JP3625736B2 - 光学フィルタの製造方法 - Google Patents
光学フィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3625736B2 JP3625736B2 JP2000127178A JP2000127178A JP3625736B2 JP 3625736 B2 JP3625736 B2 JP 3625736B2 JP 2000127178 A JP2000127178 A JP 2000127178A JP 2000127178 A JP2000127178 A JP 2000127178A JP 3625736 B2 JP3625736 B2 JP 3625736B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- monitor
- film thickness
- substrate
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 326
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 147
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims description 98
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 78
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 11
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
- G02B5/282—Interference filters designed for the infrared light reflecting for infrared and transparent for visible light, e.g. heat reflectors, laser protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等に用いられる光学フィルタの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えばフィルタに入射される光のうち、予め定められた設定波長帯の光のみを通過する波長選択透過フィルタ(バンドパスフィルタ)等の光学フィルタが光通信用として広く用いられている。
【0003】
この種の光学フィルタを作成する方法として、例えば基板上に真空蒸着法やスパッタリング法等によりフィルタ膜を成膜する成膜法が用いられている。これらの成膜法における膜厚制御は、基板上に成膜される膜の光学膜厚の光学式膜厚計による膜厚測定結果に基づいて行われている。
【0004】
図1には、上記光学式膜厚計11を備えた成膜装置としての真空蒸着装置の一例が概略図により示されている。同図において、装置内には、真空蒸着法の成膜エリア7内のドーム状基板ホルダ9上の複数の開通孔に取り付けられた基板支持部材10に、モニタ基板2と製品用基板3がそれぞれ配置されており、基板ホルダ9の下部側に蒸発源4が配置されている。なお、同図において、成膜エリア7内は断面図により示されている。
【0005】
また、装置には、図示されていない操作部が設けられており、この操作部の操作によって装置を駆動させると、蒸発源4から蒸発した物質がモニタ基板2上と製品用基板3上に付着し、同じ膜物質の膜(薄膜)1が成膜される構成と成している。そして、例えば1つの膜1の成膜後に蒸発源4の物質を交換して成膜を行なうことにより、互いに異なる膜物質の膜1を積層した光学フィルタが製造される。
【0006】
光学式膜厚計11は、モニタ光を発する光源5と、モニタ光の反射率と透過率の少なくとも一方のモニタ特性を測定する測定装置6とを有している。なお、同図に設けられている測定装置6は、モニタ光の反射率(エネルギー反射率)を測定する装置と成している。また、光学式膜厚計11には光結合手段8が設けられており、この光結合手段8は、光源5と測定装置6との間に設けられて、光源5から発するモニタ光をモニタ基板2に照射させ、モニタ基板2からの反射光を測定装置6に結合する機能を有している。
【0007】
この光学式膜厚計11において、光源5からモニタ基板2にモニタ光を照射すると、モニタ基板2上に成膜される膜の膜厚増加に伴って、モニタ光の光エネルギー反射率(あるいは光エネルギー透過率)が変化し、このモニタ光の光エネルギー反射率(あるいは光エネルギー透過率)は測定装置6により測定される。
【0008】
一方、光エネルギー反射率(あるいは光エネルギー透過率)と膜厚との関係は、計算により求めることができる。例えば、図5に示すように、屈折率がn0の媒質中で屈折率nsの基板上に屈折率n1の膜を物理膜厚dだけ成膜する場合に、上記光エネルギー反射率Rは、多重反射および干渉を考慮して、(数1)により表わされる。なお、(数1)において、δは、入射光(モニタ光)の波長をλとして(数2)により与えられるものである。
【0009】
【数1】
【0010】
【数2】
【0011】
また、(数1)においては、成膜される基板の裏面からの反射を考慮していないが、基板が両面研磨してある場合には、成膜される基板の裏面からの反射も考慮する必要がある。成膜される基板の裏面からの光エネルギー反射率をR0とすると、この値R0は(数3)により表わされ、したがって、この成膜される基板の裏面からのエネルギー反射率を考慮した光エネルギー反射率R’は、(数4)により表わされる。
【0012】
【数3】
【0013】
【数4】
【0014】
バンドパスフィルタ等の光学フィルタを形成する基板は、一般に、両面研磨されているので、(数1)〜(数4)に基づいて、光エネルギー反射率R’と光学膜厚(例えばn1d)の関係を求めることができる。以下においては光エネルギ反射率とは光エネルギー反射率R’のことを言うものとする。
【0015】
なお、実際の成膜では、モニタ光の波長(モニタ波長)を固定して、成膜される膜1の光学膜厚と光エネルギー反射率R’との関係データを、成膜する膜1の屈折率n1に対応させて例えばグラフデータにより予め求めておき、膜厚制御データとする。そして、実際に、図1に示した真空蒸着装置によって製品用基板3に膜を成膜する際に、光学式膜厚計11により測定されるモニタ基板2上の膜形成に伴う前記光エネルギー反射率R’の変化率と前記膜厚制御データとを逐次比較することにより、成膜する膜1の膜厚を制御することができる。
【0016】
また、周知の如く、光学フィルタを製造するために成膜されるそれぞれの膜1の光学膜厚は、中心波長と呼ばれる膜厚設計用に定めた基準波長に予め定めた設定倍数を乗じた値に設計されるものであり、多くの光学フィルタにおいては、1つの膜1の光学膜厚を中心波長の0.25倍(1/4倍)程度とすることが多い。
【0017】
図6には、モニタ光の波長λを上記中心波長λcとして求めた、光エネルギー反射率R’と光学膜厚n1dの関係データの一例が示されており、同図に示す関係データは、屈折率n0=1.00の媒質(空気)中で、ns=1.50の基板上に膜を成膜した場合の光エネルギー反射率R’の変化と光学膜厚n1dの関係をシミュレーションにより求めたデータである。なお、同図における特性線aは屈折率n1=2.16の膜を成膜した場合、特性線bは屈折率n1=1.45の膜を成膜した場合の光エネルギー反射率R’の変化をそれぞれ示している。
【0018】
図6から明らかなように、モニタ波長λとして中心波長λcを用いた場合には、この光エネルギー反射率のピークで成膜を停止することにより、(1/4)・λcの光学膜厚の膜を成膜できる。
【0019】
しかしながら、光エネルギー反射率R’のピーク付近における光エネルギー反射率R’の変化は緩やかであり、光学式膜厚計11により逐次測定されるモニタ特性において光エネルギー反射率R’がピーク付近となるところをモニタ特性測定途中に正確に把握することは困難であるために、前記光エネルギー反射率R’がそのピーク付近に達したときに的確に成膜を停止することは難しい。
【0020】
また、前記の如く、光エネルギー反射率R’のピーク付近における光エネルギー反射率R’の変化は緩やかであるために、例えば図7の特性線aに示すように、光エネルギー反射率がピークに達する前に成膜が停止した場合、成膜停止時点におけるエネルギー反射率R’のQ点とエネルギー反射率R’のピークP点との誤差ΔRは小さいにもかかわらず、成膜される膜1の光学膜厚の誤差Δ(n1d)は非常に大きくなってしまう。
【0021】
そこで、前記モニタ波長λとして中心波長λcを用いずに、λcよりも小さい波長をモニタ波長として用いることにより、例えば図7の特性線cに示すように、光エネルギー反射率R’の周期を小さくし、光エネルギー反射率R’の誤差ΔRに対応する光学膜厚n1dの誤差Δ(n1d)を小さくして膜1の光学膜厚を制御することが行なわれている。なお、モニタ光波長を決定するときには、成膜される膜厚1に対応させて、例えば光エネルギー反射率R’の誤差ΔRに対応する光学膜厚n1dの誤差Δ(n1d)ができる限り小さくなるような波長λを決定している。
【0022】
このように、モニタ波長をλとし、この波長λが前記中心波長λcと異なる場合には、前記(数1)におけるδは、前記(数2)の代わりに(数5)で与えられる。なお、(数5)において、ncは、モニタ波長λを中心波長λcとした場合の膜1の屈折率である。
【0023】
【数5】
【0024】
また、モニタ波長に対する膜の屈折率n1は、(数6)により求められるものであるので、モニタ波長λが異なる場合には屈折率n1も異なるものである。したがって、モニタ波長を中心波長λcと異なる波長とした場合、屈折率n1は、中心波長λcに対する屈折率の値ncと異なる値となる。なお、(数6)において、A,B,Cは、いずれも膜1を形成する物質により異なるものであり、いずれも屈折率を求めるための周知の実験によって求められるものである。
【0025】
【数6】
【0026】
ところで、実際の成膜に際し、モニタ基板2と製品用基板3の設置場所の違いに起因する累積粒子の飛散量の差や成膜時にイオンアシストする場合(イオンアシスト成膜時)のイオン電流密度の差、成膜時と成膜後の温度や雰囲気の違いによる膜1の物性定数の変動等に応じて膜1の屈折率n1が変動するために、モニタ基板2上と製品用基板3上では成膜した膜1の光学膜厚が異なる。
【0027】
そこで、製品用基板3上に製品用膜を成膜して光学フィルタを製造するときには、前記成膜エリア7内に製品用基板3と前記モニタ基板2とをそれぞれ配置して、これらの基板2,3上に同時に膜を成膜しながら、モニタ基板2上に形成される膜1に前記モニタ光を照射して光エネルギー反射率R’を測定し、この光エネルギー反射率R’が、膜1の設計(仕様)によって求められる設定光学膜厚に予め求めた膜厚補正係数を乗じた値に対応する値となったときに膜1の成膜を停止し、膜1の光学膜厚を制御していた。
【0028】
上記膜厚補正係数を求めるときは、まず、モニタ波長を1つだけ設定し、モニタ基板2上に成膜される膜1の膜厚をこの設定モニタ波長にてモニタしながら、モニタ基板2および製品用基板3上に膜1の成膜を行なう。そして、上記モニタ結果と、製品用基板3上に成膜された膜1の光学膜厚との関係から、例えば図8に示すように、製品用基板3上の光学膜厚とモニタ基板2上の光学膜厚が比例する場合には、同図の直線の傾きを膜厚補正係数としていた。
【0029】
そして、上記のようにして求めた膜厚補正係数は、モニタ波長の値によらず一定と考え、モニタ波長としていかなる値を用いた場合にも、同じ膜厚補正係数を用いて上記の如く、膜1の光学膜厚制御を行なっていた。
【0030】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者は、上記のようにして求められる膜厚補正係数がモニタ波長の値によらず一定のものではなく、例えば図3に示すように、モニタ波長の値(同図ではλ0、λ1、λ2)によって、膜厚補正係数(同図における各特性線の傾き)が異なることを見出した。これは、例えば膜1の屈折率の波長分散は温度によって異なるために、膜1の温度が成膜時の温度から常温へ変化した際の、膜1の屈折率変動の大きさがモニタ波長によって異なるといったように、モニタ波長の値によって膜1の物性定数変動の大きさが異なることに起因すると考えられる。
【0031】
したがって、従来のように、互いに異なる複数の波長のモニタ光によらず1つのモニタ波長を用いて求めた膜厚補正係数を用いて膜1の光学膜厚を制御すると、膜1の光学膜厚を正確に制御することができず、膜1によって形成される光学フィルタの光学膜厚を正確な値に作製することが困難だった。
【0032】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、作製する膜の光学膜厚を例えば予め設定した光学膜厚となるように正確に制御できるようにして正確な光学膜厚に成膜できる光学フィルタの成膜方法を提供することにある。
【0033】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、光学フィルタの製造方法の第1の発明は、モニタ基板上に膜を成膜しながら該膜にモニタ光を照射したときの該モニタ光の反射率と透過率の少なくとも一方のモニタ特性を求め、前記成膜される膜の光学膜厚と前記モニタ特性との関係データを膜物質ごとに予め求めて膜厚制御データとし、一方、成膜装置内に製品用基板と前記モニタ基板とをそれぞれ配置してこれらの基板上に同時に膜を成膜したときに、モニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚と前記製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚とのずれ量を補正する補正係数のデータを互いに異なる複数の波長のモニタ光に対応させて膜物質ごとに予め求めて膜厚補正係数データとし、前記製品用基板上に製品用膜を成膜して光学フィルタを製造するときに、前記成膜装置内に製品用基板と前記モニタ基板とをそれぞれ配置してこれらの基板上に同時に膜を成膜しながら、前記モニタ基板上に形成される膜に前記モニタ光を照射して前記モニタ特性を測定し、この測定値と前記膜厚補正係数データにより補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データのモニタ特性とに基づいて前記製品用基板上に成膜する製品用膜の成膜膜厚を制御する光学フィルタの製造方法であって、互いに異なる複数のモニタ光波長を用いて製品用基板上に成膜したそれぞれの膜の反射率と透過率の少なくとも一方の特性を連続した波長の特性測定光を用いてそれぞれ実測し、膜の光学膜厚をパラメータとする理論式と光学膜厚の設計値とに基づいて前記特性測定光の連続した波長に対する膜の反射率または透過率の理論値を求め、該理論値と前記実測値との差の二乗が最小になるように非線形フィッティング法を用いて前記膜の光学膜厚の適正値を膜物質ごとに前記互いに異なるモニタ光波長に対応させて求め、この値を製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚t n とし、一方、前記製品用基板上への成膜と同時にモニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚を膜物質ごとに複数のモニタ光波長を用いてそれぞれ測定し、この値をモニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚t m とし、膜物質ごとにそれぞれのモニタ光の波長に対応するt m /t n をモニタ波長対応膜厚補正係数として決定し、該モニタ波長対応膜厚補正係数に基づいて膜厚補正係数データを求める構成をもって課題を解決する手段としている。
【0035】
また、光学フィルタの製造方法の第2の発明は、上記第1の発明の構成に加え、前記膜厚補正係数データはモニタ波長対応膜厚補正係数のモニタ波長依存性を多項式または双曲線によって近似したデータとした構成をもって課題を解決する手段としている。
【0036】
さらに、光学フィルタの製造方法の第3の発明は、上記第1又は第2の発明の構成に加え、前記モニタ基板を中心とした同心円状に製品用基板を配置し、これらの製品用基板のうち、同一円周上に配置される製品用基板上に形成する製品用膜の膜厚制御は膜物質ごとに膜厚補正係数データの同一の値を用いて行なう構成をもって課題を解決する手段としている。
【0040】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。
【0041】
本発明の光学フィルタの製造方法の実施形態例は、図1に示したような、光学式膜厚計11を備えた真空蒸着装置を用いて光学フィルタを製造する方法であり、本実施形態例において製造する光学フィルタは、製品用基板3上に7層の膜を成膜してなるフィルタ膜を形成したバンドパスフィルタ(BPF)である。この7層の設計(仕様)は、Ta2O5を中心波長(ここでは1470nm)の四分の一の光学膜厚で成膜したH層と、SiO2を中心波長の四分の一の光学膜厚で成膜したL層と、SiO2を中心波長と等しい光学膜厚で成膜した4L層とを、基板上に、H・L・H・4L・H・L・Hの順に積層して形成するものとした。
【0042】
本実施形態例でも従来例と同様に、前記膜厚制御データを予め求め、この膜厚制御データと、光学膜厚計11により検出されるモニタ光の反射率とに基づいて成膜される膜1の膜厚制御を行なうが、本実施形態例では、以下に示す特徴的な膜厚補正係数データを予め与え、この膜厚補正係数データを用いて上記膜厚制御を行なうようにしている。
【0043】
膜厚補正係数データは、成膜装置内に製品用基板3とモニタ基板2とをそれぞれ配置してこれらの基板2,3上に同時に膜を成膜したときに、モニタ基板2上に成膜される膜の光学膜厚と製品用基板3上に成膜される膜の光学膜厚とのずれ量を補正する補正係数のデータを、互いに異なる複数の波長のモニタ光に対応させて膜物質ごとに予め求めたものである。
【0044】
本実施形態例では、以下のようにして膜厚補正係数データを求めるための成膜行ない、3種類のモニタ波長に対応する膜厚補正係数を膜物質(Ta2O5、SiO2)ごとに求めた。すなわち、まず、上記光学フィルタを形成する各層の膜1を、400nm付近、490nm付近、700nm付近の3種類のモニタ光波長を用いてモニタ基板2上に成膜される膜1の光学膜厚を測定しながら、モニタ基板2上と製品用基板3上に同時に膜1の成膜を行なった。ここで、モニタ基板2を各層の蒸着ごとに新しいものと交換するようにすることで、常に単層膜の蒸着を監視することになるため、従来例で述べた方法を用いて各層のモニタ基板2上の光学膜厚を制御できる。
【0045】
次に、成膜終了後、互いに異なる複数のモニタ光波長(上記3種類のモニタ波長)を用いて成膜したそれぞれの前記フィルタ膜(バンドパスフィルタを形成するフィルタ膜)の透過率を連続した波長の特性測定光を用いて実測した。なお、実際には、バンドパスフィルタの透過率を測定することにより、このバンドパスフィルタのフィルタ膜の透過率を間接的に測定することができる。
【0046】
一方、各層の膜1の光学膜厚をパラメータとする膜の光透過率の理論式と光学膜厚の設計値とに基づいて前記特性測定光の連続した波長に対するバンドパスフィルタのフィルタ膜の透過率の理論値を求めた。なお、上記膜の光透過率の理論式は(数7)に示す光学フィルタの透過率の式および(数8)〜(数10)により与えられるものである。
【0047】
【数7】
【0048】
【数8】
【0049】
【数9】
【0050】
【数10】
【0051】
ここで、(数7)におけるパラメータm11、m12、m21、m22は、(数8)で与えられる全層での特性行列Mの各要素であり、各層(第1層から第7層)の特性行列Mjの総積によって与えられ、第j層(j=1,2,3,4,5,6,7)の特性行列Mjは(数9)で与えられ、(数9)に示すgjは、(数10)により表わされるものであり、njは第j層の屈折率、djは第j層の物理膜厚である。そこで、これらの(数7)〜(数10)を用い、第j層における光学膜厚の設計値をnjdjに代入すれば、前記特性測定光の連続した波長に対するバンドパスフィルタの透過率の理論値が求まる。なお、(数8)、(数9)において、iは虚数である。
【0052】
そして、上記のようにして求めた理論値と前記光透過率の実測値との差の二乗が最小になるように、非線形フィッティング法を用いて各層の膜の光学膜厚の適正値(njdjの真の値)を膜物質ごとに前記3種類の異なるモニタ光波長に対応させて求め、この値を製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚tnとした。
【0053】
また、モニタ基板2上に成膜される膜1の光学膜厚を膜物質ごとに上記3種類のモニタ光波長を用いてそれぞれ測定し、この値をモニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚tmとした。なお、モニタ基板2上に設計(仕様)通りの膜厚で成膜されるようにしているため、モニタ基板2上の光学膜厚=設計膜厚となる。
【0054】
そして、膜物質ごとにそれぞれのモニタ光の波長に対応するtm/tnをモニタ波長対応膜厚補正係数として決定した。なお、本実施形態例では、各モニタ波長での成膜において、Ta2O5から成る第1、3、5、7層の光学膜厚は全て等しく、SiO2から成る第2層と第6層の光学膜厚は等しく、第4層の膜厚はその4倍であるとして、上記モニタ波長対応膜厚補正係数を求めた。
【0055】
以上のようにして、各モニタ光波長に対してモニタ波長対応膜厚補正係数を求めたところ、製品用基板3の設置位置が、図2に示すa,b,cの各設置場所によって異なる値が得られた。具体的には、図2のaに設置されているものをa段、同図のbに設置されているものをb段、同図のcに設置されているものをc段とすると、以下に示す通りの結果が得られた。
【0056】
すなわち、Ta2O5(H層)に関しては、モニタ波長400nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.14423(a段)、1.13382(b段)、1.12988(c段)となり、モニタ波長490nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.14665(a段)、1.13802(b段)、1.13491(c段)となり、モニタ波長700nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.15159(a段)、1.14260(b段)、1.13749(c段)となった。
【0057】
また、SiO2(L層)に関しては、モニタ波長400nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.14409(a段)、1.14249(b段)、1.13203(c段)となり、モニタ波長490nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.14782(a段)、1.14756(b段)、1.13634(c段)となり、モニタ波長700nmに対し、それぞれの設置場所におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が、1.14974(a段)、1.14916(b段)、1.13859(c段)となった。
【0058】
このように、製品用基板3の設置位置の違いにより、各モニタ波長におけるモニタ波長対応膜厚補正係数が異なり、上記のようにモニタ基板2を中心とした同心円状に製品用基板3を配置した場合には、これらの製品用基板3のうち、同一円周上に配置される製品用基板3上に成膜される膜1の膜厚補正係数はほぼ同一となることが分かったので、本実施形態例では、以降、製品用基板3の設置位置を特定の位置に設定し(この場合b段とし)、成膜を行なうことにした。
【0059】
ここで、上記モニタ波長対応膜厚補正係数に基づいて膜厚補正係数データを求めるため、本実施形態例では、多項式である(数11)に上記結果を当てはめ、図4及び表1に示す膜厚補正係数データを得た。
【0060】
【数11】
【0061】
【表1】
【0062】
なお、上記結果から、(数11)におけるE,F,Gは、Ta2O5に関して、E=1.1503、F=136.82、G=−4.3380となり、また、SiO2に関しては、E=1.1502、F=353.15、G=−0.3616となった。
【0063】
このように、モニタ波長λとモニタ波長対応膜厚補正係数τとの関係を、多項式で近似して膜厚補正係数データとすることにより、実際には膜厚補正係数を求めていないモニタ波長に対応するモニタ波長対応膜厚補正係数も膜厚補正係数データにより求めることができる。
【0064】
本実施形態例では、以上のようにして、例えば図4に示す関係データの膜厚補正係数データにより補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データにおける反射率(補正膜厚対応反射率)を求め、光学膜厚計11によって測定される反射率が補正膜厚対応反射率になったときに、膜1の成膜を停止することにした。
【0065】
その一例として、光学ガラスBK7の製品用基板3上にTa2O5の単層膜を成膜した。なお、モニタ基板2も製品用基板3と同様に、光学ガラスBK7とし、成膜時のモニタ波長を400nmとし、一方、中心波長を1500nmとし、この中心波長に対する光学膜厚が0.25000の設計(仕様)で成膜を行なった。
【0066】
この場合、モニタ波長400nmに対するモニタ波長対応膜厚補正係数は、図4から1.13382となるので、0.25000に1.13382を乗じた値を膜厚補正係数データにより補正された光学膜厚とし、この補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データにおける反射率(補正膜厚対応反射率)を求める。
【0067】
例えば0.25000に1.13382を乗じた値を(数5)に代入し、(数1)、(数3)、(数4)を用いて、上記補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データにおける反射率(補正膜厚対応反射率)を求めると、28.50%となる。なお、例えば図6、7に示したようなシミュレーション結果から補正膜厚対応反射率を求めることもできる。
【0068】
また、図7から明らかなように、モニタ波長を前記中心波長よりも小さい値とした場合は、光学膜厚が中心波長の四分の一に達するまでに、1つ以上の反射率ピークを通過することになるため、例えば前記膜厚制御部には、前記補正膜厚対応反射率と共に、この通過ピークの数を与えておき、この通過ピーク数を通過した後に反射率が補正膜厚対応反射率になったときに成膜を停止するようにする。
【0069】
本実施形態例は、以上のようにして光学フィルタを形成する各層の膜1の光学膜厚を制御しながら、製品用基板3上に膜1を積層して光学フィルタとしてのバンドパスフィルタを製造する。
【0070】
本実施形態例によれば、以上のように、成膜する膜1の膜物質ごとに、複数のモニタ波長に対応する膜厚補正係数データを予め求めておき、成膜エリア7内に製品用基板3とモニタ基板2とをそれぞれ配置してこれらの基板2,3上に同時に膜を成膜しながらモニタ基板2上の膜に照射するモニタ光の反射率を測定し、この測定値と、膜厚補正係数データにより補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データのモニタ特性とに基づいて製品用基板3上に成膜する製品用膜の成膜膜厚を制御するために、製品用膜の光学膜厚を正確に制御できる。
【0071】
そのため、本実施形態例の光学フィルタの製造方法を用いて製造した光学フィルタは、設計通りの光学膜厚を有する光学フィルタとすることができる。
【0072】
特に、本実施形態例において、前記の如く、製品用基板3に成膜した各層の膜1の光学膜厚を非線形フィッティングを適用して決定し、この値に基づいて、膜1の膜物質ごとにモニタ波長対応膜厚補正係数を求めて上記膜厚補正係数データを求めているために、膜厚補正係数データとして非常に適正なデータを得ることができ、このデータに基づいて製品用膜の光学膜厚を非常に正確に制御できる。
【0073】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記実施形態例では、モニタ波長対応膜厚補正係数に基づいて膜厚補正係数データを求めるときに、多項式である(数11)に上記結果を当てはめたが、膜物質に応じて、(数11)以外の多項式により膜厚補正係数の波長依存性を近似してもよいし、双曲線によって膜厚補正係数の波長依存性を近似してもよい。
【0074】
いずれの場合も、膜厚補正係数データを、膜厚補正係数の波長依存性を多項式または双曲線によって近似したデータとすると、実際には膜厚補正係数を求めていないモニタ波長に対応するモニタ波長対応膜厚補正係数も膜厚補正係数データにより求めることができる。
【0075】
また、上記実施形態例では、製品用基板3上に成膜した膜1の透過率の理論値と実測値との差の二乗が最小になるように非線形フィッティング法を用いて前記膜1の光学膜厚の適正値を膜物質ごとに複数の異なる光波長に対応させて求め、この値を製品用基板3上に成膜される膜の光学膜厚としたが、製品用基板3上に成膜される膜の光学膜厚の求め方は特に限定されるものではなく、適宜設定されるものである。
【0076】
例えば、製品用基板3上に成膜した膜1の反射率を実測し、この実測値と反射率の理論値との差の二乗が最小になるように非線形フィッティング法を用いて前記膜1の光学膜厚の適正値を膜物質ごとに複数の異なる光波長に対応させて求めてもよい。
【0077】
さらに、上記実施形態例では、図1の装置を用いてモニタ基板2上に成膜する膜にモニタ光を照射し、その反射率をモニタ特性として求めたが、モニタ光の反射率の代わりにモニタ光の透過率を測定し、この透過率をモニタ特性として膜厚制御データを作成してもよい。
【0078】
さらに、本発明の光学フィルタの製造方法により製造される光学フィルタは、様々な膜物質を用いて成膜された膜によって製造されるものであり、膜物質の材料や膜の光学膜厚および層数などは特に限定されるものではなく、適宜設定されるものである。
【0079】
【発明の効果】
本発明の光学フィルタの製造方法によれば、成膜装置内に製品用基板とモニタ基板とをそれぞれ配置してこれらの基板上に同時に膜を成膜しながら、前記モニタ基板上に形成される膜に前記モニタ光を照射して前記モニタ特性を測定し、この測定値と、互いに異なる複数の波長のモニタ光に対応させて膜物質ごとに予め求めた膜厚補正係数データにより補正した光学膜厚に対応する膜厚制御データのモニタ特性とに基づいて、前記製品用基板上に成膜する製品用膜の成膜膜厚を制御するものであるから、製品用膜の光学膜厚を例えば予め設定した光学膜厚となるように正確に制御することができ、設計通りの光学膜厚を有する光学フィルタを製造することができる。
【0080】
また、本発明においては、非線形フィッティング法を用いて製品用基板上に成膜した膜の光学膜厚の適正値を膜物質ごとにモニタ光波長に対応させて求め、この値を製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚として、膜物質ごとにそれぞれの互いに異なる複数の波長のモニタ光に対応するモニタ波長対応膜厚補正係数を決定し、該モニタ波長対応膜厚補正係数に基づいて膜厚補正係数データを求めているので、製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚を非常に正確に求めることができる。
【0081】
そのため、この発明においては、上記非線形フィッティング法を用いて求めた製品用基板上の膜の光学膜厚値を用いて、膜厚補正係数データを的確に求めることができ、上記光学フィルタの膜厚制御を非常に的確にすることができる。
【0082】
さらに、膜厚補正係数データは膜厚補正係数の波長依存性を多項式または双曲線によって近似したデータとした本発明の光学フィルタの製造方法においては、膜厚補正係数データを用いることにより、実際にはモニタ波長対応膜厚補正係数を求めていないモニタ光波長によるモニタ基板上の光学膜厚測定値に基づいて、製品用基板上に成膜される膜の膜厚制御を行なっても、製品用基板上に成膜される膜の膜厚制御を非常に的確に行なうことができる。
【0083】
さらに、モニタ基板を中心とした同心円状に製品用基板を配置し、これらの製品用基板のうち、同一円周上に配置される製品用基板上に形成する製品用膜の膜厚制御は膜物質ごとに同一のモニタ波長対応膜厚補正係数を用いて行なう本発明の光学フィルタの製造方法においては、同一円周上に配置される製品用基板上に形成する製品用膜の成膜条件はほぼ同一であることから、的確な膜厚制御を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光学フィルタの製造装置の一例である光学膜厚計付き真空蒸着装置を模式的に示す構成図である。
【図2】本発明に係る光学フィルタの製造方法を適用し、上記真空蒸着装置によりモニタ基板上と製品用基板上に膜を成膜するときのモニタ基板と製品用基板の配設例を示す説明図である。
【図3】互いに異なる複数の波長のモニタ光をそれぞれモニタ基板上の膜に照射して1つの製品用基板上の膜の光学膜厚を制御した場合の、モニタ基板上の光学膜厚と製品用基板上の光学膜厚との関係例を示すグラフである。
【図4】本発明に係る光学フィルタの製造方法の一実施形態例に用いられる膜厚補正係数データの一例を示すグラフである。
【図5】屈折率n0の媒質中で、屈折率nsの基板上に光学膜厚がn1dの膜1を形成する状態を示す断面説明図である。
【図6】モニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚と、この膜に膜設計の基準となる波長のモニタ光を照射して得られるモニタ光反射率との関係例を示すグラフである。
【図7】モニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚と、この膜に波長の異なるモニタ光をそれぞれ照射した場合に得られるモニタ光反射率との関係を示すグラフである。
【図8】1つのモニタ光波長をモニタ基板上の膜に照射して製品用基板上の膜の光学膜厚を制御した場合の、モニタ基板上の光学膜厚と製品用基板上の光学膜厚との関係例を示すグラフである。
【符号の説明】
1 膜
2 モニタ基板
3 製品用基板
4 蒸発源
5 光源
6 測定装置
7 成膜エリア
8 光結合手段
9 基板ホルダ
Claims (3)
- モニタ基板上に膜を成膜しながら該膜にモニタ光を照射したときの該モニタ光の反射率と透過率の少なくとも一方のモニタ特性を求め、前記成膜される膜の光学膜厚と前記モニタ特性との関係データを膜物質ごとに予め求めて膜厚制御データとし、一方、成膜装置内に製品用基板と前記モニタ基板とをそれぞれ配置してこれらの基板上に同時に膜を成膜したときに、モニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚と前記製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚とのずれ量を補正する補正係数のデータを互いに異なる複数の波長のモニタ光に対応させて膜物質ごとに予め求めて膜厚補正係数データとし、前記製品用基板上に製品用膜を成膜して光学フィルタを製造するときに、前記成膜装置内に製品用基板と前記モニタ基板とをそれぞれ配置してこれらの基板上に同時に膜を成膜しながら、前記モニタ基板上に形成される膜に前記モニタ光を照射して前記モニタ特性を測定し、この測定値と前記膜厚補正係数データにより補正された光学膜厚に対応する前記膜厚制御データのモニタ特性とに基づいて前記製品用基板上に成膜する製品用膜の成膜膜厚を制御する光学フィルタの製造方法であって、互いに異なる複数のモニタ光波長を用いて製品用基板上に成膜したそれぞれの膜の反射率と透過率の少なくとも一方の特性を連続した波長の特性測定光を用いてそれぞれ実測し、膜の光学膜厚をパラメータとする理論式と光学膜厚の設計値とに基づいて前記特性測定光の連続した波長に対する膜の反射率または透過率の理論値を求め、該理論値と前記実測値との差の二乗が最小になるように非線形フィッティング法を用いて前記膜の光学膜厚の適正値を膜物質ごとに前記互いに異なるモニタ光波長に対応させて求め、この値を製品用基板上に成膜される膜の光学膜厚t n とし、一方、前記製品用基板上への成膜と同時にモニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚を膜物質ごとに複数のモニタ光波長を用いてそれぞれ測定し、この値をモニタ基板上に成膜される膜の光学膜厚t m とし、膜物質ごとにそれぞれのモニタ光の波長に対応するt m /t n をモニタ波長対応膜厚補正係数として決定し、該モニタ波長対応膜厚補正係数に基づいて膜厚補正係数データを求めることを特徴とする光学フィルタの製造方法。
- 膜厚補正係数データはモニタ波長対応膜厚補正係数のモニタ波長依存性を多項式または双曲線によって近似したデータとしたことを特徴とする請求項1記載の光学フィルタの製造方法。
- モニタ基板を中心とした同心円状に製品用基板を配置し、これらの製品用基板のうち、同一円周上に配置される製品用基板上に形成する製品用膜の膜厚制御は膜物質ごとに膜厚補正係数データの同一の値を用いて行なうことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の光学フィルタの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000127178A JP3625736B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 光学フィルタの製造方法 |
US09/841,896 US20020027665A1 (en) | 2000-04-27 | 2001-04-25 | Optical filter and a method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000127178A JP3625736B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 光学フィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001305337A JP2001305337A (ja) | 2001-10-31 |
JP3625736B2 true JP3625736B2 (ja) | 2005-03-02 |
Family
ID=18636818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000127178A Expired - Fee Related JP3625736B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 光学フィルタの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20020027665A1 (ja) |
JP (1) | JP3625736B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3848571B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2006-11-22 | Hoya株式会社 | 薄膜形成方法及び装置 |
JP2003270725A (ja) | 2002-03-14 | 2003-09-25 | Sony Corp | 投影用スクリーン及びその製造方法 |
JP4547489B2 (ja) * | 2003-05-01 | 2010-09-22 | 株式会社昭和真空 | 膜厚計測装置搭載の光学薄膜形成用装置及び光学薄膜の成膜方法 |
CN100410693C (zh) * | 2006-06-08 | 2008-08-13 | 上海欧菲尔光电技术有限公司 | 光学滤光片薄膜厚度的监控方法 |
JP4279322B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2009-06-17 | 三菱重工業株式会社 | 波長選択方法、膜厚計測方法、膜厚計測装置、及び薄膜シリコン系デバイスの製造システム |
JP4669522B2 (ja) * | 2008-01-08 | 2011-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | 発色構造体製造装置及び発色構造体の製造方法 |
JP2010138463A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | K2 Technology Kk | 光学薄膜製造方法 |
JP6597150B2 (ja) * | 2015-10-09 | 2019-10-30 | 富士通株式会社 | 距離測定装置、距離測定方法、距離測定プログラムおよびテーブルの作成方法 |
JP2017122673A (ja) | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 富士通株式会社 | レーザ距離測定装置、測定方法及び測定プログラム |
CN116005124B (zh) * | 2022-12-30 | 2023-08-15 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备 |
CN117127162B (zh) * | 2023-08-29 | 2024-02-09 | 浙江积嘉光电有限公司 | 磁控溅射镀膜中的镀膜监控方法、装置及系统 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3298682B2 (ja) * | 1992-01-17 | 2002-07-02 | 松下電器産業株式会社 | 多層膜の成膜装置並びに光学特性の測定方法及び成膜方法 |
JPH05249312A (ja) * | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Fujikura Ltd | 光学多層膜の作製方法 |
JPH06337310A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学多層膜並びにその成膜方法及びその成膜装置 |
JP3405562B2 (ja) * | 1993-07-15 | 2003-05-12 | 松下電器産業株式会社 | 多層膜の成膜装置並びに光学特性の測定方法及び成膜方法 |
JPH0790583A (ja) * | 1993-09-22 | 1995-04-04 | Shincron:Kk | 薄膜形成方法 |
JPH10287969A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Asahi Optical Co Ltd | 真空成膜装置 |
US6366861B1 (en) * | 1997-04-25 | 2002-04-02 | Applied Materials, Inc. | Method of determining a wafer characteristic using a film thickness monitor |
-
2000
- 2000-04-27 JP JP2000127178A patent/JP3625736B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-04-25 US US09/841,896 patent/US20020027665A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001305337A (ja) | 2001-10-31 |
US20020027665A1 (en) | 2002-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8300313B2 (en) | Method for manufacturing an optical transmission filter with extended out-of-band blocking | |
JP3625736B2 (ja) | 光学フィルタの製造方法 | |
US7182976B2 (en) | Process for forming a thin film and apparatus therefor | |
US20080055717A1 (en) | Optical transmission filter with extended out-of-band blocking | |
JP2008512730A (ja) | 薄膜干渉フィルタ及び干渉フィルタの堆積工程制御のためのブートストラップ法 | |
KR20160032205A (ko) | 인라인 증착 제어 장치 및 인라인 증착 제어 방법 | |
JP4854098B1 (ja) | 成膜方法およびそれを用いた成膜装置 | |
US20140347735A1 (en) | Etalon and method for producing etalon | |
KR20040074093A (ko) | 성막 장치 및 광학 부재의 제조 방법 | |
CN101876537B (zh) | 具有高、低两种折射率的多层光学薄膜厚度的校准方法 | |
US8200448B2 (en) | Optical monitor for rugate filter deposition | |
Sullivan et al. | Manufacture of complex optical multilayer filters using an automated deposition system | |
JPH05247647A (ja) | 複数の予め定められた特性を有する光被覆物およびその製造方法 | |
JP3632757B2 (ja) | 光学フィルタの製造方法 | |
JP2003279727A (ja) | 光学膜厚制御方法及び光学膜厚制御装置並びに該光学膜厚制御方法を用いて作製した誘電体薄膜 | |
JP3520910B2 (ja) | 光学素子の膜厚測定方法及び光学素子の製造方法 | |
vd Laan et al. | 4.2 Monitoring of optical thin films using a quartz crystal monitor | |
JP3231299B2 (ja) | 光干渉フィルタ作製方法 | |
KR100397598B1 (ko) | 전자빔에의한다중박막형성방법 | |
CN116518856A (zh) | 通过分光光度计测出透过率计算镀膜膜层厚度的方法 | |
JPH05249312A (ja) | 光学多層膜の作製方法 | |
JP4329981B2 (ja) | 誘電体多層膜フィルタの製造方法及び装置 | |
CN116892005A (zh) | 一种线性渐变窄带滤光片的制备方法 | |
JP2000171602A (ja) | 光学多層薄膜の形成方法および光学多層薄膜の形成装置 | |
JP2004069865A (ja) | 多層膜光フィルタ及びその製造方法とそれを用いる光学部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041130 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071210 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091210 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101210 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101210 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111210 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111210 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121210 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121210 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |