JP3691402B2 - 電力半導体モジュール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、温度変化により構成部材の種々異なる材料特性に基づき惹起される機械的な応力を補償する、基板とケーシングとを有する電力半導体モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
電力半導体モジュールは近年では著しくカーエレクトロニクス、エネルギーマネージメントの分野において使用されており、産業的な駆動技術ならびに自動化技術においてもますます使用される傾向にある。一般的には複数の電力半導体が組み合わされて、顧客の特殊な要求に合わせられたモジュールを成す。
【0003】
このような電力半導体モジュールにおいて一般的に個々の電子的な構成素子はセラミック基板上にはんだ付けされている。場合によってはこのセラミック基板自体はボトムプレート(ヒートシンク)にはんだ付けされている。これにより運転中における電子的な構成素子からの十分な熱導出が保証される。図5には例えばアウアーバッハ、シュバルツバウアー、ラーメル、レニンガー、ゾマーによる「ツーフェアレッスィッヒカイト・フォン・アルミニウム・ディックドラートボンドフェアビンドゥンゲン(zuverlaessigkeit von Al-Dickdraht-Bondverbindungen)、1996年ミュンヘンISHMコンファレンツ」において開示されているような集積されたゲート(IGBT)を有するバイポーラトランジスタモジュールの側方断面図が示されている。この図から分かるようにこのような電力半導体モジュール15はシリコンチップ19を有しており、このシリコンチップ19はセラミック基板17上にはんだ付けされている。このセラミック基板17自体はベースプレート18にはんだ付けされる。これらのシリコンチップ19は互いにアルミニウム線材20によって接続されている。さらにケーシング22の側方でピン16が導出されている。これらのピン16は後に行われる組付けの際にパネル(図示せず)にはんだ付けされる。さらにこのモジュールの構成素子は電気的に絶縁するためにシリコーンゲル24で充填されている。この場合電力半導体モジュール15のケーシング22はカバー23によって閉鎖されている。
【0004】
シリコンチップ19をピン16を介してパネルに電気的に接続することを保証するために、さらにアルミニウムボンディング接続部21がモジュールに設けられている。その際このボンディング接続部の端部はそれぞれ一方ではシリコンチップ19に、他方ではピン16のバルコニー区分にはんだ付けされている。図5から分かるように、アルミニウムボンディング接続部21は円弧状に湾曲された形状を有している。このいわゆる伸張ループもしくは補償領域は、温度変化によって構成部材の種々異なる材料特性に基づき生ぜしめられる、不利な機械的な応力の影響を回避するために必要である。
【0005】
このような電力半導体モジュールでは、確実なボンディング接続を保証できるように、接続部(端子)をはんだ付け過程において高価な工作物支持体によって所定の位置に固定する必要がある。これにより製造工程はコスト高に行われ、かつ故障し易くなる。さらにこのようなアルミニウムボンディング接続部の使用時に最大限許容できる電力はボンディング線材長さおよびボンディング線材直径によって制限されてしまう。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、熱的に限定された機械的な応力を簡単な手段で補償するために電力半導体モジュールの端子を基板に直接接触させるような電力半導体モジュールを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明による構成では、ブシュが設けられており、該ブシュが電力半導体モジュールの基板に結合されており、線材ピンが設けられており、該線材ピンが、パネルとの電気的な接続部を形成するために運転中にブシュ内に導入されるように形成されている形式の、電力半導体モジュールのための接続装置において、ブシュによって、導入された線材ピンを挟持可能であり、前記ブシュが、前記線材ピンの直径よりも小さな最小直径領域を有しているようにした。
【0008】
【発明の効果】
本発明ではつまり、基板に結合された少なくとも1つのブシュと、このブシュ内に導入可能な少なくとも1つの線材ピンとが設けられていて、この線材ピンはケーシングに接続可能である各パネルに電気的に接続するために働くようになっていることを特徴とする、基板とケーシングとを有する電力半導体モジュールが得られる。この際に絶縁性を改良するためにはケーシングが有利にはプラスチックから形成されている。
【0009】
本発明の有利な構成ではブシュが基板にはんだ付けされている。これに関連してブシュを別の電子的な構成素子と一緒に炉走行中に基板にはんだ付けすることも考えられる。これにより有利には電力半導体モジュールの効率のよい製造を達成することができる。
【0010】
本発明の別の有利な構成でははんだを予め準備するために基板に湿潤可能な面が設けられており、この湿潤可能な面は基板の表面に配置されたエッチング孔を取り囲むように構成されている。さらにこの基板にははんだペーストが印刷されている。炉走行前もしくははんだ付け前にブシュがはんだペースト上に載置される。引き続き生じる、炉走行中のはんだペーストの流動化によって、湿潤可能な面とブシュとの間の表面張力が惹起される。この表面張力はブシュをエッチング孔にセンタリングする。これにより基板上におけるブシュの簡単な位置決めが非常に正確な位置許容誤差で行われる。電力半導体モジュールの製造はさらに簡素化される。
【0011】
本発明のさらに別の構成では線材ピンが基板に結合されたブシュ内に導入されている。したがってブシュと線材ピンとによって2部分から成る差込系が形成され、この差込系はこれまで使用されていたような冒頭に記載の、基板とパネルとの間のボンディング接続の代わりに使用される。ブシュの有利な形状によって線材ピンはブシュ内に堅固に挟持されている。しかしこの線材ピンをブシュ内で外部からの力作用のもとで軸線方向で移動させることもできる。この構成によって有利には、線材ピンの、ブシュとは反対側の端部がパネルに接続されて、電力半導体モジュールがパネルに取り付けられた状態において、温度変化に基づいた不利な機械的な応力を直接緩衝することができる。この構成の別の利点は線材ピンは炉走行後に初めてブシュに導入されるので、線材ピンのはんだ付け性がパネルに取り付けられるまで保たれたままであるという点にある。
【0012】
基板をパネルに電気的に接続するための、ブシュと線材ピンとから成る2部分構成の差込系の利点は、従来のボンディング接続部と比べてより大きな、基板とパネルとの間の最大電力が許容されることである。これまでの電流負荷容量に関する臨界的なパラメータ、線材直径およびボンディング線材長さは本発明の差込系では単に副次的な意味しかなしていない。
【0013】
本発明の別の有利な構成ではブシュも線材ピンも錫メッキされた銅または銅合金から構成されている。これにより構成部材の良好なはんだ付け性が保証されている。これに関連して一般的に、例えば鉄および銅に生じ得る、不利な接触部腐食を防止するためにブシュおよび線材ピンのために最適に材料が選択される。
【0014】
本発明の別の有利な構成ではブシュが底区分と外周面区分とから成っており、しかも最も簡単な形式ではこの外周面区分は例えばほぼ円筒状の形を有している。円筒直径に関連した正確な許容誤差を保たなくても線材ピンの十分な挟持が保証されている。線材ピンの導入を改良するためにこのピンはその端部に、面取りされた角部を有しており、この角部は導入斜面として働く。前記した2部分の差込系をこのように簡単な構成によっても有利には保証することができる。
【0015】
本発明の有利な構成に基づきブシュの外周面区分が漏斗状に形成されており、これにより線材ピンの導入はさらに簡素化される。これに対して択一的に導入斜面を線材ピンにも設けることができる。この漏斗状の構成では外周面区分がアームを有しており、これらのアームの間にはスリットが形成されている。基板ではんだ付け後に清掃過程が行われる場合には、有利にはスリットにより流体材料残留物がブシュの内側から流出し、残留することなく取り除かれるよう保証されている。
【0016】
本発明の別の有利な構成に基づき、電力半導体モジュールのケーシング内にシリコーンゲルが構成素子を絶縁するために充填されている。前述のスリットはブシュの所定の領域においてシリコーンゲルから空気を逃すことを保証しているので、確実な絶縁が保証されている。
【0017】
電力半導体モジュールの別の有利な改良形態は請求項2〜20に記載されている。
【0018】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を図面に示した実施例に基づき詳説する。
【0019】
基板4とケーシング6とを有する本発明の電力半導体モジュール1が図1において部分的に断面して示されている。この断面された領域において、少なくとも1つのブシュ2a,2bが基板4に結合されているのが分かる。この実施例ではブシュ2a,2bが有利には基板4にはんだ付けされている。さらに少なくとも1つの線材ピン3が各ブシュ2a,2b内に導入されていて、この線材ピン3が基板4の表面に対してほぼ垂直に延在するようになっている。その際線材ピン3の、ブシュ2a,2bに導入されていない他方の自由端部は、基板4をプレートに電気的に接続するために働く。
【0020】
図1に示した本発明の実施例では電力半導体モジュール1がケーシング6の結合装置7を介してパネル5に取り付けられる。図1に示した実施例では線材ピン3の自由端部は有利にはパネル5にはんだ付けされている。さらに、パネル5への電力半導体モジュール1の確実な取り付けを保証するために、ケーシング6は結合装置7を有している。本発明の実施例では、これらの結合装置7は有利にはプラスチックスナップフックから成っており、このプラスチックスナップフックはパネル5にクリップ留めされる。さらにケーシング6はケーシング上面6aを有しており、このケーシング上面6aには少なくとも1つの開口8が設けられている。このケーシング上面6aは本実施例において有利にはケーシング6と一体的に形成されている。これに対して択一的に、ケーシング上面6aを、ケーシング6に結合される個々の部材として構成することもできる。
【0021】
図1から分かるように、線材ピン3はケーシング上面6aの開口8を通って延びている。このような形式で線材ピン3はケーシングから導出されている。線材ピン3はケーシング上面6aの開口8を通って延びていることにより、さらに線材ピン3の付加的なガイドが保証されている。この実施例ではケーシング上面6aがケーシング6と同様の形式でプラスチックから成っているので、前述した構成部材との確実な絶縁が保証されている。さらに基板4とケーシング上面6aとの間の中間室内にはシリコーンゲル14が充填されている。このシリコーンゲル14は最大数のブシュ2a,2bおよび線材ピン3のさらに改良された互いの絶縁を保証している。この実施例ではシリコーンゲル14は、このシリコーンゲル14とケーシング上面6aとの間に中空室が残されるようにケーシング6内に充填されている。
【0022】
本発明をより理解できるように基板4の原理的な構造を1つのブシュ2aと1つの線材ピン3と一緒に、拡大して図2に側方断面図として示した。この基板4は2つの銅層4bの間に層状に収容されたセラミック層4aから成っている。この図から明確に分かるように、ブシュ2aに面した側の銅層4bはエッチング孔9bを有しており、このエッチング孔9bは金属的に湿潤可能な面(図示せず)によって取り囲まれている。このエッチング孔9bに相応してブシュ2aの底区分11は中央孔9aを有している。
【0023】
基板4を加熱した際に、この基板4上にプリントされたはんだペースト10が溶け出すと、基板4の湿潤可能な面とブシュ2の底区分11の下面との間で作用する表面張力が、銅層4bに設けられたエッチング孔9bと中央孔9aの自動センタリングを生ぜしめる。図2にはエッチング孔9bと中央孔9aとのこのようなセンタリングが示されている。さらにブシュ2aは個々のアーム12を有しており、これらのアーム12は基板4の表面に対してほぼ垂直に延びている。このブシュ2aのアーム12はブシュ2aが漏斗形を形成するように底区分11に対して相対的に曲げられている。さらにこれらのアーム12は漏斗形のブシュ2aが最小直径領域13を有するようにブシュ2a,2bの中央軸線9cの方向で湾曲されている。この最小直径は線材ピン3の直径よりもわずかに小さく形成されている。この線材ピン3は軸線方向でブシュ2a内に導入可能であり、しかもブシュ2aに面した、線材ピン3の自由端部は、ブシュ2aの底区分11に接触することなく、ブシュ2aの最小直径領域13を介して挿入されている。この前述した直径の違いはブシュ2aの最小直径領域13において線材ピン3の挟持作用を生ぜしめる。
【0024】
図3には図2のブシュ2aの展開図が示されている。この図からブシュ2aの外周面区分が、星状に配置されたアーム12から成っていることがわかる。これらのアーム12は中央孔9aを取り囲む底区分11の縁部から半径方向で外側に向かって延びている。例えばこのような展開構造を1つの薄板または1つの帯状部材から打抜き成形することは大きな手間をかけることなく可能である。底区分11の縁部から半径方向で外側に向かって延びる星状のアーム12は、次いでブシュ2aが図2に示した漏斗形状を形成するように変形させられる。この星状の展開図から、星状のブシュ2aはアーム12の間にスリットを有していると考えることもできる。これらのスリットははんだ付けに引き続き行われる洗浄過程において流体材料残留物の流出を保証している。さらにこれらのスリットは、シリコーンゲル14の流込みの際に空気を流出させ、これにより流し込まれたシリコーンゲル14に望まれない気泡が存在しないように保証する。
【0025】
図4には変えられたブシュ2bの実施例が示されている。このブシュ2bの原理的な構造はブシュ2aの構造に相応している。同じ部材には同じ部材番号を付与し、その説明も省いた。図4の(a)に示した側方断面図から、ブシュ2bが最小直径領域13において楔区分13aを有しているのが分かる。この楔区分13aはブシュ2bの中心軸線に向かってそれぞれ半径方向で内側に鋭角な角度で突出している。このような形式ではブシュ2aと比べて線材ピン3のさらに確実な挟持作用を得ることができるが、線材ピン3の、軸線方向の自由度を完全になくすこともない。
【0026】
ブシュ2bの外周面区分の展開図が図4の(b)に示されている。この図から、ブシュ2bの外周面区分が主として十字形に配置された4つのアーム12によって形成されていることがわかる。同様の形式でブシュ2bを一枚の薄板または一枚の帯状部材から打ち抜き加工することもでき、この場合このブシュ2bの製造過程はアーム12の数がわずかであることに基づき全体的に簡素化される。
【0027】
本発明は簡単な構造を特徴とし、大きな手間をかけることなく少ない方法段階で製造することができるような電力半導体モジュールに関連している。ブシュ2a,2b内における線材ピン3の軸線方向自由度によって、電力半導体モジュールが一般的に運転中にさらされる温度変化においても、欠点である機械的な応力がモジュールに形成されないように保証されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】 パネルに接続された本発明による電力半導体モジュールを部分的に断面して示した側面図である。
【図2】 基板に結合されたブシュと、図1の電力半導体モジュールの線材ピンとを拡大して示した図である。
【図3】 図2で使用されたブシュの星形の展開図である
【図4】 図4の(a)は基板に接続されたブシュの別の1実施例であり、図4の(b)は図4の(a)のブシュの展開図である。
【図5】 従来技術に基づく電力半導体モジュールの図である。
【符号の説明】
1 電力半導体モジュール、 2a,2b ブシュ、 3 線材ピン、 4 基板、 4a セラミック、 4b 銅、 5 パネル、 6 ケーシング、 6a ケーシング上面、 7 結合装置(スナップフック)、 8 開口、 9a 中央孔、 9b エッチング孔、 9c 中央軸線、 10 はんだペースト、 11 底区分、 12 アーム、 13 最小直径領域、 13a 楔区分、 14 シリコーンゲル、 15 電力半導体モジュール、 16 ピン、 17 セラミック基板、 18 ベースプレート、 19 シリコンチップ、 20 アルミニウム線材、 21 アルミニウムボンディング接続部、 22 ケーシング、 23 カバー、 24 シリコーンゲル
Claims (20)
- 電力半導体モジュールのための接続装置であって、ブシュ(2a,2b)が設けられており、該ブシュ(2a,2b)が電力半導体モジュール(1)の基板(4)に結合されており、線材ピン(3)が設けられており、該線材ピン(3)が、パネル(5)との電気的な接続部を形成するために運転中にブシュ(2a,2b)内に導入されるように形成されている形式のものにおいて、
ブシュ(2a,2b)が漏斗状または円筒状であって、ブシュ(2a,2b)の底区分(11)が、基板(4)の表面に結合されており、
ブシュ(2a,2b)が外周面区分で複数のアーム(12)を有しており、該アーム(12)が、ブシュ(2a,2b)が最小直径領域(13)を有するように、ブシュ(2a,2b)の中央軸線(9c)の方向で湾曲されていて、この最小直径は線材ピン(3)の直径よりも小さく形成されており、これにより導入された線材ピン(3)がブシュ(2a,2b)によって挟持可能であることを特徴とする、電力半導体モジュールのための接続装置。 - 最小直径領域(13)を形成するために、ブシュ(2a,2b)の外周面区分が、星状の展開構造または十字形の展開構造から形成されている、請求項1記載の接続装置。
- ブシュ(2a,2b)のアーム(12)の間にスリットが形成されている、請求項2記載の接続装置。
- 最小直径領域(13)が楔形区分(13a)を有しており、該楔形区分(13a)が、特に半径方向内側にブシュ(2b)の中心軸線(9c)に向かって鋭角な角度で突出している、請求項1から3までのいずれか1項記載の接続装置。
- ブシュ(2a,2b)が基板(4)にはんだ付けされている、請求項1から4までのいずれか1項記載の接続装置。
- 線材ピン(3)がブシュ(2a,2b)内で力作用に基づき軸線方向に移動可能である、請求項1から5までのいずれか1項記載の接続装置。
- 外周面区分がほぼ円筒形状である、請求項2から6までのいずれか1項記載の接続装置。
- ブシュ(2a,2b)の前記底区分(11)が中央孔(9a)を有している、請求項1から7までのいずれか1項記載の接続装置。
- 基板(4)が金属的に湿潤可能な面を有している、請求項1から8までのいずれか1項記載の接続装置。
- 基板(4)がエッチング孔(9b)を有している、請求項1から9までのいずれか1項記載の接続装置。
- 金属的に湿潤可能な面がエッチング孔(9b)を取り囲んでいる、請求項10記載の接続装置。
- 基板(4)に、はんだペースト(10)が印刷されている、請求項1から11までのいずれか1項記載の接続装置。
- ブシュ(2a,2b)が、基板(4)の湿潤可能な面上に載置されている、請求項8から12までのいずれか1項記載の接続装置。
- ブシュ(2a,2b)と、線材ピン(3)とが、錫メッキされた銅または銅合金から形成されている、請求項1から13までのいずれか1項記載の接続装置。
- 基板(4)がセラミック(4a)から成っている、請求項1から14までのいずれか1項記載の接続装置。
- 絶縁を保証するために、ケーシング(6)内でシリコーンゲル(4)がブシュ(2a,2b)と線材ピン(3)との間に充填されている、請求項1から15までのいずれか1項記載の接続装置。
- ケーシング(6)が、少なくとも1つの開口(8)を有するケーシング上面(6a)を有しており、前記開口(8)を通って線材ピン(3)が延びている、請求項1から16までのいずれか1項記載の接続装置。
- ケーシング(6)が、パネル(5)に取り付けるための装置(7)を有しており、該装置(7)を介して電力半導体モジュール(1)がパネル(5)に結合可能である、請求項1から17までのいずれか1項記載の接続装置。
- 前記装置(7)がスナップフックから形成されている、請求項18記載の接続装置。
- ケーシング(6)がプラスチックから形成されている、請求項1から19までのいずれか1項記載の結合装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000108572 DE10008572B4 (de) | 2000-02-24 | 2000-02-24 | Verbindungseinrichtung für Leistungshalbleitermodule |
DE10008572.5 | 2000-02-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001298129A JP2001298129A (ja) | 2001-10-26 |
JP3691402B2 true JP3691402B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=7632194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001051229A Expired - Lifetime JP3691402B2 (ja) | 2000-02-24 | 2001-02-26 | 電力半導体モジュール |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6483128B2 (ja) |
JP (1) | JP3691402B2 (ja) |
CN (1) | CN1263124C (ja) |
DE (1) | DE10008572B4 (ja) |
TW (1) | TW501166B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2025196A (en) | 2019-04-10 | 2020-10-15 | Shindengen Electric Mfg | Semiconductor device and lead frame member |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7995356B2 (en) | 2005-08-26 | 2011-08-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Power semiconductor module comprising load connection elements applied to circuit carriers |
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JP5350804B2 (ja) | 2007-01-22 | 2013-11-27 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置 |
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US8586420B2 (en) | 2011-09-29 | 2013-11-19 | Infineon Technologies Ag | Power semiconductor arrangement and method for producing a power semiconductor arrangement |
US8563364B2 (en) | 2011-09-29 | 2013-10-22 | Infineon Technologies Ag | Method for producing a power semiconductor arrangement |
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EP2903024B1 (en) | 2014-01-31 | 2022-08-03 | Vincotech GmbH | Contact element, power semiconductor module and method of fabricating same |
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EP3518278A1 (en) | 2018-01-30 | 2019-07-31 | Infineon Technologies AG | Power semiconductor module and method for producing the same |
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- 2000-02-24 DE DE2000108572 patent/DE10008572B4/de not_active Expired - Lifetime
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- 2001-02-22 TW TW90104042A patent/TW501166B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-23 CN CNB011049456A patent/CN1263124C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-26 JP JP2001051229A patent/JP3691402B2/ja not_active Expired - Lifetime
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US11776929B2 (en) | 2019-04-10 | 2023-10-03 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and lead frame member |
Also Published As
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---|---|
TW501166B (en) | 2002-09-01 |
US6483128B2 (en) | 2002-11-19 |
CN1310474A (zh) | 2001-08-29 |
US20010025964A1 (en) | 2001-10-04 |
CN1263124C (zh) | 2006-07-05 |
JP2001298129A (ja) | 2001-10-26 |
DE10008572A1 (de) | 2001-09-13 |
DE10008572B4 (de) | 2007-08-09 |
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