JP3672592B2 - 合成石英ガラス部材の製造方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は合成石英ガラス部材の製造方法、特には合成石英ガラス部材の粘度を下げる要因である水酸基および塩素の含有量を減少させた高粘度の合成石英ガラス部材の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
合成石英ガラスの製造としては、
1)四塩化けい素などのけい素化合物を酸水素火炎中で火炎加水分解させて得たシリカ微粒子を担体上に堆積させ、これを直接溶融させて石英ガラスとする直接法による方法(特公平 3-31010号公報参照)、
2)このけい素化合物をメチルトリメトキシシランなどのエステルシランとして多孔質ガラス母材を作り、これを溶融して石英ガラスとするスート法による方法(特公平 4-20853号公報参照)、
3)高周波プラズマ炎中でけい素化合物、酸素および塩化水素の混合ガスを反応させて二酸化けい素を生成させ、これを担体上に堆積させるプラズマ法による方法(特公昭63-38343号公報参照)、
4)アルコキシシランを酸またはアンモニア触媒の存在下に加水分解して得たシリカを焼結して石英ガラスとする、いわゆるゾル−ゲル法と称されている方法、などが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この1)の直接法で得られる石英ガラスは、水酸基含有量が 200〜1,000ppmで塩素含有量が〜150ppmであるために、高温粘性が低いという問題点があり、この2)のスート法により得られる石英ガラスは水酸基含有量が〜300ppmで塩素含有量が〜100ppmであり、塩素脱水しても塩素が含有するために高温粘性が高くならないという問題点がある。
また、この3)のプラズマ法により得られる石英ガラスには水酸基含有量はフリーになるけれども塩素含有量が〜1,000ppmと高くなるし、生産コストが高く、量産も難しいという不利があり、この4)のゾル−ゲル法により得られる石英ガラスには塩素含有量はフリーになるけれども水酸基含有量が〜100ppmとなり、アンモニア触媒を用いれば水酸基含有量もフリーとなるので高温粘性品を得ることができるけれども、これは製造工程が長いためにコスト高となり、酸触媒を用いる場合には水酸基が残留し、酸として塩酸を用いる場合には塩素も残存するために高温粘性の製品は得られないという欠点がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明はこのような不利、欠点、問題点を解決した合成石英ガラス部材の製造方法に関するものであり、これはシラン化合物から合成された合成石英ガラスを粉砕し、不活性ガス雰囲気下に 1,500〜 1,900℃で加熱溶融することを特徴とするものである。
【0005】
すなわち、本発明者らは水酸基含有量および塩素含有量を減少させた高粘性の合成石英ガラス部材を製造する方法を開発すべく種々検討した結果、上記した公知の方法で製造された合成石英ガラス部材は水酸基および塩素の両方、またはこのいずれか一方を可成り高い含有量で含有しているが、この合成石英ガラスを 150μm以下に粉砕し精製してから、これを不活性ガス雰囲気下に 1,500〜 1,900℃で加熱溶融すると、この水酸基含有量を 50ppm以下、塩素含有量を 10ppm以下に減少させることができるし、その熱特性としての歪み点を 1,090℃以上、徐冷点を 1,190℃以上とすることができることを見出し、したがってこれによれば高粘性の合成石英ガラスを容易に得ることができることを確認して本発明を完成させた。
以下にこれをさらに詳述する。
【0006】
【作用】
本発明による合成石英ガラスの製造法は従来公知の方法で製造された水酸基含有量および/または塩素含有量の多い合成石英ガラス部材を、粉砕したのち不活性ガス雰囲気下に高温で溶融して、水酸基、塩素の含有量を低下させて高粘性の合成石英ガラス部材とするものである。
したがって、本発明で原料となる合成石英ガラスは従来公知の方法、例えば直接法、スート法、プラズマ法、ゾル−ゲル法で製造されたものとされるが、これらの方法で製造された合成石英ガラスの水酸基含有量、塩素含有量は出発原料の種類によってそれぞれ下記のようなものとなる。
【0007】
すなわち、1)直接法により得られる合成石英ガラスは
2)スート法により得られる合成石英ガラスは
3)プラズマ法により得られる合成石英ガラスは
4)ゾル−ゲル法により得られる合成石英ガラスは
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン
OH基…〜1,000ppm:アンモニア触媒、 100〜800ppm:酸触媒、Cl…フリー
となる。
【0008】
このようにして製作された合成石英ガラスは本発明ではまず粉砕により合成石英ガラス粉とされるのであるが、この粉砕はジョークラッシャー、ディスクミル、ボールミルを用いて行なえばよく、これはついで篩別により粒度を調整するのであるが、これは 150μm以下のものとすることがよく、 150μm以下のものとすれば後記する熱処理によってOH基含有量、Cl含有量を減少させることができる。
【0009】
この粉砕品は粉砕時の汚染を除去するために精製することがよく、この精製は水洗、HF処理、HCl処理、磁力選鉱、浮遊選鉱などで行えばよいが、この精製は汚染度に応じて省いてもよい。
この精製の終了したものはついで不活性ガス雰囲気下で高熱溶融されるが、この不活性ガス雰囲気は例えばAr、N2 などの不活性ガス中、あるいは気流中とすればよく、加圧は不純物の昇華を阻害するので好ましいものではない。
【0010】
また、この高温溶融は 1,500℃未満では石英が溶融しないし、 1,900℃以上とすると石英が昇華して歩留りが悪くなるので、 1,500〜 1,900℃の範囲とすることが必要とされるが、この高温溶融時間は10分〜60分とすればよいが、低温では長く、高温では短くすることが望ましく、これによれば目的とする合成石英ガラス部材は水酸基含有量が 50ppm以下で、塩素含有量が 10ppm以下のものとなるほか、熱特性としての歪み点が 1,090℃以上、徐冷点が 1,190℃以上と天然石英ガラスの酸水素溶融点と同等以上のものとなるので、高粘性をもつものになるという有利性が与えられる。
【0011】
【実施例】
つぎに本発明の実施例、比較例をあげるが、例中における合成石英ガラス部材の物性値は以下の方法による測定値を示したものである。
(水酸基量の測定)
IR(赤外線)測定器・IR−Spectrophotometer TypeA−3[日本分光(株)製商品名]を用いて、OH吸収波長である 2.7μmのピーク高より概算する。(塩素量の測定)
立教大学原子炉IRIGA−II型にて中性子を試料に衝突させて核反応を起こさせ、高純度Ge検出器、マルチチャンネル波高分析器にてγ線を検出してCl含有量を求めた。
【0012】
(歪み点、徐冷点の測定)
歪み点、徐冷点は、熱特性の代表的なものであり、高温粘性の指標となる物性である。
歪み点は粘度が4×1014ポイズ(log η=14.5)のときの温度で示し、徐冷点は粘度が1013ポイズ(log η=13.0)のときの温度を示す。(朝倉書店「ガラスハンドブック」P 637参照)
狭い温度範囲では、log ηの絶対温度の逆数に対するプロットは直線関係にあるので、 1,100℃、 1,150℃、 1,200℃、 1,250℃、 1,300℃において伸び量△Lを測定し(Fiber-elongation法※により)、各ηを求めた。これを縦軸:log η、横軸:絶対温度の逆数の図にプロットし、直線を求めた。
この直線よりlog η=14.5に相当する温度を歪み点、log η=13.0に相当する温度を徐冷点として求めた。
※Fiber-elongation法
4×2×40mmの試料に熱を加え、△t= 120〜 3,000秒における試料の△L(cm)を求め、以下の式を用いて粘性を求める。
【0013】
実施例1
酸素ガス19Nm3/時および水素ガス30Nm3/時で形成された酸水素バーナーの酸水素火炎中に四塩化けい素を 2,000g/時で導入し、その火炎加水分解で発生したシリカ微粒子を回転している耐熱性担体に堆積すると同時に溶融させて、直径 120mmφ、長さ 500mmの合成石英ガラスインゴットを製造した。
【0014】
ついで、この合成石英ガラスインゴットをジョークラッシャー、ディスクミルを用いて粉砕したところ、このもののOH基含有量、Cl含有量は後記する表1に示したとおりのものとなったので、篩別して粒度を 150μm以下に調整したのち、これを磁力選鉱にかけてから20%HClに2時間、10%HFに10分間浸漬して精製してから水洗した。
つぎに、これを酸化雰囲気中で 1,000℃に1時間加熱して有機物を除去したのち、Arガス雰囲気下に 1,800℃まで昇温して溶融させ、30分間保持し、得られた合成石英ガラス部材の物性をしらべたところ、後記する表1に示したとおりの結果が得られた。
【0015】
実施例2
酸水素火炎バーナーにメチルトリメトキシシラン 2,000g/時と酸素ガス20Nm3/時と水素ガス28Nm3/時を挿入したほかは実施例1と同様に処理して合成石英ガラス部材を作ったところ、石英ガラス粉末のOH基量、Cl量および合成石英ガラス部材の物性については後記する表1に示したとおりのものとなった。
【0016】
実施例3
酸水素火炎バーナーにメチルトリメトキシシラン 2,500g/時を酸素ガス11Nm3/時と水素ガス10Nm3/時で形成された酸水素火炎中に導入し、火炎加水分解で生成したシリカ微粒子を、回転している耐熱性担体上に堆積させて直径 250mm、長さ600mm の多孔質ガラス母材を製造したのち、真空溶解炉で真空下 1,600℃で加熱溶融して直径 125mm、長さ 300mmの合成石英ガラスインゴットを製造した。
ついで、実施例1と同様にこの石英ガラスインゴットを粉砕したところ、このもののOH基量、Cl量は後記する表1に示したとおりのものであったので、篩別して粒度を 150μm以下に調整したのち、これを磁力選鉱にかけてから20%HClに2時間、10%HFに10分浸漬させ精製したのち水洗した。
つぎに 1,000℃で1時間、酸素雰囲気中にて加熱したのち、Ar雰囲気にて 1,800℃まで昇温して30分間保持し、得られた合成石英ガラス部材についての物性を調べたところ、後記する表1に示したとおりの結果が得られた。
【0017】
実施例4
酸素ガス2Nm3/時からプラズマ点を形成した中に、四塩化けい素 500g/時を導入して、生成したシリカ微粒子を耐熱性担体に堆積し、溶融して、直径 100mm、長さ 500mmの合成石英ガラスインゴットを製造した。
ついで、実施例1と同様にこの石英ガラスインゴットを粉砕したところ、このもののOH基量、Cl量は後記する表1に示したとおりのものとなったので、篩別して粒度を 150μm以下に調整したのち、これを磁力選鉱にかけてから20%HClに2時間、10%HFに10分浸漬させ精製したのち水洗した。
ついで、 1,000℃で1時間、酸素雰囲気中にて加熱したのち、Ar雰囲気にて 1,800℃まで昇温して30分間保持し、得られた合成石英ガラス部材についての物性を調べたところ、後記する表1に示したとおりの結果が得られた。
【0018】
実施例5
メチルシリケート 700mlと5重量%HCl 300mlを反応容器内で撹拌し30分後、さらに5重量%HCl 300mlを加え、30℃1時間でゲル化させた。
これを大気中 100℃で24時間乾燥させた後、 1,000℃まで 100℃/時で昇温させて合成石英ガラスを作り、粉砕したところ、このもののOH基量、Cl量は後記する表1に示したとおりのものとなった。
ついで、この合成石英ガラス280gをさらに真空中(10-2Torr)で 1,100℃で1時間加熱後、昇温して 1,700℃で1時間溶融し、つぎにこの石英ガラスを粉砕以下実施例1と同様に処理して合成石英ガラス部材を作製したところ、その物性は後記する表1に示したとおりの結果が得られた。
【0019】
比較例1
実施例1における石英ガラス粉の粒度を 150〜 300μmのものとしたほかは実施例1と同様に処理して合成石英ガラス部材を作製したところ、その物性については後記する表1に示したとおりの結果が得られた。
【0020】
【表1】
【0021】
【発明の効果】
本発明によれば合成石英ガラスに含有されている水酸基、塩素量を低減することができるので、これを天然石英ガラスの酸水素溶融品と同等以上の高温粘性を有する合成石英ガラス部材とすることができるし、これは原料が従来法で得られたもので高純度であるし、これには既存の製造設備が使用することができるので、これを安価に得ることができるという有利性が与えられる。
Claims (3)
- シラン化合物から合成された合成石英ガラスを粉砕し、不活性ガス雰囲気下に 1,500〜 1,900℃で加熱溶融することを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。
- 合成石英ガラスの粉砕粉の粒度が 150μm以下のものである請求項1に記載した合成石英ガラス部材の製造方法。
- 得られた合成石英ガラス部材が水酸基量 50ppm以下、塩素量が 10ppm以下のものである請求項1に記載した合成石英ガラス部材の製造方法。
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