用したトランジスタの構成とデータ貯蔵のためのキャパシタを有する全てのIC素子等のバーンインテストに対して適用可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明を適用した一実施の形態におけるフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路の構成を示す図である。
【0018】
この図1において、フーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路は、外部電源電圧(Vext)を受信しゲート酸化膜欠陥スクリーン用高電圧(Vpp)を発生させる高電圧発生器(10)と、ウェハバーンイン信号(WBI)を検出するパッドオンチップ(20)と、前記パッドオンチップ(20)を介して検出された外部ウェハバーンインモード進入信号(WBI)により、セル(50)のゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインフリーチャージ電圧(Vblp)を発生させるビットラインプリチャージ電圧発生器(30)と、前記パッドオンチップ(20)を介して検出された外部ウェハバーンインモード進入信号(WBI)により、セル(50)のキャパシタ欠陥スクリーン用セルプレート電圧(Vcp)を発生させるセルプレート電圧発生器(40)と、から構成されている。
【0019】
図1のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路において、先ず、キャパシタ欠陥をスクリーンするため、セルプレート電圧(Vcp)発生器(40)を、外部ウェハバーンインモード(Wafer Burn−In Mode 以下、WBIと称する)進入信号で圧縮させた後、電圧分配構造(Voltage Devider Schem)を適用し、外部テスト動作電圧(External Test Operating Voltage 以下Vextと称する)により、キャパシタストレススクリーン用電圧であるセルプレート電圧(Cell Plate Voltage 以下Vcpと称する)を2.9Vに生成する。
【0020】
この際、正常動作の時、セルプレート電圧(Vcp)はVcc/2の電圧レベルを有する。
【0021】
ここで、高電圧(Vpp)発生器(10)は、図2に示した回路構成図のように、外部電圧として5.5Vを受け入れて、ゲート酸化膜欠陥スクリーン用電圧6.3Vを生成するため、高電圧発生器(10)で外部電源電圧(Vext)が5.5Vに入力されると、多数個のインバータから構成されたリングオシレータ(11)により四つの信号(a、b、c、d)を発生させ、位相シフト回路(12)内のノアゲート(128、133)及びナンドゲート(136、137)に入力させる。
【0022】
従って、位相シフト回路(12)を介して位相が変化されたリング オシレータ(11)の発振信号(a、b、c、d)は、NMOSトランジスタをターンオンさせることにより発生した高電圧(Vpp)により、セル(50)のゲート酸化膜で6.3Vのストレス電圧を入力させる。
【0023】
一方、外部ウェハバーンイン(WBI)信号が“ハイ”にイネーブルされることにより、セルプレート電圧(Vcp)発生器(40)とビットラインプリチャージ電圧(Vblp)発生器(30)が正常動作をしなくなり、セルプレート電圧(Vcp)とビットラインプリチャージ電圧(Vblp)が正常動作時の電圧、即ちVcp=Vcc/2、Vblp=Vcc/2の電圧レベルを有することができず、グランドレベルを有することになる。
【0024】
ここで、ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)発生器(30)の動作を図3に示した回路構成を参照して詳しく説明すれば次の通りである。
【0025】
前記ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)発生器(30)に入力された“ロー”レベルの信号(gwbib & wbib)は、インバータ(195)を介して“ハイ”レベルに反転されノアゲート(196)の一方の端子に入力され全ての入力が“ロー”の場合、“ハイ”を出力する反転論理合演算に従い前記ノアゲート(196)の出力は“ロー”になる。
【0026】
このように“ロー”レベルとなったノア ゲート(196)の出力は、ナンドゲート(187)の一方の端子に入力され、全ての入力が“ハイ”の場合“ロー”を出力する反転論理掛け演算に従い、前記ナンドゲート(187)の出力は“ハイ”となる。
【0027】
このように“ハイ”レベルとなったナンドゲート(187)の出力は、NMOSトランジスタ(N86)のゲートに入力されると共に、インバータ(157)を介してPMOSトランジスタ(P91)のゲートに入力され、NMOSトランジスタ(N86)及びPMOSトランジスタ(P91)をターンオンさせる。
【0028】
このNMOSトランジスタ(N86)及びPMOSトランジスタ(P91)のターンオン動作により、NMOSトランジスタ(N82)及びPMOSトランジスタ(P89)がターンオフされることにより、ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)は正常動作時の電圧、即ちVcp=Vcc/2、Vblp=Vcc/2の電圧レベルを有することができず、グランドレベルを有することになる。
【0029】
さらに、前記のようにウェハバーンイン信号(WBI)が“ハイ”にイネーブルされると、gwbibは“ロー”になりセルプレート電圧(Vcp)発生器(40)に入力され、セルプレート電圧(Vcp)発生器(40)は図4に示した回路構成のように、“ロー”に入力された信号(gwbib)がセルプレート電圧レベル生成部(41)のインバータ(197)を介して“ハイ”レベルに反転されてノアゲート(196)の一方の端子に入力され、全ての入力が“ロー”の場合“ハイ”を出力する反転論理合演算に従いノアゲート(196)の出力は“ロー”となる。
【0030】
このように“ロー”レベルとなったノアゲート(196)の出力は、ナンドゲート(187)の一側端子に入力され全ての入力が“ハイ”の場合、“ロー”を出力する反転論理掛け演算に従い前記ナンド ゲート(187)の出力は“ハイ”となる。
【0031】
このように“ハイ”レベルとなったナンドゲート(187)の出力は、NMOSトランジスタ(N86)のゲートに入力されると共に、インバータ(157)を介してPMOSトランジスタ(P91)のゲートに入力され、NMOS(N86)及びPMOS トランジスタ(P91)をターンオンさせる。
【0032】
このNMOSトランジスタ(N86)及びPMOSトランジスタ(P91)のターンオン動作により、NMOSトランジスタ(N82)及びPMOSトランジスタ(P89)がターンオフされることにより、正常なセルプレート電圧(Vcp)を生成しないことになる。
【0033】
前記のようにウェハバーンイン信号(WBI)が“ハイ”にイネーブルされた以後、インバータ遅延により極性“ハイ”パルス幅を有する信号であるウェハバーンインテスト(Wafer Burn−In Test 以下Wbtと称する)信号がNMOSトランジスタ(N101)を瞬間的にターンオンさせ、セルプレート電圧レベル生成部(41)のセルプレート電圧(Vcp)をグランド電圧レベルに初期化させた後ターンオフされ、セルプレートとグランドが短絡されることを防ぐ。
【0034】
以後、外部電源電圧(Vext)5.5Vを受け入れ、セルプレート電圧(Vcp)レベル生成部(41)の上段に接続されている電圧分配部(Voltage Divider)(42)で、キャパシタ欠陥スクリーン(Failure Screen)用ストレス電圧を2.9Vに生成する。
【0035】
従って、キャパシタ欠陥スクリーン用ストレス電圧2.9Vを内部セルプレート電圧(Vcp)の代りにセルプレートに印加することにより、キャパシタ(Oxide−Nitride−Oxide)の欠陥をスクリーンすることができるようになる。
【0036】
即ち、“ハイ”にイネーブルされた外部WBI信号を受けてワードラインをイネーブルさせるワードラインデコーダ(図5参照)は、外部アドレスの入力がなくても強制的にイネーブルさせ、チップ(Die)内の全てのセル(50)をアクセス可能にすることにより、テストの際に消耗される時間を節約することができる。
【0037】
以上で詳しく説明したように本発明は、ウェハバーンインテストの際に必要とする過度な外部テスト動作電圧によるチップ内の欠陥(Defect)を減らすことになり、テスト条件の安定化によるバーンインテスト結果、そのデータの確認が有利である。
【0038】
従って、バーンインテスト結果、そのデータの確認のためのさらに他のチップの分類にかかるテスト時間及び試片確保のためのチップのウェハアウト工程を低減することができ、経費とテスト時間を共に軽減することができる。
【0039】
なお、上記実施の形態は、当業者であれば本発明の思想の範囲内で多様な修正、変更、付加等が可能であり、このような修正・変更等は以下の特許請求の範囲に属するものと見なすべきである。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体素子の種々なテスト項目等の中、バーンインテスト以後の信頼性欠陥(Reliability Failure)をスクリーンするため、バーンインテスト以後の素子内の信頼性欠陥の中、ゲート酸化膜欠陥とキャパシタ欠陥をスクリーンすることにより、フーリオンチップテスト(Fully On−Chip Test)を可能にして、半導体素子のテスト項目進行において消耗される時間を節約し、その費用を軽減できる。また、本発明は、DRAM、SRAM等の半導体素子を利用したトランジスタの構成とデータ貯蔵のためのキャパシタを有する全てのIC素子等のバーンインテストに対して適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した一実施の形態におけるフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路の構成を示すブロック図である。
【図2】図1の高電圧発生器(10)に対する詳細回路構成を示す図である。
【図3】 図1のビットラインプリチャージ電圧発生器(30)に対する詳細回路構成を示す図である。
【図4】図1のセルプレート電圧発生器(40)に対する詳細回路構成を示す図である。
【図5】図1のセル(50)内のワードラインデコーダに対する対する詳細回路構成を示す図である。
【符号の説明】
10 高電圧発生器
11 リングオシレータ
12 位相シフタ回路
20 パッドオンチップ
30 ビットラインプリチャージ電圧発生器
40 セルプレート電圧発生器
41 セルプレート電圧レベル生成部
42 電圧分配部
50 セル
Claims (13)
- 外部電源電圧(Vext)を受信し、ゲート酸化膜欠陥スクリーン用高電圧(Vpp)を発生させる高電圧発生器と、
ウェハバーンイン信号(WBI)を検出するパッドオンチップと、
前記パッドオンチップを介して検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セルのゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)を発生させるビットラインプリチャージ電圧発生器と、
前記パッドオンチップを介して検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セルのセルプレート電圧(Vcp)を発生させるセルプレート電圧発生器と、
を含み、
前記セルプレート電圧発生器は、
前記ウェハバーンイン信号( WBI )により、正常モード時には前記セルプレート電圧( Vcp )を一定レベルに設定してセルプレートに印加するセルプレート電圧レベル生成部と、
前記ウェハバーンイン信号( WBI )により、バーンインモード時には前記セルプレート電圧( Vcp )を、グラウンド電圧レベルに初期化させ、その初期化後に前記外部電源電圧( Vext )を分圧し、キャパシタ欠陥スクリーン用セルプレート電圧( Vcp )を発生させて前記セルプレートに印加する電圧分配部と、
を備えることを特徴とするフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記パッドオンチップは、
前記ウェハバーンイン信号(WBI)を生成するためチップ内部に検出回路を有することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記電圧分配部は、
CMOSトランジスタを用いて構成することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記電圧分配部は、
CMOSではない他のトランジスタを用いて構成することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記電圧分配部は、
CMOSトランジスタとレジスタを用いて構成することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記電圧分配部は、
CMOS以外のトランジスタとレジスタを用いて構成することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - 前記電圧分配部は、
CMOSとCMOS以外のトランジスタを直列に連結しダイオード電圧降下を利用して構成することを特徴とする請求項1記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト回路。 - フーリオンチップ・ウェハレベルでバーンインテストをするためのフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法において、
外部電源電圧(Vext)を受信し、ゲート酸化膜欠陥スクリーン用高電圧(Vpp)を発生させる第1過程と、
ウェハバーンイン信号(WBI)を検出する第2過程と、
前記第2過程で検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、セルのゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧(Vblp)を発生させる第3過程と、
前記第2過程で検出された前記ウェハバーンイン信号(WBI)により、正常モード時には前記ゲート酸化膜欠陥スクリーン用ビットラインプリチャージ電圧( Vblp )レベルのセルプレート電圧( Vcp )を発生させ、バーンインモード時には前記セルプレート電圧( Vcp )をグラウンド電圧レベルに初期化させ、その初期化後に前記外部電源電圧( Vext )を分配したセルのキャパシタ欠陥スクリーン用セルプレート電圧( Vcp )を発生させて前記セルプレートに印加する第4過程と、
を含むことを特徴とするフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。 - 前記第2過程は、
ウェハバーンインテストモード進入を知らせるため、チップで既使用される信号を用いることを特徴とする請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。 - 前記第2過程は、
制御信号(例えば /RAS 、 /CAS 、 /OE 、 /WE )用パッドを用いて前記ウェハバーンイン信号(WBI)を生成することを特徴とする請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。 - 前記第2過程は、
データ信号(DQ)用パッドを用いて、前記ウェハバーンイン信号(WBI)を生成することを特徴とする請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。 - 前記第2過程は、
アドレス(A0、A1等)用パッドを用いて、前記ウェハバーンイン信号(WBI)を生成することを特徴とする請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。 - 前記第2過程は、
前記ウェハバーンイン信号(WBI)を生成するため、特定電圧レベルで制御することを特徴とする請求項8記載のフーリオンチップ・ウェハレベル・バーンインテスト方法。
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