JPH11102229A - 低電圧及び低スタンバイ電流用トランジスタの選択的バイアスを有する集積回路及び関連方法 - Google Patents

低電圧及び低スタンバイ電流用トランジスタの選択的バイアスを有する集積回路及び関連方法

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JPH11102229A
JPH11102229A JP10153157A JP15315798A JPH11102229A JP H11102229 A JPH11102229 A JP H11102229A JP 10153157 A JP10153157 A JP 10153157A JP 15315798 A JP15315798 A JP 15315798A JP H11102229 A JPH11102229 A JP H11102229A
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mosfets
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Tsui Chiu Chan
チュー チャン ツィウ
Pervez H Sagarwala
エイチ. サガルワラ ペルベッツ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路における供給電圧及びスタンバイ電
流を減少させることを可能とした技術を提供する。 【解決手段】 本発明集積回路は基板上に複数個のMO
SFETを有している。該複数個のMOSFETは第一
導電型の少なくとも1個のMOSFETと第二導電型の
少なくとも1個のMOSFETとを包含している。各M
OSFETは初期的スレッシュホールド電圧を有してい
る。該集積回路は、更に、第一及び第二バイアス回路を
有しており、それらは該複数個のMOSFETの対応す
る導電型の選択したウエルのみを選択的にバイアスさ
せ、その初期的スレッシュホールド電圧の絶対値よりも
低い該選択したMOSFETのみの実効スレッシュホー
ルド電圧の絶対値を発生し、その際に該集積回路の高ス
タンバイ電流を禁止させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体技術に関する
ものであって、更に詳細には、複数個の金属−酸化物−
半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を有する
集積回路及びそれに関連する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】集積回路は多くのエレクトロニクス装置
において広く使用されている。典型的に比較的込み入っ
た集積回路は、基板上に数十万個又は百万個のトランジ
スタを有している場合がある。集積回路において一般的
に使用されている一つのタイプのトランジスタは金属−
酸化物−半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)
である。MOSFETはチャンネルによって接続される
ソース領域とドレイン領域とを有している。ゲートがチ
ャンネルの上方に存在しており且つ例えば、典型的に
は、二酸化シリコン(SiO2)によって与えられる絶
縁層によってチャンネルから離隔されている。ゲート電
極へ印加される制御電圧がソースとドレインとの間のチ
ャンネルを介しての電荷キャリヤの流れを制御する。
【0003】デプリションモードMOSFETはゲート
に電圧が印加されていない場合にゲートの下側において
ドープされているか又は導通状態のチャンネルを有して
いる。それと対比して、エンハンスメントモードMOS
FETは、導通チャンネルとして機能するために反転層
を形成すべくゲート対ソースバイアス電圧を印加するこ
とを必要とする。この電圧はスレッシュホールド電圧V
tである。NチャンネルエンハンスメントモードMOS
FETの場合には、ゲートとソースとの間に正の電圧を
印加することによりチャンネルが誘起される。従って、
ゲート対ソース電圧がスレッシュホールド電圧Vtを超
える場合にのみ電流が流れる。同様に、Pチャンネルエ
ンハンスメントモードMOSFETの場合には、ゲート
対ソース電圧が負のスレッシュホールド電圧よりも負で
ある場合に電流が流れる。
【0004】エンハンスメントモードMOSFETのス
レッシュホールド電圧は、多数のファクタによって決定
され、例えばチャンネル長、チャンネル幅、ドーピン
グ、ゲート酸化膜厚さ、バックゲートバイアスなどがあ
る。例えば雰囲気温度などの外因的ファクタもスレッシ
ュホールド電圧に影響を与える。Vt値が所望の供給電
圧に対し低すぎる場合には、供給電圧が所望の供給電圧
よりも大きい場合には、そのトランジスタは許容不可能
なリーク電流を有する場合がある。逆に、Vtが比較的
高く選択される場合には、トランジスタが完全にスイッ
チオンしない蓋然性がある。最近の半導体製造プロセス
は制御することが可能なものであるが、生産毎に集積回
路ダイに関してVt値の広がりが未だに存在している。
【0005】例えば再充電可能なバッテリによって駆動
される携帯電話やページャなどの場合に電力消費を減少
させるためにMOSFET集積回路に対してより低い供
給電圧を使用することが望ましい場合がある。供給電圧
に拘らずに処理変動に基づくスレッシュホールド電圧の
広がりはほぼ同一であるので、Vtは供給電圧が減少さ
れるに従いより大きな割合を占めるようになる。供給電
圧が減少されると、Vtに関する制御及びトランジスタ
に対してのその広がりはよりクリチカル即ち臨界的なも
のとなる。供給電圧が約1V以下に減少されると、Vt
が正確に制御されない場合には、より少ない数の集積回
路が受入れ可能なものとなり、製造歩留りが低下する場
合がある。例えば、アナログ回路は特にVtにおける変
動によって影響を受ける可能性がある。
【0006】例えば、米国特許第4,142,114号
(Green)は、共通基板上における複数個のMOS
FETに対するVtの規制について記載しており、その
場合に、指定したエンハンスメントモードFETのVt
が基準電圧より降下する場合に選択的に動作されるチャ
ージポンプを使用して基板上のバックバイアスを調節す
ることによってVtを規制している。分圧器が該基準電
圧を供給しており、それは指定したエンハンスメントモ
ードMOSFETのゲートへ印加され、該MOSFET
は、ターンオンされると、チャージポンプをイネーブル
即ち動作可能状態とさせる。指定したエンハンスメント
モードMOSFETのVtはそのゲートへ基準電圧を印
加させることによって検知される。チャージポンプは基
板上のMOSFETのVtを基準電圧の所定範囲内へ上
昇させる。換言すると、上記特許は、いわゆる負バック
ゲートバイアスの一例を開示しており、その場合に、ト
ランジスタのVtを上昇させている。しかしながら、V
tを上昇させることは使用可能な電圧範囲を減少させ且
つより低い供給電圧で動作させることを阻止する。更
に、検知及びチャージポンプ回路コンポーネントは制御
されるべき変数であるVtを有するMOSFETを包含
している。更に、高い実効的スレッシュホールド電圧は
MOSFETの比較的薄いゲート酸化物層に対して損傷
を発生させる場合がある。
【0007】米国特許第5,397,934号(Mer
rill et al.)は集積回路ダイ上の複数個の
MOSFETのスレッシュホールド電圧に対する補償回
路について記載している。特に、該回路の一部は基準電
圧を発生する。スレッシュホールド電圧モニタ回路は第
二電圧信号を発生するために直列接続されているMOS
FETトランジスタと抵抗とを包含している。フィード
バック回路が基準電圧を第二電圧信号と比較し且つ基準
電圧が実質的に第二電圧信号と等しいようにMOSトラ
ンジスタの実効的スレッシュホールド電圧を調節する。
上述したように、該補償回路はそれ自身がスレッシュホ
ールド電圧における変動の影響を受ける装置を包含して
いる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の点に
鑑みなされたものであって、上述した如き従来技術の欠
点を解消し、複数個のMOSFETを有する改良した集
積回路及びその関連方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、比較的
低い電源電圧での動作を容易とさせるために正確に補償
した実効スレッシュホールド電圧を有する金属−酸化物
−半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を有す
る集積回路が提供される。本発明は、更に、選択的に補
償した実効スレッシュホールド電圧を有しておりそれに
より高スタンバイ電流を禁止させたMOSFETを有す
る集積回路を提供している。本発明は、更に、回路性能
又は条件を妥協することなしに低い電源電圧を有する集
積回路を提供している。本発明は、更に、短期間の間使
用するために選択的にターンオン即ちパワーアップさせ
次いでターンオフさせることの可能な部分を具備する集
積回路を提供している。
【0010】本発明によれば、基板と該基板上に設けた
複数個のMOSFETとを有する集積回路が提供され
る。該複数個のMOSFETは、好適には、第一導電型
を有する少なくとも1個のMOSFETを包含してい
る。該複数個のMOSFETの各MOSFETは初期的
スレッシュホールド電圧を有している。本集積回路は、
更に、好適には、該第一導電型の少なくとも1個のMO
SFETへ接続している選択的ウエルバイアス手段を有
しており、該少なくとも1個のMOSFETのウエルの
みを選択的にバイアスさせてその初期的スレッシュホー
ルド電圧の絶対値よりも低い前記選択したMOSFET
のみの実効スレッシュホールド電圧の絶対値を発生させ
る。
【0011】本発明の集積回路のその他の実施例におい
ては、該複数個のMOSFETが、好適には、第一導電
型の少なくとも1個のMOSFETと第二導電型の少な
くとも1個のMOSFETとを包含している。該複数個
のMOSFETの各MOSFETは初期的スレッシュホ
ールド電圧を有している。本集積回路は、更に、好適に
は、該複数個のMOSFETへ接続している選択的ウエ
ルバイアス手段を有しており、該複数個のMOSFET
の選択したウエルのみを選択的にバイアスさせてその初
期的スレッシュホールド電圧の絶対値より低い前記選択
したMOSFETのみの実効的スレッシュホールド電圧
の絶対値を発生させその際に高スタンバイ電流を禁止さ
せる。
【0012】本発明の別の側面によれば、該選択的ウエ
ルバイアス手段が、好適には、同一の導電型を有する該
複数個のMOSFETのウエルを分離させるためのウエ
ル分離手段を有しており、従って該選択したウエルのみ
のバイアスが選択したMOSFETのみの実効スレッシ
ュホールド電圧を減少させる。該複数個のMOSFET
は、初期的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対
値の広がりを有している。該選択的ウエルバイアス手段
は、好適には、該選択したMOSFETのみを選択的に
バイアスさせ、従って該選択したMOSFETの実効的
スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値の広がり
は該選択したMOSFETの初期的スレッシュホールド
電圧の低い絶対値以下の高い実効的スレッシュホールド
電圧を有している。該選択的ウエルバイアス手段は、好
適には、第一導電型を有する第一MOSFET、第二導
電型を有する第二MOSFET、該第一及び第二MOS
FETへ接続しており且つ直列接続されている複数個の
ダイオードによって与えられる。
【0013】本発明に基づく集積回路の活性動作期間
中、例えば、Nチャンネル及びPチャンネルMOSFE
Tの順方向バックゲートバイアスが効果的にスレッシュ
ホールド電圧を減少させる。このことはより低い供給電
圧を容易に受付けることを可能とする。更に、より低い
実効スレッシュホールド電圧は、又、より低い電圧での
動作を可能とし、そのことは、より薄いゲート酸化物層
とすることを可能とし、ゲート酸化膜を損傷する蓋然性
を減少させる。より薄いゲート酸化膜は、更に、例え
ば、より高い動作速度とすることを可能とする。
【0014】本発明は、更に、集積回路の製造及び動作
方法を提供している。集積回路を製造し且つ動作させる
方法は、好適には、基板を用意し且つ該基板上に複数個
のMOSFETを形成することを包含している。該複数
個のMOSFETは第一導電型を有する少なくとも1個
のMOSFETと第二導電型を有する少なくとも1個の
MOSFETとを包含している。該複数個のMOSFE
Tの各MOSFETは初期的スレッシュホールド電圧を
有している。本方法は、更に、該複数個のMOSFET
の選択したウエルのみを選択的にバイアスさせてその初
期的スレッシュホールド電圧の絶対値より低い該選択し
たMOSFETのみの実効的スレッシュホールド電圧の
絶対値を発生させその際に高スタンバイ電流を禁止させ
ることを包含している。
【0015】本発明に基づく集積回路の動作方法は、好
適には、集積回路の複数個のMOSFETのうちの1個
のMOSFETの選択したウエルのみを選択的にバイア
スさせることを包含している。該複数個のMOSFET
の各々は初期的スレッシュホールド電圧を有している。
該選択的バイアス動作は、その初期的スレッシュホール
ド電圧の絶対値よりも低い該選択したMOSFETのみ
の実効スレッシュホールド電圧の絶対値を効果的に発生
させて該集積回路に対する高スタンバイ電流を禁止させ
る。本方法は、更に、前記複数個のMOSFETへ約1
V未満の供給電圧を供給することを包含することが可能
である。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適実施例を示し
た添付の図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
しかしながら、本発明は、多数の異なる形態で実現する
ことが可能なものであり、本発明は本明細書に記載した
図示例に制限されるべきものではない。これらの実施例
は本発明の開示を完全且つ十分なものとするために提供
されるものであって、当業者にとって本発明の技術的範
囲の理解を助けるために提供されるものである。尚、図
面中において同様の参照番号は同様の構成要素を示すも
のである。
【0017】図1は本発明に基づく集積回路10を示し
ている。集積回路10は基板11と該基板11上に形成
した複数個のエンハンスメントモード金属−酸化物−半
導体電界効果トランジスタ(MOSFET)12,13
を有している。図示した集積回路10は相補的金属−酸
化物−半導体(CMOS)回路におけるPチャンネルM
OSFET13とNチャンネルMOSFET12の両方
を包含している。従って、複数個のMOSFET12,
13は、好適には、第一導電型を有する少なくとも1個
のMOSFET12を有すると共に、第二導電型を有す
る少なくとも1個のMOSFET13を有している。
【0018】該複数個のMOSFET12,13の各M
OSFETは、少なくとも部分的には、設計パラメータ
及び処理変動に依存する初期的スレッシュホールド電圧
VtINIを有している。複数個のMOSFET12,1
3は、更に、約1Vより低い供給電圧VDDから動作可能
である。関連する集積回路は1997年12月3日付で
出願された同時係属中の米国特許出願第08/758,
933号、1997年12月3日付で出願した同時係属
中の米国特許出願第08/770,548号、1997
年12月3日付で出願した米国特許出願第08/75
8,930号において示されており、これらの特許出願
は全て本願出願人に譲渡されておりそれらは引用によっ
て本明細書に取込む。
【0019】本発明の集積回路10は、更に、少なくと
も1個のMOSFET12へ接続している選択的ウエル
バイアス手段20を有しており、該選択的ウエルバイア
ス手段20は、少なくとも1個のNチャンネルMOSF
ET12(図3参照)のPウエル即ちPタブ又は少なく
とも1個のPチャンネルMOSFET13(図2参照)
のNウエル即ちNタブのみを選択的にバイアスさせてそ
の初期的スレッシュホールド電圧VtINIの絶対値より
も低い選択したMOSFET12,13のみの実効スレ
ッシュホールド電圧VtEFFの絶対値を発生する。
【0020】複数個のMOSFET12,13は初期的
スレッシュホールド電圧VtINIの低から高への絶対値
の広がりを有している。選択的ウエルバイアス手段20
は、好適には、選択したMOSFET12,13のみを
バイアスさせ、従って選択したMOSFET12,13
の実効スレッシュホールド電圧VtEFFの低から高への
絶対値の広がりは選択したMOSFET12,13の初
期的スレッシュホールド電圧VtINIの低い絶対値以下
の高い実効スレッシュホールド電圧VtEFFを有してい
る。
【0021】本発明の別の側面によれば、選択的ウエル
バイアス手段20は、好適には、同一の導電型を有する
複数個のMOSFET12,13のウエル即ちタブを分
離させるためのウエル分離手段25を有しており、従っ
て該選択したウエルのみのバイアス動作が選択したMO
SFET12,13のみの実効スレッシュホールド電圧
を減少させる。ウエル分離手段25は、好適には、当業
者によって理解されるように同一の基板11を使用する
複数個のMOSFET12,13のトリプルウエル形態
によって与えられる。例えば、トリプルウエル形態の場
合には、基板11がP型基板である場合には、そのP型
基板内に、例えば、イオン注入によってNウエルを形成
することが可能である。第一Pウエルは、該P型基板内
に例えばイオン注入によって形成することが可能であ
る。次いで第二Pウエルを該Nウエル内に形成すること
が可能であり、従って第一及び第二Pウエル及びNウエ
ルがトリプルウエル形態を画定する。当業者によって理
解されるように、例えばN型基板の場合には導電型を交
換させることが可能である。
【0022】次いで、MOSFET12,13及び集積
回路10の関連する回路を同一の基板11上に形成する
ことが可能であり、例えばPチャンネルMOSFETを
Nウエル内に形成し且つNチャンネルMOSFETを第
一又は第二Pウエル内に形成し、且つ別々にバイアスさ
せることが可能である。これは、例えば、MOSFET
12,13の特定の即ち選択したウエル即ちタブのみを
選択した時間において順方向バイアスさせることを可能
とし、従ってMOSFET12,13の全てのスレッシ
ュホールド電圧Vtが同時的に減少されるものではな
く、その代わりに選択的に減少される。この形態は効果
的に低スタンバイ電流を発生させ又はサブスレッシュホ
ールド即ちスレッシュホールド以下のリークに起因する
高スタンバイ電流を禁止させる。
【0023】図2−3に最もよく示されるように、選択
的ウエルバイアス手段20は、好適には、第一導電型を
有する例えばNチャンネルの第一MOSFET Q1
と、第二導電型を有する例えばPチャンネルの第二MO
SFET Q2と、第一及び第二MOSFET Q1,
Q2へ接続されており且つ直列接続されている複数個の
ダイオードD1,D2,D3とを有する第一導電型ウエ
ルバイアス手段によって与えられる(図2参照)。第一
及び第二MOSFET Q1,Q2のゲートは当業者に
よって理解されるように共通接続されている。選択的ウ
エルバイアス手段20は、更に、第一導電型を有する例
えばNチャンネルの第三MOSFET Q3と、第二導
電型を有する例えばPチャンネルの第四MOSFET
Q4と、第三及び第四MOSFET Q3,Q4へ接続
されており且つ直列接続されている複数個のダイオード
D4,D5,D6とを有する第二導電型ウエルバイアス
手段によって与えられている(図3参照)。同様に、第
三及び第四MOSFET Q3,Q4のゲートも好適に
は当業者にとって明らかなように共通接続されている。
【0024】図2に示したようにNウエルバイアスを与
えるために、該複数個のダイオードは、好適には、少な
くとも3個のダイオードD1,D2,D3である。第一
ダイオードD1は、好適には、供給電圧VDDへ接続され
ると共に第二MOSFETQ2のソース及びドレインへ
接続しており、即ち、図示したように、アノードがドレ
インへ且つカソードがソースへ接続している。第二及び
第三ダイオードD2,D3は、好適には、第一ダイオー
ドD1へ直列接続しており且つ第一MOSFET Q1
のドレインのみへ接続している。即ち、第二ダイオード
D2のアノードは第二MOSFET Q2のドレインへ
接続しており、第二ダイオードD2のカソードは第三ダ
イオードD3のアノードへ接続しており、且つ第三ダイ
オードD3のカソードは第一MOSFET Q1のドレ
インへ接続している。第一MOSFET Q1のソース
は、好適には、接地VSSへ接続している。当業者によっ
て理解されるように、集積回路10において集積化させ
たダイオードを使用することは、モノリシック回路構成
体を形成する半導体接合のうちの何れか一つをダイオー
ドとして使用することを可能とする。
【0025】動作について説明すると、Nウエルは、通
常、供給電圧VDDへ接続する。トランジスタQ1,Q2
に対するゲート電圧が0Vである場合には、第一Nチャ
ンネルMOSFET Q1がターンオフされ且つ第二P
チャンネルMOSFET Q2がターンオンされる。ゲ
ート電圧が供給電圧VDD又は1Vである場合には、第一
NチャンネルMOSFET Q1がターンオンされ且つ
第二PチャンネルMOSFET Q2がターンオフされ
る。複数個のダイオードD1,D2,D3の各々は、そ
れぞれ、供給電圧VDDから第一NチャンネルMOSFE
T Q1にかけて電圧降下を発生させる。例えば、ダイ
オードD1,D2,D3の各々が等しい値を有している
場合には、該ダイオードの各々を横断しての電圧降下は
1Vの供給電圧の約3分の1であり、従って第一MOS
FET Q1のドレインにおける電圧は約0Vである。
このことは、更に、設計目標を達成するために、ダイオ
ードD1,D2,D3の値をそれぞれ柔軟性をもって調
節することが可能であることを示している。このこと
は、更に、単に2個のダイオード又は3個を超えた数の
ダイオードを本発明に基づく集積回路10のこの部分に
対して使用することが可能であることも示している。
【0026】図3に示したようにPウエルバイアスを与
えるために、該複数個のダイオードは、好適には、少な
くとも3個のダイオードD4,D5,D6である。第四
及び第五ダイオードD4,D5は第四MOSFET Q
4のドレインのみに直列接続されており、即ち第四ダイ
オードD4のアノードが第四MOSFET Q4のドレ
インへ接続しており、第四ダイオードD4のカソードが
第五ダイオードD5のアノードへ接続しており、第五ダ
イオードD5のカソードが第三MOSFETQ3のドレ
インへ接続している。第四MOSFET Q4のソース
は、好適には、供給電圧VDDへ接続している。第六ダイ
オードD6は第三MOSFET Q3のドレイン及びソ
ースへ接続しており、即ちそのアノードは第五ダイオー
ドD5のカソードへ接続すると共に第三MOSFET
Q3のドレインへ接続しており且つそのカソードは第三
MOSFET Q3のソースへ接続している。第三MO
SFET Q3のソースは、更に、接地VSSへ接続して
いる。
【0027】動作について説明すると、Pウエルは、通
常、VSSにおける電圧へ接続される。トランジスタQ
3,Q4に対するゲート電圧が供給電圧VDDであるか又
は1Vであると、第三NチャンネルMOSFET Q3
がターンオンされ且つ第四PチャンネルMOSFET
Q4がターンオフされる。ゲート電圧が0Vである場合
には、第三NチャンネルMOSFET Q3がターンオ
フされ且つ第四PチャンネルMOSFET Q4がター
ンオンされる。複数個のダイオードD4,D5,D6
は、各々、それぞれ、VSSにおける電圧から第四MOS
FET Q4へかけて電圧降下を発生させる。例えば、
ダイオードD4,D5,D6の各々が等しい値を有して
いる場合には、これらのダイオードの各々を横断しての
電圧降下は1V供給電圧の約3分の1であり、従って第
四MOSFET Q4のドレインにおける電圧は約VDD
即ち1Vである。同様に、このことは、設計目標を達成
するために、ダイオードD4,D5,D6の値をそれぞ
れ柔軟性をもって調節することが可能であることを示し
ており、且つ本発明に基づいて単に二つのダイオードの
み又は3個を超える数のダイオードを使用することが可
能であることを示している。
【0028】当業者によって容易に理解されるように、
本発明の選択的ウエルバイアス構成は、Nチャンネル又
はPチャンネルのみのMOSFETを包含する集積回路
に対して設けることが可能である。更に、該選択的ウエ
ルバイアス構成は、両方の型のトランジスタが集積回路
内に設けられている場合に、Nチャンネル又はPチャン
ネルのMOSFETのうちの一方又は他方に関して必要
とされるに過ぎない場合がある。例えば、VtEFFを低
下させ且つスタンバイ電流を低下させるための選択的な
ウエルバイアス動作は、PチャンネルMOSFETも設
けられている場合であってもNチャンネルMOSFET
のみについて使用することが可能である。本発明の集積
回路10は、例えば1乃至2秒の短い時間期間の間使用
するために選択的にターンオン即ちパワーアップさせ、
次いでターンオフさせることが可能である部分を具備す
る集積回路10を提供することが可能である。
【0029】実効スレッシュホールド電圧VtEFFは、
所望のウエルのバイアス電圧に依存して直列して3個を
超える数のダイオードを付加することによって決定又は
選択することが可能である。又、ダイオードの寸法は、
所望のウエルのバイアス電圧の精細な調節を行うために
異なるものとすることが可能である。活性動作期間中、
当業者によって理解されるように、Nチャンネル及びP
チャンネルMOSFETの順方向バックゲートバイアス
は不利益ではなく、スレッシュホールド電圧を減少させ
ることを可能とするという利点を与える。このことは、
供給電圧VDDを容易に低下させることを可能とする。更
に、より低い実効スレッシュホールド電圧VtEFFはよ
り低い供給電圧VDDにおいて動作することを可能とし、
そのことはゲート酸化物層をより薄くすることを可能と
し、一方ゲート酸化膜の損傷が発生する蓋然性を減少さ
せる。より薄いゲート酸化膜は、例えば、より速い動作
速度とすることを可能とする。
【0030】図1−3に示したように且つ上述したよう
に、本発明は、更に、集積回路10を製造し且つ動作す
る方法を提供している。集積回路10を製造し且つ動作
する方法は、好適には、基板11を用意し、且つ基板1
1上に複数個のMOSFET12,13を形成すること
を包含している。これらのMOSFET12,13は当
業者によって理解されるように従来の半導体製造技術に
よって形成する。複数個のMOSFET12,13は第
一導電型を有する少なくとも1個のMOSFETと第二
導電型を有する少なくとも1個のMOSFETとを包含
している。該複数個のMOSFET12,13の各MO
SFETは初期的スレッシュホールド電圧VtINIを有
している。本方法は、更に、該複数個のMOSFET1
2,13の選択したウエルのみを選択的にバイアスさせ
てその初期的スレッシュホールド電圧VtINIの絶対値
より低い選択したMOSFETのみの実効スレッシュホ
ールド電圧VtEFFの絶対値を発生させ且つその際に高
スタンバイ電流を禁止させる。
【0031】本方法は、更に、同一の導電型を有する該
複数個のMOSFET12,13のウエルを分離させる
ことを包含することが可能であり、従って選択したウエ
ルのみのバイアス動作が選択したMOSFETのみの実
効スレッシュホールド電圧VtEFFを減少させる。該複
数個のMOSFET12,13は、好適には、初期的ス
レッシュホールド電圧の低から高への絶対値の広がりを
有している。該選択的バイアスステップは、好適には、
選択したMOSFETのみを選択的にバイアスさせるこ
とを包含しており、従って該選択したMOSFETの実
効スレッシュホールド電圧VtEFFの低から高への絶対
値の広がりは該選択したMOSFETの初期的スレッシ
ュホールド電圧VtINIの低い絶対値以下の高い実効ス
レッシュホールド電圧を有している。該選択的バイアス
ステップは、更に、第一導電型を有する少なくとも1個
のMOSFETのウエルをバイアスさせ且つ第二導電型
を有する少なくとも1個のMOSFETのウエルをバイ
アスさせることを包含することが可能である。
【0032】本方法は、更に、第一導電型を有する第一
MOSFET Q1と、第二導電型を有する第二MOS
FET Q2と、第一及び第二MOSFET Q1,Q
2へ接続されており且つ直列接続されている複数個のダ
イオードD1,D2,D3とを形成することを包含する
ことが可能である。該複数個のダイオードは、好適に
は、第一複数個のダイオードD1,D2,D3を形成
し、且つ本方法は、更に、第一導電型を有する第三MO
SFETQ3と、第二導電型を有する第四MOSFET
Q4と、第三及び第四MOSFET Q3,Q4へ接
続されており且つ直列されている第二複数個のダイオー
ドD4,D5,D6を形成することを包含している。上
述した如く、複数個のMOSFET12,13は約1V
より低い供給電圧で動作させることが可能である。
【0033】本発明に基づく集積回路10の動作方法
は、好適には、集積回路10の複数個のMOSFET1
2,13のうちの1個のMOSFETの選択したウエル
のみを選択的にバイアスさせることを包含している。該
複数個のMOSFET12,13の各々は初期的スレッ
シュホールド電圧VtINIを有している。該選択的バイ
アス動作は、その初期的スレッシュホールド電圧Vt
INIの絶対値よりも低い選択したMOSFETのみの実
効スレッシュホールド電圧VtEFFの絶対値を発生させ
て、集積回路10に対する高スタンバイ電流を禁止させ
る。本方法は、更に、複数個のMOSFET12,13
へ約1Vより低い供給電圧VDDを供給することを包含し
ている。複数個のMOSFET12,13は初期的スレ
ッシュホールド電圧VtINIの低から高への絶対値の広
がりを有している。該選択的バイアスステップは、好適
には、該選択したMOSFETのみを選択的にバイアス
することを包含しており、従って該選択したMOSFE
Tの実効スレッシュホールド電圧VtEFFの低から高へ
の絶対値の広がりは該選択したMOSFETの初期的ス
レッシュホールド電圧VtINIの低い絶対値以下の高い
実効スレッシュホールド電圧VtEFFを有している。
【0034】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ制限
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に基づく集積回路の一実施例を示した
概略図。
【図2】 本発明に基づく集積回路の一部を示した概略
回路図。
【図3】 本発明に基づく集積回路の別の部分を示した
概略回路図。
【符号の説明】
10 集積回路 11 基板 12,13 MOSFET 20 選択的ウエルバイアス手段 25 ウエル分離手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペルベッツ エイチ. サガルワラ アメリカ合衆国, テキサス 75052, グランド プレリー, ベント ツリー トレイル 4617

Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集積回路において、 基板、 前記基板上に設けられている複数個の金属−酸化物−半
    導体電界効果トランジスタ(MOSFET)であって、
    第一導電型を有する少なくとも1個のMOSFETと第
    二導電型を有する少なくとも1個のMOSFETとを包
    含しており各MOSFETが初期的なスレッシュホール
    ド電圧を具備している複数個のMOSFET、 前記複数個のMOSFETの選択したウエルのみを選択
    的にバイアスするために前記複数個のMOSFETへ接
    続している選択的ウエルバイアス手段であって、その初
    期的なスレッシュホールド電圧の絶対値よりも低い前記
    選択したMOSFETのみの実効的スレッシュホールド
    電圧の絶対値を発生させその際に高スタンバイ電流を禁
    止させる選択的ウエルバイアス手段、を有することを特
    徴とする集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記選択的ウエルバ
    イアス手段が、同一の導電型を有する前記複数個のMO
    SFETのウエルを分離させるためのウエル分離手段を
    有しており、従って前記選択したウエルのみのバイアス
    が選択したMOSFETのみの実効的スレッシュホール
    ド電圧を減少させることを特徴とする集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記複数個のMOS
    FETが初期的スレッシュホールド電圧の低から高への
    絶対値の広がりを有しており、且つ前記選択的ウエルバ
    イアス手段が、前記選択したMOSFETのみを選択的
    にバイアスさせ、従って前記選択したMOSFETの実
    効的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値の広
    がりが前記選択したMOSFETの初期的スレッシュホ
    ールド電圧の前記低い絶対値以下の高い実効的スレッシ
    ュホールド電圧を有していることを特徴とする集積回
    路。
  4. 【請求項4】 請求項2において、前記選択的ウエルバ
    イアス手段が、更に、前記第一導電型の少なくとも一つ
    のMOSFETのウエルをバイアスするための第一導電
    型ウエルバイアス手段と、前記第二導電型を有する少な
    くとも一つのMOSFETのウエルをバイアスする第二
    導電型ウエルバイアス手段とを有していることを特徴と
    する集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項4において、前記第一導電型ウエ
    ルバイアス手段及び前記第二導電型ウエルバイアス手段
    の各々が、第一導電型を有する第一MOSFETと、第
    二導電型を有する第二MOSFETと、前記第一及び第
    二MOSFETへ接続されており且つ直列接続されてい
    る複数個のダイオードとを有していることを特徴とする
    集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項5において、前記第一導電型ウエ
    ルバイアス手段の前記複数個のダイオードが少なくとも
    3個のダイオードを有しており、第一ダイオードが前記
    第二MOSFETのソース及びドレインへ接続しており
    且つ第二及び第三ダイオードが前記第一MOSFETの
    ドレインのみに直列接続されていることを特徴とする集
    積回路。
  7. 【請求項7】 請求項5において、前記第二導電型ウエ
    ルバイアス手段の前記複数個のダイオードが少なくとも
    3個のダイオードを有しており、第一及び第二ダイオー
    ドが前記第二MOSFETのドレインのみに直列接続さ
    れており且つ第三ダイオードが前記第一MOSFETの
    ドレイン及びソースへ接続していることを特徴とする集
    積回路。
  8. 【請求項8】 請求項1において、前記複数個のMOS
    FETが約1V未満の供給電圧から動作可能であること
    を特徴とする集積回路。
  9. 【請求項9】 請求項1において、前記複数個のMOS
    FETの各々がエンハンスメントモードMOSFETを
    有していることを特徴とする集積回路。
  10. 【請求項10】 集積回路において、 基板、 前記基板上に設けられている複数個の金属−酸化物−半
    導体電界効果トランジスタ(MOSFET)であって、
    第一導電型を有する少なくとも1個のMOSFETを有
    しており、各MOSFETが初期的スレッシュホールド
    電圧を有している複数個のMOSFET、 第一導電型を有する少なくとも一つのMOSFETのウ
    エルのみを選択的にバイアスさせるために前記少なくと
    も一つのMOSFETへ接続されている選択的ウエルバ
    イアス手段であって、その初期的スレッシュホールド電
    圧の絶対値よりも低い前記選択したMOSFETのみの
    実効的スレッシュホールド電圧の絶対値を発生させる選
    択的ウエルバイアス手段、を有することを特徴とする集
    積回路。
  11. 【請求項11】 請求項10において、前記選択的ウエ
    ルバイアス手段が、同一の導電型を有する前記複数個の
    MOSFETのウエルを分離させるためのウエル分離手
    段を有しており、従って前記選択したウエルのみのバイ
    アスが選択したMOSFETのみの実効スレッシュホー
    ルド電圧を減少させることを特徴とする集積回路。
  12. 【請求項12】 請求項11において、前記複数個のM
    OSFETが初期的スレッシュホールド電圧の低から高
    への絶対値の広がりを有しており、且つ前記選択的ウエ
    ルバイアス手段が前記選択したMOSFETのみを選択
    的にバイアスさせ、従って前記選択したMOSFETの
    実効的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値の
    広がりが前記選択したMOSFETの初期的スレッシュ
    ホールド電圧の低い絶対値以下の高い実効スレッシュホ
    ールド電圧を有していることを特徴とする集積回路。
  13. 【請求項13】 請求項12において、前記選択的ウエ
    ルバイアス手段が、更に、第一導電型を有する第一MO
    SFETと、第二導電型を有する第二MOSFETと、
    前記第一及び第二MOSFETへ接続されており且つ直
    列接続されている複数個のダイオードとを有することを
    特徴とする集積回路。
  14. 【請求項14】 請求項13において、前記複数個のダ
    イオードが少なくとも3個のダイオードを有しており、
    第一ダイオードが前記第二MOSFETのソース及びド
    レインへ接続しており且つ第二及び第三ダイオードが前
    記第一MOSFETのドレインのみに直列接続されてい
    ることを特徴とする集積回路。
  15. 【請求項15】 請求項13において、前記複数個のダ
    イオードが少なくとも3個のダイオードを有しており、
    第一及び第二ダイオードが前記第二MOSFETのドレ
    インのみに直列接続しており且つ第三ダイオードが前記
    第一MOSFETのドレイン及びソースへ接続している
    ことを特徴とする集積回路。
  16. 【請求項16】 請求項13において、前記複数個のM
    OSFETが約1V未満の供給電圧から動作可能である
    ことを特徴とする集積回路。
  17. 【請求項17】 請求項13において、前記複数個のM
    OSFETの各々がエンハンスメントモードMOSFE
    Tを有していることを特徴とする集積回路。
  18. 【請求項18】 集積回路において、 基板、 前記基板上に設けられている複数個の金属−酸化物−半
    導体電界効果トランジスタ(MOSFET)であって、
    第一導電型を有する少なくとも1個のMOSFETと第
    二導電型を有する少なくとも1個のMOSFETとを有
    しており且つ各MOSFETが初期的スレッシュホール
    ド電圧を有している複数個のMOSFET、 前記複数個のMOSFETの選択したウエルのみを選択
    的にバイアスさせるために前記複数個のMOSFETへ
    接続されている選択的ウエルバイアス手段であって、そ
    の初期的スレッシュホールド電圧の絶対値より低い前記
    選択したMOSFETのみの実効的スレッシュホールド
    電圧の絶対値を発生させその際に高スタンバイ電流を禁
    止させ、前記第一導電型を有する少なくとも1個のMO
    SFETのウエルをバイアスさせる第一導電型ウエルバ
    イアス手段と前記第二導電型を有する少なくとも一つの
    MOSFETのウエルをバイアスさせる第二導電型ウエ
    ルバイアス手段とを具備する選択的ウエルバイアス手
    段、を有することを特徴とする集積回路。
  19. 【請求項19】 請求項18において、前記選択的ウエ
    ルバイアス手段が、更に、同一の導電型を有している前
    記複数個のMOSFETのウエルを分離させるためのウ
    エル分離手段を有しており、従って前記選択したウエル
    のみのバイアスが選択したMOSFETのみの実効スレ
    ッシュホールド電圧を減少させることを特徴とする集積
    回路。
  20. 【請求項20】 請求項19において、前記複数個のM
    OSFETが初期的スレッシュホールド電圧の低から高
    への絶対値の広がりを有しており、且つ前記選択的ウエ
    ルバイアス手段が前記選択したMOSFETのみを選択
    的にバイアスさせ、従って前記選択したMOSFETの
    実効的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値の
    広がりが前記選択したMOSFETの初期的スレッシュ
    ホールド電圧の低い絶対値以下の高い実効的スレッシュ
    ホールド電圧を有していることを特徴とする集積回路。
  21. 【請求項21】 請求項20において、前記第一導電型
    ウエルバイアス手段及び前記第二導電型ウエルバイアス
    手段の各々が第一導電型の第一MOSFETと、第二導
    電型の第二MOSFETと、前記第一及び第二MOSF
    ETへ接続されており且つ直列接続されている複数個の
    ダイオードとを有していることを特徴とする集積回路。
  22. 【請求項22】 請求項21において、前記第一導電型
    ウエルバイアス手段の前記複数個のダイオードが少なく
    とも3個のダイオードを有しており、第一ダイオードが
    前記第二MOSFETのソース及びドレインへ接続して
    おり且つ第二及び第三ダイオードが前記第一MOSFE
    Tのドレインのみに直列接続されていることを特徴とす
    る集積回路。
  23. 【請求項23】 請求項22において、前記第二導電型
    ウエルバイアス手段の前記複数個のダイオードが少なく
    とも3個のダイオードを有しており、第一及び第二ダイ
    オードが前記第二MOSFETのドレインのみに直列接
    続しており且つ第三ダイオードが前記第一MOSFET
    のドレイン及びソースへ接続していることを特徴とする
    集積回路。
  24. 【請求項24】 請求項23において、前記複数個のM
    OSFETが約1V未満の供給電圧から動作可能である
    ことを特徴とする集積回路。
  25. 【請求項25】 請求項24において、前記複数個のM
    OSFETの各々がエンハンスメントモードMOSFE
    Tを有していることを特徴とする集積回路。
  26. 【請求項26】 集積回路を製造し且つ動作させる方法
    において、 基板を用意し、 前記基板上に複数個の金属−酸化物−半導体電界効果ト
    ランジスタ(MOSFET)を形成し、前記複数個のM
    OSFETは第一導電型を有する少なくとも1個のMO
    SFETと第二導電型を有する少なくとも1個のMOS
    FETとを包含しており、各MOSFETは初期的スレ
    ッシュホールド電圧を有しており、 前記複数個のMOSFETの選択したウエルのみを選択
    的にバイアスさせてその初期的スレッシュホールド電圧
    の絶対値よりも低い前記選択したMOSFETのみの実
    効的スレッシュホールド電圧の絶対値を発生させその際
    に高スタンバイ電流を禁止させる、ことを特徴とする方
    法。
  27. 【請求項27】 請求項26において、更に、同一の導
    電型を有する前記複数個のMOSFETのウエルを分離
    させ、従って前記選択したウエルのみのバイアスが選択
    したMOSFETのみの実効的スレッシュホールド電圧
    を減少させることを特徴とする方法。
  28. 【請求項28】 請求項26において、前記複数個のM
    OSFETが初期的スレッシュホールド電圧の低から高
    への絶対値の広がりを有しており、且つ前記選択的バイ
    アスステップが、前記選択したMOSFETのみを選択
    的にバイアスさせ、従って前記選択したMOSFETの
    実効的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値の
    広がりが前記選択したMOSFETの初期的スレッシュ
    ホールド電圧の前記低い絶対値以下の高い実効的スレッ
    シュホールド電圧を有していることを特徴とする方法。
  29. 【請求項29】 請求項26において、前記選択的にバ
    イアスするステップが、第一導電型を有する少なくとも
    1個のMOSFETのウエルをバイアスさせ且つ第二導
    電型を有する少なくとも1個のMOSFETのウエルを
    バイアスさせることを特徴とする方法。
  30. 【請求項30】 請求項26において、更に、第一導電
    型を有する第一MOSFETと、第二導電型を有する第
    二MOSFETと、前記第一及び第二MOSFETへ接
    続しており且つ直列接続されている複数個のダイオード
    を形成することを特徴とする方法。
  31. 【請求項31】 請求項30において、前記複数個のダ
    イオードが第一複数個のダイオードを有しており、且つ
    本方法が、更に、第一導電型を有する第三MOSFET
    と、第二導電型を有する第四MOSFETと、第三及び
    第四MOSFETへ接続しており且つ直列接続している
    第二複数個のダイオードを形成することを特徴とする方
    法。
  32. 【請求項32】 請求項26において、更に、約1V未
    満の供給電圧で前記複数個のMOSFETを動作させる
    ことを特徴とする方法。
  33. 【請求項33】 各々が初期的スレッシュホールド電圧
    を有している集積回路の複数個の金属−酸化物−半導体
    電界効果トランジスタ(MOSFET)のうちの1個の
    MOSFETの選択したウエルのみを選択的にバイアス
    させてその際にその初期的スレッシュホールド電圧の絶
    対値未満の前記選択したMOSFETのみの実効スレッ
    シュホールド電圧の絶対値を発生させ前記集積回路に対
    する高スタンバイ電流を禁止させることを特徴とする方
    法。
  34. 【請求項34】 請求項33において、前記複数個のM
    OSFETが初期的スレッシュホールド電圧の低から高
    への絶対値の広がりを有しており、且つ前記選択的にバ
    イアスするステップが前記選択したMOSFETのみを
    選択的にバイアスし、従って前記選択したMOSFET
    の実効的スレッシュホールド電圧の低から高への絶対値
    の広がりが前記選択したMOSFETの初期的スレッシ
    ュホールド電圧の低い絶対値以下の高い実効的スレッシ
    ュホールド電圧を有していることを特徴とする方法。
  35. 【請求項35】 請求項33において、更に、約1V未
    満の供給電圧で前記複数個のMOSFETへ電圧を供給
    することを特徴とする方法。
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