JP3621334B2 - 不揮発性メモリ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、不揮発性メモリ装置、特にフラッシュEEPROM型の不揮発性メモリ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
公知のように、メモリは、行列に配列した多数のセルから成るメモリアレイを備えている。
【0003】
一般に、行は“ワード線”と呼ばれ、列は“ビット線”と呼ばれている。
【0004】
CMOS型技術を使用するフラッシュEEPROM型のメモリの設計においては、まだ完全に安定化されておらず、ある場合には未だ研究中である製造プロセスの使用に関連したアスペクトを考慮する必要がある。
【0005】
これらのプロセスを使用することにより最も頻繁に生ずる問題の一つは、二つ以上の隣接したワード線/ビット線間の短絡の形成の問題である。
【0006】
一層特に、図1には複数のセル3から成るメモリアレイ2を有するメモリ装置1を示し、図面にはいくつかのセル3のみ図示されている。
【0007】
各メモリセル3は、ドレーン及びソース導通端子をもつ浮動ゲートトランジスタを有している。
【0008】
メモリセル3は、物理的にポリシリコン(poly2)のストリップから成る多数のローカルワード線LWL0,LWL1,LWL2,LWL3に配列され、各ローカルワード線は同一の行に配列したセル3のゲート端子を互いに接続している。
【0009】
各ビット線は、メタリック導通通路(メタル1)で構成され、同一列に配列したセルのドレイン端子を互いに接続し、またソース端子はすべてのセルに共通のソースラインに接続される。
【0010】
ローカルワード線のパケットの側にグローバルワード線MWL0が設けられ、このグローバルワード線MWL0は、出力として被調整電圧Vrを発生する電圧調整器REGの出力ノード及びグローバルワード線の第1デコーダ18に接続されている。
【0011】
図1において、メモリ装置1は、ローカルワード線LWL0,LWL1,LWL2,LWL3をアドレスする第2デコーダDECを使用している。
【0012】
第2デコーダDECは、各ローカルワード線LWL0,LWL1,LWL2,LWL3に一つづつ多数のインバータ4で概略的に示され、各インバータはエンドデコーダ5で駆動され、導通端子をローカルワード線例えばLWL0とグローバルワード線MWL0との間に接続したPMOSトランジスタM’及び導通端子をローカルワード線LWL0と接地端子GNDとの間に接続したNMOSトランジスタM”を備えている。 インバータ4は、トランジスタM’の中から、アドレスするようにされるローカルワード線(選択したワード線)に相応するものだけを作動するように駆動され、残りの全てのローカルワード線はそれぞれのトランジスタM”の導通によって接地される。
【0013】
メモリ装置のサイズの減少及びそれらの集積プロセスの進歩により、隣接のワード線/ビット線間のピッチの減少で、これらのラインが互いに接触する可能性が増大し、従って短絡を生じる。
【0014】
この問題を解決するために、一般的には、損傷を受けた全てのビット線/ワード線を交換するための特別のビット線/ワード線を設ける、いわゆる“冗長法(redundancy method)”の使用に頼っている。
【0015】
図2には各ワード線を分配RC回路網で表しており、隣接ワード線間に生じ得る短絡の幾つかの例を示している。
【0016】
特に、一つの第1の形式の短絡(非抵抗性)は、二つの短絡したワード線LWL1,LWL2(又はLWL3,LWL4)に対するインバータ4.1及び4.2(又は4.3及び4.4)が図2に示すように点線CORT1で直接接続される時に生じる。
【0017】
第2の形式の短絡(抵抗性)は、ワード線LWL5に対するインバータ4.5が図2に示すように点線CORT2で別のワード線LWL1の端部に接続される時に生じる。この場合、インバータ4.5と接地との間には抵抗Rwが存在する。
【0018】
第3の形式の短絡(抵抗性)は、二つの短絡したワード線LWL1,LWL2の端部が図2に示すように点線CORT3で短絡される時に生じる。この場合、選択したワード線と接地との間に接続したインバータ(例えば4.1又は4.3)の間には抵抗2Rwが存在する。
【0019】
【本発明が解決しようとする課題】
現在では、ワード線の完全性の検査は、メモリ装置の検査段階で実施され、外部的に実行されかつセル3内に書き込まれたデータの適切な形態における交差検査に基づく先進的なアルゴリズムを実行することにある。
【0020】
上記のアルゴリズムを使用すると、検査段階に伴う時間及びコストの両方が増大することになり、データ形態を検査するために、まずセル3に書き込みそして読取り、最後に短絡の有無を確認してから消去する必要があることを意味している。
【0021】
その結果、この公知の解決法は、複雑でコストがかかり、相当な量の時間を必要とする。
【0022】
本発明につながる技術的課題は、従来技術に関して上記で述べた制限や欠点のないメモリ装置を作ることにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題は、ゲート端子をワード線に接続したメモリセルのアレイを有し、ワード線が互いに平行でありかつ電圧発生回路の出力ノードに接続された少なくとも一つの選択したワード線を備え、出力ノードにはメモリセルのバイアス電流に関連した第1電流が流れ、また第1電流に関連した信号を受け、短絡が存在しない場合には第1レベルを有し、短絡が存在する場合には第2レベルを有する短絡信号を発生する出力端子を備えた短絡検出回路を有し、短絡検出回路が、第1電流を検出しそして第1電流に比例した第2電流を発生する電流センサ要素と、第2電流を受ける第1入力端子、基準信号を受ける第2入力端子及び短絡検出回路の出力端子に接続された出力端子を備えた比較要素とを備え、電圧発生回路が、制御端子及び出力ノードに接続された導通端子を備えた第1形式の出力トランジスタを備え、また電流センサ要素の入力端子が出力トランジスタの制御端子に接続され、電流センサ要素の出力端子が比較要素の第1入力端子に接続されていることを特徴とする不揮発性メモリ装置によって解決される。
【0024】
【発明の実施の形態】
本発明によるメモリ装置の特徴及び効果は、添付図面を参照して単に本発明を限定しない例示をなす実施の形態の以下の説明から明らかとなろう。
【0025】
図3に示すメモリ装置1は図1に関してすでに説明した構造を備え、従って図1と同じ部分は同じ参照番号で示され、さらには説明しない。
【0026】
図3には、電圧調整器REGの構造を詳細に示し、より一般的に電圧発生器として動作するこの電圧調整器は、基準電圧Vrefを受ける入力端子30及び被調整電圧Vrを発生する出力ノード11を備えている。
【0027】
特に、電圧調整器REGは差動増幅器OAを有し、この差動増幅器OAは電圧調整器REGの入力端子30と一致する第1入力端子と、第2フィードバック入力端子32と、出力端子13とを備えている。
【0028】
差動増幅器OAの第2フィードバック入力端子32は、電圧調整器REGに属しかつ互いに直列に接続された二つの抵抗R1,R2で構成された分圧器の中間ノード17に接続されている。分圧器R1,R2は接地線GNDと電圧調整器REGの出力ノード11との間に接続されている。
【0029】
電圧調整器REGにおいては、PMOS型出力トランジスタM1が設けられ、この出力トランジスタM1のソース端子、ドレイン端子及びゲート端子はそれぞれ、電圧Vppに設定された第1給電線15、電圧調整器REGの出力ノード11及び差動増幅器OAの出力端子13に接続されている。
【0030】
メモリ装置1はさらに、同一チップ100に集積した検出回路10を有し、この検出回路10は二つ以上の隣接したワード線LWL0,LWL1,LWL2,LWL3間の短絡を検出する。検出回路10の入力端子は差動増幅器OAの出力端子13に接続され、検出回路10の出力端子16において、短絡が生じているいるか否かを表すデジタル信号Voが発生する。
【0031】
検出回路10はまた、PMOSトランジスタM2を備えた電流センサを有し、PMOSトランジスタM2のゲート端子は差動増幅器OAの出力端子13に接続され、ソース端子は第1給電線15に接続され、またドレイン端子は第1電流ミラー回路21に接続されている。
【0032】
第1電流ミラー回路21は二つのNMOSトランジスタM3,M4で構成されている。詳細には、トランジスタM3は接続されたダイオードであり(すなわちそのドレイン端子及びゲート端子は短絡され)、ドレイン端子はトランジスタM2のドレイン端子に接続され、ソース端子は接地線GNDに接続され、ゲート端子はトランジスタM4のゲート端子に接続されている。トランジスタM4のソース端子は接地線GNDに接続され、またトランジスタM4のドレイン端子は第1回路ノード22に接続されている。
【0033】
検出回路10はまた、第2電流ミラー回路12を有し、この第2電流ミラー回路12は電流・電圧変換器を構成し、二つのPMOSトランジスタM5,M6で構成されている。詳細には、トランジスタM6は接続されたダイオードであり(すなわちそのドレイン及びゲート端子は短絡され)、それのドレイン端子は第2回路ノード23に接続され、第2回路ノード23は基準電流Irefを発生する発生器の端子に接続されている。
【0034】
トランジスタM6のソース端子は、電圧Vddに設定された第2給電線25に接続され、トランジスタM6のゲート端子はトランジスタM5のゲート端子に接続されている。トランジスタM5のソース端子は第2給電線25に接続され、トランジスタM5のドレイン端子は第1回路ノード22に接続されている。
【0035】
さらに、検出回路10は電圧比較器回路を備えた比較要素14を有し、この電圧比較器回路は、それぞれ第1回路ノード22及び第2回路ノード23に接続された反転入力端子及び非反転入力端子、並びに検出回路10の出力端子16を画定する出力端子を備えている。
【0036】
次にメモリ装置1の動作について説明する。すなわち、読取り又はプログラミング状態において、選択したセル3のゲート端子に印加される電圧は予め設定され、電圧調整器REGによって調整される。例えば、選択したワード線はLWL0であるとする。最初に、被調整電圧Vrを印加すると、電圧調整器REGの出力トランジスタM1には、二つの別個の電流すなわち分圧器R1,R2による定電流Ipと選択したワード線LWL0の電荷によるダイナミック電流Iwとの和に等しい電流IM1が流れる。その後、選択したワード線LWL0の電荷遷移は、選択したワード線LWL0が他のワード線と分離され、短絡されない場合、その行と組合さった時定数RCに依存する時間で消え、電流Iwをアドレス操作するために使用したデコーディング構造がCMOS型のものである値ゼロにする。
【0037】
代わりに、選択したワード線LWL0が他のワード線例えばワード線LWL2と短絡される場合には、電流Iwは、定常状態に達すると、ゼロではなく、選択したワード線LWL0と短絡した隣接したワード線LWL2に接続した端部インバータに属するNMOXトランジスタM”によってもたらされる電流で決められる。実際、上記のトランジスタM”がオンすると、隣接したワード線LWL2は接地されなければならない。特に、上記の電流Iwは、存在する短絡の形式(図2を参照して上記で説明したように抵抗性であるか否か)に依存している。
【0038】
図4及び図5は、選択したワード線LWL0が一つ以上の隣接したワード線と短絡されない場合を示している。
【0039】
さらに詳細には、図4は、選択したローカルワード線LWL0及び相応したグローバルワード線MWL0に印加される電圧を時間軸上に示している。グローバルワード線MWL0及びローカルワード線LWL0の電荷遷移中に、印加される電圧が定常状態に達してプリセット値に達するまでどのように上昇するかが認められる。
【0040】
一方、選択したローカルワード線LWL0のバイアス電流Iwはその電荷遷移においてピークとなり、その後図5に示すように定常状態の値ゼロに降下する。
【0041】
図6及び図7は、選択したワード線LWL0が一つ以上の隣接したワード線例えばLWL2と短絡される場合を示している。
【0042】
より詳細には、図6には選択したローカルワード線LWL0及び相応したグローバルワード線MWL0に印加される電圧を時間軸上に示している。グローバルワード線MWL0及びローカルワード線LWL0の電荷遷移中に、印加される電圧が定常状態に達して、例えば選択したローカルワード線LWL0に対して短絡のない場合より低いプリセット値に達するまでどのように上昇するかが認められる。
【0043】
一方、選択したローカルワード線LWL0のバイアス電流Iwはその電荷遷移においてピークとなり、その後選択したローカルワード線LWL0と短絡した隣接したワード線LWL2に接続した終端インバータに属するNMOSトランジスタM”によってもたらされる電流に依存する定常状態の非ゼロ値となる。
【0044】
代わりに、電圧調整器REGの出力トランジスタM1は、その寸法の減少を考慮して被調整電圧Vrのレベルを低減するように電流量を吸収できず、このため、被調整電圧Vrの値を単に検査することに基づいて評価を行うことにより二つ以上の隣接したワード線間の短絡の有無を検出することができない。
【0045】
一方、消去するのに選択したローカルワード線LWL0と関連した寄生容量Cwの電荷による遷移に必要な時間が経過するとすると、ワード線間の短絡の存在は、トランジスタM1に流れる電流IM1から一定値Ipを引いた値に基いて検出することができる。
【0046】
実際に、トランジスタM2には、二つのトランジスタM2,M1の形状のファクタ間の比率(W/L)に従って電流IM1に比例する電流IM2が流れ、これら二つのトランジスタのゲート・ソース電圧Vgsは同じである。
【0047】
その結果、電流IM1、IM2は、
IM1=Ip+Iw (1)
IM2=IM1/k (2)
に等しく、従って、
IM2=(Ip+Iw)/k
である。
【0048】
IM2は第1電流ミラー回路21によって反射され、第1回路ノード22に現れる。
【0049】
第2回路ノード23には代わりに基準電流Irefが流れる。
【0050】
第2電流ミラー回路12は、電流IM2及びIrefを相応した電圧値に変換し、これらの電圧値は比較要素14によって比較される。比較要素14の出力端子16に現れる電圧デジタル信号Voは、二つの電流のどちらが大きいかを表す。
【0051】
基準電流Irefの値を
Iref=(Ip+Iw/2)/k (3)
に設定すると、すなわち、定常状態を達成すると可能である二つの電流値間の中間すなわち非短絡ワード線の場合IM1=IM1’=Ip(Iw=0)また短絡ワード線の場合IM1=IM1”=Ip+Iwに設定すると、比較要素14の入力は等しくならない。
【0052】
このように、比較要素14が十分に感応性であるよう比較要素14の寸法決めに注意すれば、この要素の出力は決して決められないことはないが、常に選択したローカルワード線LWL0の短絡又は非短絡を表すことになる。
【0053】
特に、電圧デジタル信号Voは、IM1=IM1’の場合には第1論理レベルを、またIM1=IM1”の場合には第2論理レベルとなる。
【0054】
【発明の効果】
上記のメモリ装置1は次のような効果を有する。すなわち、
メモリ装置1が同一チップにメモリアレイと短絡検出器との両方を集積しているので、試験状態において、出力ピンの一つに、前に述べたアルゴリズムの使用に頼る必要なしに短絡が生じたか否かを確認するための任意のワード線の状態を直接読取ることができる。
【0055】
また、試験状態において、セルの任意の書込み操作及び書込み操作の終了時にセルを消去する操作を行う必要がない。
【0056】
これは全て、メモリ装置の試験状態における時間及びコストの両方を相当に節約できることを意味している。
【0057】
さらに、説明し例示してきたメモリ装置に対して種々の変更及び変形が可能であり、それらの変更及び変形は全て特許請求の範囲に記載した発明の概念の範囲にある。特に、上記のメモリ装置は2レベル型か又はマルチレベル型のものとしてもよく、また電圧調整器REGによって発生した被調整電圧Vrが一定であるか又は可変例えば線形的に増大するかに関係なく有利に動作し得る。さらに、特にローカルワード線間の短絡の検出に関して本発明を説明してきたが、階層的に構成されないメモリすなわち単一ワード線検出器が設けられるメモリの場合に、本発明はグローバルワード線間又は汎用ワード線間の短絡を検出するのに等しく適用できる。さらに、本発明は、特に、電圧調整器REGの出力トランジスタM1がPMOS型のものである場合について説明してきたが、本発明は選択したワード線の電荷によるダイナミック電流と関連した電流が流れる出力トランジスタを備える電圧調整器に等しく適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術により構成されるメモリ装置の電気配線を示す図である。
【図2】メモリ装置の隣接ワード線間に生じ得る短絡の幾つかの例を示す図である。
【図3】本発明によって構成したメモリ装置の電気配線を示す図である。
【図4】図3の装置において測定した電気量を時間に対比して示す図である。
【図5】図3の装置において測定した電気量を時間に対比して示す図である。
【図6】図3の装置において測定した電気量を時間に対比して示す図である。
【図7】図3の装置において測定した電気量を時間に対比して示す図である。
【符号の説明】
1 メモリ装置
2 セルアレイ
3 メモリセル
10 短絡検出回路
11 出力ノード
MWL グローバルワード線
LWL ローカルワード線
REG 電圧発生回路
Iw バイアス電流
IM1 第1電流
Vo 短絡信号
Claims (8)
- ゲート端子をワードライン(MWL,LWL)に接続したメモリセル(3)のアレイ(2)を有し、前記ワードラインが互いに平行でありかつ電圧発生回路(REG)の出力ノード(11)に接続された少なくとも一つの選択したワードライン(LWL1)を備え、前記出力ノード(11)にはメモリセル(3)のバイアス電流(Iw)に関連した第1電流(IM1)が流れる不揮発性メモリ装置において、前記第1電流(IM1)に関連した信号を受け、短絡が存在しない場合には第1レベルを有し、短絡が存在する場合には第2レベルを有する短絡信号(Vo)を発生する出力端子を備えた短絡検出回路(10)を有し、
前記短絡検出回路(10)が、
前記第1電流(IM1)を検出しそして前記第1電流(IM1)に比例した第2電流(IM2)を発生する電流センサ要素(M2)と、
前記第2電流(IM2)を受ける第1入力端子、基準信号(Iref)を受ける第2入力端子及び前記短絡検出回路(10)の出力端子に接続された出力端子を備えた比較要素(14)とを備え、
前記電圧発生回路(REG)が、制御端子(13)及び前記出力ノード(11)に接続された導通端子を備えた第1形式の出力トランジスタ(M1)を備え、また前記電流センサ要素(M2)の入力端子が前記出力トランジスタ(M1)の前記制御端子に接続され、前記電流センサ要素(M2)の出力端子が前記比較要素(14)の前記第1入力端子に接続されていることを特徴とする不揮発性メモリ装置。 - 前記第1電流(IM1)が、定常状態に達すると、前記選択したワードライン(LWL1)の基準状態に相応した第一の値(IM1’)及び前記選択したワードライン(LWL1)と一つ以上の隣接したワードラインとの短絡の状態に相応した第二の値(IM1”)となり、また前記短絡検出回路(10)は、前記第1電流(IM1)が前記第一の値(IM1’)に等しい値をもつ場合には前記短絡信号(Vo)の第1レベルを発生し、前記第1電流(IM1)が前記第二の値(IM1”)に等しい値をもつ場合には前記短絡信号(Vo)の第2レベルを発生する発生手段(14)を備えていることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
- 前記電流センサ要素(M2)が前記第1形式の関知トランジスタ(M2)を備え、前記関知トランジスタ(M2)の制御端子が前記出力トランジスタ(M1)の制御端子(13)に接続され、前記関知トランジスタ(M2)の導通端子が第1給電線(15)に接続され、また前記関知トランジスタ(M2)の第2導通端子が第1電流ミラー回路(21)を介して前記比較要素(14)の前記第1入力端子に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性メモリ装置。
- 前記短絡検出回路(10)が、さらに、第2給電線(25)と前記比較要素(14)の前記第1、第2入力端子との間に接続された電流・電圧変換回路(12)を備え、前記電流・電圧変換回路(12)が第2電流ミラー回路(12)を含んでいることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の不揮発性メモリ装置。
- 前記比較要素(14)が、非反転入力端子、反転入力端子及び出力端子をそれぞれ前記比較要素の前記第1入力端子、前記第2入力端子及び前記出力端子に接続した電圧比較器回路(14)を備えていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の不揮発性メモリ装置。
- 前記出力トランジスタ(M1)及び前記センシングトランジスタ(M2)がPMOS型のものであり、前記第1電流ミラー回路(21)がNMOSトランジスタ(M3,M4)から成り、前記第2電流ミラー回路(12)がPMOSトランジスタ(M5,M6)から成ることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の不揮発性メモリ装置。
- 前記短絡検出回路(10)が、さらに、前記比較要素(14)の前記第2入力端子に接続され、前記基準電流(Iref)を発生する基準電流(Iref)発生器を備え、前記基準電流が前記第1電流(IM1)の前記第一の値(IM1’)と前記第二の値(IM1”)との間の中間値をもつことを特徴とする請求項2〜6のいずれか一項に記載の不揮発性メモリ装置。
- メモリセル(3)の前記アレイ(2)と、前記電圧発生回路(REG)と、前記短絡検出回路(10)とが、同一のチップ(100)に集積されていることを特徴とする請求項2〜6のいずれか一項に記載の不揮発性メモリ装置。
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