JP2002074872A - ヘッド移動装置 - Google Patents
ヘッド移動装置Info
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- JP2002074872A JP2002074872A JP2000268772A JP2000268772A JP2002074872A JP 2002074872 A JP2002074872 A JP 2002074872A JP 2000268772 A JP2000268772 A JP 2000268772A JP 2000268772 A JP2000268772 A JP 2000268772A JP 2002074872 A JP2002074872 A JP 2002074872A
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- head
- microactuator
- micro
- arm
- moving device
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、マイクロアクチュエータを
駆動した際にキャリッジの捩れモードや曲げモードが励
振させる加振力を除くように制御し、精度よくヘッドの
位置決めが可能なヘッド移動装置を提供することであ
る。 【解決手段】 キャリッジと、前記キャリッジを移動す
るメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生す
る複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間
に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイ
クロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエー
タ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘ
ッドを位置決めするヘッド移動装置であって、所望の前
記マイクロアクチュエータを駆動するときには、前記キ
ャリッジに生じる加振力を除去するように他のマイクロ
アクチュエータを駆動させる励振制御部を設けている。
駆動した際にキャリッジの捩れモードや曲げモードが励
振させる加振力を除くように制御し、精度よくヘッドの
位置決めが可能なヘッド移動装置を提供することであ
る。 【解決手段】 キャリッジと、前記キャリッジを移動す
るメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生す
る複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間
に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイ
クロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエー
タ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘ
ッドを位置決めするヘッド移動装置であって、所望の前
記マイクロアクチュエータを駆動するときには、前記キ
ャリッジに生じる加振力を除去するように他のマイクロ
アクチュエータを駆動させる励振制御部を設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロアクチュエ
ータを用いた記録ヘッド或いは再生ヘッドの移動装置に
関する。より詳しくは磁気ディスク等の記憶媒体を用い
る駆動装置においてアームの先端に設けられるヘッドの
移動装置に関するものであり、マイクロアクチュエータ
を駆動した際に発生するアーム側での励振を抑制してヘ
ッドの高精度の位置決めが可能なヘッド移動装置に関す
る。
ータを用いた記録ヘッド或いは再生ヘッドの移動装置に
関する。より詳しくは磁気ディスク等の記憶媒体を用い
る駆動装置においてアームの先端に設けられるヘッドの
移動装置に関するものであり、マイクロアクチュエータ
を駆動した際に発生するアーム側での励振を抑制してヘ
ッドの高精度の位置決めが可能なヘッド移動装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報機器の高密度化及び精密化が
進んでおり、微小距離を精度良く移動できるアクチュエ
ータへの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補
正や傾角制御、プリンタの印字装置、磁気ディスク装置
等に搭載されるヘッド移動装置では、微小距離を移動制
御できるアクチュエータへの要請が特に大きい。
進んでおり、微小距離を精度良く移動できるアクチュエ
ータへの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補
正や傾角制御、プリンタの印字装置、磁気ディスク装置
等に搭載されるヘッド移動装置では、微小距離を移動制
御できるアクチュエータへの要請が特に大きい。
【０００３】このような情報機器の中でも、磁気ディス
ク等を用いる記憶ディスク装置は、近年急激に市場拡大
を遂げているマルチメディア機器のキーディバイスの１
つである。マルチメディア機器では、画像や音声等をよ
り大量に、かつ高速に取扱うため、より記憶容量の多い
装置の開発が望まれている。記憶ディスク装置の大容量
化は一般にディスク１枚当たりの記憶容量を増大させる
ことで実現する。しかし、ディスクの直径を変えずに記
憶ディスク装置を高記録密度化するためには、単位長さ
当たりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくする、つまりト
ラックの幅を狭くすることが不可欠である。そして、記
録密度を急激に増加させるとトラックピッチが急激に狭
まるため、記録トラックに対する記録・再生を行うヘッ
ド素子（以下、単にヘッドと称す）の位置決めを精度よ
く行うヘッド移動装置が望まれる。
ク等を用いる記憶ディスク装置は、近年急激に市場拡大
を遂げているマルチメディア機器のキーディバイスの１
つである。マルチメディア機器では、画像や音声等をよ
り大量に、かつ高速に取扱うため、より記憶容量の多い
装置の開発が望まれている。記憶ディスク装置の大容量
化は一般にディスク１枚当たりの記憶容量を増大させる
ことで実現する。しかし、ディスクの直径を変えずに記
憶ディスク装置を高記録密度化するためには、単位長さ
当たりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくする、つまりト
ラックの幅を狭くすることが不可欠である。そして、記
録密度を急激に増加させるとトラックピッチが急激に狭
まるため、記録トラックに対する記録・再生を行うヘッ
ド素子（以下、単にヘッドと称す）の位置決めを精度よ
く行うヘッド移動装置が望まれる。
【０００４】そこで、ヘッドの位置決め精度を向上させ
る装置として、従来のヘッドアクチュエータ機構に加え
て、マイクロアクチュエータを用いてロードビーム、ス
ライダ或いはヘッドを微小駆動させる、いわゆる２重ア
クチュエータ型のヘッド移動装置が最近提案されてきて
いる。
る装置として、従来のヘッドアクチュエータ機構に加え
て、マイクロアクチュエータを用いてロードビーム、ス
ライダ或いはヘッドを微小駆動させる、いわゆる２重ア
クチュエータ型のヘッド移動装置が最近提案されてきて
いる。
【０００５】例えば、本出願人は２重アクチュエータ型
用の微動アクチュエータとして、圧電素子の剪断変形を
利用したマイクロアクチュエータを提案している（特開
平１１−３１３６８号公報）。また、これに限らず、圧
電・静電型のマイクロアクチュエータを用いたヘッド移
動装置が数多く提案されている。マイクロアクチュエー
タの分類としては、その駆動対象により３つに大別する
ことができる。すなわち、ヘッドサスペンション駆動
型、スライダ駆動型、ヘッド素子型である。
用の微動アクチュエータとして、圧電素子の剪断変形を
利用したマイクロアクチュエータを提案している（特開
平１１−３１３６８号公報）。また、これに限らず、圧
電・静電型のマイクロアクチュエータを用いたヘッド移
動装置が数多く提案されている。マイクロアクチュエー
タの分類としては、その駆動対象により３つに大別する
ことができる。すなわち、ヘッドサスペンション駆動
型、スライダ駆動型、ヘッド素子型である。
【０００６】ここで、スライダ駆動型、ヘッド素子型は
高い寸法加工精度が必要であり、また製造コストが高く
なる等の理由からヘッドサスペンション駆動型のマイク
ロアクチュエータを用いることが好ましい。このような
観点から出願人が先に提案した上記特開平１１−３１３
６８号公報に示される技術は、ヘッドサスペンション駆
動型のヘッド移動装置に関するものである。
高い寸法加工精度が必要であり、また製造コストが高く
なる等の理由からヘッドサスペンション駆動型のマイク
ロアクチュエータを用いることが好ましい。このような
観点から出願人が先に提案した上記特開平１１−３１３
６８号公報に示される技術は、ヘッドサスペンション駆
動型のヘッド移動装置に関するものである。
【０００７】ここで、ヘッドサスペンションとはメイン
アームの端部にその一端が接続される弾性を有するサブ
アームであり、その他端（先端）にはヘッドが固定され
るためヘッドサスペンションと称される。このヘッドサ
スペンション駆動型のヘッド移動装置は、メインアーム
とヘッドサスペンションとの間に微小変位するマイクロ
アクチュエータを配設して、ヘッドサスペンションの先
端にあるヘッドの位置決めを精度良く行うことができ
る。
アームの端部にその一端が接続される弾性を有するサブ
アームであり、その他端（先端）にはヘッドが固定され
るためヘッドサスペンションと称される。このヘッドサ
スペンション駆動型のヘッド移動装置は、メインアーム
とヘッドサスペンションとの間に微小変位するマイクロ
アクチュエータを配設して、ヘッドサスペンションの先
端にあるヘッドの位置決めを精度良く行うことができ
る。
【０００８】図１及び２は、従来のサスペンション駆動
型を用いたヘッド移動装置に関連する技術について示す
図である。図１及び２ではマイクロアクチュエータとし
て圧電素子を用い、その剪断変形を利用する例が示され
る。剪断変形の原理を図１（Ａ）により説明する。厚さ
方向に垂直な方向に分極されている圧電素子３１（分極
方向は図において点線白抜き矢印の方向）に、その上下
の両面にそれぞれ電極２２Ａ、２２Ｂを取付け、電極２
２Ｂを接地し、電極２２Ａに電圧Ｖを供給した場合、圧
電素子３１は滑り変形（剪断変形）をする。したがって
電極２２Ｂを接地した状態で電極２２Ａに電圧Ｖを供給
すると、剪断型圧電素子３１は、図１（Ｂ）に示すよう
に、破線元の状態から、電極２２Ａ側は図に左方向に変
形し、電極２２Ｂ側は図の右方向に変形する。よって、
電極２２Ｂ側を固定しておけば、電極２２Ａ側は図１
（Ａ）で破線矢印で示す方向に変形する。また、この状
態で逆に電極２２Ａを接地し、電極２２Ｂに電圧Ｖを供
給した場合は、電極２２Ａ側は図１（Ａ）に実線の矢印
で示す方向に変形する。
型を用いたヘッド移動装置に関連する技術について示す
図である。図１及び２ではマイクロアクチュエータとし
て圧電素子を用い、その剪断変形を利用する例が示され
る。剪断変形の原理を図１（Ａ）により説明する。厚さ
方向に垂直な方向に分極されている圧電素子３１（分極
方向は図において点線白抜き矢印の方向）に、その上下
の両面にそれぞれ電極２２Ａ、２２Ｂを取付け、電極２
２Ｂを接地し、電極２２Ａに電圧Ｖを供給した場合、圧
電素子３１は滑り変形（剪断変形）をする。したがって
電極２２Ｂを接地した状態で電極２２Ａに電圧Ｖを供給
すると、剪断型圧電素子３１は、図１（Ｂ）に示すよう
に、破線元の状態から、電極２２Ａ側は図に左方向に変
形し、電極２２Ｂ側は図の右方向に変形する。よって、
電極２２Ｂ側を固定しておけば、電極２２Ａ側は図１
（Ａ）で破線矢印で示す方向に変形する。また、この状
態で逆に電極２２Ａを接地し、電極２２Ｂに電圧Ｖを供
給した場合は、電極２２Ａ側は図１（Ａ）に実線の矢印
で示す方向に変形する。
【０００９】このような圧電素子をマイクロアクチュエ
ータとして用いる従来例のヘッド移動装置例を図２を用
いてさらに説明する。ヘッド移動装置５８はベースとな
る固定部材２０と、この固定部材２０上に配置された駆
動部材３０、及びこの駆動部材３０の上に配置された可
動部材４０とから構成されている。
ータとして用いる従来例のヘッド移動装置例を図２を用
いてさらに説明する。ヘッド移動装置５８はベースとな
る固定部材２０と、この固定部材２０上に配置された駆
動部材３０、及びこの駆動部材３０の上に配置された可
動部材４０とから構成されている。
【００１０】図２では、上記メインアームに相当する部
位を固定部材２０、上記ヘッドサスペンション（サブア
ーム）に相当する部位を可動部材４０、上記マイクロア
クチュエータに相当する部位を駆動部材３０として一般
的に説明している。
位を固定部材２０、上記ヘッドサスペンション（サブア
ーム）に相当する部位を可動部材４０、上記マイクロア
クチュエータに相当する部位を駆動部材３０として一般
的に説明している。
【００１１】図２（Ａ）で、固定部材２０の上には電極
２１が設けられており、リードパターン２２によって図
示しない電圧発生部に接続されている。駆動部材３０は
２つの剪断型圧電素子３１が並列に並べられたものであ
る。駆動部材３０を構成する２つの圧電素子３１の分極
方向は点線で示す矢印の向き、すなわち、圧電素子の厚
さ方向と垂直で、互いに逆向きになっている。駆動部材
３０の上に積層される可動部材４０は導電性金属から構
成されている。可動部材４０がその直下の２つの圧電素
子３１に重なって直接駆動される基部４３と、この基部
４３から突出する移動量拡大部４４から構成され、さら
にこの基部４３にはこの基部４３を２分するような第１
の切欠き４１が設けられている。そして、この第１の切
欠き４１は、この基部４３に重なる駆動部材３０の２つ
の圧電素子３１の分極方向に平行な方向になっている。
さらに、可動部材４０の基部４３と移動量拡大部４４と
の境界部に、第１の切欠き４１に直交する第２の切欠き
４２が駆動部材４０の両側から設けられている。そし
て、この第１の切欠き４１の先端部と第２の切欠きとで
ヒンジ４５を形成している。
２１が設けられており、リードパターン２２によって図
示しない電圧発生部に接続されている。駆動部材３０は
２つの剪断型圧電素子３１が並列に並べられたものであ
る。駆動部材３０を構成する２つの圧電素子３１の分極
方向は点線で示す矢印の向き、すなわち、圧電素子の厚
さ方向と垂直で、互いに逆向きになっている。駆動部材
３０の上に積層される可動部材４０は導電性金属から構
成されている。可動部材４０がその直下の２つの圧電素
子３１に重なって直接駆動される基部４３と、この基部
４３から突出する移動量拡大部４４から構成され、さら
にこの基部４３にはこの基部４３を２分するような第１
の切欠き４１が設けられている。そして、この第１の切
欠き４１は、この基部４３に重なる駆動部材３０の２つ
の圧電素子３１の分極方向に平行な方向になっている。
さらに、可動部材４０の基部４３と移動量拡大部４４と
の境界部に、第１の切欠き４１に直交する第２の切欠き
４２が駆動部材４０の両側から設けられている。そし
て、この第１の切欠き４１の先端部と第２の切欠きとで
ヒンジ４５を形成している。
【００１２】図２（Ｂ）は図２（Ａ）のアクチュエータ
５２を組立てた状態を示すものである。固定部材２０の
電極２１がアンプ１９を介してコントローラ１８に接続
されており、可動部材４０とコントローラ１８とはグラ
ンドに接続されている。したがって、コントローラ１８
から所定の極性の駆動信号が出力されると、この信号が
アンプ１９で増幅され、所定の電圧が２つの圧電素子３
１の厚さ方向に供給されるので、可動部材４０は図に示
す２点鎖線の方向に搖動することになる。
５２を組立てた状態を示すものである。固定部材２０の
電極２１がアンプ１９を介してコントローラ１８に接続
されており、可動部材４０とコントローラ１８とはグラ
ンドに接続されている。したがって、コントローラ１８
から所定の極性の駆動信号が出力されると、この信号が
アンプ１９で増幅され、所定の電圧が２つの圧電素子３
１の厚さ方向に供給されるので、可動部材４０は図に示
す２点鎖線の方向に搖動することになる。
【００１３】よって、図２で可動部材４０（ヘッドサス
ペンション）は、固定部材２０（メインアーム）先端で
圧電素子３１（マイクロアクチュエータ）を駆動するこ
とにより微小移動されるので、ヘッドサスペンション先
端に固定されているヘッドを微小移動させて位置決めで
きるヘッド移動装置を構成することになる。
ペンション）は、固定部材２０（メインアーム）先端で
圧電素子３１（マイクロアクチュエータ）を駆動するこ
とにより微小移動されるので、ヘッドサスペンション先
端に固定されているヘッドを微小移動させて位置決めで
きるヘッド移動装置を構成することになる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述したよ
うなヘッド移動装置において、ヘッドの位置決めの際に
前記マイクロアクチュエータが駆動されると、駆動反力
及びヘッドサスペンションの重心移動による慣性等によ
り加振力が発生し、キャリッジが励振されアームの面内
モードが励振されるという問題がある。このような場
合、マイクロアクチュエータの共振周波数がいかに高く
とも、アームの曲げモードがマイクロアクチュエータを
駆動したことにより現われる。その周期はサーボ帯域を
決定する主共振周波数となるので、ヘッド移動装置にマ
イクロアクチュエータを用い高精度にヘッドの位置決め
をするという本来の特性を生かせない。
うなヘッド移動装置において、ヘッドの位置決めの際に
前記マイクロアクチュエータが駆動されると、駆動反力
及びヘッドサスペンションの重心移動による慣性等によ
り加振力が発生し、キャリッジが励振されアームの面内
モードが励振されるという問題がある。このような場
合、マイクロアクチュエータの共振周波数がいかに高く
とも、アームの曲げモードがマイクロアクチュエータを
駆動したことにより現われる。その周期はサーボ帯域を
決定する主共振周波数となるので、ヘッド移動装置にマ
イクロアクチュエータを用い高精度にヘッドの位置決め
をするという本来の特性を生かせない。
【００１５】したがって、マイクロアクチュエータを駆
動した際に、アームの面内モードを励振しないヘッド移
動装置とすることが必要となる。これを解決する方策と
して、例えば特開平９−１６１４２５号公報に開示され
る技術では、剛性の低いバネでヘッドを支持し、重心が
アームの回転中心に一致した形状としておき、極めて小
さい力でマイクロアクチュエータを駆動するタイプのヘ
ッド移動装置が考えられる。しかしながら、このヘッド
移動装置は一次共振周波数が数百Ｈｚと低く、ＶＣＭ
（ボイスコイルモータ）駆動によるヘッド変位の伝達関
数で反共振が見られ制御が困難であるという問題があ
る。また、別の基本的な解決策としてヘッド移動装置の
質量を低減することが考えられるが、ヘッドサスペンシ
ョンの形状等の制約から大幅な低減は難しい。
動した際に、アームの面内モードを励振しないヘッド移
動装置とすることが必要となる。これを解決する方策と
して、例えば特開平９−１６１４２５号公報に開示され
る技術では、剛性の低いバネでヘッドを支持し、重心が
アームの回転中心に一致した形状としておき、極めて小
さい力でマイクロアクチュエータを駆動するタイプのヘ
ッド移動装置が考えられる。しかしながら、このヘッド
移動装置は一次共振周波数が数百Ｈｚと低く、ＶＣＭ
（ボイスコイルモータ）駆動によるヘッド変位の伝達関
数で反共振が見られ制御が困難であるという問題があ
る。また、別の基本的な解決策としてヘッド移動装置の
質量を低減することが考えられるが、ヘッドサスペンシ
ョンの形状等の制約から大幅な低減は難しい。
【００１６】そこで、本発明の目的は、マイクロアクチ
ュエータを駆動した際にキャリッジの捩れモードや曲げ
モードが励振させる加振力を除くように制御し、精度良
いヘッドの位置決めが可能なヘッド移動装置を提供する
ことである。
ュエータを駆動した際にキャリッジの捩れモードや曲げ
モードが励振させる加振力を除くように制御し、精度良
いヘッドの位置決めが可能なヘッド移動装置を提供する
ことである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項１に記
載される如く、キャリッジと、前記キャリッジを移動す
るメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生す
る複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間
に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイ
クロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエー
タ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘ
ッドを位置決めするヘッド移動装置であって、所望の前
記マイクロアクチュエータを駆動するときには、前記キ
ャリッジに生じる加振力を除去するように他のマイクロ
アクチュエータを駆動させる励振制御部を設けた、ヘッ
ド移動装置により達成される。
載される如く、キャリッジと、前記キャリッジを移動す
るメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生す
る複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間
に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイ
クロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエー
タ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘ
ッドを位置決めするヘッド移動装置であって、所望の前
記マイクロアクチュエータを駆動するときには、前記キ
ャリッジに生じる加振力を除去するように他のマイクロ
アクチュエータを駆動させる励振制御部を設けた、ヘッ
ド移動装置により達成される。
【００１８】請求項１記載の発明によれば、あるヘッド
を記憶ディスク上の所望位置に位置決めするために、マ
イクロアクチュエータが駆動される。このとき、マイク
ロアクチュエータの駆動により生じる加振力を除くよう
に、励振制御部が他のマイクロアクチュエータを駆動さ
せる。よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑
制されるので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位
置決めが可能となる。よって、記録密度が増加し益々挟
トラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度
に位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
を記憶ディスク上の所望位置に位置決めするために、マ
イクロアクチュエータが駆動される。このとき、マイク
ロアクチュエータの駆動により生じる加振力を除くよう
に、励振制御部が他のマイクロアクチュエータを駆動さ
せる。よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑
制されるので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位
置決めが可能となる。よって、記録密度が増加し益々挟
トラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度
に位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
【００１９】また、請求項２に記載される如く、請求項
１記載のヘッド移動装置において、前記キャリッジは複
数の記憶媒体に対応する様に複数段のメインアームを有
すると共に、その形状において高さ方向の中心位置に対
して対称性をもって形成され、前記励振制御部は、前記
ヘッドの微小移動のため駆動されるマイクロアクチュエ
ータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを前
記他のマイクロアクチュエータとして逆向き且つ同様の
振幅で駆動する構成とすることができる。
１記載のヘッド移動装置において、前記キャリッジは複
数の記憶媒体に対応する様に複数段のメインアームを有
すると共に、その形状において高さ方向の中心位置に対
して対称性をもって形成され、前記励振制御部は、前記
ヘッドの微小移動のため駆動されるマイクロアクチュエ
ータと対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを前
記他のマイクロアクチュエータとして逆向き且つ同様の
振幅で駆動する構成とすることができる。
【００２０】請求項２記載の発明によれば、励振制御部
が対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを対と
し、一方を駆動する際には他方を逆向きに駆動させる。
よって、マイクロアクチュエータを駆動することにより
生ずる加振力を効果的に打消すことができるので、励振
抑制効果の高いヘッド移動装置となる。
が対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを対と
し、一方を駆動する際には他方を逆向きに駆動させる。
よって、マイクロアクチュエータを駆動することにより
生ずる加振力を効果的に打消すことができるので、励振
抑制効果の高いヘッド移動装置となる。
【００２１】また、請求項３に記載の如く、請求項２記
載のヘッド移動装置において、前記複数段に形成された
メインアームの内、中間段に位置する各中間段メインア
ームには前記マイクロアクチュエータが２つ接続され、
これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御
部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイク
ロアクチュエータとして、逆向き且同様の振幅で駆動す
る構成とすることができる。
載のヘッド移動装置において、前記複数段に形成された
メインアームの内、中間段に位置する各中間段メインア
ームには前記マイクロアクチュエータが２つ接続され、
これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御
部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイク
ロアクチュエータとして、逆向き且同様の振幅で駆動す
る構成とすることができる。
【００２２】請求項３記載の発明によれば、中間段メイ
ンアームに接続される２つのマイクロアクチュエータが
対とされ、これらは互いに正逆に駆動されることで効果
的に加振力を打消すことができる。
ンアームに接続される２つのマイクロアクチュエータが
対とされ、これらは互いに正逆に駆動されることで効果
的に加振力を打消すことができる。
【００２３】また、請求項４に記載の如く、請求項２記
載のヘッド移動装置において、前記複数段に形成された
メインアームの内、最上段メインアーム及び最下段メイ
ンアームには、前記マイクロアクチュエータが１つずつ
接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前
記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記
他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様の
振幅で駆動する構成とすることができる。
載のヘッド移動装置において、前記複数段に形成された
メインアームの内、最上段メインアーム及び最下段メイ
ンアームには、前記マイクロアクチュエータが１つずつ
接続され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前
記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記
他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様の
振幅で駆動する構成とすることができる。
【００２４】請求項４記載の発明によれば、最上段メイ
ンアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接続され
る１つのマイクロアクチュエータが対とされ、これらは
互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を打消す
ことができる。
ンアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接続され
る１つのマイクロアクチュエータが対とされ、これらは
互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を打消す
ことができる。
【００２５】また、請求項５に記載の如く、請求項１か
ら４いずれかに記載のヘッド移動装置において、前記メ
インアームと前記ヘッドとを接続するサブアームが設け
られ、該サブアームと前記メインアームとの接続部の各
々に前記マイクロアクチュエータが配設されている構成
とすることができる。
ら４いずれかに記載のヘッド移動装置において、前記メ
インアームと前記ヘッドとを接続するサブアームが設け
られ、該サブアームと前記メインアームとの接続部の各
々に前記マイクロアクチュエータが配設されている構成
とすることができる。
【００２６】請求項５記載の発明によれば、所望のヘッ
ドを位置決めするためにサブアームに接続されたマイク
ロアクチュエータを駆動する際には、前記励振制御部
は、該マイクロアクチュエータと対称位置関係にある他
のマイクロアクチュエータを駆動するので効果的に加振
力を打消すことができる。
ドを位置決めするためにサブアームに接続されたマイク
ロアクチュエータを駆動する際には、前記励振制御部
は、該マイクロアクチュエータと対称位置関係にある他
のマイクロアクチュエータを駆動するので効果的に加振
力を打消すことができる。
【００２７】また、前記ヘッド移動装置において、前記
マイクロアクチュエータは互いに前記加振力を打消し合
う関係にある２つのグループに分割され、前記励振制御
部は、第１グループ全体を同一方向に駆動させ、第２グ
ループは逆向き且つ同様の振幅で駆動することにより、
前記加振力を除去する構成とすることができる。
マイクロアクチュエータは互いに前記加振力を打消し合
う関係にある２つのグループに分割され、前記励振制御
部は、第１グループ全体を同一方向に駆動させ、第２グ
ループは逆向き且つ同様の振幅で駆動することにより、
前記加振力を除去する構成とすることができる。
【００２８】この場合、マイクロアクチュエータを２つ
のグループに分け、ヘッドの位置決めをするために駆動
されるマイクロアクチュエータを含む第１のグループが
全体として同一方向に駆動され、その際に第２のグルー
プは全体として逆方向に駆動される。マイクロアクチュ
エータはグループ毎に駆動されるので、マイクロアクチ
ュエータ毎に駆動させる場合と比較すると回路構成を簡
素化できる。
のグループに分け、ヘッドの位置決めをするために駆動
されるマイクロアクチュエータを含む第１のグループが
全体として同一方向に駆動され、その際に第２のグルー
プは全体として逆方向に駆動される。マイクロアクチュ
エータはグループ毎に駆動されるので、マイクロアクチ
ュエータ毎に駆動させる場合と比較すると回路構成を簡
素化できる。
【００２９】ここで、加振力を打消し合う関係にあるマ
イクロアクチュエータは、例えば前述したように前記メ
インアームの形状において高さ方向の中心位置に対して
対称性をもっている位置に配置されているマイクロアク
チュエータである。
イクロアクチュエータは、例えば前述したように前記メ
インアームの形状において高さ方向の中心位置に対して
対称性をもっている位置に配置されているマイクロアク
チュエータである。
【００３０】また、前記ヘッド移動装置において、前記
マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記
加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、
その変位極性を予め逆極性に設定しておき、同じ電圧を
供給したとき逆向きに動作させる構成とすることができ
る。この場合、同じ電圧を用いて圧電素子を逆向きに動
作させることができる。
マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記
加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、
その変位極性を予め逆極性に設定しておき、同じ電圧を
供給したとき逆向きに動作させる構成とすることができ
る。この場合、同じ電圧を用いて圧電素子を逆向きに動
作させることができる。
【００３１】また、前記ヘッド移動装置において、前記
マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記
加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、
その変位極性を予め同一極性に設定しておき、極性を反
転させた電圧を供給したとき逆向きに動作させる構成と
することができる。
マイクロアクチュエータを圧電素子により形成し、前記
加振力を打消し合う対の関係にある圧電素子について、
その変位極性を予め同一極性に設定しておき、極性を反
転させた電圧を供給したとき逆向きに動作させる構成と
することができる。
【００３２】この場合、極性を反転させた電圧を用いる
ので同一極性の圧電素子を使用することができ製造コス
トを低減することができる。
ので同一極性の圧電素子を使用することができ製造コス
トを低減することができる。
【００３３】また、前記ヘッド移動装置において、前記
圧電素子は滑り変位を生じる剪断型の素子を用いること
ができる。この場合、前記サブアームを搖動して、ヘッ
ドを位置決めすることができる。
圧電素子は滑り変位を生じる剪断型の素子を用いること
ができる。この場合、前記サブアームを搖動して、ヘッ
ドを位置決めすることができる。
【００３４】また、前記ヘッド移動装置を備え、記憶デ
ィスクの再生を行う記憶ディスク駆動装置として構成す
ることができる。この場合、再生精度が向上し、大容量
の記憶ディスクに対応できる記憶ディスク駆動装置を提
供できる。
ィスクの再生を行う記憶ディスク駆動装置として構成す
ることができる。この場合、再生精度が向上し、大容量
の記憶ディスクに対応できる記憶ディスク駆動装置を提
供できる。
【００３５】
【発明の実施の形態】以下本発明をより詳細に説明する
が、ここではまず本発明の前提となる基本概念について
説明する。
が、ここではまず本発明の前提となる基本概念について
説明する。
【００３６】図３はマイクロアクチュエータを用いるヘ
ッド移動装置を搭載するキャリッジ１００の構成を示す
図である。図３（Ａ）はキャリッジ１００を上から見た
図、図３（Ｂ）は同キャリッジ１００を側面から見た図
である。
ッド移動装置を搭載するキャリッジ１００の構成を示す
図である。図３（Ａ）はキャリッジ１００を上から見た
図、図３（Ｂ）は同キャリッジ１００を側面から見た図
である。
【００３７】図３（Ａ）に示されるように、キャリッジ
１００はメインアクチュエータとしてのＶＣＭ１０２を
駆動源として回転軸１０４を中心に回動可能とされる。
回転軸１０４に対し、ＶＣＭ１０２とは反体側に、メイ
ンアーム１０６が突出し、メインアーム１０６の端部に
は先端にヘッド１１４を固定したサブアーム１０８が接
続されている。
１００はメインアクチュエータとしてのＶＣＭ１０２を
駆動源として回転軸１０４を中心に回動可能とされる。
回転軸１０４に対し、ＶＣＭ１０２とは反体側に、メイ
ンアーム１０６が突出し、メインアーム１０６の端部に
は先端にヘッド１１４を固定したサブアーム１０８が接
続されている。
【００３８】なお、以下の説明では上記メインアーム１
０６を単にアーム１０６、サブアーム１０６をヘッドサ
スペンション１０８として説明する。
０６を単にアーム１０６、サブアーム１０６をヘッドサ
スペンション１０８として説明する。
【００３９】アーム１０６とヘッドサスペンション１０
８とはマイクロアクチュエータとしての剪断型の圧電素
子１１０を介して接続されている。よって、圧電素子１
１０が滑り方向（剪断方向）に変位を発生させると矢印
Ｘで示す方向にヘッドサスペンション１０８を微小移動
させる装置となる。ヘッドサスペンション１０８の先端
にはスライダ１１２を介してヘッド１１４が固定されて
いるので、ヘッド１１４を図示せぬ記憶ディスクのトラ
ックに対応するように移動して位置決めするヘッド移動
装置となる。
８とはマイクロアクチュエータとしての剪断型の圧電素
子１１０を介して接続されている。よって、圧電素子１
１０が滑り方向（剪断方向）に変位を発生させると矢印
Ｘで示す方向にヘッドサスペンション１０８を微小移動
させる装置となる。ヘッドサスペンション１０８の先端
にはスライダ１１２を介してヘッド１１４が固定されて
いるので、ヘッド１１４を図示せぬ記憶ディスクのトラ
ックに対応するように移動して位置決めするヘッド移動
装置となる。
【００４０】上記キャリッジ１００を側面から示す図３
（Ｂ）によると、アーム１０６は４段構成であり、上か
ら順に最上段アーム１０６−１、中段アーム１０６−
２、１０６−３、及び最下段アーム１０６−４を有して
いる。
（Ｂ）によると、アーム１０６は４段構成であり、上か
ら順に最上段アーム１０６−１、中段アーム１０６−
２、１０６−３、及び最下段アーム１０６−４を有して
いる。
【００４１】最上段アーム１０６−１及び最下段アーム
１０６−４には、それぞれ１つずつヘッドサスペンショ
ン１０８−１と１０８−４が接続されている。そして、
最上段アーム１０６−１とヘッドサスペンション１０８
−１との間には圧電素子１１０−１が設けられている。
同様に最下段アーム１０６−４とヘッドサスペンション
１０８−４との間には圧電素子１１０−４が設けられて
いる。このように、最上段アーム１０６−１及び最下段
アーム１０６−４には１つずつのヘッドサスペンション
が接続され、その先端１つのヘッドが固定されている。
１０６−４には、それぞれ１つずつヘッドサスペンショ
ン１０８−１と１０８−４が接続されている。そして、
最上段アーム１０６−１とヘッドサスペンション１０８
−１との間には圧電素子１１０−１が設けられている。
同様に最下段アーム１０６−４とヘッドサスペンション
１０８−４との間には圧電素子１１０−４が設けられて
いる。このように、最上段アーム１０６−１及び最下段
アーム１０６−４には１つずつのヘッドサスペンション
が接続され、その先端１つのヘッドが固定されている。
【００４２】一方、中段にある２つの中段アーム１０６
−２及びアーム１０６−３には、それぞれ２つずつのヘ
ッドサスペンションが接続されている。すなわち、アー
ム１０６−２にはヘッドサスペンション１０８−２Ａ、
１０８−２Ｂが、アーム１０６−３にはヘッドサスペン
ション１０８−３Ａ、１０８−３Ｂが接続されている。
−２及びアーム１０６−３には、それぞれ２つずつのヘ
ッドサスペンションが接続されている。すなわち、アー
ム１０６−２にはヘッドサスペンション１０８−２Ａ、
１０８−２Ｂが、アーム１０６−３にはヘッドサスペン
ション１０８−３Ａ、１０８−３Ｂが接続されている。
【００４３】このような構成となるのは、１枚の記憶デ
ィスクの表裏両面に記録面が形成されるからであり、図
３で示すキャリッジ１００の場合は３枚の記憶ディスク
に対応してアームが４段に形成されている。
ィスクの表裏両面に記録面が形成されるからであり、図
３で示すキャリッジ１００の場合は３枚の記憶ディスク
に対応してアームが４段に形成されている。
【００４４】理解を容易にするために、図３（Ｂ）では
各ヘッドサスペンション１０８或いはこれに固定されて
いるヘッド１１４を上から順に♯０〜♯５の符号を付し
て説明する場合がある。
各ヘッドサスペンション１０８或いはこれに固定されて
いるヘッド１１４を上から順に♯０〜♯５の符号を付し
て説明する場合がある。
【００４５】さて、本発明ではある１つのヘッドを記憶
ディスク上の所定トラックに位置決めするために、圧電
素子１１０（マイクロアクチュエータ）を駆動させる
と、この駆動によりキャリッジ１００が励振されアーム
の面内に曲げモードが励起されるような加振力が発生す
るので、この加振力を打消すように他の圧電素子１１０
を用いて逆向き且つ同様の振幅で駆動させて励振を抑制
するものである。
ディスク上の所定トラックに位置決めするために、圧電
素子１１０（マイクロアクチュエータ）を駆動させる
と、この駆動によりキャリッジ１００が励振されアーム
の面内に曲げモードが励起されるような加振力が発生す
るので、この加振力を打消すように他の圧電素子１１０
を用いて逆向き且つ同様の振幅で駆動させて励振を抑制
するものである。
【００４６】すなわち、制御対象である１つの圧電素子
１１０を駆動する際に、例えば同じアームに属する他の
圧電素子１１０をこの制御対象である１つの圧電素子１
１０と振幅が同じで互いの位相を打消し合うように（例
えば１８０度ずらして）変位を持たせるように駆動させ
ることで励振の問題を防止できることを見だして本発明
に至ったものである。
１１０を駆動する際に、例えば同じアームに属する他の
圧電素子１１０をこの制御対象である１つの圧電素子１
１０と振幅が同じで互いの位相を打消し合うように（例
えば１８０度ずらして）変位を持たせるように駆動させ
ることで励振の問題を防止できることを見だして本発明
に至ったものである。
【００４７】図３で示した２重アクチュエータ系の基本
的なハード構成は従来と同様であるが、本発明では制御
対象である１つのマイクロアクチュエータを駆動する際
に、対を成す他のマイクロアクチュエータをこの制御対
象であるマイクロアクチュエータと振幅を同じとし、そ
の位相をずらして加振力を打消すように駆動させる励振
制御部を有する点で異なっている。
的なハード構成は従来と同様であるが、本発明では制御
対象である１つのマイクロアクチュエータを駆動する際
に、対を成す他のマイクロアクチュエータをこの制御対
象であるマイクロアクチュエータと振幅を同じとし、そ
の位相をずらして加振力を打消すように駆動させる励振
制御部を有する点で異なっている。
【００４８】図３に示す２重アクチュエータ系を従来ヘ
ッド移動装置の駆動制御の面から見ると、アーム１０６
とマイクロアクチュエータ（圧電素子）１１０の運動方
程式でダンピングを考慮すると下記（１）、（２）のよ
うに示される。
ッド移動装置の駆動制御の面から見ると、アーム１０６
とマイクロアクチュエータ（圧電素子）１１０の運動方
程式でダンピングを考慮すると下記（１）、（２）のよ
うに示される。
【００４９】
【数１】 式（１）で、左辺第３項はマイクロアクチュエータ可動
部（ヘッドサスペンション１０８）の重心が移動したこ
とによる慣性力である。また、右辺第２項はマイクロア
クチュエータ駆動力の反力である。ＶＣＭの駆動力Ｆｒ
以外に、これらの力を受けその影響によりアームの曲げ
モードが励振され易い。
部（ヘッドサスペンション１０８）の重心が移動したこ
とによる慣性力である。また、右辺第２項はマイクロア
クチュエータ駆動力の反力である。ＶＣＭの駆動力Ｆｒ
以外に、これらの力を受けその影響によりアームの曲げ
モードが励振され易い。
【００５０】例えば、マイクロアクチュエータの共振周
波数が１０ｋＨｚ、アームの曲げモードが７ｋＨｚであ
るとすると、マイクロアクチュエータの駆動電圧に対す
るヘッドの変位の周波数応答関数は図４（Ａ）のように
なる。周波数１０４Ｈｚにおけるピーク以前にピークが
現われ、励振されてしまうことが分かる。
波数が１０ｋＨｚ、アームの曲げモードが７ｋＨｚであ
るとすると、マイクロアクチュエータの駆動電圧に対す
るヘッドの変位の周波数応答関数は図４（Ａ）のように
なる。周波数１０４Ｈｚにおけるピーク以前にピークが
現われ、励振されてしまうことが分かる。
【００５１】これに対し、本発明によるヘッド移動装置
のマイクロアクチュエータの駆動状態から見ると、アー
ム１０６とマイクロアクチュエータ（圧電素子）１１０
の運動方程式は、それぞれ下記（３）、（４）のように
示される。
のマイクロアクチュエータの駆動状態から見ると、アー
ム１０６とマイクロアクチュエータ（圧電素子）１１０
の運動方程式は、それぞれ下記（３）、（４）のように
示される。
【００５２】
【数２】 この式から分かるように、アームの回転角は、マイクロ
アクチュエータの回転角θ２、駆動力Ｔの影響を受けい
ない。また、マイクロアクチュエータもアームの回転角
θ1の影響を受けていない。よって、アームの振動モー
ドの影響を避けて、マイクロアクチュエータ本来の位置
決め制御が精度よく実現できることになる。図４（Ｂ）
は図４（Ａ）に対応して本発明の移動装置についてマイ
クロアクチュエータ駆動電圧に対する、ヘッド変位の周
波数応等関数である。本発明では図４（Ａ）の場合のよ
うにアームの曲げ、捩れモードが励起されないので、７
ｋＨｚのモードが現われず、マイクロアクチュエータの
共振周波数まで、ピークが生じないことが確認できる。
アクチュエータの回転角θ２、駆動力Ｔの影響を受けい
ない。また、マイクロアクチュエータもアームの回転角
θ1の影響を受けていない。よって、アームの振動モー
ドの影響を避けて、マイクロアクチュエータ本来の位置
決め制御が精度よく実現できることになる。図４（Ｂ）
は図４（Ａ）に対応して本発明の移動装置についてマイ
クロアクチュエータ駆動電圧に対する、ヘッド変位の周
波数応等関数である。本発明では図４（Ａ）の場合のよ
うにアームの曲げ、捩れモードが励起されないので、７
ｋＨｚのモードが現われず、マイクロアクチュエータの
共振周波数まで、ピークが生じないことが確認できる。
【００５３】上述した説明においては、１つのアームに
取り付けられたマイクロアクチュエータ（圧電素子）１
１０を駆動する際の励振の抑制について説明をしたが、
本発明の適用はこれに限るものではない。２つのマイク
ロアクチュエータが所定の剛性を有する構造で結ばれ、
この両者が形状的に対称的な位置関係にある場合には、
本発明を広く適用できる。すなわち、必ずしも同じアー
ムに配置された１対のマイクロアクチュエータである必
要はなく、一方のマイクロアクチュエータの駆動によっ
て発生する加振力を打消すことが可能な位置にあるマイ
クロアクチュエータであれば、これらを対として互いに
逆向きに駆動することで励振を抑制できる。例えば、複
数段に形成されたアームの上下構造がある中心位置で対
称性を有しているならば、最上段と最下段のマイクロア
クチュエータについて、一方のマイクロアクチュエータ
による加振力を他方のマイクロアクチュエータで打消す
ことができる。図３の場合はヘッド♯０とヘッド♯５を
駆動するマイクロアクチュエータがこのような関係に相
当する。
取り付けられたマイクロアクチュエータ（圧電素子）１
１０を駆動する際の励振の抑制について説明をしたが、
本発明の適用はこれに限るものではない。２つのマイク
ロアクチュエータが所定の剛性を有する構造で結ばれ、
この両者が形状的に対称的な位置関係にある場合には、
本発明を広く適用できる。すなわち、必ずしも同じアー
ムに配置された１対のマイクロアクチュエータである必
要はなく、一方のマイクロアクチュエータの駆動によっ
て発生する加振力を打消すことが可能な位置にあるマイ
クロアクチュエータであれば、これらを対として互いに
逆向きに駆動することで励振を抑制できる。例えば、複
数段に形成されたアームの上下構造がある中心位置で対
称性を有しているならば、最上段と最下段のマイクロア
クチュエータについて、一方のマイクロアクチュエータ
による加振力を他方のマイクロアクチュエータで打消す
ことができる。図３の場合はヘッド♯０とヘッド♯５を
駆動するマイクロアクチュエータがこのような関係に相
当する。
【００５４】さらに、駆動対象となるマイクロアクチュ
エータを含む第１のグループと、この第１のグループ内
にあるアクチュエータそれぞれと加振力を打消す関係に
あるマイクロアクチュエータを含む第２グループとを形
成して、グループ毎に励振を抑制する構成としてもよ
い。このようにグループ化すると各マイクロアクチュエ
ータ毎に独自の駆動回路を設ける必要がなくなるので、
回路構成を簡素化できる。
エータを含む第１のグループと、この第１のグループ内
にあるアクチュエータそれぞれと加振力を打消す関係に
あるマイクロアクチュエータを含む第２グループとを形
成して、グループ毎に励振を抑制する構成としてもよ
い。このようにグループ化すると各マイクロアクチュエ
ータ毎に独自の駆動回路を設ける必要がなくなるので、
回路構成を簡素化できる。
【００５５】なお、上記励振を打消す関係となる２つの
マイクロアクチュエータは、互いに駆動される方向が逆
向きとなればよい。そのような構成とすることに特に限
定はない。マイクロアクチュエータの駆動電圧が逆とな
るようにファームウエア或いはアンプで制御してもよ
い。また、マイクロアクチュエータの動作を逆向きに形
成しておき、同一の電圧により駆動するようにしてもよ
い。 （第１実施例）以下さらに、本発明の実施例を図面に基
づき説明する。ただし、前述したように本発明はマイク
ロアクチュエータの駆動制御の内容に特徴を有してい
る。よって、基本的なヘッド移動装置のハード構成を示
した図３を本実施例の説明でも用いる。
マイクロアクチュエータは、互いに駆動される方向が逆
向きとなればよい。そのような構成とすることに特に限
定はない。マイクロアクチュエータの駆動電圧が逆とな
るようにファームウエア或いはアンプで制御してもよ
い。また、マイクロアクチュエータの動作を逆向きに形
成しておき、同一の電圧により駆動するようにしてもよ
い。 （第１実施例）以下さらに、本発明の実施例を図面に基
づき説明する。ただし、前述したように本発明はマイク
ロアクチュエータの駆動制御の内容に特徴を有してい
る。よって、基本的なヘッド移動装置のハード構成を示
した図３を本実施例の説明でも用いる。
【００５６】図５及び図６は第１実施例のヘッド移動装
置２００について示す図である。図５は本実施例のヘッ
ド移動装置２００の要部周辺構成を分解して示す斜視図
である。図６はヘッドサスペンション２０８を含めてヘ
ッド移動装置２００とした状態を示す図である。なお、
図６（Ａ）はヘッド移動装置２００の平面図、図６
（Ｂ）は同側面である。図６のヘッドサスペンション２
０８は、図３のヘッドサスペンション１０８に対応して
いる。
置２００について示す図である。図５は本実施例のヘッ
ド移動装置２００の要部周辺構成を分解して示す斜視図
である。図６はヘッドサスペンション２０８を含めてヘ
ッド移動装置２００とした状態を示す図である。なお、
図６（Ａ）はヘッド移動装置２００の平面図、図６
（Ｂ）は同側面である。図６のヘッドサスペンション２
０８は、図３のヘッドサスペンション１０８に対応して
いる。
【００５７】図５に示す本実施例でもマイクロアクチュ
エータとして剪断変形する圧電素子を２つ用いている。
メインアーム側となる固定部材２２０とヘッドサスペン
ション側となる可動部材２４０の間に上下の電極２４１
と２２１を介して、２つの圧電素子２３０−１と２３０
−２とを配置している。電極２４１と２２１の間に所定
電圧を供給することで２つの圧電素子２３０−１と２３
０−２とを逆向きに剪断変形させて可動部材２４０に取
付けられるヘッドサスペンション２０８を搖動させるよ
うになっている。このような構成は先に図１及び図２を
用いて説明した従来技術と基本的に同様である。
エータとして剪断変形する圧電素子を２つ用いている。
メインアーム側となる固定部材２２０とヘッドサスペン
ション側となる可動部材２４０の間に上下の電極２４１
と２２１を介して、２つの圧電素子２３０−１と２３０
−２とを配置している。電極２４１と２２１の間に所定
電圧を供給することで２つの圧電素子２３０−１と２３
０−２とを逆向きに剪断変形させて可動部材２４０に取
付けられるヘッドサスペンション２０８を搖動させるよ
うになっている。このような構成は先に図１及び図２を
用いて説明した従来技術と基本的に同様である。
【００５８】しかし、本実施例のヘッド移動装置は制御
対象となる圧電素子、即ち記憶ディスク上のトラックに
対して記録及び／又は再生を行うヘッドを位置決めする
ために駆動される圧電素子が駆動されたとき、この駆動
によって生ずる加振力を打消すように他の圧電素子を逆
転状態で駆動させる励振制御部としてのコントローラ２
５０を備える。
対象となる圧電素子、即ち記憶ディスク上のトラックに
対して記録及び／又は再生を行うヘッドを位置決めする
ために駆動される圧電素子が駆動されたとき、この駆動
によって生ずる加振力を打消すように他の圧電素子を逆
転状態で駆動させる励振制御部としてのコントローラ２
５０を備える。
【００５９】さらに本第１実施例について上記図４、５
に示されたヘッド移動装置を実際に用いる形態について
説明するが、ここでは図３に示した４つのアームを備え
たキャリッジ１００に適用したものとして説明をする。
よって、図３（Ａ）には本実施例で用いたヘッド駆動装
置に関連する符号を括弧内に示し、他は図３の符号を用
いる。
に示されたヘッド移動装置を実際に用いる形態について
説明するが、ここでは図３に示した４つのアームを備え
たキャリッジ１００に適用したものとして説明をする。
よって、図３（Ａ）には本実施例で用いたヘッド駆動装
置に関連する符号を括弧内に示し、他は図３の符号を用
いる。
【００６０】以下、図３を用いて圧電素子２３０の駆動
制御の内容を説明する。また、図５において圧電素子２
３０に関しては分極方向の異なる（ＧＲＡ）と（ＧＲ
Ｂ）との２種類が形成されており、この両者を略同時に
駆動することで加振力を打消すことができる。図３
（Ｂ）に示すように対となる（ＧＲＡ）型の圧電素子２
３０と（ＧＲＢ）型の圧電素子２３０が設定される。
制御の内容を説明する。また、図５において圧電素子２
３０に関しては分極方向の異なる（ＧＲＡ）と（ＧＲ
Ｂ）との２種類が形成されており、この両者を略同時に
駆動することで加振力を打消すことができる。図３
（Ｂ）に示すように対となる（ＧＲＡ）型の圧電素子２
３０と（ＧＲＢ）型の圧電素子２３０が設定される。
【００６１】例えば上記コントローラ２５０は、位置決
め対象が♯１ヘッドであるときに制御対象となる圧電素
子２３０−２Ａを駆動させるが、このとき♯２ヘッドに
属する圧電素子２３０−２Ｂを逆向きに駆動する制御を
行う。このように同一アームにある圧電素子同士を対に
して制御を行うと、♯１ヘッドを微小移動する際に生じ
る加振力は♯２ヘッドを逆移動させることにより効果的
に相殺（キャンセル）でき、良好な機械特性を得ること
ができる。
め対象が♯１ヘッドであるときに制御対象となる圧電素
子２３０−２Ａを駆動させるが、このとき♯２ヘッドに
属する圧電素子２３０−２Ｂを逆向きに駆動する制御を
行う。このように同一アームにある圧電素子同士を対に
して制御を行うと、♯１ヘッドを微小移動する際に生じ
る加振力は♯２ヘッドを逆移動させることにより効果的
に相殺（キャンセル）でき、良好な機械特性を得ること
ができる。
【００６２】なお、♯１ヘッドと♯２ヘッドはそれぞ
れ、ヘッドサスペンション２０８−２Ａと２０８−２Ｂ
を介して、中段アーム１０６−２に接続される関係とな
るが、中段アーム１０６−２自体も厚さ方向で対称形状
を有していることが好ましい。
れ、ヘッドサスペンション２０８−２Ａと２０８−２Ｂ
を介して、中段アーム１０６−２に接続される関係とな
るが、中段アーム１０６−２自体も厚さ方向で対称形状
を有していることが好ましい。
【００６３】一方、最上段の♯０ヘッドと最下段の♯５
ヘッドについては、１つのアームに１つの圧電素子しか
設置されていないので、上記♯１ヘッドと♯２ヘッドと
の関係のように加振力を相殺する関係となる相手が同一
アーム内には存在していない。しかし、図３で示すキャ
リッジは厚さ方向での中心位置で対称な形状をなしてい
る。最上段のアーム１０６−１と最下段のアーム１０６
−４に接続される圧電素子、すなわち最上段の♯０ヘッ
ドと♯５最下段のヘッドの位置決め時に駆動される圧電
素子を組み合わせて対とすると、上記♯１と♯２の関係
に近似した相殺関係を形成できる。よって、単独で存在
する最上段の♯０ヘッドと最下段の♯５ヘッドを駆動す
る際にも同様に励振を抑制できる。
ヘッドについては、１つのアームに１つの圧電素子しか
設置されていないので、上記♯１ヘッドと♯２ヘッドと
の関係のように加振力を相殺する関係となる相手が同一
アーム内には存在していない。しかし、図３で示すキャ
リッジは厚さ方向での中心位置で対称な形状をなしてい
る。最上段のアーム１０６−１と最下段のアーム１０６
−４に接続される圧電素子、すなわち最上段の♯０ヘッ
ドと♯５最下段のヘッドの位置決め時に駆動される圧電
素子を組み合わせて対とすると、上記♯１と♯２の関係
に近似した相殺関係を形成できる。よって、単独で存在
する最上段の♯０ヘッドと最下段の♯５ヘッドを駆動す
る際にも同様に励振を抑制できる。
【００６４】すなわち、キャリッジのアームを複数段で
構成しても厚さ方向中心位置で対称な形状としておけ
ば、低次の捩れモードは形状の対称性から一般に最上・
最下段アームの捩れ、面内曲げの位相が同相となるの
で、その低次モードについては最上・最下段アームに固
定された圧電素子を互いに逆向きに駆動することによ
り、加振力が相殺され励振を効果的に抑制できるのであ
る。
構成しても厚さ方向中心位置で対称な形状としておけ
ば、低次の捩れモードは形状の対称性から一般に最上・
最下段アームの捩れ、面内曲げの位相が同相となるの
で、その低次モードについては最上・最下段アームに固
定された圧電素子を互いに逆向きに駆動することによ
り、加振力が相殺され励振を効果的に抑制できるのであ
る。
【００６５】上記コントローラ２５０は以上説明したよ
うに、アーム１０６−２、１０６−３のように中段アー
ムについては、一対となっている２つの圧電素子を互い
の励振抑制に用いる。また、最上段のアームと最下段ア
ームの圧電素子についてはこれらを対として互いの励振
抑制に用いる。
うに、アーム１０６−２、１０６−３のように中段アー
ムについては、一対となっている２つの圧電素子を互い
の励振抑制に用いる。また、最上段のアームと最下段ア
ームの圧電素子についてはこれらを対として互いの励振
抑制に用いる。
【００６６】本第１実施例では、動作の方向が異なるよ
うに形成した（ＧＲＡ）型と（ＧＲＢ）型の圧電素子を
用いている。この場合、制御対象となるヘッドが奇数番
ヘッドか、偶数番ヘッドかによって、コンローラ２５０
は電圧の向きを変える制御を実行する。例えば♯１ヘッ
ドが記録・再生を行うときにはこれに属する圧電素子が
制御対象となり、♯１ヘッドは圧電素子によりヘッドサ
スペンションを介して左向きに移動させる。このとき、
コンローラ２５０は、♯１ヘッドを移動させたことによ
り生じる加振力を打消すべく、♯２ヘッド側の圧電素子
を駆動し♯２ヘッドを右向きに移動させる制御を行う。
一方、♯２ヘッドが記録・再生側のヘッドとなるときに
は、コンローラ２５０はこの逆の関係となるように制御
を行う。
うに形成した（ＧＲＡ）型と（ＧＲＢ）型の圧電素子を
用いている。この場合、制御対象となるヘッドが奇数番
ヘッドか、偶数番ヘッドかによって、コンローラ２５０
は電圧の向きを変える制御を実行する。例えば♯１ヘッ
ドが記録・再生を行うときにはこれに属する圧電素子が
制御対象となり、♯１ヘッドは圧電素子によりヘッドサ
スペンションを介して左向きに移動させる。このとき、
コンローラ２５０は、♯１ヘッドを移動させたことによ
り生じる加振力を打消すべく、♯２ヘッド側の圧電素子
を駆動し♯２ヘッドを右向きに移動させる制御を行う。
一方、♯２ヘッドが記録・再生側のヘッドとなるときに
は、コンローラ２５０はこの逆の関係となるように制御
を行う。
【００６７】図７は上記第１実施例で示した対となる圧
電素子を制御する場合のコンローラ２５０周辺のブロッ
ク構成例を示している。電圧に対する圧電素子の変位が
概ね同じとになるようにキャリブレーションし、コント
ローラ２５０としてＤＳＰ（デジタル シグナル プロ
セッサ）を用い、これに設定する補正定数をメモリに記
憶させておく。その際に偶数番目のヘッドを移動させる
圧電素子には正の、奇数番目のヘッドを移動させる圧電
素子には負の定数として記憶させておけば、制御電圧を
計算するルーチンにおいて、ヘッドの番号に応じた補正
定数を使用することでドライバ２５１を介して供給する
指示電圧の向きを切換えることで常に適性な励振抑制の
制御が可能となる。
電素子を制御する場合のコンローラ２５０周辺のブロッ
ク構成例を示している。電圧に対する圧電素子の変位が
概ね同じとになるようにキャリブレーションし、コント
ローラ２５０としてＤＳＰ（デジタル シグナル プロ
セッサ）を用い、これに設定する補正定数をメモリに記
憶させておく。その際に偶数番目のヘッドを移動させる
圧電素子には正の、奇数番目のヘッドを移動させる圧電
素子には負の定数として記憶させておけば、制御電圧を
計算するルーチンにおいて、ヘッドの番号に応じた補正
定数を使用することでドライバ２５１を介して供給する
指示電圧の向きを切換えることで常に適性な励振抑制の
制御が可能となる。
【００６８】図８は、上記第１実施例の変形例であり、
圧電素子の変位方向が同一となるように設定した対の圧
電素子を制御する場合のコンローラ２５０周辺のブロッ
ク構成例を示している。例えば全ての圧電素子の分極方
向を図５で示す（ＧＲＡ）に揃えておき、制御対象とな
る圧電素子にはドライバ２５１からの指示電圧をそのま
ま供給し、逆向きに駆動させる圧電素子には指示電圧を
−１倍とするアンプ２５３を経由させて供給するように
構成する。このような構成であれば、全て同じ状態に形
成した圧電素子を用いることができるので、製造の品質
管理、工程管理が効率的になされるのでコスト低減を図
ることができる。
圧電素子の変位方向が同一となるように設定した対の圧
電素子を制御する場合のコンローラ２５０周辺のブロッ
ク構成例を示している。例えば全ての圧電素子の分極方
向を図５で示す（ＧＲＡ）に揃えておき、制御対象とな
る圧電素子にはドライバ２５１からの指示電圧をそのま
ま供給し、逆向きに駆動させる圧電素子には指示電圧を
−１倍とするアンプ２５３を経由させて供給するように
構成する。このような構成であれば、全て同じ状態に形
成した圧電素子を用いることができるので、製造の品質
管理、工程管理が効率的になされるのでコスト低減を図
ることができる。
【００６９】さらに、上記第１実施例の変形例として、
圧電素子の変位方向の極性は全て同じにしておく場合と
して図９のように構成してもよい。図９に示すブロック
構成はＤＳＰ２５０から各々の制御電圧を計算し、ドラ
イバ２５３、２５４からの指示電圧を供給するようにし
ている。この変形例によれば、圧電素子の状態に応じて
高精度に励振防止の制御を行うことができる。
圧電素子の変位方向の極性は全て同じにしておく場合と
して図９のように構成してもよい。図９に示すブロック
構成はＤＳＰ２５０から各々の制御電圧を計算し、ドラ
イバ２５３、２５４からの指示電圧を供給するようにし
ている。この変形例によれば、圧電素子の状態に応じて
高精度に励振防止の制御を行うことができる。
【００７０】なお、図７から図９で示される位置復調器
２７０は記憶ディスク上に記載された位置情報に基づき
ヘッドの位置決めがされるように、コントローラ２５０
に所定の位置誤差信号（ＰＥＳ）を供給している。
２７０は記憶ディスク上に記載された位置情報に基づき
ヘッドの位置決めがされるように、コントローラ２５０
に所定の位置誤差信号（ＰＥＳ）を供給している。
【００７１】上記第１実施例では対を形成する圧電素子
の駆動状態をコンローラ２５０で制御することで、駆動
対象の圧電素子により生ずる加振力を打消す構成を説明
した。そして、図７から図９では例示的に１組（対）の
ブロック構成を示したが、ディスペンサヘッドを駆動す
る圧電素子全てについて同様の回路が形成され、コンロ
ーラ２５０による制御が実行される。
の駆動状態をコンローラ２５０で制御することで、駆動
対象の圧電素子により生ずる加振力を打消す構成を説明
した。そして、図７から図９では例示的に１組（対）の
ブロック構成を示したが、ディスペンサヘッドを駆動す
る圧電素子全てについて同様の回路が形成され、コンロ
ーラ２５０による制御が実行される。
【００７２】（第２実施）前述した第１実施例では、圧
電素子を駆動することによる励振の問題を対称位置関係
にある他の圧電素子を逆向きに駆動させる制御を実行す
ることで抑制している。
電素子を駆動することによる励振の問題を対称位置関係
にある他の圧電素子を逆向きに駆動させる制御を実行す
ることで抑制している。
【００７３】しかし、♯０と♯５、♯１と♯２、♯３と
♯４のぞれぞれが常に対を成すように、圧電素子の駆動
状態が維持されていることが少なくとも必要な条件であ
る。即ち、♯０ヘッドが記録・再生する際には♯０ヘッ
ドに接続される圧電素子が、制御対象であり、♯５ヘッ
ドに接続される圧電素子が加振力を打消すために逆向き
に駆動されるのであるが、このとき同時に、♯１ヘッド
及び♯２ヘッドに接続さた圧電素子が互いの加振力を打
ち消し合うように駆動されていてもよい。
♯４のぞれぞれが常に対を成すように、圧電素子の駆動
状態が維持されていることが少なくとも必要な条件であ
る。即ち、♯０ヘッドが記録・再生する際には♯０ヘッ
ドに接続される圧電素子が、制御対象であり、♯５ヘッ
ドに接続される圧電素子が加振力を打消すために逆向き
に駆動されるのであるが、このとき同時に、♯１ヘッド
及び♯２ヘッドに接続さた圧電素子が互いの加振力を打
ち消し合うように駆動されていてもよい。
【００７４】このような観点から、♯０、♯２、及び♯
４ヘッドを同時に駆動される圧電素子の第１グループ
と、♯１、♯３、及び♯５を同時に駆動される圧電素子
の第２グループに分け、これらをグループ毎に駆動対象
の圧電素子を含むグループと励振を抑制する圧電素子を
含むグループとに分けて駆動させてもよいのである。
４ヘッドを同時に駆動される圧電素子の第１グループ
と、♯１、♯３、及び♯５を同時に駆動される圧電素子
の第２グループに分け、これらをグループ毎に駆動対象
の圧電素子を含むグループと励振を抑制する圧電素子を
含むグループとに分けて駆動させてもよいのである。
【００７５】図１０は第２実施例に対応するコントロー
ラ２５０周辺のブロック構成図を示している。このブロ
ック図は、第１実施例で示した図８の変位方向が同一と
なるように設定した圧電素子を用いた場合にグループ化
して制御する例である。第１グループと第２グループに
属する圧電素子を駆動する２つのドライバ２５５、２５
７を備えていれば、逆向きに駆動する圧電素子の選択
や、駆動電圧の供給方向等について複雑な処理が省略で
きるのでコントローラ２５０側での処理プログラムを大
幅に簡素化できる。なお、図８で示した場合と同様に、
圧電素子は全て同じ分極方向であり、単に２つのグルー
プに分けて制御を行うので２種類の圧電素子を作成する
必要がないことから本実施において、大幅な製作コスト
低減が図られる。
ラ２５０周辺のブロック構成図を示している。このブロ
ック図は、第１実施例で示した図８の変位方向が同一と
なるように設定した圧電素子を用いた場合にグループ化
して制御する例である。第１グループと第２グループに
属する圧電素子を駆動する２つのドライバ２５５、２５
７を備えていれば、逆向きに駆動する圧電素子の選択
や、駆動電圧の供給方向等について複雑な処理が省略で
きるのでコントローラ２５０側での処理プログラムを大
幅に簡素化できる。なお、図８で示した場合と同様に、
圧電素子は全て同じ分極方向であり、単に２つのグルー
プに分けて制御を行うので２種類の圧電素子を作成する
必要がないことから本実施において、大幅な製作コスト
低減が図られる。
【００７６】本第２実施例は図８に示した変位方向が同
一である圧電素子を用いる場合に限らず図７に示した変
位方向が逆である圧電素子についてもグループ化が可能
であるし、図９に示した変位方向が同一である圧電素子
を用いＤＳＰから指示電圧を切換える場合の例について
も同様にグループ化を適用できるなお、図１１には、♯
０、♯２、及び♯４から成る第１グループと、♯１、♯
３、及び♯５から成る第２グループに分ける際の回路構
成の一例を示している。
一である圧電素子を用いる場合に限らず図７に示した変
位方向が逆である圧電素子についてもグループ化が可能
であるし、図９に示した変位方向が同一である圧電素子
を用いＤＳＰから指示電圧を切換える場合の例について
も同様にグループ化を適用できるなお、図１１には、♯
０、♯２、及び♯４から成る第１グループと、♯１、♯
３、及び♯５から成る第２グループに分ける際の回路構
成の一例を示している。
【００７７】上記第１及び第２実施例では４つのアーム
を有するキャリッジを例に示しているが、理解を簡単に
するために構成を簡素化したためであり、４つのアーム
とこれに接続されるマイクロアクチュエータの数を限定
するものではない。すなわち、５段以上のアーム数とな
っても同様に本発明を適用できる。
を有するキャリッジを例に示しているが、理解を簡単に
するために構成を簡素化したためであり、４つのアーム
とこれに接続されるマイクロアクチュエータの数を限定
するものではない。すなわち、５段以上のアーム数とな
っても同様に本発明を適用できる。
【００７８】さらに、上述した実施例ではマイクロアク
チュエータとして剪断変形する圧電素子を例に示した
が、本発明はこのような特定マイクロアクチュエータの
駆動により生じる励振の問題を解消するものに限定され
ない。本発明はマイクロアクチュエータを用いたヘッド
移動装置で励振が問題となる場合に適用できることは言
うまでもない。
チュエータとして剪断変形する圧電素子を例に示した
が、本発明はこのような特定マイクロアクチュエータの
駆動により生じる励振の問題を解消するものに限定され
ない。本発明はマイクロアクチュエータを用いたヘッド
移動装置で励振が問題となる場合に適用できることは言
うまでもない。
【００７９】さらに、図１２を用いて前述したヘッド移
動装置を適用した記憶ディスク駆動装置を説明する。図
１２に示すのは、記憶ディスクを使用するハードディス
ク駆動装置である。ハードディスク駆動装置には高速回
転するスピンドルＳを有し、スピンドルＳに複数枚の記
憶ディスクＤが所定間隔毎に取付けられている。記憶デ
ィスクＤにはその両面にデータが記録されるようになっ
ており、この記憶ディスクＤへの記録・再生は記憶ディ
スクＤ毎にその片面又は両面に設けられたヘッドＨによ
り行われる。この複数のヘッドＨの記憶ディスクＤ上へ
の移動は、アームＡとディスペンスヘッドＤＰを介して
なされ、記憶ディスクＤのトラック上に所定のヘッドが
位置決めされる。このときアームＡはメインアクチュエ
ータＭＡにより一体に駆動され、アームＡの先端に配置
されディスペンスヘッドＤＰはマイクロアクチュエータ
を用いた微小移動装置ＳＹにより個別に微小駆動され
る。ここで、微小移動装置ＳＹとして前述した実施例の
ヘッド移動装置を採用することができる。このような装
置は、ヘッドＨを移動するために対象となる特定のマイ
クロアクチュエータを駆動させると、常に励振抑制用に
対とされている他のマイクロアクチュエータが駆動され
加振力が打消される。よって、従来のように励振の問題
を生じることなく位置決め精度の高いハードディスク駆
動装置として提供できる。このような装置は高密度化さ
れ挟トラック幅となった記憶ディスクに対しても高精度
でヘッドを位置決めすることができる。
動装置を適用した記憶ディスク駆動装置を説明する。図
１２に示すのは、記憶ディスクを使用するハードディス
ク駆動装置である。ハードディスク駆動装置には高速回
転するスピンドルＳを有し、スピンドルＳに複数枚の記
憶ディスクＤが所定間隔毎に取付けられている。記憶デ
ィスクＤにはその両面にデータが記録されるようになっ
ており、この記憶ディスクＤへの記録・再生は記憶ディ
スクＤ毎にその片面又は両面に設けられたヘッドＨによ
り行われる。この複数のヘッドＨの記憶ディスクＤ上へ
の移動は、アームＡとディスペンスヘッドＤＰを介して
なされ、記憶ディスクＤのトラック上に所定のヘッドが
位置決めされる。このときアームＡはメインアクチュエ
ータＭＡにより一体に駆動され、アームＡの先端に配置
されディスペンスヘッドＤＰはマイクロアクチュエータ
を用いた微小移動装置ＳＹにより個別に微小駆動され
る。ここで、微小移動装置ＳＹとして前述した実施例の
ヘッド移動装置を採用することができる。このような装
置は、ヘッドＨを移動するために対象となる特定のマイ
クロアクチュエータを駆動させると、常に励振抑制用に
対とされている他のマイクロアクチュエータが駆動され
加振力が打消される。よって、従来のように励振の問題
を生じることなく位置決め精度の高いハードディスク駆
動装置として提供できる。このような装置は高密度化さ
れ挟トラック幅となった記憶ディスクに対しても高精度
でヘッドを位置決めすることができる。
【００８０】なお、前述した実施例ではメインアームと
ヘッドサスペンション（サブアーム）との接続部分にマ
イクロアクチュエータを設けて励振を抑制する例を示し
ている。しかし本発明はこのような形態に限らず、キャ
リッジとヘッドの間に配置されるマイクロアクチュエー
タに関し、ヘッドを微小移動させるためにマイクロアク
チュエータを駆動する際に他のマイクロアクチュエータ
を駆動することで問題となる加振力を抑制できる構成で
ばよい。
ヘッドサスペンション（サブアーム）との接続部分にマ
イクロアクチュエータを設けて励振を抑制する例を示し
ている。しかし本発明はこのような形態に限らず、キャ
リッジとヘッドの間に配置されるマイクロアクチュエー
タに関し、ヘッドを微小移動させるためにマイクロアク
チュエータを駆動する際に他のマイクロアクチュエータ
を駆動することで問題となる加振力を抑制できる構成で
ばよい。
【００８１】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００８２】なお、以上の説明に関して更に以下の項を
開示する。
開示する。
【００８３】（付記１） キャリッジと、前記キャリッ
ジを移動するメインアクチュエータと、記憶媒体から情
報を再生する複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘ
ッドとの間に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する
複数のマイクロアクチュエータとを有し、前記メインア
クチュエータ及び前記マイクロアクチュエータを駆動し
て所望のヘッドを位置決めするヘッド移動装置であっ
て、所望の前記マイクロアクチュエータを駆動するとき
には、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように
他のマイクロアクチュエータを駆動させる励振制御部を
設けた、ヘッド移動装置。
ジを移動するメインアクチュエータと、記憶媒体から情
報を再生する複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘ
ッドとの間に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する
複数のマイクロアクチュエータとを有し、前記メインア
クチュエータ及び前記マイクロアクチュエータを駆動し
て所望のヘッドを位置決めするヘッド移動装置であっ
て、所望の前記マイクロアクチュエータを駆動するとき
には、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように
他のマイクロアクチュエータを駆動させる励振制御部を
設けた、ヘッド移動装置。
【００８４】（付記２） 前記キャリッジは複数の記憶
媒体に対応する様に複数段のメインアームを有すると共
に、その形状において高さ方向の中心位置に対して対称
性をもって形成され、前記励振制御部は、前記ヘッドの
微小移動のため駆動されるマイクロアクチュエータと対
称位置関係にあるマイクロアクチュエータを前記他のマ
イクロアクチュエータとして逆向き且つ同様の振幅で駆
動する、ことを特徴とする付記１記載のヘッド移動装
置。
媒体に対応する様に複数段のメインアームを有すると共
に、その形状において高さ方向の中心位置に対して対称
性をもって形成され、前記励振制御部は、前記ヘッドの
微小移動のため駆動されるマイクロアクチュエータと対
称位置関係にあるマイクロアクチュエータを前記他のマ
イクロアクチュエータとして逆向き且つ同様の振幅で駆
動する、ことを特徴とする付記１記載のヘッド移動装
置。
【００８５】（付記３） 前記複数段に形成されたメイ
ンアームの内、中間段に位置する各中間段メインアーム
には前記マイクロアクチュエータが２つ接続され、これ
らのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御部
は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイクロ
アクチュエータとして、逆向き且同様の振幅で駆動す
る、ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動装置。
ンアームの内、中間段に位置する各中間段メインアーム
には前記マイクロアクチュエータが２つ接続され、これ
らのいずれか一方を駆動するときに、前記励振制御部
は、残りのマイクロアクチュエータを前記他のマイクロ
アクチュエータとして、逆向き且同様の振幅で駆動す
る、ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動装置。
【００８６】（付記４） 前記複数段に形成されたメイ
ンアームの内、最上段メインアーム及び最下段メインア
ームには、前記マイクロアクチュエータが１つずつ接続
され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励
振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他の
マイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様の振幅
で駆動する、ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動
装置。
ンアームの内、最上段メインアーム及び最下段メインア
ームには、前記マイクロアクチュエータが１つずつ接続
され、これらのいずれか一方を駆動するときに、前記励
振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前記他の
マイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様の振幅
で駆動する、ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動
装置。
【００８７】（付記５） 前記メインアームと前記ヘッ
ドとを接続するサブアームが設けられ、該サブアームと
前記メインアームとの接続部の各々に前記マイクロアク
チュエータが配設されている、ことを特徴とする付記１
から４いずれかに記載のヘッド移動装置。
ドとを接続するサブアームが設けられ、該サブアームと
前記メインアームとの接続部の各々に前記マイクロアク
チュエータが配設されている、ことを特徴とする付記１
から４いずれかに記載のヘッド移動装置。
【００８８】（付記６） 前記マイクロアクチュエータ
は互いに前記加振力を打消し合う関係にある２つのグル
ープに分割され、前記励振制御部は、第１グループ全体
を同一方向に駆動させ、第２グループは逆向き且つ同様
の振幅で駆動することにより、前記加振力を除去する、
ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動装置。
は互いに前記加振力を打消し合う関係にある２つのグル
ープに分割され、前記励振制御部は、第１グループ全体
を同一方向に駆動させ、第２グループは逆向き且つ同様
の振幅で駆動することにより、前記加振力を除去する、
ことを特徴とする付記２記載のヘッド移動装置。
【００８９】（付記７） 前記マイクロアクチュエータ
を圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の
関係にある圧電素子について、その変位極性を予め逆極
性に設定しておき、同じ電圧を供給したとき逆向きに動
作させることを特徴とする付記１から６いずれかに記載
のヘッド移動装置。
を圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の
関係にある圧電素子について、その変位極性を予め逆極
性に設定しておき、同じ電圧を供給したとき逆向きに動
作させることを特徴とする付記１から６いずれかに記載
のヘッド移動装置。
【００９０】（付記８） 前記マイクロアクチュエータ
を圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の
関係にある圧電素子について、その変位極性を予め同一
極性に設定しておき、極性を反転させた電圧を供給した
とき逆向きに動作させることを特徴とする付記１から６
のいずれかに記載のヘッド移動装置。
を圧電素子により形成し、前記加振力を打消し合う対の
関係にある圧電素子について、その変位極性を予め同一
極性に設定しておき、極性を反転させた電圧を供給した
とき逆向きに動作させることを特徴とする付記１から６
のいずれかに記載のヘッド移動装置。
【００９１】（付記９） 前記圧電素子は滑り変位を生
じる剪断型の素子であることを特徴とする付記７又は８
記載のヘッド移動装置。
じる剪断型の素子であることを特徴とする付記７又は８
記載のヘッド移動装置。
【００９２】（付記１０） 付記１から９のいずれかに
記載のヘッド移動装置を備え、ディスク状の記憶媒体の
再生を行う記憶ディスク駆動装置。
記載のヘッド移動装置を備え、ディスク状の記憶媒体の
再生を行う記憶ディスク駆動装置。
【００９３】
【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、 請求項１記載の発明によれば、あるヘッドを記憶
ディスク上の所望位置に位置決めするために、マイクロ
アクチュエータが駆動される。このとき、マイクロアク
チュエータの駆動により生じる加振力を除くように、励
振制御部が他のマイクロアクチュエータを駆動させる。
よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑制され
るので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位置決め
が可能となる。したがって、記録密度が増加し益々挟ト
ラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度に
位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
に、 請求項１記載の発明によれば、あるヘッドを記憶
ディスク上の所望位置に位置決めするために、マイクロ
アクチュエータが駆動される。このとき、マイクロアク
チュエータの駆動により生じる加振力を除くように、励
振制御部が他のマイクロアクチュエータを駆動させる。
よって、ヘッド移動装置における励振の問題が抑制され
るので機械特性が改善され、精度良いヘッドの位置決め
が可能となる。したがって、記録密度が増加し益々挟ト
ラック化する記憶ディスクに対応してヘッドを高精度に
位置決めできるヘッド移動装置として提供できる。
【００９４】また、請求項２記載の発明によれば、励振
制御部が対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを
対とし、一方を駆動する際には他方を逆向きに駆動させ
る。よって、マイクロアクチュエータを駆動することに
より生ずる加振力を効果的に打消すことができるので、
励振抑制効果の高いヘッド移動装置となる。
制御部が対称位置関係にあるマイクロアクチュエータを
対とし、一方を駆動する際には他方を逆向きに駆動させ
る。よって、マイクロアクチュエータを駆動することに
より生ずる加振力を効果的に打消すことができるので、
励振抑制効果の高いヘッド移動装置となる。
【００９５】また、請求項３記載の発明によれば、中間
段メインアームに接続される２つのマイクロアクチュエ
ータが対とされ、これらは互いに正逆に駆動されること
で効果的に加振力を打消すことができる。
段メインアームに接続される２つのマイクロアクチュエ
ータが対とされ、これらは互いに正逆に駆動されること
で効果的に加振力を打消すことができる。
【００９６】また、請求項４記載の発明によれば、最上
段メインアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接
続される１つのマイクロアクチュエータが対とされ、こ
れらは互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を
打消すことができる。
段メインアーム及び最下段メインアームのそれぞれに接
続される１つのマイクロアクチュエータが対とされ、こ
れらは互いに正逆に駆動されることで効果的に加振力を
打消すことができる。
【００９７】また、請求項５記載の発明によれば、所望
のヘッドを位置決めするためにサブアームに接続された
マイクロアクチュエータを駆動する際には、前記励振制
御部は、該マイクロアクチュエータと対称位置関係にあ
る他のマイクロアクチュエータを駆動するので効果的に
加振力を打消すことができる。
のヘッドを位置決めするためにサブアームに接続された
マイクロアクチュエータを駆動する際には、前記励振制
御部は、該マイクロアクチュエータと対称位置関係にあ
る他のマイクロアクチュエータを駆動するので効果的に
加振力を打消すことができる。
【図１】従来のサスペンション駆動を用いたヘッド移動
装置に関連する技術について示す図である。
装置に関連する技術について示す図である。
【図２】従来のサスペンション駆動を用いたヘッド移動
装置に関連する技術について示す図である。
装置に関連する技術について示す図である。
【図３】マイクロアクチュエータを用いたヘッド移動装
置を搭載したキャリッジの構成を示す図である。
置を搭載したキャリッジの構成を示す図である。
【図４】マイクロアクチュエータの駆動電圧に対するヘ
ッドの変位の周波数応答関数について示す図である。
ッドの変位の周波数応答関数について示す図である。
【図５】第１実施例のヘッド移動装置について示す図で
ある。
ある。
【図６】第１実施例のヘッド移動装置について示す図で
ある。
ある。
【図７】第１実施例で示した対となる圧電素子を制御す
る場合のコンローラ周辺のブロック構成例を示す図であ
る。
る場合のコンローラ周辺のブロック構成例を示す図であ
る。
【図８】圧電素子の変位方向が同一となるように設定し
た対の圧電素子を制御する場合のコンローラ周辺のブロ
ック構成例を示す図である。
た対の圧電素子を制御する場合のコンローラ周辺のブロ
ック構成例を示す図である。
【図９】圧電素子の変位方向が同一となるように設定し
た対の圧電素子を制御するたの場合のコンローラ周辺の
ブロック構成例を示す図である。
た対の圧電素子を制御するたの場合のコンローラ周辺の
ブロック構成例を示す図である。
【図１０】第２実施例に対応するコントローラ周辺のブ
ロック構成を示す図である。
ロック構成を示す図である。
【図１１】第１グループと第２グループに分ける際の回
路構成の一例を示す図である。
路構成の一例を示す図である。
【図１２】実施例のヘッド移動装置を適用した記憶ディ
スク駆動装置を説明する図である。
スク駆動装置を説明する図である。
１００ キャリッジ １０６ アーム（メインアーム） １０８ ヘッドサスペンション（サブアーム） １１０ 圧電素子（マイクロアクチュエータ） １１４ ヘッド素子 ２００ ヘッド移動装置 ２０８ ヘッドサスペンション（サブアーム） ２３０ 圧電素子（マイクロアクチュエータ） ２５０ コントローラ（励振制御部）
Claims (5)
- 【請求項１】 キャリッジと、前記キャリッジを移動す
るメインアクチュエータと、記憶媒体から情報を再生す
る複数のヘッドと、前記キャリッジと前記ヘッドとの間
に各々配置され、前記ヘッドを微小移動する複数のマイ
クロアクチュエータとを有し、前記メインアクチュエー
タ及び前記マイクロアクチュエータを駆動して所望のヘ
ッドを位置決めするヘッド移動装置であって、 所望の前記マイクロアクチュエータを駆動するときに
は、前記キャリッジに生じる加振力を除去するように他
のマイクロアクチュエータを駆動させる励振制御部を設
けた、ヘッド移動装置。 - 【請求項２】 前記キャリッジは複数の記憶媒体に対応
する様に複数段のメインアームを有すると共に、その形
状において高さ方向の中心位置に対して対称性をもって
形成され、 前記励振制御部は、前記ヘッドの微小移動のため駆動さ
れるマイクロアクチュエータと対称位置関係にあるマイ
クロアクチュエータを前記他のマイクロアクチュエータ
として逆向き且つ同様の振幅で駆動する、ことを特徴と
する請求項１記載のヘッド移動装置。 - 【請求項３】 前記複数段に形成されたメインアームの
内、中間段に位置する各中間段メインアームには前記マ
イクロアクチュエータが２つ接続され、これらのいずれ
か一方を駆動するときに、 前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前
記他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且同様の
振幅で駆動する、ことを特徴とする請求項２記載のヘッ
ド移動装置。 - 【請求項４】 前記複数段に形成されたメインアームの
内、最上段メインアーム及び最下段メインアームには、
前記マイクロアクチュエータが１つずつ接続され、これ
らのいずれか一方を駆動するときに、 前記励振制御部は、残りのマイクロアクチュエータを前
記他のマイクロアクチュエータとして、逆向き且つ同様
の振幅で駆動する、ことを特徴とする請求項２記載のヘ
ッド移動装置。 - 【請求項５】 前記メインアームと前記ヘッドとを接続
するサブアームが設けられ、該サブアームと前記メイン
アームとの接続部の各々に前記マイクロアクチュエータ
が配設されている、ことを特徴とする請求項１から４い
ずれかに記載のヘッド移動装置。
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| JP2000268772A JP3771122B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2000268772A JP3771122B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | ヘッド移動装置および記憶ディスク駆動装置 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005158242A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Shinka Jitsugyo Kk | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
| JP2012138140A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 磁気ディスク装置及び同装置におけるマイクロアクチュエータ制御方法 |
| US8699166B2 (en) | 2009-12-11 | 2014-04-15 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head drive device with micro-actuators of end arms rotating in a direction opposite micro-actuators of intermediate arms |
| JP2023503574A (ja) * | 2020-11-14 | 2023-01-31 | ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド | データ記憶デバイスインターリーブ駆動二次アクチュエータ |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003123416A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Fujitsu Ltd | ヘッドアセンブリおよび記録媒体駆動装置 |
| JP2005158111A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Fujitsu Ltd | 加速度センサ、及びこれを用いたディスク装置 |
| US7218482B2 (en) * | 2004-01-26 | 2007-05-15 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Micro-actuator, head gimbal assembly and manufacturing method thereof |
| US6972924B1 (en) * | 2004-04-02 | 2005-12-06 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive attenuating excitation of arm vibration mode by simultaneously driving secondary actuator for non-active head |
| US7466520B2 (en) | 2004-10-07 | 2008-12-16 | Seagate Technology Llc | Co-located microactuator lever assembly |
| US7433159B2 (en) * | 2005-01-27 | 2008-10-07 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Micro-actuator unit, head gimbal assembly, and disk drive unit with vibration canceller |
| US7215504B1 (en) | 2005-10-19 | 2007-05-08 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive using an optical sensor to detect a position of an actuator arm |
| US7495857B1 (en) | 2005-12-30 | 2009-02-24 | Western Digital Technologies, Inc. | Servo writing a disk drive by writing spiral tracks using a mechanical position sensor |
| US7619844B1 (en) | 2005-12-30 | 2009-11-17 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive comprising a mechanical position sensor to prevent a runaway condition |
| US7365932B1 (en) | 2005-12-30 | 2008-04-29 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive comprising an optical sensor for vibration mode compensation |
| US7480116B1 (en) | 2006-01-20 | 2009-01-20 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive employing coarse position feedback from mechanical position sensor to improve format efficiency |
| US8223461B2 (en) * | 2007-09-28 | 2012-07-17 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Pure rotary microactuator |
| US8085508B2 (en) * | 2008-03-28 | 2011-12-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method and apparatus for flexure-integrated microactuator |
| US7940490B2 (en) * | 2008-04-26 | 2011-05-10 | Magnecomp Corporation | Apparatus and method for improving bandwidth of a fine positioning mechanism data storage manufacturing and test equipment |
| US9053724B1 (en) | 2013-08-19 | 2015-06-09 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive actuating first head microactuator while sensing signal from second head microactuator |
| CN105989861A (zh) * | 2014-11-05 | 2016-10-05 | 株式会社东芝 | 磁盘装置和控制方法 |
| CN106033675B9 (zh) | 2014-12-24 | 2019-04-26 | 株式会社东芝 | 磁盘装置以及在磁盘装置执行的控制方法 |
| US10964345B1 (en) * | 2020-05-22 | 2021-03-30 | Seagate Technology Llc | Parallel servo control in a data storage device |
| US11249450B1 (en) | 2020-09-30 | 2022-02-15 | Seagate Technology Llc | Calibration of multi-stage servo system |
| US11289122B1 (en) * | 2020-12-31 | 2022-03-29 | Seagate Technology Llc | Calibration of multi-stage servo system |
| US11482254B2 (en) | 2021-02-15 | 2022-10-25 | Western Digital Technologies, Inc. | Data storage device independently driving outer and inner fine actuators |
| US11482246B2 (en) | 2021-02-15 | 2022-10-25 | Western Digital Technologies, Inc. | Data storage device independently driving outer and inner fine actuators |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5745319A (en) * | 1992-08-12 | 1998-04-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Recording/reproducing apparatus with coarse and fine head positioning actuators and an elastic head gimbal |
| JP3333367B2 (ja) | 1995-12-04 | 2002-10-15 | 富士通株式会社 | ヘッドアクチュエータ |
| US5856896A (en) * | 1996-12-04 | 1999-01-05 | Seagate Technology, Inc. | Gimbal suspension for supporting a head in a disc drive assembly |
| JP3420915B2 (ja) | 1997-07-10 | 2003-06-30 | 富士通株式会社 | 圧電素子を用いたアクチュエータ及びこのアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機構 |
| US5959808A (en) * | 1997-12-30 | 1999-09-28 | International Business Machines Corporation | Shielded electrostatic microactuators for magnetic-head positioning such devices |
| JP3589876B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2004-11-17 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | ディスク装置 |
-
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- 2000-09-05 JP JP2000268772A patent/JP3771122B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2001
- 2001-03-23 US US09/814,751 patent/US6697211B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005158242A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Shinka Jitsugyo Kk | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
| JP4677762B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2011-04-27 | 新科實業有限公司 | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
| US8699166B2 (en) | 2009-12-11 | 2014-04-15 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head drive device with micro-actuators of end arms rotating in a direction opposite micro-actuators of intermediate arms |
| JP2012138140A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 磁気ディスク装置及び同装置におけるマイクロアクチュエータ制御方法 |
| US8542458B2 (en) | 2010-12-24 | 2013-09-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk drive and method for controlling microactuator in magnetic disk drive |
| JP2023503574A (ja) * | 2020-11-14 | 2023-01-31 | ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド | データ記憶デバイスインターリーブ駆動二次アクチュエータ |
| JP7300562B2 (ja) | 2020-11-14 | 2023-06-29 | ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド | データ記憶デバイスインターリーブ駆動二次アクチュエータ |
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