JP3661792B2 - 超低電圧論理回路にバイアスをかけるための装置 - Google Patents

超低電圧論理回路にバイアスをかけるための装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3661792B2
JP3661792B2 JP2002116448A JP2002116448A JP3661792B2 JP 3661792 B2 JP3661792 B2 JP 3661792B2 JP 2002116448 A JP2002116448 A JP 2002116448A JP 2002116448 A JP2002116448 A JP 2002116448A JP 3661792 B2 JP3661792 B2 JP 3661792B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
integrated circuit
channel
circuit device
body bias
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002116448A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003008428A (ja
Inventor
アンドレス・ブライアント
ピーター・エドウィン・コットレル
ジョン・ジョーゼフ・エリス=モナガン
マーク・ビー・ケチン
エドワード・ジョーゼフ・ノワク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JP2003008428A publication Critical patent/JP2003008428A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3661792B2 publication Critical patent/JP3661792B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F3/00Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
    • G05F3/02Regulating voltage or current
    • G05F3/08Regulating voltage or current wherein the variable is dc
    • G05F3/10Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics
    • G05F3/16Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
    • G05F3/20Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
    • G05F3/205Substrate bias-voltage generators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/0203Particular design considerations for integrated circuits
    • H01L27/0214Particular design considerations for integrated circuits for internal polarisation, e.g. I2L
    • H01L27/0218Particular design considerations for integrated circuits for internal polarisation, e.g. I2L of field effect structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Logic Circuits (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に集積回路デバイスに関し、詳細には集積回路デバイス内の論理回路をバイアスするための装置に関する。さらに詳細には、集積回路デバイス内の超低電圧論理回路をバイアスするための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)は集積回路デバイスで普通に見られる。MOSFETはゲート、ソースおよびドレインを含む。ソースとドレインの間のチャネルを通るチャージ・キャリアの流れは、MOSFETのゲートに電圧を印加することによって制御できる。デプレション・モードのMOSFETは、電圧がゲートに印加されていないときでもゲートの下のドープされたチャネルまたは導通チャネルを含む。エンハンスメント・モードのMOSFETは、対照的に、導通チャネルとして働く反転層を発生するためにゲートからソースへのバイアス電圧を印加することを必要とする。このようなバイアス電圧は閾値電圧Vtとして知られている。ゲートとソースの間の正の電圧が、Nチャネル・エンハンスメント・モードMOSFETに対する強力なチャネルを誘導するために必要である。Pチャネル・エンハンスメント・モードMOSFETについては、ゲート−ソース電圧がPチャネル・エンハンスメント・モードMOSFETの負の閾値電圧以下のマイナスであるとき、電流が流れる。
【0003】
しかし、ゲート電圧が閾値電圧より低くても、一般に閾値下電流(subthreshold current)と呼ばれる電流が依然としてチャネル内に存在し、その値はIDS(VGS)=(W/L)I010-(Vg-Vt)/Sで与えられる。ただし、VGSはソースに対するゲート電圧であり、I0はNチャネルMOSFETでは約300nA、PチャネルMOSFETでは70nAであり、sは閾値下電圧スイング(subthreshold swing)で約80mV/ディケード(decade)であり、Vtは閾値電圧であり、WおよびLはそれぞれMOSFETの電気的な幅および長さである。
【0004】
エンハンスメント・モードMOSFETの閾値電圧は、チャネル長さ、チャネル幅、ドープ、ゲート酸化物厚さなど幾つかの固有ファクタによって決まる。環境温度などの外部ファクタも閾値電圧に強く影響することがある。さらに、閾値電圧は、バイアスが低い正の閾値電圧をもたらすという点でMOSFETの基板またはウェル(あるいは一般に本体として知られる)に印加される電圧によって強く影響される。トランジスタの閾値電圧が低過ぎる場合、実際の供給電圧が所望の供給電圧より大きいとき、トランジスタは許容できない量の漏れ電流を生じることがある。逆に、トランジスタの閾値電圧が高すぎると、トランジスタが完全にオンになる可能性が低くなる。半導体製造プロセスの多くの側面が制御できるものの、依然として集積回路デバイス内の多数のトランジスタすべての間で閾値電圧値の大きな変動がある。
【0005】
相補形金属酸化膜半導体(CMOS)回路によって放出されるスイッチング電力は、Pactive=C×Vdd2×fで与えられる。ただし、Cはスイッチング・ノードのキャパシタンスであり、Vddは電源電圧であり、fはノード・スイッチング周波数である。多くの応用例では、電力供給上の制限により電力を保持するために、あるいは様々な冷却上の制約から加熱を減らすために、スイッチング電力を減らすことが望ましい。そのために、キャパシタンス、周波数、あるいは動作電圧のいずれかを減らすことによってスイッチング電力を減らすことができる。キャパシタンスの減少は、リソグラフの解像度や許容幅などプロセスおよび製造上の制約によってしばしば制限される。周波数はしばしば回路の所望の出力を表し、したがって、それが減少すると論理回路の所望の目的が著しく損なわれることになりかねない。したがって、電源電圧が、依然として活動電力の減少を可能にする重要な変数である。
【0006】
CMOS回路がVdd<Vtで動作する閾値下論理は、速度が重要でない超低電力CMOS回路に使用された手法であり、Vddは約1ボルトまで減らすことができる。原則として、CMOS論理回路はVdd=4ηkT/Qeという低い電圧で安定した動作を維持できる。ただし、hは理想値で、一般に約1.4であり、関係するMOSFETのプロセスの詳細部の影響を受け、kはボルツマン定数であり、Qeは電子の素電荷であり、Tはケルビン単位による周囲温度である。しかし、原則として、CMOS論理回路はNチャネルMOSFETのOFF電流Ioff−NおよびPチャネルMOSFETのOFF電流Ioff−Pがそれぞれ互いにほぼ等しいときにだけ、上記の限度またはその付近で動作できる。
【0007】
CMOSの加工には、N型MOSFETおよびP型MOSFETに独立のドープ・ステップ、ならびに互いに独立なN型MOSFETおよびP型MOSFETのVtおよびIoffの変動をもたらす他のプロセス変数の使用が必要である。したがって、プロセスが名目上Ioff−N=Ioff−Pを提供するように考案されているとしても、ウェハごとに大幅な変動があり、このようなプロセスで製造されるこのような論理回路が機能する最低Vddが制限される。したがって、室温で約4ηkT/Qeまたは約100mVの理論限界に近づくまたはそれに等しいVddの値までCMOS論理回路の動作を可能にするために、適切なNウェルおよび基板バイアスを提供することにより、Ioff−N=Ioff−Pを確実にする実用的な手段を提供することが望ましい。これに照らして、本開示では、幾つかの閾値下論理回路の間で正確な閾値の一致をもたらすための装置を記述する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の一目的は、このような条件から利益を得ることができる論理回路についてNチャネル・トランジスタとPチャネル・トランジスタの間のIoff比を予測可能に変動させる装置を提供することである。本発明の他の目的は、何らかの明示的な配線または何らかの従来の相互接続層を使用せずに必要なNウェル・バイアスおよび基板バイアスを分配する装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の好ましい実施形態によれば、集積回路デバイスは、複数のトランジスタと1つのグローバル・ボディ・バイアス回路(global body bias circuit)を含む。グローバル・ボディ・バイアス回路は、電源と第2電源またはグラウンドとの間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含む。第1トランジスタのゲートおよびソースは第1電源に接続されている。第2トランジスタのゲートおよびソースは第2電源に接続されている。第1トランジスタと第2トランジスタのドレインおよび本体は互いに接続されて、集積回路デバイス内の他のトランジスタの本体に接続された出力を形成する。
【0010】
本発明のすべての目的、特徴、および利点は以下に詳細に示す説明から明らかになるであろう。
【0011】
本発明自体、ならびに好ましい使用モード、その他の目的、ならびにその利点は、例示的実施形態についての以下の詳細な説明を添付の図面と併せて読めば最も良く理解されよう。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施形態によれば、グローバル・ボディ・バイアス回路は、グローバルNウェル(またはグローバルPウェル)および基板のバイアスを調整することによって論理回路内でNチャネル・トランジスタとPチャネル・トランジスタのIoffを互いに一致させるために利用される。Ioffは、ゲートがソースに結合されたときトランジスタがそのドレインから引き出せる電流量である。
【0013】
ここで図面、特に図1を参照すると、本発明の好ましい実施形態による一出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の概略図が示されている。図示のように、グローバル・ボディ・バイアス回路10はPチャネル・トランジスタ11と、それと直列に接続されたNチャネル・トランジスタ12を含む。Pチャネル・トランジスタ11のゲートおよびソースは、0.2V〜0.3Vの間の電圧を提供する電源Vddに接続されている。Nチャネル・トランジスタ12のゲートおよびソースはグラウンド(または電源Vss)に接続されている。Pチャネル・トランジスタ11およびNチャネル・トランジスタ12の本体(body)およびドレインは、図5に示した例でさらに説明するように、集積回路デバイス内の他のトランジスタに対して本体バイアスを提供するための出力15を形成するように互いに接続されている。
【0014】
Pチャネル・トランジスタ11とNチャネル・トランジスタ12の幅は、様々な比にすることができるが、等しいことが好ましい。通常、電力を最小限に抑えるため、トランジスタ11および12の幅はキャパシタンスを最小限に抑えるためにプロセス技術によって許容される最小幅に設定される。Pチャネル・トランジスタ11およびNチャネル・トランジスタ12は共にゲート・オフされ、ドレイン電流が等しくなければならないので、出力15における出力電圧は他の論理回路のトランジスタに等しい量のIoffを与えるのに必要な本体バイアスを見出すことができる。
【0015】
トランジスタのウェルへのソース/ドレイン接合部漏れが時にはIoffの量より高いプロセスでは、その代わりに電流(すなわち、VGS=Vdd−VssにおけるIDS)における閾値下電圧を一致させるのが必要なことがあるが、そうするとグローバル・ウェル電圧ジェネレータの待機漏れが増大するが、論理回路についてはそうはならない。これは、図1のNチャネル・トランジスタ12のゲートをVssの代わりにVddに接続し、図1のPチャネル・トランジスタ11のゲートをVddの代わりにVssに接続することによって行われる。結果を図2に示す。
【0016】
ここで図2を参照すると、本発明の別の実施形態による一出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の概略図が示されている。図示のように、グローバル・ボディ・バイアス回路20は、直列に接続されたPチャネル・トランジスタ21とNチャネル・トランジスタ22を含む。Pチャネル・トランジスタ21のソースとNチャネル・トランジスタ22のゲートは、0.2V〜0.3Vの範囲の電圧を提供する電源Vddに接続されている。Nチャネル・トランジスタ22のソースとPチャネル・トランジスタ21のゲートは、グラウンド(または電源Vss)に接続されている。Pチャネル・トランジスタ21およびNチャネル・トランジスタ22の本体およびドレインは、集積回路デバイス内の他のトランジスタに本体バイアスを与えるために出力25を形成するように互いに接続される。
【0017】
ジェネレータ待機電流を最小限に抑えるために、分圧ネットワークを使用し、ウェル電圧ジェネレータ・トランジスタ・ゲートを、デバイス電流を接合部漏れレベルより高いが、最大閾値下電圧Ionより低く維持する中間電圧に結合することが可能である。Ionは、ゲートが全電圧で駆動されたときトランジスタがそのドレインから引き出す電流量である。
【0018】
ここで図3を参照すると、本発明の好ましい実施形態によるP型基板上に実装されたグローバル・ボディ・バイアス回路10の図が示されている。図示のように、NウェルであるPチャネル・トランジスタ11の本体は、出力15を形成するため、シリサイド層14を介して、P型基板であるNチャネル・トランジスタ12の本体に接続されている。接点を使用する代わりに、シリサイド層14からNウェルおよびP−基板への接続はそれぞれN+拡散およびP+拡散によって行うことが好ましい。このような本体接続の方法は、Pチャネル・トランジスタ11およびNチャネル・トランジスタ12がすべて突合せ式接合部によってP−基板へ局所的に結合できるので殊に魅力的である。
【0019】
同様に、図1のグローバル・ボディ・バイアス回路10など、グローバル・ボディ・バイアス回路から本体バイアスを受け取るすべての論理回路は、図3に示すものと同様の構造を使用できる。ここで図4を参照すると、本発明の好ましい実施形態による基板上に実装されたグローバル・ボディ・バイアス回路を受け取る様々な論理回路の図が示されている。図示のように、シリサイド層24からNウェルおよびP基板への接続はそれぞれN+拡散およびP+拡散によって行うことが好ましい。図3および図4に示す集積回路全体に利用できる共通基板接続を利用すると、相互接続または配線レベルでウェル・バイアスを分散させる必要はなくなる。その結果、高密度で安価な集積回路が得られる。
【0020】
ここで図5を参照すると、本発明の好ましい実施形態による、図1および図2のグローバル・ボディ・バイアス回路10の実装例が示されている。この例で、2入力NANDゲート30はバイアスする必要がある回路である。図示のように、2入力NANDゲート30は、当分野の技術者に周知の方式で接続された2個のPチャネル・トランジスタ31、32および2個のNチャネル・トランジスタ33、34を含む。NANDゲート30に本体バイアスを提供するために、図1および図2のグローバル・ボディ・バイアス回路10の出力15はトランジスタ31〜34の本体に接続されている。
【0021】
トランジスタを図1および図2の本体バイアス回路10で可能なよりも高いIoffの量に設定する際の融通性を高めるためには、2出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路が必要である。ここで図6を参照すると、本発明の好ましい実施形態による2出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の概略図が示されている。図示のように、グローバル・ボディ・バイアス回路40はPチャネル・トランジスタ41〜43およびNチャネル・トランジスタ44〜46を含む。Pチャネル・トランジスタ41〜43の各ゲートおよびソースは0.2V〜0.3Vの範囲の電圧を提供する電源Vddに接続されている。Nチャネル・トランジスタ44〜46の各ゲートおよびソースはグラウンド(または電源Vss)に接続される。トランジスタ41および44の本体およびドレインはトランジスタ43および45の本体に接続されている。さらに、トランジスタ42の本体およびドレインは、集積回路デバイス内の他のPチャネル・トランジスタに本体バイアスを提供するために出力47を形成するように互いに接続される。同様に、トランジスタ46の本体およびドレインは、図9に示す例でさらに説明するように、同じ集積回路デバイス内の他のNチャネル・トランジスタに本体バイアスを提供するために出力48を形成するように互いに接続される。
【0022】
グローバル・ボディ・バイアス回路40により、論理回路内のPチャネル・トランジスタおよびNチャネル・トランジスタの本体に独立にバイアスをかけることが可能になる。グローバル・ボディ・バイアス回路40により、Ioff−N/Ioff−Pをm/nなどの設定比にプログラムすることも可能となる。Ioff−NはNチャネル・トランジスタのIoffであり、Ioff−PはPチャネル・トランジスタのIoffである。したがって、mおよびnを望むだけ大きく選択することによりIoff−N/Ioff−Pを増加させることができる。グローバル・ボディ・バイアス回路40のこの配置により、適切なときに待機電力がより高くつくという犠牲を払って、より高パフォーマンスの回路をプログラムすることが可能になる。グローバル・ボディ・バイアス回路40には、分離PウェルならびにNウェルが必要である。必要なPウェルおよび必要なNウェルは、本体接点付きのシリコン・オン・インシュレータ(SOI)技術、またはトリプル・ウェル技術を使用して設けることができる。
【0023】
グローバル・ボディ・バイアス回路40は(NウェルとPウェルが互いに独立しているため)少なくともNウェルへの明示的配線を必要とするので、製品設計全体に多数分散するのに十分なほど簡単であり(したがって十分に小さく)、そのためウェル・バイアスに対する配線の負担が軽くなる。さらに、今や様々な回路ブロックが、他の回路ブロックと時間を合わせる必要に応じてパフォーマンスを調節するためにその駆動電流を局所的に上げまたは下げることができる。
【0024】
グローバル・ボディ・バイアス回路40の変形形態を図7および図8に別々に示す。図7のグローバル・ボディ・バイアス回路40aによるとIoffの値をRadjと共に連続的に変化させることができ、一方Ioff−NおよびIoff−Pはn/mの比が固定比に保たれる。したがって、Radjをトランジスタで置き換えた場合、グローバル・ボディ・バイアス回路40aのパフォーマンスおよび待機電力は「オン・ザ・フライ(on the fly)」で変調することができる。グローバル・ボディ・バイアス回路40aはNチャネル・トランジスタを
【数1】
Figure 0003661792
に、Pチャネル・トランジスタを
【数2】
Figure 0003661792
に設定する。ただし、Se=ηkT/Qeであり、Ioff_xはNチャネル・トランジスタxのドレイン電流である。
【0025】
図8のグローバル・ボディ・バイアス回路40bは、不活動期間中に閾値下漏れのエネーブル本体カットオフを有する。グローバル・ボディ・バイアス回路40bはNチャネル・トランジスタを
【数3】
Figure 0003661792
に、Pチャネル・トランジスタを
【数4】
Figure 0003661792
に設定する。ただし、Se=ηkT/Qeであり、Ioff_yはNチャネル・トランジスタyのドレイン電流であり、RnおよびRpはそれぞれNチャネル・トランジスタTnおよびPチャネル・トランジスタTpの有効ソース−ドレイン抵抗であり、Rmは図8のNチャネル・トランジスタTmの有効ソース−ドレイン抵抗である。
【0026】
ここで図9を参照すると、本発明の好ましい実施形態による図6のグローバル・ボディ・バイアス回路40の実装例が示されている。この例で、2入力NANDゲート50はバイアスする必要がある回路である。図示のように、2入力NANDゲート50は、当分野の技術者に周知の方式で接続された、2個のPチャネル・トランジスタ51〜52および2個のNチャネル・トランジスタ53〜54を含む。NANDゲート50に本体バイアスを提供するために、図6のグローバル・ボディ・バイアス回路40の出力47はPチャネル・トランジスタ51〜52の本体に接続され、一方グローバル・ボディ・バイアス回路40の出力48はNチャネル・トランジスタ53〜54の本体に接続されている。
【0027】
以上説明したように、本発明は集積回路内の超低電圧論理回路をバイアスするための装置を提供する。
【0028】
本発明を好ましい実施形態に関して詳細に図示し説明したが、当分野の技術者には、本発明の精神および範囲を逸脱せずに形態および細部の様々な変更が行なえることが理解されよう。
【0029】
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
【0030】
(1)複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタの本体に接続された出力を有する1つのグローバル・ボディ・バイアス回路とを備え、前記グローバル・ボディ・バイアス回路が、第1電源と第2電源の間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのゲートおよびソースが前記第1電源に接続されており、前記第2トランジスタのゲートおよびソースが前記第2電源に接続されており、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタのドレインおよび本体が互いに接続されて前記出力を形成する集積回路デバイス。
(2)前記第1トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第2トランジスタがNチャネル・トランジスタである、上記(1)に記載の集積回路デバイス。
(3)前記第1電源が約0.2V〜約0.3Vの範囲の電圧を提供する、上記(1)に記載の集積回路デバイス。
(4)前記第2電源が0Vを提供する、上記(1)に記載の集積回路デバイス。
(5)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの幅が同一である、上記(1)に記載の集積回路デバイス。
(6)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの前記ドレインがシリサイド層を介して互いに接続されている、上記(1)に記載の集積回路デバイス。
(7)複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタの本体に接続された出力を有する1つのグローバル・ボディ・バイアス回路とを備え、前記グローバル・ボディ・バイアス回路が、第1電源と第2電源の間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのソースと前記第2トランジスタのゲートが前記第1電源に接続されており、前記第2トランジスタのソースと前記第1トランジスタのゲートが前記第2電源に接続されており、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタのドレインおよび本体が互いに接続されて前記出力を形成する集積回路デバイス。
(8)前記第1トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第2トランジスタがNチャネル・トランジスタである、上記(7)に記載の集積回路デバイス。
(9)前記電源が約0.2V〜約0.3Vの範囲の電圧を提供する、上記(7)に記載の集積回路デバイス。
(10)前記第2電源が0Vを提供する、上記(7)に記載の集積回路デバイス。
(11)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの幅が同一である、上記(7)に記載の集積回路デバイス。
(12)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの前記ドレインがシリサイド層を介して互いに接続されている、上記(7)に記載の集積回路デバイス。
(13)複数のトランジスタと、
第1出力と第2出力を有する1つのグローバル・ボディ・バイアス回路とを備え、前記グローバル・ボディ・バイアス回路が、第1電源と第2電源の間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのゲートおよびソースが前記第1電源に接続されており、前記第2トランジスタのゲートおよびソースが前記第2電源に接続されており、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタのドレインおよび本体が、グローバル・ボディ・バイアス回路の第3トランジスタと第4トランジスタの本体をバイアスするように互いに接続されており、前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタのゲートがそれぞれ前記第1電源および前記第2電源に接続されている集積回路デバイス。
(14)前記第1トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第2トランジスタがNチャネル・トランジスタである、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(15)前記第3トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第4トランジスタがNチャネル・トランジスタである、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(16)前記第3トランジスタが第2の幅である、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(17)前記第1電源が約0.2V〜約0.3Vの範囲の電圧を提供する、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(18)前記第2電源が0Vを提供する、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(19)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの幅が同一である、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
(20)前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの前記ドレインがシリサイド層を介して互いに接続されている、上記(13)に記載の集積回路デバイス。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好ましい実施形態による一出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の略図である。
【図2】本発明の別の実施形態による一出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の略図である。
【図3】本発明の好ましい実施形態による基板上に実装された図1のグローバル・ボディ・バイアス回路の断面図である。
【図4】本発明の好ましい実施形態による基板上に実装された図1のグローバル・ボディ・バイアス・論理回路を受け取る様々な論理回路の断面図である。
【図5】図1からのグローバル・ボディ・バイアス回路の実装例を示す図である。
【図6】本発明の好ましい実施形態による2出力を有するグローバル・ボディ・バイアス回路の略図である。
【図7】追加の入力制御を有する図6のグローバル・ボディ・バイアス回路の略図である。
【図8】追加の入力制御を有する図6のグローバル・ボディ・バイアス回路の略図である。
【図9】図6のグローバル・ボディ・バイアス回路の実装例を示す図である。
【符号の説明】
10、20、40、40a、40b グローバル・ボディ・バイアス回路
11、21、31、32、41、42、43、51、52 Pチャネル・トランジスタ
12、22、33、34、44、45、46、53、54 Nチャネル・トランジスタ
14、24 シリサイド層
15、25、47、48 出力
30、50 2入力NANDゲート

Claims (14)

  1. 複数のトランジスタと、
    前記複数のトランジスタの本体に接続された出力を有する1つのグローバル・ボディ・バイアス回路とを備え、前記グローバル・ボディ・バイアス回路が、第1電源と第2電源の間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのゲートおよびソースが前記第1電源に接続されており、前記第2トランジスタのゲートおよびソースが前記第2電源に接続されており、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタのドレインおよび本体が互いに接続されて前記出力を形成する集積回路デバイス。
  2. 前記第1トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第2トランジスタがNチャネル・トランジスタである、請求項1に記載の集積回路デバイス。
  3. 前記第1電源が約0.2V〜約0.3Vの範囲の電圧を提供する、請求項1に記載の集積回路デバイス。
  4. 前記第2電源が0Vを提供する、請求項1に記載の集積回路デバイス。
  5. 前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの幅が同一である、請求項1に記載の集積回路デバイス。
  6. 前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの前記ドレインがシリサイド層を介して互いに接続されている、請求項1に記載の集積回路デバイス。
  7. 複数のトランジスタと、
    第1出力と第2出力を有する1つのグローバル・ボディ・バイアス回路とを備え、前記グローバル・ボディ・バイアス回路が、第1電源と第2電源の間に直列に接続された第1トランジスタと第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのゲートおよびソースが前記第1電源に接続されており、前記第2トランジスタのゲートおよびソースが前記第2電源に接続されており、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタのドレインおよび本体が、グローバル・ボディ・バイアス回路の第3トランジスタと第4トランジスタの本体をバイアスするように互いに接続されており、前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタのゲートがそれぞれ前記第1電源および前記第2電源に接続されている集積回路デバイス。
  8. 前記第1トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第2トランジスタがNチャネル・トランジスタである、請求項に記載の集積回路デバイス。
  9. 前記第3トランジスタがPチャネル・トランジスタであり、前記第4トランジスタがNチャネル・トランジスタである、請求項に記載の集積回路デバイス。
  10. 前記第3トランジスタが第2の幅である、請求項に記載の集積回路デバイス。
  11. 前記第1電源が約0.2V〜約0.3Vの範囲の電圧を提供する、請求項に記載の集積回路デバイス。
  12. 前記第2電源が0Vを提供する、請求項に記載の集積回路デバイス。
  13. 前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの幅が同一である、請求項に記載の集積回路デバイス。
  14. 前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの前記ドレインがシリサイド層を介して互いに接続されている、請求項に記載の集積回路デバイス。
JP2002116448A 2001-04-26 2002-04-18 超低電圧論理回路にバイアスをかけるための装置 Expired - Fee Related JP3661792B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/842544 2001-04-26
US09/842,544 US6605981B2 (en) 2001-04-26 2001-04-26 Apparatus for biasing ultra-low voltage logic circuits

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003008428A JP2003008428A (ja) 2003-01-10
JP3661792B2 true JP3661792B2 (ja) 2005-06-22

Family

ID=25287594

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002116448A Expired - Fee Related JP3661792B2 (ja) 2001-04-26 2002-04-18 超低電圧論理回路にバイアスをかけるための装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6605981B2 (ja)
JP (1) JP3661792B2 (ja)
TW (1) TW550792B (ja)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6936898B2 (en) * 2002-12-31 2005-08-30 Transmeta Corporation Diagonal deep well region for routing body-bias voltage for MOSFETS in surface well regions
US7334198B2 (en) 2002-12-31 2008-02-19 Transmeta Corporation Software controlled transistor body bias
US7256055B2 (en) 2003-08-25 2007-08-14 Tau-Metrix, Inc. System and apparatus for using test structures inside of a chip during the fabrication of the chip
JP2005109179A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 高速低消費電力論理装置
US7348827B2 (en) * 2004-05-19 2008-03-25 Altera Corporation Apparatus and methods for adjusting performance of programmable logic devices
US7129745B2 (en) * 2004-05-19 2006-10-31 Altera Corporation Apparatus and methods for adjusting performance of integrated circuits
US7060566B2 (en) * 2004-06-22 2006-06-13 Infineon Technologies Ag Standby current reduction over a process window with a trimmable well bias
US7274073B2 (en) * 2004-10-08 2007-09-25 International Business Machines Corporation Integrated circuit with bulk and SOI devices connected with an epitaxial region
US20060119382A1 (en) * 2004-12-07 2006-06-08 Shumarayev Sergey Y Apparatus and methods for adjusting performance characteristics of programmable logic devices
US7495471B2 (en) 2006-03-06 2009-02-24 Altera Corporation Adjustable transistor body bias circuitry
US7330049B2 (en) * 2006-03-06 2008-02-12 Altera Corporation Adjustable transistor body bias generation circuitry with latch-up prevention
US7355437B2 (en) * 2006-03-06 2008-04-08 Altera Corporation Latch-up prevention circuitry for integrated circuits with transistor body biasing
US7671663B2 (en) * 2006-12-12 2010-03-02 Texas Instruments Incorporated Tunable voltage controller for a sub-circuit and method of operating the same
US8265135B2 (en) * 2007-01-29 2012-09-11 Intel Corporation Method and apparatus for video processing
JP5170086B2 (ja) * 2007-04-10 2013-03-27 富士通セミコンダクター株式会社 リーク電流検出回路、ボディバイアス制御回路、半導体装置及び半導体装置の試験方法
JP2008263088A (ja) * 2007-04-12 2008-10-30 Rohm Co Ltd 半導体装置
KR101801538B1 (ko) 2009-10-16 2017-11-27 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 논리 회로 및 반도체 장치
US20100321094A1 (en) * 2010-08-29 2010-12-23 Hao Luo Method and circuit implementation for reducing the parameter fluctuations in integrated circuits
TWI528723B (zh) 2013-12-27 2016-04-01 財團法人工業技術研究院 應用特徵化路徑電路的動態調整電路及產生特徵化路徑電路的方法
KR102211167B1 (ko) * 2014-08-14 2021-02-02 삼성전자주식회사 바디 바이어스 전압 생성기 및 이를 포함하는 시스템-온-칩
WO2017189124A1 (en) * 2016-04-29 2017-11-02 Stc. Unm Wafer level gate modulation enhanced detectors
US20200310482A1 (en) * 2019-03-28 2020-10-01 University Of Utah Research Foundation Voltage references and design thereof

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5397934A (en) 1993-04-05 1995-03-14 National Semiconductor Corporation Apparatus and method for adjusting the threshold voltage of MOS transistors
JP3379050B2 (ja) * 1993-11-15 2003-02-17 富士通株式会社 半導体装置
US5689209A (en) * 1994-12-30 1997-11-18 Siliconix Incorporated Low-side bidirectional battery disconnect switch
US5814845A (en) 1995-01-10 1998-09-29 Carnegie Mellon University Four rail circuit architecture for ultra-low power and voltage CMOS circuit design
DE69632098T2 (de) * 1995-04-21 2005-03-24 Nippon Telegraph And Telephone Corp. MOSFET Schaltung und ihre Anwendung in einer CMOS Logikschaltung
JP3629308B2 (ja) * 1995-08-29 2005-03-16 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置およびその試験方法
JP3614546B2 (ja) * 1995-12-27 2005-01-26 富士通株式会社 半導体集積回路
US5917365A (en) 1996-04-19 1999-06-29 Texas Instruments Incorporated Optimizing the operating characteristics of a CMOS integrated circuit
US5811857A (en) * 1996-10-22 1998-09-22 International Business Machines Corporation Silicon-on-insulator body-coupled gated diode for electrostatic discharge (ESD) and analog applications
US5939934A (en) 1996-12-03 1999-08-17 Stmicroelectronics, Inc. Integrated circuit passively biasing transistor effective threshold voltage and related methods
US5929695A (en) 1997-06-02 1999-07-27 Stmicroelectronics, Inc. Integrated circuit having selective bias of transistors for low voltage and low standby current and related methods
JPH1187727A (ja) * 1997-09-12 1999-03-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
US6628159B2 (en) * 1999-09-17 2003-09-30 International Business Machines Corporation SOI voltage-tolerant body-coupled pass transistor
US6404269B1 (en) * 1999-09-17 2002-06-11 International Business Machines Corporation Low power SOI ESD buffer driver networks having dynamic threshold MOSFETS

Also Published As

Publication number Publication date
US20020171468A1 (en) 2002-11-21
TW550792B (en) 2003-09-01
US6605981B2 (en) 2003-08-12
JP2003008428A (ja) 2003-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3661792B2 (ja) 超低電圧論理回路にバイアスをかけるための装置
KR100288818B1 (ko) 반도체 집적회로
US6468848B1 (en) Method of fabricating electrically isolated double gated transistor
US20080088359A1 (en) Eased gate voltage restriction via body-bias voltage governor
US6741098B2 (en) High speed semiconductor circuit having low power consumption
US6535034B1 (en) High performance integrated circuit devices adaptable to use lower supply voltages with smaller device geometries
JPH11102229A (ja) 低電圧及び低スタンバイ電流用トランジスタの選択的バイアスを有する集積回路及び関連方法
WO2003098368A1 (en) Reference circuit
JP3686174B2 (ja) 半導体集積回路装置
US6624687B1 (en) Method and structure for supply gated electronic components
KR20010100940A (ko) Cmos 반도체 집적회로
JPH035693B2 (ja)
US6963191B1 (en) Self-starting reference circuit
US6552601B1 (en) Method for supply gating low power electronic devices
JP2002026720A (ja) 低消費電力回路
JPH0653496A (ja) 半導体装置
US6850094B2 (en) Semiconductor integrated circuit having a plurality of threshold voltages
JPH04273716A (ja) アナログスイッチ
JPH1028045A (ja) Mosトランジスタ回路
US6426673B2 (en) High performance integrated radio frequency circuit devices
US7782124B2 (en) Voltage supply circuit of semiconductor device
JP3272272B2 (ja) 半導体集積回路の製造方法
JPS6232722A (ja) プツシユプル出力回路
JPH1145946A (ja) 半導体集積回路
KR0127269B1 (ko) 밴드갭 차이를 이용한 상보형 모스트랜지스터

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041026

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041109

RD12 Notification of acceptance of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432

Effective date: 20041124

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20041124

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050204

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050308

RD14 Notification of resignation of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434

Effective date: 20050308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050315

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees