JP3720851B2 - 光学式走査装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、トラックを有する情報面を光学的に走査する装置であって、２本のトラッキングビームと１本の主ビームを発生する光学系を含む光ヘッドと；３本のビームを前記情報面上にて、走査すべきトラックの両側にそれぞれ位置する２つのトラッキングスポットと、前記トラック上の１つの主スポットとに集束させるレンズ系と；記録媒体からの２本のトラッキングビーム及び主ビームの放射をそれぞれ受光する少なくとも３個の検出系であって、各検出系が少なくとも２つの検出器に分割されている３個の検出系ａ，ｂ及びｃと；走査すべきトラックに対する前記主スポットのトラック横断方向の位置を対応調整するために、光ヘッドに対して所定位置に調整可能な光学素子（８），（９）と；を具えている光学式走査装置に関するものである。この光学式走査装置は、光記録媒体に情報を書き込んだり、該媒体から情報を読み取ったりする装置に用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】
上述したタイプの走査装置は欧州特許出願第２０１６０３号から既知である。この既知の走査装置では、トラッキングサーボ系により主スポットを走査すべきトラック上に位置させている。このサーポ系はスリット検出器の信号から取り出されるトラッキングエラー信号により制御される。トラッキングサーボ系には粗制御及び微細制御を用いることができる。粗制御は、走査ヘッドを組み入れるスライダをトラック横断方向、すなわち円形の記録媒体の半径方向に移動させることにより行われる。微細制御は走査ヘッド内の対物レンズをトラック横断方向に変位させることにより行われる。このような対物レンズの変位により、検出器面にビームによって形成される放射スポットは関連する検出器に対してシフトするため、トラッキングサーボ系を制卸するトラッキングエラー信号にオフセットが生じてしまう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記欧州特許出願第２０１６０３号には、対物レンズの微小なトラッキング方向変位に無関係となるトラッキングエラー信号を発生させる検出器信号の組み合せ方が記載されている。しかしながら、対物レンズの変位が大きい場合には、対物レンズがその光軸から大きく離れるため、走査ビーム光路に顕著な収差が生じてしまう。このような対物レンズの大きな変位は、例えば走査ヘッドの移動速度をかなり高めて、記録媒体の別のトラックを追跡するようなサーチ動作の開始時に発生する。このような状況においては、検出器から供給される信号が著しく乱れて、サーチ動作中に通過するトラックの数の計数に誤差が生じてしまうことがよくある。
従って、本発明の目的は、上述した欠点を除去し、光路中に組み込まれる対物レンズ又は他の調整可能素子の位置がトラッキングエラー信号に及ぼす影響を低下させる光学式走査装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段並びに作用】
本発明は、冒頭にて述べた光学式走査装置において、当該装置が、前記検出器の出力信号を、前記光ヘッドに対する前記調整可能な光学素子の位置を表す位置信号に処理するための電子回路を具え、該電子回路が、前記それぞれの検出系ａ，ｂ及びｃの検出器の出力信号間の差に相当する差信号Pa,Pb及びPcを取り出すと共に、これらの差信号Pa,Pb及びPcに依存する位置信号を発生すべく構成され、前記電子回路が前記位置信号に応じて前記光ヘッドに対する前記調整可能な光学素子の位置を制御するようにしたことを特徴とする。
位置信号は、検出器に入射する放射スポットのシフト（ずれ）によって生ずる検出器信号から簡単に取り出すことができる。このために最早、調整可能な素子に近接して個別の位置センサを配置する必要がなくなる。斯かる調整可能素子は、例えば上述した対物レンズ又は回動ミラーとすることができる。この調整可能素子の位置は、ビームができるだけ対物レンズの中心を通過するように位置信号を用いて既知の方法で補正することができる。サーチ動作中は、位置信号によって、例えば対物レンズを走査ヘッド内の公称位置に維持し、対物レンズの光軸が装置の光軸上に位置するように微細制御を行うことができる。トラッキング中は、位置信号によって、対物レンズがほぼその公称位置に留まって、ビームを追跡すべきトラック上に収束させることのできるように、走査ヘッドを位置決めする粗制御を行うことができる。
【０００５】
特開昭６３−２９１２２４号公報には、走査ヘッドにおける対物レンズの位置を、単一走査ビームによって発生されるトラッキングエラー信号から取り出すことが提案されている。走査ヘッドがサーチ動作中にトラックを横断する方向に移動すると、トラッキングエラー信号は正弦波状に変化する。トラッキングエラー信号の直流成分は対物レンズの位置の目安となる。この既知の装置の欠点は、交流成分をトラッキングエラー信号からろ波して取り除く必要があるため、信号処理速度が遅くなることにある。対物レンズの位置の変化は、特に走査ヘッドの速度を相当増大させるサーチ動作のスタート時には速くなる。この場合、既知の装置の処理回路は正しい位置信号を供給しなくなる。
【０００６】
本発明の好適例では、前記電子回路が、前記差信号Paと、差信号Pbと、差信号Pcに定数を乗じたものとの和に比例する位置信号を発生するようにする。このような検出器信号の新規な組み合わせによって得られる位置信号は、この信号がスポットのトラック横断方向への移動による影響をほとんど受けないと云う重要な利点を有する。
【０００７】
本発明の他の好適例では、Ｔをトラッキングビームと主ビームとの間の強度比とした場合に、前記定数を２Ｔに等しくする。定数をこのように選定することにより、主ビームとトラッキングビームとの間の強度差が補償されると云う作用効果が達成される。
【０００８】
放射源から放出されるビームの非対称性強度分布により、或いは放射源と検出器との間の光学素子の非対称性により、２本のトラッキングビームが同一強度を有しない場合がある。そこで、本発明の他の好適例では、検出系ａ及びｂの一方の検出系からの差信号を、２本のトラッキングビーム間の強度差に対して補正する。検出系ａ又はｂの差信号に２本のトラッキングビームの強度比を乗じることにより、正確な位置信号を発生させることができる。
【０００９】
本発明による光学式走査装置のさらに他の好適例では、２つのトラッキングスポットの走査すべきトラックに対して垂直方向における間隔をトラック周期の半分に等しくする。この場合、電子回路から供給される位置信号はスポットのトラック横断方向への移動による影響を受けなくなる。
【００１０】
トラッキングスポット間の距離を上述したように設定することは前記欧州特許出願から既知である。しかしながら、上記出願では、この距離はトラッキングエラー信号の最大振幅を得るためにだけ用いられている。
【００１１】
本発明による光学式走査装置の他の好適例では、前記検出系ａ，ｂ及びｃの各検出器の出力信号の和にそれぞれ対応する和信号Sa，Sb及びScに比例する正規化信号を発生する別の電子回路と、当該別の電子回路及び前記電子回路の出力端子に接続され、前記位置信号Epを前記正規化信号により除算して、正規化位置信号Ep’を発生する正規化回路とを有するようにする。この正規化により、位置信号は放射源の強度に無関係になる。従って、放射源の強度変化が生じても、前記素子の位置を制御する制衡ループの増幅度が変化することはない。
以下、図面に基づき本発明を詳細に説明する。
【００１２】
【実施例】
図１は光ヘッドによって走査される記録媒体の情報面１の一部を示す。情報面は平行トラック、すなわち紙面に対して垂直方向の螺旋状トラックを共に形成する準平行トラックを有している。情報はトラック間又はトラック内に光学的に読取可能な領域（図示せず）として格納することができる。光ヘッドは、例えばダイオードレーザから成る放射源３を具えており、このダイオードレーザからの放射ビームは回折格子４に入射する。回折格子４は入射ビームを＋１次、−１次及び０次ビーム、すなわち第１トラッキングビーム５、第２トラッキングビーム６及び主ビーム７に分割する。図面の明瞭化のために、第１トラッキングビームと主ビームの全光路のみを示す。ビームスプリッタ８、例えばハーフミラーはビームを対物レンズ９に向けて反射し、この対物レンズはビームを情報面１上に集束させる。情報面１上に形成されるスポットの位置を図２に示す。トラック２はトラック間距離ｑを有する。トラック１３は走査ヘッド（光ヘッド）により追跡すべきトラックとする。第１及び第２トラッキングビームはトラッキングスポット１４及び１５をそれぞれ形成し、これらのスポットはトラック１３の中心から公称距離ｘ0だけ離れたところに位置する。主ビームによって形成される主スポット１６はトラック１３上に位置する。図１に示すように、情報面１で反射した放射は、対物レンズ９及びビームスプリッタ８を経て３個の検出系１０，１１及び１２の方へと進む。検出系１０は第１トラッキングビーム５からの放射を受光し、検出系１１は第２トラッキングビーム６からの放射を受光し、検出系１２は主ビーム７からの放射を受光する。図３は３個の検出系の平面図を示す。各検出系１０，１１及び１２は分割線１７，１８及び１９によりそれぞれ二分割され、各半部は１個の検出器を構成する。これら検出器を図面では参照符号１０ａ，１０ｂと、１１ａ，１１ｂと、１２ａ，１２ｂによって示している。分割線は情報面１のトラック２に平行に廷在する。
【００１３】
３本のビームによって検出器上に形成されるスポットを図３では参照符号２１，２２及び２３によって示している。３本のビームの情報はプッシュプル法により読出される。このことは、検出器１０ａ及び１０ｂの出力信号を差動増幅器２４に供給してプッシュプル信号Paを形成することを意味する。同様に差動増幅器２５及び２６も検出系１１及び１２のプッシュプル信号Pb及びPcをそれぞれ形成する。
【００１４】
このようにして形成される３つのプッシュプル信号は２つの異なるタイプのオフセット誤差に見舞われるおそれがある。第１のオフセット誤差は、３つのスポット２１，２２及び２３が検出系１０，１１及び１２に対して分割線１７と直交する方向にずれた場合に発生する対称性のオフセット（偏り）である。このようなオフセットは、図４に示すように、対物レンズ９が横方向、すなわちトラック横断方向にシフトする場合に発生する。図４において、実線は公称位置における対物レンズ９並びにビーム５，６又は７のうちの、１本のビームの関連する光路を示し、破線は距離ｘ1だけシフトした対物レンズ９並びに上記ビームの光路を示す。このオフセットが生じている間、放射源３の像２９の位置は変化せずに維持される。情報面１上の主スポット１６は横に、すなわち距離ｘ1に比例する距離に亘ってトラック２を横断する方向に移動する。従って、対物レンズ９のシフト制御は主スポット１６のトラック横断方向のトラッキング用微細制御として用いられることがよくあり、また粗制御は光ヘッド全体をトラック横断方向にシフトさせるのに用いられる。図４から明らかなように、スポット２３は対物レンズ９をシフトさせることにより検出器面を横切って変位する。スポットの変位量ｘdは次式で規定される。
ｘd/Ｄd ＝ｘ1/Ｄ1 （１）
ここに、Ｄd及びＤ1 は検出系１２及び対物レンズ９の位置における主ビームの直径である。スポット２１及び２２の位置はスポット２３の位置に結合されるため、スポット２３が検出系１２に対して距離ｘｄに亘って変位する場合には、スポット２１及び２２もそれらの検出系１０及び１１に対して同一距離に亘って変位する。この結果、差信号Pa，Pb 及びPcの各々は距離ｘdに比例するオフセットεsを有することになる。
【００１５】
３つのプッシュプル信号を悩ませる可能性のある第２のオフセット誤差は非対称のオフセットである。このオフセットは、検出系１０及び１１の分割線１７と１８との間の距離がトラッキングビームのスポット２１と２２の中心間の距離に等しくない場合に発生する。これは、プッシュプル信号Pa及びPbの対称オフセットεsと同じ大きさを有するも、符号が反対のオフセットεａをもたらす。当然、プッシュプル信号Pcにおける非対称オフセットは零である。非対称オフセットは、例えばダイオードレーザ３の温度変動によってもたらされ、この温度変動の結果、放出される放射の波長が変化することになる。この波長変化は、回折格子４がトラッキングビーム５及び６を偏向する角度、従ってトラッキングビームによって検出系１０及び１１上に形成されるスポット２１及び２２の位置を変える。
【００１６】
３つのプッシュプル信号に対して以下の式が成立する。
Pa＝cIa〔m sin(2πx/q+φ)+εs+εa〕 (2)
Pb＝cIb〔m sin(2πx/q-φ)+εs-εa〕 (3)
Pc＝cIc〔m sin(2πx/q)+εs〕 (4)
ここに、
φ=2πx0/q (5)
上式において、cは放射強度を電気信号に変換する変換効率によって決まる検出器に依存する定数であり、Iiはｉ番目のビーム検出系の位置におけるビームの強度であり、ｍは走査ヘッドがトラックを横切って横断方向に変位する場合におけるトラックの形状に依存する変調振幅であり、ｘはトラッキング誤差、すなわち主スポット１６がトラック１３を正確に追跡していない場合のスポット１４，１５及び１６のトラック横断方向変位である。強度Iiは、主としてレーザ３からの放射の強度と、回折格子４によって形成されるビームの強度分布と、情報面１の反射率とによって決定される。Ia及びIbはほぼ等しい。前記欧州特許出願第２０１６０３号から以下の演算は既知である。
Er＝２TPc−（Pa＋Pb） （６）
ここに、
T=Ia/Ic （７）
この演算により、オフセット項εs及びεaが最早発生しないトラッキング誤差ｘを表わす信号Erが得られる。IaとIb は等しいものとした。ｘに対するErの最大感度は、φ＝πの場合、換言するに、トラッキングスポット１４と１５との間の横方向（トラック横断方向）の距離がトラック周期の１/２となり、従ってトラッキングスポットがトラック間の正しい位置にある場合に得られる。この場合、例えば円形の記録媒体の回転軸に対するトラック構造の偏心に起因するφの僅かな変化は、信号Erにほとんど影響を及ぽさない。従って、信号Erはトラッキングサーポ系におけるトラッキング誤差として用いて、主スポット１６を所望のトラック１３上に位置させることができる。
【００１７】
対物レンズ９のオフセットをトラッキングの微細制御用に用いる場合には、対物レンズを光学系の光軸から遠く離して位置させることができる。これは、走査ヘッドの速度を著しく高める際のサーチ動作の開始時又は終了時にも云えることである。これらの大きなオフセットを補正するには走査ヘッドにおける対物レンズの位置を表わす位置信号が必要である。このために、本発明による装置では、対物レンズの変位の目安となるオフセットεs を決定する。プッシュプル信号に関連する下記の演算によってオフセットεsに比例する信号Epを導く。
Ep=2TPc+(Pa+Pb)
=2cIa〔m(1+cosφ)sin(2πx/q)+2εs 〕 （８）
変調振幅ｍは一般にオフセットεsに対して小さいため、信号Epを対物レンズ９の位置の目安として用いることができる。ｍが大きい場合には、回路を用いて信号Epの直流成分を求めることにより対物レンズの位置の目安を得ることができる。これは特開昭６３−２９１２２４号公報の要約から既知の方法に類似しているが、本発明による位置信号Epによる方法の方がトラッキングエラー信号によるものよりも遥かに良好に作動する。その理由は、位置信号の変調はトラッキングエラー信号の変調よりも小さいからである。φをπとすべく選定する場合、すなわちトラッキングスポット１４及び１５の中心が２つの隣接するトラック間に正確に位置する場合には、もっと簡単な方法が得られる。この場合、ｘの依存性が除去され、次式が成立する。
Ep＝4cIaεs （９）
この信号は検出器信号における対称オフセットεsに比例し、従って検出系上のスポットの変位ｘdに比例し、且つ（１）式により、この信号は走査ヘッドの対物レンズ９の変位量ｘlに比例する。前記φの選定により、位置信号Eｐには情報面のトラック２による変調成分がなくなる。すなわち、走査ヘッドがトラックを横切って変位している場合でも、位置信号Epはトラックに起因して変化することはない。位置信号Epをサーボ系に対する位置誤差信号として用いて対物レンズの位置を補正することができる。
【００１８】
２本のトラッキングビーム５及び６の強度が相異する可能性がある。このビーム強度の相異は、特願平３−２２９００２号明細書に記載されているように、例えばトラッキングビームをレーザ３から放射されるビームの境界光線から生成する場合に発生する。ビーム中の強度分布が非対称の場合、境界光線のビーム強度が等しくならないため、トラッキングビーム５及び６の強度が相違することになる。従って、（９）式によって規定される位置信号Epは依然としてｘに依存し、すなわちこの位置信号はトラックによる変調を受けることになる。従って、この位置信号は対物レンズ用の位置信号としてあまり有用でない。この場合、満足し得る位置信号は、プッシュプル信号Pbに補正ファクタｂを乗じることにより得ることができ、ここに、ファクタｂは検出系１０及び１１上にそれぞれ形成されるスポット２１と２２との間の強度比に等しくする。この場合の位置信号Epを形成するための新たな式は次式で与えられる。
Ep＝２ＴPc＋Pa＋ｂPb （10）
ここに、
ｂ＝Ia/Ib （1１）
プッシュプル信号Pbにｂを乗じる代わりに、Paに１/ｂを乗じることも可能である。
【００１９】
（９）式における位置信号Epの値は検出系に入射するビーム強度Iaに依存する。この強度は特に、レーザ３から放出される放射光量及び情報面１の反射率に依存する。例えば、レーザが書込み中に、情報面の情報を読取る場合の１０倍のパワーを発生する場合、位置信号も対物レンズ９の位置に無関係に読取り中より書込み中の方が１０倍強くなる。これは制御ループにとって望ましくない状態である。従って、位置信号は検出系のビーム強度に無関係にするのが望ましい。本発明の他の見地によれば、このようなことは、検出系１０，１１及び１２の信号から取り出される正規化信号によって位置信号を正規化することにより達成することができる。この場合には、前述したように各検出系の差信号を求める代わりに、各検出系への全入射強度をそれぞれ表わす和信号を各検出系から導出する。検出系１０，１１及び１２に対するこれらの各和信号は次式で与えられる。
Sa＝cIa〔d+n cos(2πx/q+φ)〕 (12)
Sb＝cIb〔d+n cos(2πx/q-φ)〕 (13)
Sc＝cIc〔d+n cos(2πx/q)〕 (14)
上式において、ｄは１にほぼ等しい定数であり、ｎはトラックの形状に依存する変調振幅であり、これは（２），（３）及び（４）式における変調振幅に相当する。正規化信号Snは次式で与えられる。
Sn＝-２T cosφSc+Sa+ｂSb (1５)
＝2cdIa（１-cosφ）
φ＝πに選定すると、正規化信号Snは以下のようになる。
Sn＝２T Sc+Sa+ｂSb (1６)
＝4cd Ia
この信号は、変数ｘを最早含んでいないから、トラック２による変調成分のない信号になる。（９）式及び（１６）式を用いると、正規化した位置信号Ep’は次式で与えられる。
Ep’＝Ep/Sn （１７）
＝εs/ｄ
この正規化した位置信号は、レーザ３の強度、情報面１の反射率及びトラック２に対する走査ヘッドの位置に無関係である。
【００２０】
（１０）式による対物レンズ９の位置信号を発生させるための電子回路の一例を図５に示す。３つのプッシュプル信号Pa，Pb及びPcは、図３に示す回路と同様に検出系１０，１１及び１２の信号から取り出される。信号Pcには回路３０により一定のファクタを乗じる（（７）式参照）。トラッキングビーム５及び６のスポット２１及び２２の強度が互いに等しくない場合には、回路３１において信号Pbに定数ｂを乗じる必要がある（（１１）式参照）。回路３０及び３１は差動増幅器２６及び２５とそれぞれ一体化することができる。差動増幅器２４からの出力信号と回路３０及び３１からの出力信号とを加算増幅器３２にて加算する。この加算増幅器３２の出力信号が位置信号Epである。この位置信号を制御回路３３用の入力として用いて、制御回路３３により対物レンズ９の横方向の位置、すなわちトラック並びに対物レンズの光軸に対して垂直の方向の位置を補正することができる。制卸回路３３はトラッキングエラー信号Er用の別の入力端子３４を有することができる。アクチュエータ３５は、対物レンズ９を制御回路３３の出力信号に従って変位させる。走査装置のサーチ動作中に、位置信号Epは対物レンズをそのあるべき位置に維持するのに用いられる。トラッキング中には、トラッキングエラー信号Erを用いて対物レンズの位置を制御し、主スポット１６のトラック横断方向のトラッキングを微細制御する。この場合、位置信号Epは粗制御用に用いられて、走査ヘッドを組み入れているスライダのトラックに対する位置を決定する。主スポット１６が所定のトラック上に維持されている場合、走査ヘッドにおける対物レンズの位置はスライダの位置を制御することにより補正することができる。
【００２１】
（１７）式に基づいて正規化される対物レンズ９用の位置信号を発生させる電子回路を図６に示す。非正規化位置信号Epは図５に示す方法と同一の方法で形成される。加算増幅器３６は検出系１０に入射する全放射強度に比例する和信号Saを発生する。同様に、加算増幅器３７及び３９も和信号Sb及びScをそれぞれ発生する。検出系１０及び１１にそれぞれ入射する放射強度が互いに等しくない場合には、回路３８において信号Sbに定数ｂを乗じる必要がある（（１１）式参照）。和信号Scには回路４０において定数２Ｔを乗じる（（７）式参照）。その後、加算増幅器４１によって加算増幅器３６の出力信号と２つの回路３８及び４０の出力信号とを加算する。加算増幅器４１の出力信号が正規化信号Snである。最後に、除算回路４２において位置信号Epを正規化信号Snで除算して、正規化位置信号Ep’を得る。図５の場合と同様に、正規化位置信号Ep’は対物レンズ９を位置決めするための制御回路３３に供給することができる。
【００２２】
非点収差を起こす主ビームに使用する検出系１２は、米国特許第４０２３０３３号に記載されているように、フォーカス誤差信号を発生させるために４象限に分割することができる。フォーカス誤差信号発生させる他の方法もあり、これらの方法は検出系１２の異なる分割法を必要とする。本発明による光学式走査装置には、信号Pcに類似するプシュプル信号を検出系１２から取り出すことができる限り、あらゆるフォーカス誤差信号発生方法を用いることができる。上述した実施例では、主スポットのトラック横断方向位置の微細制御を、対物レンズを変位させることにより行い、しかも対物レンズの位置を決定するのに位置信号を用いた。主スポットのトラック横断方向の位置は他の素子を用いて制卸することも可能である。この素子の一例として図１のミラー８がある。主スポット１６は、このミラー８を傾けることにより変位させることもできる。位置信号はミラーの傾きの目安となり、これでミラー用の制御回路を制御することができる。上述した位置信号を発生させる電子回路は上述した実施例だけに限定されず、同じ機能をする種々の回路を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ３本のビームにより記録媒体を走査する走査ヘッドを示す線図である。
【図２】 ３本のビームによって記録媒体上に形成されるスポットの位置を示す線図である。
【図３】 電子処理回路を有する走査ヘッドの３個の検出系を示す線図である。
【図４】 対物レンズが正規の位置及びシフトした位置にある場合の走査ヘッドを示す線図である。
【図５】 位置信号を発生する回路及び対物レンズ用の位置制御部を有する走査ヘッドを示す線図である。
【図６】 位置信号用の正規化回路を設けた走査ヘッドを示す線図である。
【符号の説明】
１ 情報面
３ 放射源
４ 回折格子
８ ビームスプリッタ
９ 対物レンズ
１０，１１，１２ 検出系
２４，２５，２６ 差動増幅器
【産業上の利用分野】
本発明は、トラックを有する情報面を光学的に走査する装置であって、２本のトラッキングビームと１本の主ビームを発生する光学系を含む光ヘッドと；３本のビームを前記情報面上にて、走査すべきトラックの両側にそれぞれ位置する２つのトラッキングスポットと、前記トラック上の１つの主スポットとに集束させるレンズ系と；記録媒体からの２本のトラッキングビーム及び主ビームの放射をそれぞれ受光する少なくとも３個の検出系であって、各検出系が少なくとも２つの検出器に分割されている３個の検出系ａ，ｂ及びｃと；走査すべきトラックに対する前記主スポットのトラック横断方向の位置を対応調整するために、光ヘッドに対して所定位置に調整可能な光学素子（８），（９）と；を具えている光学式走査装置に関するものである。この光学式走査装置は、光記録媒体に情報を書き込んだり、該媒体から情報を読み取ったりする装置に用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】
上述したタイプの走査装置は欧州特許出願第２０１６０３号から既知である。この既知の走査装置では、トラッキングサーボ系により主スポットを走査すべきトラック上に位置させている。このサーポ系はスリット検出器の信号から取り出されるトラッキングエラー信号により制御される。トラッキングサーボ系には粗制御及び微細制御を用いることができる。粗制御は、走査ヘッドを組み入れるスライダをトラック横断方向、すなわち円形の記録媒体の半径方向に移動させることにより行われる。微細制御は走査ヘッド内の対物レンズをトラック横断方向に変位させることにより行われる。このような対物レンズの変位により、検出器面にビームによって形成される放射スポットは関連する検出器に対してシフトするため、トラッキングサーボ系を制卸するトラッキングエラー信号にオフセットが生じてしまう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記欧州特許出願第２０１６０３号には、対物レンズの微小なトラッキング方向変位に無関係となるトラッキングエラー信号を発生させる検出器信号の組み合せ方が記載されている。しかしながら、対物レンズの変位が大きい場合には、対物レンズがその光軸から大きく離れるため、走査ビーム光路に顕著な収差が生じてしまう。このような対物レンズの大きな変位は、例えば走査ヘッドの移動速度をかなり高めて、記録媒体の別のトラックを追跡するようなサーチ動作の開始時に発生する。このような状況においては、検出器から供給される信号が著しく乱れて、サーチ動作中に通過するトラックの数の計数に誤差が生じてしまうことがよくある。
従って、本発明の目的は、上述した欠点を除去し、光路中に組み込まれる対物レンズ又は他の調整可能素子の位置がトラッキングエラー信号に及ぼす影響を低下させる光学式走査装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段並びに作用】
本発明は、冒頭にて述べた光学式走査装置において、当該装置が、前記検出器の出力信号を、前記光ヘッドに対する前記調整可能な光学素子の位置を表す位置信号に処理するための電子回路を具え、該電子回路が、前記それぞれの検出系ａ，ｂ及びｃの検出器の出力信号間の差に相当する差信号Pa,Pb及びPcを取り出すと共に、これらの差信号Pa,Pb及びPcに依存する位置信号を発生すべく構成され、前記電子回路が前記位置信号に応じて前記光ヘッドに対する前記調整可能な光学素子の位置を制御するようにしたことを特徴とする。
位置信号は、検出器に入射する放射スポットのシフト（ずれ）によって生ずる検出器信号から簡単に取り出すことができる。このために最早、調整可能な素子に近接して個別の位置センサを配置する必要がなくなる。斯かる調整可能素子は、例えば上述した対物レンズ又は回動ミラーとすることができる。この調整可能素子の位置は、ビームができるだけ対物レンズの中心を通過するように位置信号を用いて既知の方法で補正することができる。サーチ動作中は、位置信号によって、例えば対物レンズを走査ヘッド内の公称位置に維持し、対物レンズの光軸が装置の光軸上に位置するように微細制御を行うことができる。トラッキング中は、位置信号によって、対物レンズがほぼその公称位置に留まって、ビームを追跡すべきトラック上に収束させることのできるように、走査ヘッドを位置決めする粗制御を行うことができる。
【０００５】
特開昭６３−２９１２２４号公報には、走査ヘッドにおける対物レンズの位置を、単一走査ビームによって発生されるトラッキングエラー信号から取り出すことが提案されている。走査ヘッドがサーチ動作中にトラックを横断する方向に移動すると、トラッキングエラー信号は正弦波状に変化する。トラッキングエラー信号の直流成分は対物レンズの位置の目安となる。この既知の装置の欠点は、交流成分をトラッキングエラー信号からろ波して取り除く必要があるため、信号処理速度が遅くなることにある。対物レンズの位置の変化は、特に走査ヘッドの速度を相当増大させるサーチ動作のスタート時には速くなる。この場合、既知の装置の処理回路は正しい位置信号を供給しなくなる。
【０００６】
本発明の好適例では、前記電子回路が、前記差信号Paと、差信号Pbと、差信号Pcに定数を乗じたものとの和に比例する位置信号を発生するようにする。このような検出器信号の新規な組み合わせによって得られる位置信号は、この信号がスポットのトラック横断方向への移動による影響をほとんど受けないと云う重要な利点を有する。
【０００７】
本発明の他の好適例では、Ｔをトラッキングビームと主ビームとの間の強度比とした場合に、前記定数を２Ｔに等しくする。定数をこのように選定することにより、主ビームとトラッキングビームとの間の強度差が補償されると云う作用効果が達成される。
【０００８】
放射源から放出されるビームの非対称性強度分布により、或いは放射源と検出器との間の光学素子の非対称性により、２本のトラッキングビームが同一強度を有しない場合がある。そこで、本発明の他の好適例では、検出系ａ及びｂの一方の検出系からの差信号を、２本のトラッキングビーム間の強度差に対して補正する。検出系ａ又はｂの差信号に２本のトラッキングビームの強度比を乗じることにより、正確な位置信号を発生させることができる。
【０００９】
本発明による光学式走査装置のさらに他の好適例では、２つのトラッキングスポットの走査すべきトラックに対して垂直方向における間隔をトラック周期の半分に等しくする。この場合、電子回路から供給される位置信号はスポットのトラック横断方向への移動による影響を受けなくなる。
【００１０】
トラッキングスポット間の距離を上述したように設定することは前記欧州特許出願から既知である。しかしながら、上記出願では、この距離はトラッキングエラー信号の最大振幅を得るためにだけ用いられている。
【００１１】
本発明による光学式走査装置の他の好適例では、前記検出系ａ，ｂ及びｃの各検出器の出力信号の和にそれぞれ対応する和信号Sa，Sb及びScに比例する正規化信号を発生する別の電子回路と、当該別の電子回路及び前記電子回路の出力端子に接続され、前記位置信号Epを前記正規化信号により除算して、正規化位置信号Ep’を発生する正規化回路とを有するようにする。この正規化により、位置信号は放射源の強度に無関係になる。従って、放射源の強度変化が生じても、前記素子の位置を制御する制衡ループの増幅度が変化することはない。
以下、図面に基づき本発明を詳細に説明する。
【００１２】
【実施例】
図１は光ヘッドによって走査される記録媒体の情報面１の一部を示す。情報面は平行トラック、すなわち紙面に対して垂直方向の螺旋状トラックを共に形成する準平行トラックを有している。情報はトラック間又はトラック内に光学的に読取可能な領域（図示せず）として格納することができる。光ヘッドは、例えばダイオードレーザから成る放射源３を具えており、このダイオードレーザからの放射ビームは回折格子４に入射する。回折格子４は入射ビームを＋１次、−１次及び０次ビーム、すなわち第１トラッキングビーム５、第２トラッキングビーム６及び主ビーム７に分割する。図面の明瞭化のために、第１トラッキングビームと主ビームの全光路のみを示す。ビームスプリッタ８、例えばハーフミラーはビームを対物レンズ９に向けて反射し、この対物レンズはビームを情報面１上に集束させる。情報面１上に形成されるスポットの位置を図２に示す。トラック２はトラック間距離ｑを有する。トラック１３は走査ヘッド（光ヘッド）により追跡すべきトラックとする。第１及び第２トラッキングビームはトラッキングスポット１４及び１５をそれぞれ形成し、これらのスポットはトラック１３の中心から公称距離ｘ0だけ離れたところに位置する。主ビームによって形成される主スポット１６はトラック１３上に位置する。図１に示すように、情報面１で反射した放射は、対物レンズ９及びビームスプリッタ８を経て３個の検出系１０，１１及び１２の方へと進む。検出系１０は第１トラッキングビーム５からの放射を受光し、検出系１１は第２トラッキングビーム６からの放射を受光し、検出系１２は主ビーム７からの放射を受光する。図３は３個の検出系の平面図を示す。各検出系１０，１１及び１２は分割線１７，１８及び１９によりそれぞれ二分割され、各半部は１個の検出器を構成する。これら検出器を図面では参照符号１０ａ，１０ｂと、１１ａ，１１ｂと、１２ａ，１２ｂによって示している。分割線は情報面１のトラック２に平行に廷在する。
【００１３】
３本のビームによって検出器上に形成されるスポットを図３では参照符号２１，２２及び２３によって示している。３本のビームの情報はプッシュプル法により読出される。このことは、検出器１０ａ及び１０ｂの出力信号を差動増幅器２４に供給してプッシュプル信号Paを形成することを意味する。同様に差動増幅器２５及び２６も検出系１１及び１２のプッシュプル信号Pb及びPcをそれぞれ形成する。
【００１４】
このようにして形成される３つのプッシュプル信号は２つの異なるタイプのオフセット誤差に見舞われるおそれがある。第１のオフセット誤差は、３つのスポット２１，２２及び２３が検出系１０，１１及び１２に対して分割線１７と直交する方向にずれた場合に発生する対称性のオフセット（偏り）である。このようなオフセットは、図４に示すように、対物レンズ９が横方向、すなわちトラック横断方向にシフトする場合に発生する。図４において、実線は公称位置における対物レンズ９並びにビーム５，６又は７のうちの、１本のビームの関連する光路を示し、破線は距離ｘ1だけシフトした対物レンズ９並びに上記ビームの光路を示す。このオフセットが生じている間、放射源３の像２９の位置は変化せずに維持される。情報面１上の主スポット１６は横に、すなわち距離ｘ1に比例する距離に亘ってトラック２を横断する方向に移動する。従って、対物レンズ９のシフト制御は主スポット１６のトラック横断方向のトラッキング用微細制御として用いられることがよくあり、また粗制御は光ヘッド全体をトラック横断方向にシフトさせるのに用いられる。図４から明らかなように、スポット２３は対物レンズ９をシフトさせることにより検出器面を横切って変位する。スポットの変位量ｘdは次式で規定される。
ｘd/Ｄd ＝ｘ1/Ｄ1 （１）
ここに、Ｄd及びＤ1 は検出系１２及び対物レンズ９の位置における主ビームの直径である。スポット２１及び２２の位置はスポット２３の位置に結合されるため、スポット２３が検出系１２に対して距離ｘｄに亘って変位する場合には、スポット２１及び２２もそれらの検出系１０及び１１に対して同一距離に亘って変位する。この結果、差信号Pa，Pb 及びPcの各々は距離ｘdに比例するオフセットεsを有することになる。
【００１５】
３つのプッシュプル信号を悩ませる可能性のある第２のオフセット誤差は非対称のオフセットである。このオフセットは、検出系１０及び１１の分割線１７と１８との間の距離がトラッキングビームのスポット２１と２２の中心間の距離に等しくない場合に発生する。これは、プッシュプル信号Pa及びPbの対称オフセットεsと同じ大きさを有するも、符号が反対のオフセットεａをもたらす。当然、プッシュプル信号Pcにおける非対称オフセットは零である。非対称オフセットは、例えばダイオードレーザ３の温度変動によってもたらされ、この温度変動の結果、放出される放射の波長が変化することになる。この波長変化は、回折格子４がトラッキングビーム５及び６を偏向する角度、従ってトラッキングビームによって検出系１０及び１１上に形成されるスポット２１及び２２の位置を変える。
【００１６】
３つのプッシュプル信号に対して以下の式が成立する。
Pa＝cIa〔m sin(2πx/q+φ)+εs+εa〕 (2)
Pb＝cIb〔m sin(2πx/q-φ)+εs-εa〕 (3)
Pc＝cIc〔m sin(2πx/q)+εs〕 (4)
ここに、
φ=2πx0/q (5)
上式において、cは放射強度を電気信号に変換する変換効率によって決まる検出器に依存する定数であり、Iiはｉ番目のビーム検出系の位置におけるビームの強度であり、ｍは走査ヘッドがトラックを横切って横断方向に変位する場合におけるトラックの形状に依存する変調振幅であり、ｘはトラッキング誤差、すなわち主スポット１６がトラック１３を正確に追跡していない場合のスポット１４，１５及び１６のトラック横断方向変位である。強度Iiは、主としてレーザ３からの放射の強度と、回折格子４によって形成されるビームの強度分布と、情報面１の反射率とによって決定される。Ia及びIbはほぼ等しい。前記欧州特許出願第２０１６０３号から以下の演算は既知である。
Er＝２TPc−（Pa＋Pb） （６）
ここに、
T=Ia/Ic （７）
この演算により、オフセット項εs及びεaが最早発生しないトラッキング誤差ｘを表わす信号Erが得られる。IaとIb は等しいものとした。ｘに対するErの最大感度は、φ＝πの場合、換言するに、トラッキングスポット１４と１５との間の横方向（トラック横断方向）の距離がトラック周期の１/２となり、従ってトラッキングスポットがトラック間の正しい位置にある場合に得られる。この場合、例えば円形の記録媒体の回転軸に対するトラック構造の偏心に起因するφの僅かな変化は、信号Erにほとんど影響を及ぽさない。従って、信号Erはトラッキングサーポ系におけるトラッキング誤差として用いて、主スポット１６を所望のトラック１３上に位置させることができる。
【００１７】
対物レンズ９のオフセットをトラッキングの微細制御用に用いる場合には、対物レンズを光学系の光軸から遠く離して位置させることができる。これは、走査ヘッドの速度を著しく高める際のサーチ動作の開始時又は終了時にも云えることである。これらの大きなオフセットを補正するには走査ヘッドにおける対物レンズの位置を表わす位置信号が必要である。このために、本発明による装置では、対物レンズの変位の目安となるオフセットεs を決定する。プッシュプル信号に関連する下記の演算によってオフセットεsに比例する信号Epを導く。
Ep=2TPc+(Pa+Pb)
=2cIa〔m(1+cosφ)sin(2πx/q)+2εs 〕 （８）
変調振幅ｍは一般にオフセットεsに対して小さいため、信号Epを対物レンズ９の位置の目安として用いることができる。ｍが大きい場合には、回路を用いて信号Epの直流成分を求めることにより対物レンズの位置の目安を得ることができる。これは特開昭６３−２９１２２４号公報の要約から既知の方法に類似しているが、本発明による位置信号Epによる方法の方がトラッキングエラー信号によるものよりも遥かに良好に作動する。その理由は、位置信号の変調はトラッキングエラー信号の変調よりも小さいからである。φをπとすべく選定する場合、すなわちトラッキングスポット１４及び１５の中心が２つの隣接するトラック間に正確に位置する場合には、もっと簡単な方法が得られる。この場合、ｘの依存性が除去され、次式が成立する。
Ep＝4cIaεs （９）
この信号は検出器信号における対称オフセットεsに比例し、従って検出系上のスポットの変位ｘdに比例し、且つ（１）式により、この信号は走査ヘッドの対物レンズ９の変位量ｘlに比例する。前記φの選定により、位置信号Eｐには情報面のトラック２による変調成分がなくなる。すなわち、走査ヘッドがトラックを横切って変位している場合でも、位置信号Epはトラックに起因して変化することはない。位置信号Epをサーボ系に対する位置誤差信号として用いて対物レンズの位置を補正することができる。
【００１８】
２本のトラッキングビーム５及び６の強度が相異する可能性がある。このビーム強度の相異は、特願平３−２２９００２号明細書に記載されているように、例えばトラッキングビームをレーザ３から放射されるビームの境界光線から生成する場合に発生する。ビーム中の強度分布が非対称の場合、境界光線のビーム強度が等しくならないため、トラッキングビーム５及び６の強度が相違することになる。従って、（９）式によって規定される位置信号Epは依然としてｘに依存し、すなわちこの位置信号はトラックによる変調を受けることになる。従って、この位置信号は対物レンズ用の位置信号としてあまり有用でない。この場合、満足し得る位置信号は、プッシュプル信号Pbに補正ファクタｂを乗じることにより得ることができ、ここに、ファクタｂは検出系１０及び１１上にそれぞれ形成されるスポット２１と２２との間の強度比に等しくする。この場合の位置信号Epを形成するための新たな式は次式で与えられる。
Ep＝２ＴPc＋Pa＋ｂPb （10）
ここに、
ｂ＝Ia/Ib （1１）
プッシュプル信号Pbにｂを乗じる代わりに、Paに１/ｂを乗じることも可能である。
【００１９】
（９）式における位置信号Epの値は検出系に入射するビーム強度Iaに依存する。この強度は特に、レーザ３から放出される放射光量及び情報面１の反射率に依存する。例えば、レーザが書込み中に、情報面の情報を読取る場合の１０倍のパワーを発生する場合、位置信号も対物レンズ９の位置に無関係に読取り中より書込み中の方が１０倍強くなる。これは制御ループにとって望ましくない状態である。従って、位置信号は検出系のビーム強度に無関係にするのが望ましい。本発明の他の見地によれば、このようなことは、検出系１０，１１及び１２の信号から取り出される正規化信号によって位置信号を正規化することにより達成することができる。この場合には、前述したように各検出系の差信号を求める代わりに、各検出系への全入射強度をそれぞれ表わす和信号を各検出系から導出する。検出系１０，１１及び１２に対するこれらの各和信号は次式で与えられる。
Sa＝cIa〔d+n cos(2πx/q+φ)〕 (12)
Sb＝cIb〔d+n cos(2πx/q-φ)〕 (13)
Sc＝cIc〔d+n cos(2πx/q)〕 (14)
上式において、ｄは１にほぼ等しい定数であり、ｎはトラックの形状に依存する変調振幅であり、これは（２），（３）及び（４）式における変調振幅に相当する。正規化信号Snは次式で与えられる。
Sn＝-２T cosφSc+Sa+ｂSb (1５)
＝2cdIa（１-cosφ）
φ＝πに選定すると、正規化信号Snは以下のようになる。
Sn＝２T Sc+Sa+ｂSb (1６)
＝4cd Ia
この信号は、変数ｘを最早含んでいないから、トラック２による変調成分のない信号になる。（９）式及び（１６）式を用いると、正規化した位置信号Ep’は次式で与えられる。
Ep’＝Ep/Sn （１７）
＝εs/ｄ
この正規化した位置信号は、レーザ３の強度、情報面１の反射率及びトラック２に対する走査ヘッドの位置に無関係である。
【００２０】
（１０）式による対物レンズ９の位置信号を発生させるための電子回路の一例を図５に示す。３つのプッシュプル信号Pa，Pb及びPcは、図３に示す回路と同様に検出系１０，１１及び１２の信号から取り出される。信号Pcには回路３０により一定のファクタを乗じる（（７）式参照）。トラッキングビーム５及び６のスポット２１及び２２の強度が互いに等しくない場合には、回路３１において信号Pbに定数ｂを乗じる必要がある（（１１）式参照）。回路３０及び３１は差動増幅器２６及び２５とそれぞれ一体化することができる。差動増幅器２４からの出力信号と回路３０及び３１からの出力信号とを加算増幅器３２にて加算する。この加算増幅器３２の出力信号が位置信号Epである。この位置信号を制御回路３３用の入力として用いて、制御回路３３により対物レンズ９の横方向の位置、すなわちトラック並びに対物レンズの光軸に対して垂直の方向の位置を補正することができる。制卸回路３３はトラッキングエラー信号Er用の別の入力端子３４を有することができる。アクチュエータ３５は、対物レンズ９を制御回路３３の出力信号に従って変位させる。走査装置のサーチ動作中に、位置信号Epは対物レンズをそのあるべき位置に維持するのに用いられる。トラッキング中には、トラッキングエラー信号Erを用いて対物レンズの位置を制御し、主スポット１６のトラック横断方向のトラッキングを微細制御する。この場合、位置信号Epは粗制御用に用いられて、走査ヘッドを組み入れているスライダのトラックに対する位置を決定する。主スポット１６が所定のトラック上に維持されている場合、走査ヘッドにおける対物レンズの位置はスライダの位置を制御することにより補正することができる。
【００２１】
（１７）式に基づいて正規化される対物レンズ９用の位置信号を発生させる電子回路を図６に示す。非正規化位置信号Epは図５に示す方法と同一の方法で形成される。加算増幅器３６は検出系１０に入射する全放射強度に比例する和信号Saを発生する。同様に、加算増幅器３７及び３９も和信号Sb及びScをそれぞれ発生する。検出系１０及び１１にそれぞれ入射する放射強度が互いに等しくない場合には、回路３８において信号Sbに定数ｂを乗じる必要がある（（１１）式参照）。和信号Scには回路４０において定数２Ｔを乗じる（（７）式参照）。その後、加算増幅器４１によって加算増幅器３６の出力信号と２つの回路３８及び４０の出力信号とを加算する。加算増幅器４１の出力信号が正規化信号Snである。最後に、除算回路４２において位置信号Epを正規化信号Snで除算して、正規化位置信号Ep’を得る。図５の場合と同様に、正規化位置信号Ep’は対物レンズ９を位置決めするための制御回路３３に供給することができる。
【００２２】
非点収差を起こす主ビームに使用する検出系１２は、米国特許第４０２３０３３号に記載されているように、フォーカス誤差信号を発生させるために４象限に分割することができる。フォーカス誤差信号発生させる他の方法もあり、これらの方法は検出系１２の異なる分割法を必要とする。本発明による光学式走査装置には、信号Pcに類似するプシュプル信号を検出系１２から取り出すことができる限り、あらゆるフォーカス誤差信号発生方法を用いることができる。上述した実施例では、主スポットのトラック横断方向位置の微細制御を、対物レンズを変位させることにより行い、しかも対物レンズの位置を決定するのに位置信号を用いた。主スポットのトラック横断方向の位置は他の素子を用いて制卸することも可能である。この素子の一例として図１のミラー８がある。主スポット１６は、このミラー８を傾けることにより変位させることもできる。位置信号はミラーの傾きの目安となり、これでミラー用の制御回路を制御することができる。上述した位置信号を発生させる電子回路は上述した実施例だけに限定されず、同じ機能をする種々の回路を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ３本のビームにより記録媒体を走査する走査ヘッドを示す線図である。
【図２】 ３本のビームによって記録媒体上に形成されるスポットの位置を示す線図である。
【図３】 電子処理回路を有する走査ヘッドの３個の検出系を示す線図である。
【図４】 対物レンズが正規の位置及びシフトした位置にある場合の走査ヘッドを示す線図である。
【図５】 位置信号を発生する回路及び対物レンズ用の位置制御部を有する走査ヘッドを示す線図である。
【図６】 位置信号用の正規化回路を設けた走査ヘッドを示す線図である。
【符号の説明】
１ 情報面
３ 放射源
４ 回折格子
８ ビームスプリッタ
９ 対物レンズ
１０，１１，１２ 検出系
２４，２５，２６ 差動増幅器
Claims (6)
- トラックを有する情報面を光学的に走査する装置であって、
２本のトラッキングビームと１本の主ビームを発生する光学系と、
３本のビームを前記情報面上にて、走査すべきトラックの両側にそれぞれ位置する２つのトラッキングスポットと、前記トラック上の１つの主スポットに集束させるレンズ系と、
記録媒体からの２本のトラッキングビーム及び主ビームの放射をそれぞれ受光する検出系であって、各検出系が少なくとも２つの検出器に分割されている少なくとも３個の検出系ａ，ｂ及びｃと、
走査すべきトラックに対する前記主スポットのトラック横断方向の位置を対応調整するために、所定位置に調整可能な光学素子と、
を有する光ヘッドを具えている光学式走査装置において、
前記装置が、前記検出器の出力信号を、前記調整可能な光学素子の、前記光ヘッド内における位置を表す位置信号に処理するための電子回路を具え、前記電子回路が、前記それぞれの検出系ａ，ｂ及びｃの検出器の出力信号間の差に相当する差信号Pa,Pb及びPcを取り出すと共に、これらの差信号Pa,Pb及びPcに依存する位置信号を発生すべく構成され、前記装置がサーチ動作中に、前記電子回路が前記位置信号に応じて、前記調整可能な光学素子の前記光ヘッド内における位置を制御するようにしたことを特徴とする光学式走査装置。 - 請求項１に記載の装置において、前記電子回路は、前記差信号Paと、差信号Pbと、差信号Pcに定数を乗じたものとの和に比例する位置信号を発生するようにしたことを特徴とする光学式走査装置。
- 請求項２に記載の装置において、Ｔをトラッキングビームと主ビームとの間の強度比とした場合に、前記定数を２Ｔに等しくしたことを特徴とする光学式走査装置。
- 請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置において、前記検出系ａ及びｂの一方の検出系からの差信号を、２本のトラッキングビーム間の強度差に対して補正することを特徴とする光学式走査装置。
- 請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置において、走査すべきトラックに対して垂直の方向における２つのトラッキングスポット間の間隔を、トラック周期の半分に等しくしたことを特徴とする光学式走査装置。
- 請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置において、前記検出系ａ，ｂ及びｃの各検出器の出力信号の和にそれぞれ対応する和信号Sa，Sb及びScに比例する正規化信号を発生する別の電子回路と、当該別の電子回路及び前記電子回路の各出力端子に接続され、前記位置信号Epを前記正規化信号により除算して、正規化位置信号Ep’を発生する正規化回路とを有することを特徴とする光学式走査装置。
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