JP3771122B2 - ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はマイクロアクチュエータを用いた記録ヘッド或いは再生ヘッドの移動装置に関する。より詳しくは磁気ディスク等の記憶媒体を用いる駆動装置においてアームの先端に設けられるヘッドの移動装置に関するものであり、マイクロアクチュエータを駆動した際に発生するアーム側での励振を抑制してヘッドの高精度の位置決めが可能なヘッド移動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報機器の高密度化及び精密化が進んでおり、微小距離を精度良く移動できるアクチュエータへの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、プリンタの印字装置、磁気ディスク装置等に搭載されるヘッド移動装置では、微小距離を移動制御できるアクチュエータへの要請が特に大きい。
【0003】
このような情報機器の中でも、磁気ディスク等を用いる記憶ディスク装置は、近年急激に市場拡大を遂げているマルチメディア機器のキーディバイスの1つである。マルチメディア機器では、画像や音声等をより大量に、かつ高速に取扱うため、より記憶容量の多い装置の開発が望まれている。記憶ディスク装置の大容量化は一般にディスク1枚当たりの記憶容量を増大させることで実現する。しかし、ディスクの直径を変えずに記憶ディスク装置を高記録密度化するためには、単位長さ当たりのトラック数(TPI)を大きくする、つまりトラックの幅を狭くすることが不可欠である。そして、記録密度を急激に増加させるとトラックピッチが急激に狭まるため、記録トラックに対する記録・再生を行うヘッド素子(以下、単にヘッドと称す)の位置決めを精度よく行うヘッド移動装置が望まれる。
【0004】
そこで、ヘッドの位置決め精度を向上させる装置として、従来のヘッドアクチュエータ機構に加えて、マイクロアクチュエータを用いてロードビーム、スライダ或いはヘッドを微小駆動させる、いわゆる2重アクチュエータ型のヘッド移動装置が最近提案されてきている。
【0005】
例えば、本出願人は2重アクチュエータ型用の微動アクチュエータとして、圧電素子の剪断変形を利用したマイクロアクチュエータを提案している(特開平11−31368号公報)。また、これに限らず、圧電・静電型のマイクロアクチュエータを用いたヘッド移動装置が数多く提案されている。マイクロアクチュエータの分類としては、その駆動対象により3つに大別することができる。すなわち、ヘッドサスペンション駆動型、スライダ駆動型、ヘッド素子型である。
【0006】
ここで、スライダ駆動型、ヘッド素子型は高い寸法加工精度が必要であり、また製造コストが高くなる等の理由からヘッドサスペンション駆動型のマイクロアクチュエータを用いることが好ましい。このような観点から出願人が先に提案した上記特開平11−31368号公報に示される技術は、ヘッドサスペンション駆動型のヘッド移動装置に関するものである。
【0007】
ここで、ヘッドサスペンションとはメインアームの端部にその一端が接続される弾性を有するサブアームであり、その他端(先端)にはヘッドが固定されるためヘッドサスペンションと称される。このヘッドサスペンション駆動型のヘッド移動装置は、メインアームとヘッドサスペンションとの間に微小変位するマイクロアクチュエータを配設して、ヘッドサスペンションの先端にあるヘッドの位置決めを精度良く行うことができる。
【0008】
図1及び2は、従来のサスペンション駆動型を用いたヘッド移動装置に関連する技術について示す図である。図1及び2ではマイクロアクチュエータとして圧電素子を用い、その剪断変形を利用する例が示される。剪断変形の原理を図1(A)により説明する。厚さ方向に垂直な方向に分極されている圧電素子31(分極方向は図において点線白抜き矢印の方向)に、その上下の両面にそれぞれ電極22A、22Bを取付け、電極22Bを接地し、電極22Aに電圧Vを供給した場合、圧電素子31は滑り変形(剪断変形)をする。したがって電極22Bを接地した状態で電極22Aに電圧Vを供給すると、剪断型圧電素子31は、図1(B)に示すように、破線元の状態から、電極22A側は図に左方向に変形し、電極22B側は図の右方向に変形する。よって、電極22B側を固定しておけば、電極22A側は図1(A)で破線矢印で示す方向に変形する。また、この状態で逆に電極22Aを接地し、電極22Bに電圧Vを供給した場合は、電極22A側は図1(A)に実線の矢印で示す方向に変形する。
【0009】
このような圧電素子をマイクロアクチュエータとして用いる従来例のヘッド移動装置例を図2を用いてさらに説明する。ヘッド移動装置58はベースとなる固定部材20と、この固定部材20上に配置された駆動部材30、及びこの駆動部材30の上に配置された可動部材40とから構成されている。
【0010】
図2では、上記メインアームに相当する部位を固定部材20、上記ヘッドサスペンション(サブアーム)に相当する部位を可動部材40、上記マイクロアクチュエータに相当する部位を駆動部材30として一般的に説明している。
【0011】
図2(A)で、固定部材20の上には電極21が設けられており、リードパターン22によって図示しない電圧発生部に接続されている。駆動部材30は2つの剪断型圧電素子31が並列に並べられたものである。駆動部材30を構成する2つの圧電素子31の分極方向は点線で示す矢印の向き、すなわち、圧電素子の厚さ方向と垂直で、互いに逆向きになっている。駆動部材30の上に積層される可動部材40は導電性金属から構成されている。可動部材40がその直下の2つの圧電素子31に重なって直接駆動される基部43と、この基部43から突出する移動量拡大部44から構成され、さらにこの基部43にはこの基部43を2分するような第1の切欠き41が設けられている。そして、この第1の切欠き41は、この基部43に重なる駆動部材30の2つの圧電素子31の分極方向に平行な方向になっている。さらに、可動部材40の基部43と移動量拡大部44との境界部に、第1の切欠き41に直交する第2の切欠き42が駆動部材40の両側から設けられている。そして、この第1の切欠き41の先端部と第2の切欠きとでヒンジ45を形成している。
【0012】
図2(B)は図2(A)のアクチュエータ52を組立てた状態を示すものである。固定部材20の電極21がアンプ19を介してコントローラ18に接続されており、可動部材40とコントローラ18とはグランドに接続されている。したがって、コントローラ18から所定の極性の駆動信号が出力されると、この信号がアンプ19で増幅され、所定の電圧が2つの圧電素子31の厚さ方向に供給されるので、可動部材40は図に示す2点鎖線の方向に搖動することになる。
【0013】
よって、図2で可動部材40(ヘッドサスペンション)は、固定部材20(メインアーム)先端で圧電素子31(マイクロアクチュエータ)を駆動することにより微小移動されるので、ヘッドサスペンション先端に固定されているヘッドを微小移動させて位置決めできるヘッド移動装置を構成することになる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前述したようなヘッド移動装置において、ヘッドの位置決めの際に前記マイクロアクチュエータが駆動されると、駆動反力及びヘッドサスペンションの重心移動による慣性等により加振力が発生し、キャリッジが励振されアームの面内モードが励振されるという問題がある。このような場合、マイクロアクチュエータの共振周波数がいかに高くとも、アームの曲げモードがマイクロアクチュエータを駆動したことにより現われる。その周期はサーボ帯域を決定する主共振周波数となるので、ヘッド移動装置にマイクロアクチュエータを用い高精度にヘッドの位置決めをするという本来の特性を生かせない。
【0015】
したがって、マイクロアクチュエータを駆動した際に、アームの面内モードを励振しないヘッド移動装置とすることが必要となる。これを解決する方策として、例えば特開平9−161425号公報に開示される技術では、剛性の低いバネでヘッドを支持し、重心がアームの回転中心に一致した形状としておき、極めて小さい力でマイクロアクチュエータを駆動するタイプのヘッド移動装置が考えられる。しかしながら、このヘッド移動装置は一次共振周波数が数百Hzと低く、VCM(ボイスコイルモータ)駆動によるヘッド変位の伝達関数で反共振が見られ制御が困難であるという問題がある。また、別の基本的な解決策としてヘッド移動装置の質量を低減することが考えられるが、ヘッドサスペンションの形状等の制約から大幅な低減は難しい。
【0016】
そこで、本発明の目的は、マイクロアクチュエータを駆動した際にキャリッジの捩れモードや曲げモードが励振させる加振力を除くように制御し、精度良いヘッドの位置決めが可能なヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記目的は請求項1に記載される如く、複数の記憶媒体に対応する様に複数段のメインアームを有するキャリッジと、前記キャリッジを移動させるメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生する複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイクロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエータ及びマイクロアクチュエータを駆動してヘッドを位置決めするヘッド移動装置であって、一つのヘッドを微小移動するために前記マイクロアクチュエータを駆動するときは、該マイクロアクチュエータが配置されたメインアームとは異なるメインアームに配置され、かつ該マイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように逆向き且つ同様の振幅で駆動して一つのヘッドを移動させる励振制御部を設けたことを特徴とするヘッド移動装置により達成される。
【0018】
請求項1記載の発明によれば、あるヘッドを記憶ディスク上の所望位置に位置決めするために、マイクロアクチュエータが駆動される。このとき、マイクロアクチュエータの駆動により生じる加振力を除くように、マイクロアクチュエータが配置されたメインアームとは異なるメインアームに配置され、かつ該マイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように逆向き且つ同様の振幅で励振制御部が駆動させる。よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑制されるので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位置決めが可能となる。よって、記録密度が増加し益々挟トラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度に位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
【0019】
また、請求項2に記載される如く、請求項1記載のヘッド移動装置において、前記複数段に形成されたメインアームの内、最上段メインアーム及び最下段メインアームには、前記マイクロアクチュエータが1つずつ接続され、前記励振制御部は、いずれか一方のマイクロアクチュエータを駆動するときは、他方のマイクロアクチュエータを、該一方のマイクロアクチュエータとは逆向き且つ同様の振幅で駆動する構成とすることができる。
【0020】
請求項2記載の発明によれば、最上段メインアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接続される1つのマイクロアクチュエータが対とされ、これらは互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を打消すことができる。
【0021】
また、請求項3に記載の如く、請求項1または2記載のヘッド移動装置において、前記キャリッジは、複数段に形成されたメインアームの内、中間段に位置する複数の中間段メインアームを有し、前記複数の中間段メインアームには各々マイクロアクチュエータが2つ接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを逆向き且同様の振幅で駆動する構成とすることができる。
【0022】
請求項3記載の発明によれば、中間段メインアームに接続される2つのマイクロアクチュエータが対とされ、これらは互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を打消すことができる。
【0025】
また、請求項4に記載の如く、請求項1から3のうちいずれか一項に記載のヘッド移動装置において、前記メインアームと前記ヘッドとを接続するサブアームが設けられ、該サブアームと前記メインアームとの接続部の各々に前記マイクロアクチュエータが配設されていること構成とすることができる。
【0026】
請求項4記載の発明によれば、最上段メインアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接続される1つのマイクロアクチュエータが対とされ、これらは互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を打消すことができる。
【0027】
また、前記ヘッド移動装置において、前記マイクロアクチュエータは互いに前記加振力を打消し合う関係にある2つのグループに分割され、前記励振制御部は、第1グループ全体を同一方向に駆動させ、第2グループは逆向き且つ同様の振幅で駆動することにより、前記加振力を除去する構成とすることができる。
【0028】
この場合、マイクロアクチュエータを2つのグループに分け、ヘッドの位置決めをするために駆動されるマイクロアクチュエータを含む第1のグループが全体として同一方向に駆動され、その際に第2のグループは全体として逆方向に駆動される。マイクロアクチュエータはグループ毎に駆動されるので、マイクロアクチュエータ毎に駆動させる場合と比較すると回路構成を簡素化できる。
【0029】
ここで、加振力を打消し合う関係にあるマイクロアクチュエータは、例えば前述したように前記メインアームの形状において高さ方向の中心位置に対して対称性をもっている位置に配置されているマイクロアクチュエータである。
【0030】
また、前記ヘッド移動装置において、前記マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、その変位極性を予め逆極性に設定しておき、同じ電圧を供給したとき逆向きに動作させる構成とすることができる。この場合、同じ電圧を用いて圧電素子を逆向きに動作させることができる。
【0031】
また、前記ヘッド移動装置において、前記マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、その変位極性を予め同一極性に設定しておき、極性を反転させた電圧を供給したとき逆向きに動作させる構成とすることができる。
【0032】
この場合、極性を反転させた電圧を用いるので同一極性の圧電素子を使用することができ製造コストを低減することができる。
【0033】
また、前記ヘッド移動装置において、前記圧電素子は滑り変位を生じる剪断型の素子を用いることができる。この場合、前記サブアームを搖動して、ヘッドを位置決めすることができる。
【0034】
また、請求項5に記載の如く、請求項1から4のうちいずれか一項に記載のヘッド移動装置を備え、ディスク状の記憶媒体の再生を行う記憶ディスク駆動装置として構成することができる。この場合、再生精度が向上し、大容量の記憶ディスクに対応できる記憶ディスク駆動装置を提供できる。
【0035】
【発明の実施の形態】
以下本発明をより詳細に説明するが、ここではまず本発明の前提となる基本概念について説明する。
【0036】
図3はマイクロアクチュエータを用いるヘッド移動装置を搭載するキャリッジ100の構成を示す図である。図3(A)はキャリッジ100を上から見た図、図3(B)は同キャリッジ100を側面から見た図である。
【0037】
図3(A)に示されるように、キャリッジ100はメインアクチュエータとしてのVCM102を駆動源として回転軸104を中心に回動可能とされる。回転軸104に対し、VCM102とは反体側に、メインアーム106が突出し、メインアーム106の端部には先端にヘッド114を固定したサブアーム108が接続されている。
【0038】
なお、以下の説明では上記メインアーム106を単にアーム106、サブアーム106をヘッドサスペンション108として説明する。
【0039】
アーム106とヘッドサスペンション108とはマイクロアクチュエータとしての剪断型の圧電素子110を介して接続されている。よって、圧電素子110が滑り方向(剪断方向)に変位を発生させると矢印Xで示す方向にヘッドサスペンション108を微小移動させる装置となる。ヘッドサスペンション108の先端にはスライダ112を介してヘッド114が固定されているので、ヘッド114を図示せぬ記憶ディスクのトラックに対応するように移動して位置決めするヘッド移動装置となる。
【0040】
上記キャリッジ100を側面から示す図3(B)によると、アーム106は4段構成であり、上から順に最上段アーム106−1、中段アーム106−2、106−3、及び最下段アーム106−4を有している。
【0041】
最上段アーム106−1及び最下段アーム106−4には、それぞれ1つずつヘッドサスペンション108−1と108−4が接続されている。そして、最上段アーム106−1とヘッドサスペンション108−1との間には圧電素子110−1が設けられている。同様に最下段アーム106−4とヘッドサスペンション108−4との間には圧電素子110−4が設けられている。このように、最上段アーム106−1及び最下段アーム106−4には1つずつのヘッドサスペンションが接続され、その先端1つのヘッドが固定されている。
【0042】
一方、中段にある2つの中段アーム106−2及びアーム106−3には、それぞれ2つずつのヘッドサスペンションが接続されている。すなわち、アーム106−2にはヘッドサスペンション108−2A、108−2Bが、アーム106−3にはヘッドサスペンション108−3A、108−3Bが接続されている。
【0043】
このような構成となるのは、1枚の記憶ディスクの表裏両面に記録面が形成されるからであり、図3で示すキャリッジ100の場合は3枚の記憶ディスクに対応してアームが4段に形成されている。
【0044】
理解を容易にするために、図3(B)では各ヘッドサスペンション108或いはこれに固定されているヘッド114を上から順に♯0〜♯5の符号を付して説明する場合がある。
【0045】
さて、本発明ではある1つのヘッドを記憶ディスク上の所定トラックに位置決めするために、圧電素子110(マイクロアクチュエータ)を駆動させると、この駆動によりキャリッジ100が励振されアームの面内に曲げモードが励起されるような加振力が発生するので、この加振力を打消すように他の圧電素子110を用いて逆向き且つ同様の振幅で駆動させて励振を抑制するものである。
【0046】
すなわち、制御対象である1つの圧電素子110を駆動する際に、例えば同じアームに属する他の圧電素子110をこの制御対象である1つの圧電素子110と振幅が同じで互いの位相を打消し合うように(例えば180度ずらして)変位を持たせるように駆動させることで励振の問題を防止できることを見だして本発明に至ったものである。
【0047】
図3で示した2重アクチュエータ系の基本的なハード構成は従来と同様であるが、本発明では制御対象である1つのマイクロアクチュエータを駆動する際に、対を成す他のマイクロアクチュエータをこの制御対象であるマイクロアクチュエータと振幅を同じとし、その位相をずらして加振力を打消すように駆動させる励振制御部を有する点で異なっている。
【0048】
図3に示す2重アクチュエータ系を従来ヘッド移動装置の駆動制御の面から見ると、アーム106とマイクロアクチュエータ(圧電素子)110の運動方程式でダンピングを考慮すると下記(1)、(2)のように示される。
【0049】
【数1】
式(1)で、左辺第3項はマイクロアクチュエータ可動部(ヘッドサスペンション108)の重心が移動したことによる慣性力である。また、右辺第2項はマイクロアクチュエータ駆動力の反力である。VCMの駆動力Fr以外に、これらの力を受けその影響によりアームの曲げモードが励振され易い。
【0050】
例えば、マイクロアクチュエータの共振周波数が10kHz、アームの曲げモードが7kHzであるとすると、マイクロアクチュエータの駆動電圧に対するヘッドの変位の周波数応答関数は図4(A)のようになる。周波数104Hzにおけるピーク以前にピークが現われ、励振されてしまうことが分かる。
【0051】
これに対し、本発明によるヘッド移動装置のマイクロアクチュエータの駆動状態から見ると、アーム106とマイクロアクチュエータ(圧電素子)110の運動方程式は、それぞれ下記(3)、(4)のように示される。
【0052】
【数2】
この式から分かるように、アームの回転角は、マイクロアクチュエータの回転角θ2、駆動力Tの影響を受けいない。また、マイクロアクチュエータもアームの回転角θ1の影響を受けていない。よって、アームの振動モードの影響を避けて、マイクロアクチュエータ本来の位置決め制御が精度よく実現できることになる。図4(B)は図4(A)に対応して本発明の移動装置についてマイクロアクチュエータ駆動電圧に対する、ヘッド変位の周波数応等関数である。本発明では図4(A)の場合のようにアームの曲げ、捩れモードが励起されないので、7kHzのモードが現われず、マイクロアクチュエータの共振周波数まで、ピークが生じないことが確認できる。
【0053】
上述した説明においては、1つのアームに取り付けられたマイクロアクチュエータ(圧電素子)110を駆動する際の励振の抑制について説明をしたが、本発明の適用はこれに限るものではない。2つのマイクロアクチュエータが所定の剛性を有する構造で結ばれ、この両者が形状的に対称的な位置関係にある場合には、本発明を広く適用できる。すなわち、必ずしも同じアームに配置された1対のマイクロアクチュエータである必要はなく、一方のマイクロアクチュエータの駆動によって発生する加振力を打消すことが可能な位置にあるマイクロアクチュエータであれば、これらを対として互いに逆向きに駆動することで励振を抑制できる。例えば、複数段に形成されたアームの上下構造がある中心位置で対称性を有しているならば、最上段と最下段のマイクロアクチュエータについて、一方のマイクロアクチュエータによる加振力を他方のマイクロアクチュエータで打消すことができる。図3の場合はヘッド♯0とヘッド♯5を駆動するマイクロアクチュエータがこのような関係に相当する。
【0054】
さらに、駆動対象となるマイクロアクチュエータを含む第1のグループと、この第1のグループ内にあるアクチュエータそれぞれと加振力を打消す関係にあるマイクロアクチュエータを含む第2グループとを形成して、グループ毎に励振を抑制する構成としてもよい。このようにグループ化すると各マイクロアクチュエータ毎に独自の駆動回路を設ける必要がなくなるので、回路構成を簡素化できる。
【0055】
なお、上記励振を打消す関係となる2つのマイクロアクチュエータは、互いに駆動される方向が逆向きとなればよい。そのような構成とすることに特に限定はない。マイクロアクチュエータの駆動電圧が逆となるようにファームウエア或いはアンプで制御してもよい。また、マイクロアクチュエータの動作を逆向きに形成しておき、同一の電圧により駆動するようにしてもよい。
(第1実施例)
以下さらに、本発明の実施例を図面に基づき説明する。ただし、前述したように本発明はマイクロアクチュエータの駆動制御の内容に特徴を有している。よって、基本的なヘッド移動装置のハード構成を示した図3を本実施例の説明でも用いる。
【0056】
図5及び図6は第1実施例のヘッド移動装置200について示す図である。図5は本実施例のヘッド移動装置200の要部周辺構成を分解して示す斜視図である。図6はヘッドサスペンション208を含めてヘッド移動装置200とした状態を示す図である。なお、図6(A)はヘッド移動装置200の平面図、図6(B)は同側面である。図6のヘッドサスペンション208は、図3のヘッドサスペンション108に対応している。
【0057】
図5に示す本実施例でもマイクロアクチュエータとして剪断変形する圧電素子を2つ用いている。メインアーム側となる固定部材220とヘッドサスペンション側となる可動部材240の間に上下の電極241と221を介して、2つの圧電素子230−1と230−2とを配置している。電極241と221の間に所定電圧を供給することで2つの圧電素子230−1と230−2とを逆向きに剪断変形させて可動部材240に取付けられるヘッドサスペンション208を搖動させるようになっている。このような構成は先に図1及び図2を用いて説明した従来技術と基本的に同様である。
【0058】
しかし、本実施例のヘッド移動装置は制御対象となる圧電素子、即ち記憶ディスク上のトラックに対して記録及び/又は再生を行うヘッドを位置決めするために駆動される圧電素子が駆動されたとき、この駆動によって生ずる加振力を打消すように他の圧電素子を逆転状態で駆動させる励振制御部としてのコントローラ250を備える。
【0059】
さらに本第1実施例について上記図4、5に示されたヘッド移動装置を実際に用いる形態について説明するが、ここでは図3に示した4つのアームを備えたキャリッジ100に適用したものとして説明をする。よって、図3(A)には本実施例で用いたヘッド駆動装置に関連する符号を括弧内に示し、他は図3の符号を用いる。
【0060】
以下、図3を用いて圧電素子230の駆動制御の内容を説明する。また、図5において圧電素子230に関しては分極方向の異なる(GRA)と(GRB)との2種類が形成されており、この両者を略同時に駆動することで加振力を打消すことができる。図3(B)に示すように対となる(GRA)型の圧電素子230と(GRB)型の圧電素子230が設定される。
【0061】
例えば上記コントローラ250は、位置決め対象が♯1ヘッドであるときに制御対象となる圧電素子230−2Aを駆動させるが、このとき♯2ヘッドに属する圧電素子230−2Bを逆向きに駆動する制御を行う。このように同一アームにある圧電素子同士を対にして制御を行うと、♯1ヘッドを微小移動する際に生じる加振力は♯2ヘッドを逆移動させることにより効果的に相殺(キャンセル)でき、良好な機械特性を得ることができる。
【0062】
なお、♯1ヘッドと♯2ヘッドはそれぞれ、ヘッドサスペンション208−2Aと208−2Bを介して、中段アーム106−2に接続される関係となるが、中段アーム106−2自体も厚さ方向で対称形状を有していることが好ましい。
【0063】
一方、最上段の♯0ヘッドと最下段の♯5ヘッドについては、1つのアームに1つの圧電素子しか設置されていないので、上記♯1ヘッドと♯2ヘッドとの関係のように加振力を相殺する関係となる相手が同一アーム内には存在していない。しかし、図3で示すキャリッジは厚さ方向での中心位置で対称な形状をなしている。最上段のアーム106−1と最下段のアーム106−4に接続される圧電素子、すなわち最上段の♯0ヘッドと♯5最下段のヘッドの位置決め時に駆動される圧電素子を組み合わせて対とすると、上記♯1と♯2の関係に近似した相殺関係を形成できる。よって、単独で存在する最上段の♯0ヘッドと最下段の♯5ヘッドを駆動する際にも同様に励振を抑制できる。
【0064】
すなわち、キャリッジのアームを複数段で構成しても厚さ方向中心位置で対称な形状としておけば、低次の捩れモードは形状の対称性から一般に最上・最下段アームの捩れ、面内曲げの位相が同相となるので、その低次モードについては最上・最下段アームに固定された圧電素子を互いに逆向きに駆動することにより、加振力が相殺され励振を効果的に抑制できるのである。
【0065】
上記コントローラ250は以上説明したように、アーム106−2、106−3のように中段アームについては、一対となっている2つの圧電素子を互いの励振抑制に用いる。また、最上段のアームと最下段アームの圧電素子についてはこれらを対として互いの励振抑制に用いる。
【0066】
本第1実施例では、動作の方向が異なるように形成した(GRA)型と(GRB)型の圧電素子を用いている。この場合、制御対象となるヘッドが奇数番ヘッドか、偶数番ヘッドかによって、コンローラ250は電圧の向きを変える制御を実行する。例えば♯1ヘッドが記録・再生を行うときにはこれに属する圧電素子が制御対象となり、♯1ヘッドは圧電素子によりヘッドサスペンションを介して左向きに移動させる。このとき、コンローラ250は、♯1ヘッドを移動させたことにより生じる加振力を打消すべく、♯2ヘッド側の圧電素子を駆動し♯2ヘッドを右向きに移動させる制御を行う。一方、♯2ヘッドが記録・再生側のヘッドとなるときには、コンローラ250はこの逆の関係となるように制御を行う。
【0067】
図7は上記第1実施例で示した対となる圧電素子を制御する場合のコンローラ250周辺のブロック構成例を示している。電圧に対する圧電素子の変位が概ね同じとになるようにキャリブレーションし、コントローラ250としてDSP(デジタル シグナル プロセッサ)を用い、これに設定する補正定数をメモリに記憶させておく。その際に偶数番目のヘッドを移動させる圧電素子には正の、奇数番目のヘッドを移動させる圧電素子には負の定数として記憶させておけば、制御電圧を計算するルーチンにおいて、ヘッドの番号に応じた補正定数を使用することでドライバ251を介して供給する指示電圧の向きを切換えることで常に適性な励振抑制の制御が可能となる。
【0068】
図8は、上記第1実施例の変形例であり、圧電素子の変位方向が同一となるように設定した対の圧電素子を制御する場合のコンローラ250周辺のブロック構成例を示している。例えば全ての圧電素子の分極方向を図5で示す(GRA)に揃えておき、制御対象となる圧電素子にはドライバ251からの指示電圧をそのまま供給し、逆向きに駆動させる圧電素子には指示電圧を−1倍とするアンプ253を経由させて供給するように構成する。このような構成であれば、全て同じ状態に形成した圧電素子を用いることができるので、製造の品質管理、工程管理が効率的になされるのでコスト低減を図ることができる。
【0069】
さらに、上記第1実施例の変形例として、圧電素子の変位方向の極性は全て同じにしておく場合として図9のように構成してもよい。図9に示すブロック構成はDSP250から各々の制御電圧を計算し、ドライバ253、254からの指示電圧を供給するようにしている。この変形例によれば、圧電素子の状態に応じて高精度に励振防止の制御を行うことができる。
【0070】
なお、図7から図9で示される位置復調器270は記憶ディスク上に記載された位置情報に基づきヘッドの位置決めがされるように、コントローラ250に所定の位置誤差信号(PES)を供給している。
【0071】
上記第1実施例では対を形成する圧電素子の駆動状態をコンローラ250で制御することで、駆動対象の圧電素子により生ずる加振力を打消す構成を説明した。そして、図7から図9では例示的に1組(対)のブロック構成を示したが、ディスペンサヘッドを駆動する圧電素子全てについて同様の回路が形成され、コンローラ250による制御が実行される。
【0072】
(第2実施)
前述した第1実施例では、圧電素子を駆動することによる励振の問題を対称位置関係にある他の圧電素子を逆向きに駆動させる制御を実行することで抑制している。
【0073】
しかし、♯0と♯5、♯1と♯2、♯3と♯4のぞれぞれが常に対を成すように、圧電素子の駆動状態が維持されていることが少なくとも必要な条件である。即ち、♯0ヘッドが記録・再生する際には♯0ヘッドに接続される圧電素子が、制御対象であり、♯5ヘッドに接続される圧電素子が加振力を打消すために逆向きに駆動されるのであるが、このとき同時に、♯1ヘッド及び♯2ヘッドに接続さた圧電素子が互いの加振力を打ち消し合うように駆動されていてもよい。
【0074】
このような観点から、♯0、♯2、及び♯4ヘッドを同時に駆動される圧電素子の第1グループと、♯1、♯3、及び♯5を同時に駆動される圧電素子の第2グループに分け、これらをグループ毎に駆動対象の圧電素子を含むグループと励振を抑制する圧電素子を含むグループとに分けて駆動させてもよいのである。
【0075】
図10は第2実施例に対応するコントローラ250周辺のブロック構成図を示している。このブロック図は、第1実施例で示した図8の変位方向が同一となるように設定した圧電素子を用いた場合にグループ化して制御する例である。第1グループと第2グループに属する圧電素子を駆動する2つのドライバ255、257を備えていれば、逆向きに駆動する圧電素子の選択や、駆動電圧の供給方向等について複雑な処理が省略できるのでコントローラ250側での処理プログラムを大幅に簡素化できる。なお、図8で示した場合と同様に、圧電素子は全て同じ分極方向であり、単に2つのグループに分けて制御を行うので2種類の圧電素子を作成する必要がないことから本実施において、大幅な製作コスト低減が図られる。
【0076】
本第2実施例は図8に示した変位方向が同一である圧電素子を用いる場合に限らず図7に示した変位方向が逆である圧電素子についてもグループ化が可能であるし、図9に示した変位方向が同一である圧電素子を用いDSPから指示電圧を切換える場合の例についても同様にグループ化を適用できる
なお、図11には、♯0、♯2、及び♯4から成る第1グループと、♯1、♯3、及び♯5から成る第2グループに分ける際の回路構成の一例を示している。
【0077】
上記第1及び第2実施例では4つのアームを有するキャリッジを例に示しているが、理解を簡単にするために構成を簡素化したためであり、4つのアームとこれに接続されるマイクロアクチュエータの数を限定するものではない。すなわち、5段以上のアーム数となっても同様に本発明を適用できる。
【0078】
さらに、上述した実施例ではマイクロアクチュエータとして剪断変形する圧電素子を例に示したが、本発明はこのような特定マイクロアクチュエータの駆動により生じる励振の問題を解消するものに限定されない。本発明はマイクロアクチュエータを用いたヘッド移動装置で励振が問題となる場合に適用できることは言うまでもない。
【0079】
さらに、図12を用いて前述したヘッド移動装置を適用した記憶ディスク駆動装置を説明する。図12に示すのは、記憶ディスクを使用するハードディスク駆動装置である。ハードディスク駆動装置には高速回転するスピンドルSを有し、スピンドルSに複数枚の記憶ディスクDが所定間隔毎に取付けられている。記憶ディスクDにはその両面にデータが記録されるようになっており、この記憶ディスクDへの記録・再生は記憶ディスクD毎にその片面又は両面に設けられたヘッドHにより行われる。この複数のヘッドHの記憶ディスクD上への移動は、アームAとディスペンスヘッドDPを介してなされ、記憶ディスクDのトラック上に所定のヘッドが位置決めされる。このときアームAはメインアクチュエータMAにより一体に駆動され、アームAの先端に配置されディスペンスヘッドDPはマイクロアクチュエータを用いた微小移動装置SYにより個別に微小駆動される。ここで、微小移動装置SYとして前述した実施例のヘッド移動装置を採用することができる。このような装置は、ヘッドHを移動するために対象となる特定のマイクロアクチュエータを駆動させると、常に励振抑制用に対とされている他のマイクロアクチュエータが駆動され加振力が打消される。よって、従来のように励振の問題を生じることなく位置決め精度の高いハードディスク駆動装置として提供できる。このような装置は高密度化され挟トラック幅となった記憶ディスクに対しても高精度でヘッドを位置決めすることができる。
【0080】
なお、前述した実施例ではメインアームとヘッドサスペンション(サブアーム)との接続部分にマイクロアクチュエータを設けて励振を抑制する例を示している。しかし本発明はこのような形態に限らず、キャリッジとヘッドの間に配置されるマイクロアクチュエータに関し、ヘッドを微小移動させるためにマイクロアクチュエータを駆動する際に他のマイクロアクチュエータを駆動することで問題となる加振力を抑制できる構成でばよい。
【0081】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【0082】
なお、以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
【0083】
(付記1) キャリッジと、前記キャリッジを移動するメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生する複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイクロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエータ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘッドを位置決めするヘッド移動装置であって、
所望の前記マイクロアクチュエータを駆動するときには、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように他のマイクロアクチュエータを駆動させる励振制御部を設けた、ヘッド移動装置。
【0084】
(付記2) 前記キャリッジは複数の記憶媒体に対応する様に複数段のメインアームを有すると共に、その形状において高さ方向の中心位置に対して対称性をもって形成され、
前記励振制御部は、前記ヘッドの微小移動のため駆動されるマイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを前記他のマイクロアクチュエータとして逆向き且つ同様の振幅で駆動する、ことを特徴とする付記1記載のヘッド移動装置。
【0085】
(付記3) 前記複数段に形成されたメインアームの内、中間段に位置する各中間段メインアームには前記マイクロアクチュエータが2つ接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、
前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且同様の振幅で駆動する、ことを特徴とする付記2記載のヘッド移動装置。
【0086】
(付記4) 前記複数段に形成されたメインアームの内、最上段メインアーム及び最下段メインアームには、前記マイクロアクチュエータが1つずつ接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、
前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様の振幅で駆動する、ことを特徴とする付記2記載のヘッド移動装置。
【0087】
(付記5) 前記メインアームと前記ヘッドとを接続するサブアームが設けられ、該サブアームと前記メインアームとの接続部の各々に前記マイクロアクチュエータが配設されている、ことを特徴とする付記1から4いずれかに記載のヘッド移動装置。
【0088】
(付記6) 前記マイクロアクチュエータは互いに前記加振力を打消し合う関係にある2つのグループに分割され、
前記励振制御部は、第1グループ全体を同一方向に駆動させ、第2グループは逆向き且つ同様の振幅で駆動することにより、前記加振力を除去する、ことを特徴とする付記2記載のヘッド移動装置。
【0089】
(付記7) 前記マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、その変位極性を予め逆極性に設定しておき、同じ電圧を供給したとき逆向きに動作させることを特徴とする付記1から6いずれかに記載のヘッド移動装置。
【0090】
(付記8) 前記マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、その変位極性を予め同一極性に設定しておき、極性を反転させた電圧を供給したとき逆向きに動作させることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載のヘッド移動装置。
【0091】
(付記9) 前記圧電素子は滑り変位を生じる剪断型の素子であることを特徴とする付記7又は8記載のヘッド移動装置。
【0092】
(付記10) 付記1から9のいずれかに記載のヘッド移動装置を備え、ディスク状の記憶媒体の再生を行う記憶ディスク駆動装置。
【0093】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、請求項1記載の発明によれば、あるヘッドを記憶ディスク上の所望位置に位置決めするために、一つのマイクロアクチュエータが駆動される。このとき、マイクロアクチュエータの駆動により生じる加振力を除くように、励振制御部がそのマイクロアクチュエータが配置されたメインアームとは異なるメインアームに配置され、かつそのマイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように逆向き且つ同様の振幅で駆動して一つのヘッドを移動させる。よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑制されるので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位置決めが可能となる。したがって、記録密度が増加し益々挟トラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度に位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のサスペンション駆動を用いたヘッド移動装置に関連する技術について示す図である。
【図2】従来のサスペンション駆動を用いたヘッド移動装置に関連する技術について示す図である。
【図3】マイクロアクチュエータを用いたヘッド移動装置を搭載したキャリッジの構成を示す図である。
【図4】マイクロアクチュエータの駆動電圧に対するヘッドの変位の周波数応答関数について示す図である。
【図5】第1実施例のヘッド移動装置について示す図である。
【図6】第1実施例のヘッド移動装置について示す図である。
【図7】第1実施例で示した対となる圧電素子を制御する場合のコンローラ周辺のブロック構成例を示す図である。
【図8】圧電素子の変位方向が同一となるように設定した対の圧電素子を制御する場合のコンローラ周辺のブロック構成例を示す図である。
【図9】圧電素子の変位方向が同一となるように設定した対の圧電素子を制御するたの場合のコンローラ周辺のブロック構成例を示す図である。
【図10】第2実施例に対応するコントローラ周辺のブロック構成を示す図である。
【図11】第1グループと第2グループに分ける際の回路構成の一例を示す図である。
【図12】実施例のヘッド移動装置を適用した記憶ディスク駆動装置を説明する図である。
【符号の説明】
100 キャリッジ
106 アーム(メインアーム)
108 ヘッドサスペンション(サブアーム)
110 圧電素子(マイクロアクチュエータ)
114 ヘッド素子
200 ヘッド移動装置
208 ヘッドサスペンション(サブアーム)
230 圧電素子(マイクロアクチュエータ)
250 コントローラ(励振制御部)
Claims (5)
- 複数の記憶媒体に対応する様に複数段のメインアームを有するキャリッジと、
前記キャリッジを移動させるメインアクチュエータと、
記憶媒体から情報を再生する複数のヘッドと、
前記キャリッジと前記ヘッドとの間に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイクロアクチュエータとを有し、
前記メインアクチュエータ及びマイクロアクチュエータを駆動してヘッドを位置決めするヘッド移動装置であって、
一つのヘッドを微小移動するために前記マイクロアクチュエータを駆動するときは、該マイクロアクチュエータが配置されたメインアームとは異なるメインアームに配置され、かつ該マイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように逆向き且つ同様の振幅で駆動して一つのヘッドを移動させる励振制御部を設けたことを特徴とするヘッド移動装置。 - 前記複数段に形成されたメインアームの内、最上段メインアーム及び最下段メインアームには、前記マイクロアクチュエータが1つずつ接続され、
前記励振制御部は、いずれか一方のマイクロアクチュエータを駆動するときは、他方のマイクロアクチュエータを、該一方のマイクロアクチュエータとは逆向き且つ同様の振幅で駆動することを特徴とする請求項1記載のヘッド移動装置。 - 前記キャリッジは、複数段に形成されたメインアームの内、中間段に位置する複数の中間段メインアームを有し、
前記複数の中間段メインアームには各々マイクロアクチュエータが2つ接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを逆向き且同様の振幅で駆動する、ことを特徴とする請求項1または2記載のヘッド移動装置。 - 前記メインアームと前記ヘッドとを接続するサブアームが設けられ、該サブアームと前記メインアームとの接続部の各々に前記マイクロアクチュエータが配設されていることを特徴とする請求項1から3のうちいずれか一項に記載のヘッド移動装置。
- 請求項1から4のうちいずれか一項に記載のヘッド移動装置を備え、ディスク状の記憶媒体の再生を行う記憶ディスク駆動装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000268772A JP3771122B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 |
US09/814,751 US6697211B2 (en) | 2000-09-05 | 2001-03-23 | Magnetic head drive device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000268772A JP3771122B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002074872A JP2002074872A (ja) | 2002-03-15 |
JP3771122B2 true JP3771122B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=18755499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000268772A Expired - Fee Related JP3771122B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6697211B2 (ja) |
JP (1) | JP3771122B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9230583B1 (en) | 2014-12-24 | 2016-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Disc device and controlling method |
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-
2000
- 2000-09-05 JP JP2000268772A patent/JP3771122B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-23 US US09/814,751 patent/US6697211B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002074872A (ja) | 2002-03-15 |
US20020027741A1 (en) | 2002-03-07 |
US6697211B2 (en) | 2004-02-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050510 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090217 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110217 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120217 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130217 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130217 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130217 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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