JP3656410B2 - 立体グリッド付蛍光表示管の電極構造及び製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばカーオーディオ、VTR、計測器等のディスプレイとして、表示パターンをなす各セグメントの蛍光体層を取り囲むように形成された立体グリッドを用いた立体グリッド付蛍光表示管の電極構造及び製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3は従来の立体グリッド付蛍光表示管の一構成例を示す図、図4は同表示管の電極構造の部分拡大断面図である。
図3に示すように、立体グリッド付蛍光表示管1は、内部が高真空状態に気密保持された箱状の外囲器2を有している。外囲器2は、絶縁性を有する陽極基板3と、絶縁性及び透光性を有する平面板(前面板)4と絶縁性を有する枠状の側面板5とにより形成された蓋状の容器部6とを備えている。外囲器2は、各基板3,4,5がガラス基板で構成され、陽極基板3の外周部に容器部6を封着剤で封着し、排気した後に封止することにより、内部が高真空状態に気密保持されている。
【0003】
図4に示すように、陽極基板3の内面には、Al等の導電材からなる配線7が所定パターン形状に形成されている。陽極基板3上には、配線7を覆うようにしてスルーホール8を有した絶縁層9が形成されている。スルーホール8は、例えばAg等の導電材10によって穴埋めされている。
【0004】
図4に示すように、スルーホール8の導電材10上には、黒鉛等の導電材がセグメント11の形状に形成され、陽極電極12を構成している。この陽極電極12上にはセグメント11の形状に蛍光体層13が形成されている。
【0005】
図3及び図4に示すように、蛍光体層13の周囲には、絶縁材料からなる隔壁14が形成されている。この隔壁14は、蛍光体層13を取り囲むようにして蛍光体層13よりも高く形成される。これにより、セグメント11毎に区画された陽極15が形成される。各セグメント11は、一つの表示パターン16単位で隔壁14により一体に連結されている。
【0006】
図3に示すように、各表示パターン16毎の隔壁14は、一つのセグメント11から陽極基板3の外側に向けて所定距離だけ延長して導出される。各表示パターン16毎の隔壁14の頂上部には、導電材によるグリッド電極17が印刷形成され、立体グリッド18を構成している。
【0007】
図3に示すように、外囲器2内における表示パターン16の上方には、表示パターン16に対向してフィラメント状の陰極19が複数本張架配設されている。各陰極19は、加熱制御により表示パターン16に向かって電子を放出している。
【0008】
上記構成による立体グリッド付蛍光表示管によれば、もれ発光を生じることなく表示パターンの密集部分でのグリッド電極の分割が可能で、表示パターンの自由度が高まり、確実に電子の加速、遮断の制御が行える。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来、上記立体グリッド18を形成するにあたっては、鉛系ガラスフリットの絶縁ペーストをスクリーン印刷して隔壁14を形成し、この隔壁14の頂上部にAlに鉛系ガラスフリットを混合した導電ペーストをスクリーン印刷してグリッド電極17を形成していた。
【0010】
なお、上記隔壁14を構成する鉛系ガラスフリットとしては、例えばPbO−B2 O3 、PbO−B2 O3 −SiO2 、PbO−B2 O3 −ZnO、PbO−B2 O3 −ZnO−SiO2 、PbO−SiO2 の何れかを主成分(70%以上)とするものが使用され、これらの材料に流動防止フィラーとしてアルミナやTiO2 等を混入する場合もある。また、グリッド電極17を構成するAlに鉛系ガラスフリットを混合した導電ペーストは、例えばAl粉の平均粒径は1〜10μm程度の微粉からなり、Al微粉の表面は酸化膜で覆われている。
【0011】
そして、上記のように隔壁14及びグリッド電極17が印刷形成されると、隔壁14とグリッド電極17とは例えば550〜600℃で同時に焼成されるが、そのときの過激な燃焼反応によってグリッドを構成する導電ペーストの表面の酸化膜が溶け、導電ペースト中のAlが酸化する時にPbOが還元されてPbが析出される。また、隔壁14を構成する絶縁ペーストとして鉛系ガラスフリットを使用しているので、隔壁14とグリッド電極17の界面においても、上記導電ペースト中のAlが酸化する時にPbOが還元されてPbが析出される。
【0012】
ここで、本件発明者等は、従来の電極構造においてPbが析出されることを確認するため、マックサイエンス製の示差熱分析装置を用い、昇温10℃/min、30℃〜570℃を条件として焼成を行い、示差熱分析(TG−DTA)を試みた。図5〜図7はそのときの示差熱分析結果を示す図である。
【0013】
まず、図5にAl微粉の示差熱分析結果を示す。540℃付近より急激な酸化反応が見られる。図6はこのAl微粉に低融点PbOガラスフリットを混ぜたペーストを570℃で1度焼成したものを30〜570℃の条件で示差熱分析を行った結果である。図6はPbのメルティング温度である327.3℃付近で吸熱によるピークが現れていることを示す。このことは、上述した導電ペースト中のAlの酸化時にPbOが還元されてPbが析出していることを意味している。
【0014】
そして、上記のように、Pbが析出されると、その後の焼成工程(420〜500℃の封着工程・封止工程、300〜350℃の排気工程)で析出したPbがガス化して陰極19の表面に付着する。このため、陰極19を加熱駆動したときに、表面に付着したPbが焼き付くというシンター現象を引き起こし、エミッション特性を低下させるという問題があった。しかも、エミッション特性が低下した従来の立体グリッド付蛍光表示管では、1000時間で陰極19の直下位置での表示が暗くなる暗線が発生して寿命を縮め、寿命特性にも悪影響を及ぼしていた。
【0015】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、従来に比べてエミッション特性を向上させることができ、寿命特性の改善も図れる立体グリッド付蛍光表示管の電極構造及び製造方法を提供することを目的としている。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明は、表示パターン16をなす各セグメント11の蛍光体層13を取り囲むように鉛系ガラスフリットの絶縁材料からなる隔壁14が形成され、前記隔壁14の頂上部にグリッド電極27が形成された立体グリッド付蛍光表示管の電極構造において、
前記グリッド電極27は、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAl系金属からなることを特徴とする。
【0017】
請求項2の発明は、請求項1の立体グリッド付蛍光表示管の電極構造において、前記隔壁14と前記グリッド電極27との間には、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とする中間層30が設けられたことを特徴とする。
【0018】
請求項3の発明は、請求項1の立体グリッド付蛍光表示管の電極構造において、前記隔壁14と前記グリッド電極27との間には、リン酸系ガラスフリットを主成分とする中間層30が設けられ、焼成時における前記中間層30の軟化点が前記グリッド電極27の焼結温度より高く、前記中間層30の焼結温度が前記隔壁14の軟化点より低く設定されていることを特徴とする。
【0019】
請求項4の発明は、請求項1〜3の何れかの立体グリッド蛍光表示管の電極構造において、
前記有機金属が有機Ti化合物からなり、
前記リン酸系ガラスフリットがP2 O5 −SnO系、P2 O5 −SnO−ZnO系、P2 O5 −ZnO系の何れかのガラス主成分でなることを特徴とする。
【0020】
請求項5の発明は、表示パターン16をなす各セグメント11の蛍光体層13を取り囲むように鉛系ガラスフリットの絶縁部材からなる隔壁14が形成され、前記隔壁14の頂上部にグリッド電極27が形成された立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、
有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAl導電ペーストを前記隔壁14の頂上部に印刷してグリッド電極27を形成する工程を含むことを特徴とする。
【0021】
請求項6の発明は、請求項5の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とするペーストを前記隔壁14の頂上部に印刷して中間層30を形成し、前記中間層30の頂上部に前記グリッド電極27を形成する工程を含むことを特徴とする。
【0022】
請求項7の発明は、請求項5の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、リン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストを前記隔壁14の頂上部に印刷して中間層30を形成し、この中間層30の頂上部に前記グリッド電極27を形成した後に焼成する工程を含み、焼成時における前記中間層30の軟化点を前記グリッド電極27の焼結温度より高く、前記中間層30の焼結温度を前記隔壁14の軟化点より低く設定したことを特徴とする。
【0023】
請求項8の発明は、請求項5の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、
前記グリッド電極を形成する前記Al導電ペーストは、Alに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、Alにリン酸系ガラスフリットとビークルを混合したもの、Alに有機Ti化合物とリン酸系ガラスフリットとビークルを混合したものの何れかでなることを特徴とする。
【0024】
請求項9の発明は、請求項6又は7の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、
前記中間層を形成する前記ペーストは、リン酸系ガラスフリットにビークルを混合したもの、リン酸系ガラスフリットに酸化物とビークルを混合したもの、リン酸系ガラスフリットに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、リン酸化合物に有機Ti化合物と酸化物とビークルを混合したものの何れかでなることを特徴とする。
【0025】
本発明によれば、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAlによる無鉛の導電ペーストのスクリーン印刷によりグリッド電極が形成されているので、従来のように焼成時のAlの酸化によりPbOが還元されてPbを析出することがない。
【0026】
また、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とするペーストのスクリーン印刷によって隔壁とグリッド電極との間に中間層を設けた積層構造とすれば、隔壁としてPbO系ガラスフリットを含む絶縁ペーストを使用した場合でも、グリッド電極と隔壁との間の導通を中間層で遮断することができる。そして、隔壁とグリッド電極との界面において、焼成時のAlの酸化によるPbOの還元を防止でき、従来に比べてエミッション特性が向上し、寿命の改善が図れる。
【0027】
【発明の実施の形態】
図1は本発明による立体グリッド付蛍光表示管の電極構造の第1実施の形態を示す部分拡大断面図である。なお、以下に説明する各実施の形態は、電極構造と製造方法が従来と相違しており、その他の構成は図3の立体グリッド付蛍光表示管と同一なので、電極構造と製造方法以外の説明については省略する。
【0028】
図1に示すように、第1実施の形態の電極構造では、絶縁層9上の隔壁14の頂上部にグリッド電極27が形成されて立体グリッド28を構成している。
【0029】
グリッド電極27は、PbO系ガラスフリットを含まない有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAl導電ペーストのスクリーン印刷により形成される。このグリッド電極27を印刷形成するための具体的な導電材料としては、Alに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、AlにP2 O5 系ガラスフリットとビークルを混合したもの、Alに有機Ti化合物とP2 O5 系ガラスフリットとビークルを混合したものの何れかが用いられる。
【0030】
ここで、Alに有機Ti化合物とビークルを混合した導電ペーストを用いる場合には、例えばAl微粉60〜80%、有機Ti化合物3〜25%、ビークル15〜25%の割合で調合される。AlにP2 O5 系ガラスフリットとビークルを混合した導電ペーストを用いる場合には、例えばAl微粉40〜80%、P2 O5 系ガラスフリット3〜40%、ビークル15〜30%の割合で調合される。
【0031】
なお、上記ビークルは、所定パターン形状のグリッド電極27をスクリーン印刷するために必要なもので、有機高分子を有機溶剤に溶解した粘性のある液体で、焼成時には除去されるものである。
【0032】
次に、図2は本発明による立体グリッド付蛍光表示管の電極構造の第2実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【0033】
図2に示すように、第2実施の形態の電極構造は、図1の第1実施の形態における隔壁14とグリッド電極27との間に中間層30が積層されたもので、絶縁層9上に隔壁14、中間層30、グリッド電極27の順に積層形成され、立体グリッド38を構成している。その他の構成については第1実施の形態と同一である。
【0034】
中間層30は、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とするペーストのスクリーン印刷により形成される。更に説明すると、有機金属を主成分するペーストとしては、有機Ti化合物にビークルを混合したもの、有機Ti化合物に酸化物とビークルを混合したものが用いられる。リン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストとしては、結晶質のP2 O5 系ガラスフリットにビークルを混合したもの、P2 O5 系ガラスフリットに酸化物とビークルを混合したもの、P2 O5 系ガラスフリットに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、P2 O5 系ガラスフリットに有機Ti化合物と酸化物とビークルを混合したものが用いられる。酸化物は、流動防止フィラーとして用いられるものであり、例えばアルミナやTiO2 等がある。
【0035】
なお、上述した各実施の形態において、有機Ti化合物としては、有機Ti,有機Ti−Zn,有機Ti−P等が用いられる。また、P2 O5 系ガラスフリットとしては、P2 O5 −SnO系,P2 O5 −SnO−ZnO系,P2 O5 −ZnO系等がガラス主成分として用いられる。
【0036】
次に、第1実施の形態による電極構造の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法について説明する。
まず、陽極基板3にAl等の導電材をパターンニングして所定パターン形状の配線(陽極配線、グリッド配線)7を形成する。次に、配線7を覆うようにして陽極基板3上にスルーホール8を有する絶縁層9を印刷形成する。その際、表示パターン16を構成する各セグメント11と、後工程で形成されるグリッド電極27と不図示のグリッド配線導体との間の接続箇所にそれぞれスルーホール8が位置するように絶縁層9を印刷形成する。
【0037】
次に、各セグメント11に位置する絶縁層9のスルーホール8内にAg等の導電材10を印刷形成してスルーホール8を穴埋めする。同時に、後工程で形成されるグリッド電極27と不図示のグリッド配線導体との配線箇所に位置するスルーホール8内にもAg等の導電材10を印刷形成してスルーホール8を穴埋めする。
【0038】
次に、穴埋めされた導電材10上に黒鉛等の導電材ペーストをセグメント11の形状に印刷して陽極電極12を形成し、更に陽極電極12上に蛍光体層13をセグメント11の形状に印刷形成する。次に、鉛系ガラスフリットの絶縁ペーストを所定幅でスクリーン印刷して隔壁14を形成する。この隔壁14の印刷は、一度に印刷可能な高さ(例えば一層当たり20μm)に制限があるため、印刷と乾燥(80〜200℃)とを複数回繰り返す。これにより、所定高さの隔壁14が印刷形成され、セグメント11毎に区画された陽極15が形成される。
【0039】
次に、リン酸系ガラスフリット又は有機金属の少なくとも一方を含むAl系金属による無鉛の導電ペーストを隔壁14の頂上部にスクリーン印刷し、550〜600℃で焼成する。このとき、隔壁14を構成する導電ペーストは鉛を含まないので、Alの酸化によりPbが析出されることなく、隔壁14の頂上部にグリッド電極27が形成される。
【0040】
ここで、フィラメント状の陰極19が張架配設されたフレームを上記作業とは別の工程で組み上げておく。そして、容器部6における側面板5の底周面を、ペースト状の低融点ガラスからなる接着材が塗布された陽極基板3の外周部に位置させ、陽極基板3及び容器部6を上下から加圧し、陽極基板3の外周部と容器部6との間を封着して外囲器2を組み立てる。その後、外囲器2内を高真空状態に排気して封止することにより、立体グリッド付蛍光表示管が完成する。
【0041】
次に、第2実施の形態による電極構造の立体グリッド付蛍光表示管を製造する場合には、上記製造工程において、絶縁層9上に隔壁14を印刷形成した後、有機金属又はリン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストを隔壁14の頂上部にスクリーン印刷して中間層30を形成する。次に、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAlによる無鉛の導電ペーストを隔壁14の頂上部にスクリーン印刷して550〜600℃で焼成する。その後の製造工程については、第1実施の形態による電極構造の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法と同一である。これにより、隔壁14とグリッド電極27との間が中間層30により遮断され、焼成時にグリッド電極27の構成要素であるAlペーストが隔壁14に流入して溶け込むことがなく、隔壁14とグリッド電極27の導通が防止される。
【0042】
なお、上記製造工程において、リン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストを隔壁14の頂上部にスクリーン印刷して中間層30を形成する場合には、中間層30の軟化点がグリッド電極27の焼結温度より高く、中間層30の焼結温度が隔壁14の軟化点より低く設定される。これにより、焼成時には、グリッド電極27を構成するAl導電ペーストが溶けて固まり、その後、中間層30を構成するリン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストが溶けて固まり、最後に隔壁14を構成するPbO系ガラスフリットを主成分とするペーストが溶けて固まることになる。その結果、中間層30が結晶化する前に隔壁14が溶けてポーラスが生じるのを防ぐことができる。
【0043】
また、有機Ti化合物にビークルを混合した絶縁ペーストを隔壁14の頂上部にスクリーン印刷すると、形成される中間層30が薄膜となるため、印刷と乾燥を複数回繰り返して複数層に形成する。これにより、ポーラスを生じることなく、隔壁14とグリッド電極27との間のPbの還元反応を中間層30で防止することができる。
【0044】
このように、第1実施の形態の電極構造によれば、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAlによる無鉛の導電ペーストのスクリーン印刷によりグリッド電極27が形成されるので、従来のように焼成時のAlの酸化によりPbOが還元され、グリッド電極27にPbを析出することがない。
【0045】
第2実施の形態の電極構造によれば、有機金属又はリン酸系ガラスフリットを主成分とする絶縁ペーストのスクリーン印刷により隔壁14とグリッド電極27との間に中間層30を形成した積層構造となっているので、隔壁14としてPbO系ガラスフリットを含む絶縁ペーストを使用した場合に、隔壁14とグリッド電極27との界面における焼成時のAlの酸化によるPbOの還元を防止できる。この結果、従来に比べてエミッション特性が向上し、寿命の改善を図ることができる。
【0046】
図8に典型的な2極管の静特性を示す。図中Iの領域は初速電流領域と呼ばれ、カソードから放出される電子のうち負のアノード電圧に打ち勝つエネルギーを持っている電子がアノードに流入する領域である。
【0047】
アノード電圧を負から正に上げていくと、さらにカソードから多数の電子がアノード方向に加速されて放出され、放出電子がアノードとカソードの空間に充満し、カソードが電子によって遮蔽された状態で平衡を保つ。この領域IIを空間電荷制限領域という。さらにアノード電圧を大きくしていくと、カソードの電子放出能力でアノード電流が制限されてしまう温度制限領域III となる。このときのカソードからの全電流Isは下記のリチャードソン・ダッシュマンの式(1)で表される。
【0048】
Is=SATn exp(−eφ/KT)…(1)
【0049】
したがって、温度制限領域で温度Tを一定に保ち、Isを測定することによってカソードの出来、不出来を評価できる。このIsをエミッションと呼ぶ。
【0050】
そこで、本件発明者は上記測定原理に基づき、従来の構成の鉛系ガラスフリットを含むAl導体ペーストと本実施の形態の構成の無鉛のAl導電ペーストを2極管構造の蛍光表示管に実装し、それぞれについてエミッションの評価を行った。
【0051】
その結果、従来の電極構造によるエミッションを100とした場合、第1実施の形態の電極構造ではグリッド電極27を構成する導電ペーストの選択材料に応じて200〜300に、第2実施の形態の電極構造ではグリッド電極27を構成する導電ペースト及び中間層30を構成する絶縁ペーストの選択材料に応じて1500以上にそれぞれエミッションが向上することが判った。
【0052】
また、従来の電極構造では、1000時間で暗線を発生していたのに対し、本実施の形態の電極構造によれば、10000時間経過しても暗線を発生することがなく、従来よりも寿命を向上させることができる。
【0053】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAlによる無鉛の導電ペーストのスクリーン印刷によりグリッド電極が形成されるので、従来のように焼成時のAlの酸化によりPbOが還元されてグリッド電極にPbを析出することがなく、従来に比べてエミッションを向上させることができる。
【0054】
有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とするペーストのスクリーン印刷によって隔壁とグリッド電極との間に中間層を設けた積層構造とすれば、隔壁としてPbO系ガラスフリットを含む絶縁ペーストを使用した場合に、グリッド電極と隔壁との間の導通を中間層で遮断することができる。これにより、隔壁とグリッド電極との界面において、焼成時のAlの酸化によるPbOの還元を防止でき、従来に比べてエミッション特性が更に向上し、寿命の改善も図れる。
【0055】
リン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストにより中間層を印刷形成する場合、焼成時における中間層の軟化点がグリッド電極の焼結温度より高く、中間層の焼結温度が隔壁の軟化点より低く設定することにより、中間層が結晶化する前に隔壁が溶けてポーラスが生じるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による立体グリッド付蛍光表示管の第1実施の形態の電極構造を示す部分拡大断面図
【図2】本発明による立体グリッド付蛍光表示管の第2実施の形態の電極構造を示す部分拡大断面図
【図3】立体グリッド付蛍光表示管の一構成例を示す一部裁断平面図
【図4】従来の立体グリッド付蛍光表示管の電極構造を示す部分断面図
【図5】Al微粉を570℃で焼成したときの示差熱分析結果
【図6】Al微粉にPbOガラスフリットを加え焼成した試料を再度570℃まで示差熱分析を行った結果
【図7】図6の部分拡大図
【図8】典型的な2極管の静特性を示す図
【符号の説明】
1…立体グリッド付蛍光表示管、11…セグメント、13…蛍光体層、14…隔壁、16…表示パターン、27…グリッド電極、28,38…立体グリッド、30…中間層。
Claims (9)
- 表示パターンをなす各セグメントの蛍光体層を取り囲むように鉛系ガラスフリットの絶縁材料からなる隔壁が印刷形成され、前記隔壁の頂上部にグリッド電極が印刷形成された立体グリッド付蛍光表示管の電極構造において、
前記グリッド電極は、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAl系金属からなることを特徴とする立体グリッド付蛍光表示管の電極構造。 - 前記隔壁と前記グリッド電極との間には、有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とする中間層が設けられた請求項1記載の立体グリッド付蛍光表示管の電極構造。
- 前記隔壁と前記グリッド電極との間には、リン酸系ガラスフリットを主成分とする中間層が設けられ、焼成時における前記中間層の軟化点が前記グリッド電極の焼結温度より高く、前記中間層の焼結温度が前記隔壁の軟化点より低く設定されている請求項1記載の立体グリッド付蛍光表示管の電極構造。
- 前記有機金属が有機Ti化合物からなり、
前記リン酸系ガラスフリットがP2 O5 −SnO系、P2 O5 −SnO−ZnO系、P2 O5 −ZnO系の何れかのガラス主成分でなる請求項1〜3の何れかに記載の立体グリッド蛍光表示管の電極構造。 - 表示パターンをなす各セグメントの蛍光体層を取り囲むように鉛系ガラスフリットの絶縁部材からなる隔壁が印刷形成され、前記隔壁の頂上部にグリッド電極が印刷形成された立体グリッド付蛍光表示管の製造方法において、
有機金属又はリン酸系ガラスフリットの少なくとも一方を含むAl導電ペーストを前記隔壁の頂上部に印刷してグリッド電極を形成する工程を含むことを特徴とする立体グリッド付蛍光表示管の製造方法。 - 有機金属又はリン酸系ガラスフリットの何れかを主成分とするペーストを前記隔壁の頂上部に印刷して中間層を形成し、前記中間層の頂上部に前記グリッド電極を形成する工程を含む請求項5記載の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法。
- リン酸系ガラスフリットを主成分とするペーストを前記隔壁の頂上部に印刷して中間層を形成し、この中間層の頂上部に前記グリッド電極を形成した後に焼成する工程を含み、焼成時における前記中間層の軟化点を前記グリッド電極の焼結温度より高く、前記中間層の焼結温度を前記隔壁の軟化点より低く設定した請求項5記載の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法。
- 前記グリッド電極を形成する前記Al導電ペーストは、Alに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、Alにリン酸系ガラスフリットとビークルを混合したもの、Alに有機Ti化合物とリン酸系ガラスフリットとビークルを混合したものの何れかでなる請求項5記載の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法。
- 前記中間層を形成する前記ペーストは、リン酸系ガラスフリットにビークルを混合したもの、リン酸系ガラスフリットに酸化物とビークルを混合したもの、リン酸系ガラスフリットに有機Ti化合物とビークルを混合したもの、リン酸化合物に有機Ti化合物と酸化物とビークルを混合したものの何れかでなる請求項6又は7記載の立体グリッド付蛍光表示管の製造方法。
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