JP3594135B2 - 半導体検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検査対象、例えばIC、LSI等を検査する半導体検査装置に関し、広帯域の信号の時間測定ができ、汎用的に時間測定ができる半導体検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体検査装置は、被検査対象(以下DUTと略す)、例えば、IC、LSI等に検査信号(デジタル信号、アナログ信号)を与え、DUTの出力(デジタル信号)と期待値パターンとを比較し、DUTの良否の判定を行う。また、半導体検査装置は、DUTに検査信号(デジタル信号、アナログ信号)を与え、DUTの出力(アナログ信号)を測定し、DUTの良否の判定を行う。このような装置を図3に示し説明する。
【0003】
図3において、DUT1は、複数設けられ、例えばIC、LSI等である。テストヘッド2は、複数のDUT1に電気的に接続し、ピンエレクトロニクス20が複数搭載される。ピンエレクトロニクス20は、複数のドライバ21、複数のコンパレータ22等が設けられ、DUT1と電気的に接続し、信号の授受を行う。ドライバ21は、デジタル信号を入力し、出力する。コンパレータ22は、ドライバ21の出力端子とDUT1のピンとを電気的に接続する。マルチプレクサ3は、図示しない本体に設けられ、複数のコンパレータ22の出力端子と接続し、コンパレータ22の2つを選択して出力する。時間測定部4は、図示しない本体に設けられ、マルチプレクサ3が選択した信号を入力し、周期、周波数、2つの信号間のタイムインターバル測定を行う。
【0004】
このような装置の動作を以下に説明する。各ドライバ21が各コンパレータ22に信号を出力し、マルチプレクサ3がコンパレータ22の出力を選択する。そして、時間測定部4がマルチプレクサ3の出力の時間を測定し、信号経路間の遅延時間の差を校正する。つまり、校正値として図示しない記憶部に記憶する。
【0005】
ドライバ21が、DUT1にデジタル信号を与える。この結果、DUT1がアナログ信号を出力し、コンパレータ22が、所望のレベルとDUT1の出力とを比較し、比較結果(デジタル信号)を出力する。マルチプレクサ3が複数のコンパレータ22から選択して時間測定部4に入力する。そして、時間測定部4は、周期、周波数、2つの信号間のタイムインターバル測定を行う。特に、タイムインターバル測定では、校正値を用いて校正を行い、正確な時間を得る。ここで、DUT1がアナログ信号を出力する構成を示したが、デジタル信号でもよい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
コンパレータ22を用いて、所望のレベルと比較を行っているが、コンパレータ22は、デジタル信号のハイレベル、ロウレベルを決めるために用いられている。このため、コンパレータ22は、広帯域に対応できない。
【0007】
コンパレータ22を広帯域にすることも考えられるが、コンパレータ22はテストヘッド2に1024ピン分用いられることもあり、高価になってしまうという問題点があった。
【0008】
そこで、本発明の目的は、広帯域の信号の時間測定ができ、汎用的に時間測定ができる半導体検査装置を実現することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明は、
被検査対象を検査する半導体検査装置において、
ドライバ、コンパレータを少なくとも有し、前記被検査対象と信号の授受を行う複数のピンエレクトロニクスと、
前記被試験対象の出力を入力する少なくとも1つのケーブルと、
前記ピンエレクトロニクスのコンパレータ出力または前記ケーブルの出力を切り換える切換部と、
この切換部の出力を入力し、前記被検査対象の出力の時間測定を行う時間測定部と
を設けたことを特徴とするものである。
【0011】
請求項2記載の本発明は、請求項1記載の本発明において、
時間測定部が、ピンエレクトロニクスのドライバ出力により、ケーブルによる信号経路またはコンパレータによる信号経路の遅延時間を測定し、被検査対象の出力の時間測定の測定結果の校正値とすることを特徴とするものである。
【0012】
請求項3記載の本発明は、請求項1または2記載の本発明において、
ピンエレクトロニクスのコンパレータ出力またはケーブルの出力を入力し、時間測定部の測定開始を制御する測定制御部を設けたことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の第1の実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0014】
図1において、ケーブル23は同軸ケーブルで、テストヘッド2に2本設けられ、一端をDUT1に電気的に接続する。ケーブル24は同軸ケーブルで、テストヘッド2に設けられ、DUT1に電気的に接続する。切換部5は、図示しない本体に設けられ、ピンエレクトロンクス20、ケーブル23に電気的に接続し、2つのマルチプレクサ51、2つのスイッチ52からなる。マルチプレクサ51は、ピンエレクトロニクス20のコンパレータ22の出力を切り換える。スイッチ52は、ケーブル23とマルチプレクサ51とを切り換える。時間測定部6は、本体に設けられ、切換部5の出力を入力し、時間測定を行う。
【0015】
時間測定部6は、2つのスイッチ61、2つのアッテネータ62,63、2つのスイッチ64、2つのバッファ65、2つの電圧源66、2つのコンパレータ67、1つの測定部68からなる。スイッチ61は、スイッチ52の出力端に入力端を接続し、2つの出力端に切り換える。アッテネータ62は、スイッチ61の出力端の一方に入力端を接続する。アッテネータ63は、アッテネータ62より減衰率が大きく、スイッチ62の出力端の他方に入力端を接続する。スイッチ64は、アッテネータ62,63の出力端に切り換えて入力端を接続する。バッファ65は、スイッチ64の出力端に入力端を接続する。電圧源66は、可変の電圧を出力する。コンパレータ67は、バッファ65の出力と電圧源66の出力とを比較する。測定部68は、2つのコンパレータ67の出力を入力し、時間測定を行う。
【0016】
マルチプレクサ7は切換部で、本体に設けられ、コンパレータ22の出力を切り換える。バッファ8は、本体に設けられ、入力端をケーブル24の他端に接続する。測定制御部9は、本体に設けられ、マルチプレクサ7の出力、バッファ8の出力を入力し、時間測定部6(測定部68)の測定開始を制御する。
【0017】
このような装置の動作を以下で説明する。まず、校正動作について説明する。マルチプレクサ51が、複数のコンパレータ22から1つを選択する。そして、スイッチ52にマルチプレクサ51を選択させ、スイッチ61にアッテネータ62を選択させ、スイッチ64にアッテネータ62を選択させる。
【0018】
そして、各ドライバ21から信号を各コンパレータ22に出力し、マルチプレクサ51、スイッチ52,61を介して、アッテネータ62に入力される。そして、信号は、アッテネータ62で減衰され、スイッチ64、バッファ65を介して、コンパレータ67に入力される。コンパレータ67は、電圧源66の電圧と比較し、信号の変化点、つまり、ロウレベルからハイレベルに立ち上がる点を補足して、測定部68に出力する。測定部68は、全信号経路の遅延時間(ドライバ21出力からの時間)を得て、図示しない記憶部に格納し、信号経路間の時間差を校正値とする。
【0019】
同様に、スイッチ52にケーブル23を選択させ、スイッチ61にアッテネータ62を選択させ、スイッチ64にアッテネータ62を選択させる。そして、ピンエレクトロニクス20とケーブル23とを接続する。通常、DUT1と、ピンエレクトロニクス20またはケーブル23とを接続するパフォーマンスボードと呼ばれるプリント基板の代わりに、校正ボードと呼ばれるプリント基板をテストヘッド2に載せることにより、DUT1側で、所望のドライバ21とケーブル23とが電気的に接続される。
【0020】
そして、ドライバ21から信号をケーブル23に出力し、スイッチ52,61を介して、アッテネータ62に入力される。そして、信号は、アッテネータ62で減衰され、スイッチ64、バッファ65を介して、コンパレータ67に入力される。コンパレータ67は、電圧源66の電圧と比較し、測定部68に出力する。測定部68は、ケーブル23を通過する経路の遅延時間を得て、図示しない記憶部に格納し、信号経路間の時間差を校正値とする。
【0021】
次に、測定動作について説明する。マルチプレクサ51が、複数のコンパレータ22から1つを選択する。そして、スイッチ52にマルチプレクサ51を選択させ、スイッチ61にアッテネータ62を選択させ、スイッチ64にアッテネータ62を選択させる。そして、コンパレータ22がDUT1の出力を入力し、補足してデジタル信号を出力する。この信号は、マルチプレクサ51、スイッチ52,61を介して、アッテネータ62に入力される。そして、信号は、アッテネータ62で減衰され、スイッチ64、バッファ65を介して、コンパレータ67に入力される。コンパレータ67は、電圧源66の電圧と比較し、信号の変化点、つまり、ロウレベルからハイレベルに立ち上がる点を補足して、測定部68に出力する。測定部68は、時間測定、つまり、周期、周波数の測定を行う。また、測定部68が、DUT1の2つの信号間のタイムインターバル測定を行い、校正値を用いて、測定結果の校正を行う。
【0022】
同様に、スイッチ52にケーブル23を選択させ、スイッチ61にアッテネータ63を選択させ、スイッチ64にアッテネータ63を選択させる。ここで、アッテネータ63を選ぶ動作を示したが、DUT1が出力する信号の電圧レベルによって、アッテネータ62に切り換えられることはいうまでもない。そして、ケーブル23がDUT1の出力を入力し、スイッチ52,61を介して、アッテネータ63に出力される。そして、信号は、アッテネータ63で減衰され、スイッチ64、バッファ65を介して、コンパレータ67に入力される。コンパレータ67は、電圧源66の電圧と比較し、信号の変化点、つまり、ロウレベルからハイレベルに立ち上がる点を補足して、測定部68に出力する。測定部68は、時間測定、つまり、周期、周波数の測定を行う。また、測定部68が、DUT1の2つの信号間のタイムインターバル測定を行い、校正値を用いて、測定結果の校正を行う。
【0023】
また、切換部5の一方のスイッチ52がケーブル23に切り換えて、他方のスイッチ52がピンエレクトロニクス20に切り換える。そして、測定部68が、ケーブル23を通過した信号とピンエレクトロニクス20を通過した信号とのタイムインターバル測定を行い、校正値を用いて、測定結果の校正を行ってもよい。
【0024】
次に、測定制御部9を用いた動作例を説明する。例えば、DUT1がフェーズ・ロック・ループ回路(以下PLLと略す)の場合、ロックした時点から測定を開始することが考えられる。この場合、PLLの周波数信号ではなく、他のロックを検出できる信号により、PLLの周波数信号の周波数測定を開始する。
【0025】
このような場合、DUT1がピンエレクトロニクス20のコンパレータ22またはケーブル24に出力する。コンパレータ22の場合、ピンエレクトロニクス20のコンパレータ22の出力は、マルチプレクサ7で選択され、測定制御部9に入力される。ケーブル24の場合、ケーブル24の出力は、バッファ8を介して、測定制御部9に入力される。そして、測定制御部9は、DUT1からの信号に基づいて、測定部68に測定開始を指示する。そして、測定部68は、上述のような測定を行う。
【0026】
このように、DUT1の出力を入力するピンエレクトロニクス20のコンパレータ22の出力、または、DUT1の出力を入力するケーブル23の出力を、切換部5で切り換えて、時間測定部6に入力したので、ピンエレクトロニクス20のコンパレータ22を介さずに、DUT1の出力を時間測定部6に入力でき、広帯域の信号の時間測定を行える。また、ピンエレクトロニクス20が複数あるので、DUT1のピンに対して、複数接続することができ、多くのピンに対して時間測定を行うことができる。
【0027】
また、時間測定部6が、ピンエレクトロニクス20のドライバ21出力により、ケーブル23による信号経路またはコンパレータ22による信号経路の遅延時間を測定し、校正値とするので、信号間のタイムインターバル測定を精度よく行うことができる。
【0028】
そして、測定制御部9が、ピンエレクトロニクス20のコンパレータ22出力またはケーブル24の出力を入力し、時間測定部5の測定開始を制御するので、コンパレータ22による信号経路またはケーブル23による信号経路の任意の経路に対して測定開始を行える。
【0029】
次に、第2の実施例を図2に示し説明する。図2に示す装置は、切換部5、時間測定部6を複数設けた構成で、並列動作を行うことで、テストスピードを短縮できる。また、測定部68に入力する信号経路を増やせば、タイムインターバルの測定方法を増やすことができる。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項1によれば、被検査対象の出力を入力するピンエレクトロニクスのコンパレータの出力、または、被検査対象の出力を入力するケーブルの出力を、切換部で切り換えて、時間測定部に入力したので、ピンエレクトロニクスのコンパレータを介さずに、被検査対象の出力を時間測定部に入力でき、広帯域の信号の時間測定を行える。また、ピンエレクトロニクスが複数あるので、被検査対象のピンに対して、複数接続することができ、多くのピンに対して時間測定を行うことができる。
【0031】
請求項2によれば、時間測定部が、ピンエレクトロニクスのドライバ出力により、ケーブルによる信号経路またはコンパレータによる信号経路の遅延時間を測定し、校正値とするので、信号間のタイムインターバル測定を精度よく行うことができる。
【0032】
請求項3によれば、測定制御部が、ピンエレクトロニクスのコンパレータ出力またはケーブルの出力を入力し、時間測定部の測定開始を制御するので、コンパレータによる信号経路またはケーブルによる信号経路の任意の経路に対して測定開始を行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示した構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示した構成図である。
【図3】従来例の半導体検査装置の構成を示した図である。
【符号の説明】
1 DUT
20 ピンエレクトロニクス
21 ドライバ
22 コンパレータ
23,24 ケーブル
5 切換部
6 時間測定部
9 測定制御部
Claims (3)
- 被検査対象を検査する半導体検査装置において、
ドライバ、コンパレータを少なくとも有し、前記被検査対象と信号の授受を行う複数のピンエレクトロニクスと、
前記被試験対象の出力を入力する少なくとも1つのケーブルと、
前記ピンエレクトロニクスのコンパレータ出力または前記ケーブルの出力を切り換える切換部と、
この切換部の出力を入力し、前記被検査対象の出力の時間測定を行う時間測定部と
を設けたことを特徴とする半導体検査装置。 - 時間測定部が、ピンエレクトロニクスのドライバ出力により、ケーブルによる信号経路またはコンパレータによる信号経路の遅延時間を測定し、被検査対象の出力の時間測定の測定結果の校正値とすることを特徴とする請求項1記載の半導体検査装置。
- ピンエレクトロニクスのコンパレータ出力またはケーブルの出力を入力し、時間測定部の測定開始を制御する測定制御部を設けたことを特徴とする請求項1または2記載の半導体検査装置。
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