JP3589762B2 - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク等の磁気ディスク装置に使用される金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクに用いられる金属薄膜型磁気記録媒体は、一般に図１に示す如く、Ａｌ合金又はガラスの如き非磁性のサブストレート上に非晶質のＮｉＰ層が形成された媒体基板に、Ｃｒ又はＣｒを主成分とする下地層、Ｃｏ合金の磁性層、及び保護膜が順次成膜積層して形成されている。
【０００３】
近時、金属薄膜型磁気記録媒体は、記録密度（線記録密度及びトラック密度）の向上に伴なって記録分解能を高める必要があり、このため、磁気記録媒体は高保磁力を具備することが要請されている。
この要請に応えるものとして、磁性層を構成するＣｏ合金に、Ｐｔを約１０原子％程度含有させることにより、その保磁力を向上させるものがある。しかし、Ｐｔを約１０原子％も含有すると、スパッタリング成膜におけるターゲットが非常に高価なものとなり、その経済性に難点があるばかりか、媒体ノイズが大きくなる不都合がある。一方、Ｐｔの含有量を少なくすると、保磁力の向上効果が不十分となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、磁性層のＣｏ合金に添加するＰｔの含有量を少なくしても、高い保磁力を具備できる磁気記録媒体を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の磁気記録媒体は、非磁性の媒体基板上に、下地層、Ｐｔ含有Ｃｏ合金の磁性層及び保護膜を順次積層してなる金属薄膜型磁気記録媒体において、下地層を、原子％にて、Ｔａ：１〜６％、Ｃｕ：１〜６％、残部実質的にＣｒからなる成分組成としたことを特徴としている。
【０００６】
Ｔａは、Ｃｒに固溶してＣｒの結晶格子定数を増大させる作用がある。Ｔａの含有量を１〜６％とするのは、含有量が１％に満たないと結晶格子定数増大効果が十分でなく、一方、６％を超えて含有するとＣｒが非晶質になって保磁力の低下を招く虞れがあるためである。
【０００７】
Ｃｕは、結晶粒を微細化する作用を有すると共に、粒界に偏析してＴａの格子定数増大効果を促進する作用を有する。Ｃｕの含有量を１〜６％とするのは、含有量が１％に満たないとこれらの効果が十分でなく、６％を超えて含有すると、磁性層に対するＣｒの結晶配向性効果が損なわれる虞れがあるためである。
【０００８】
磁性層を構成するＰｔ含有Ｃｏ合金として、例えば、原子％にて、Ｃｒ：８〜１６％、Ｔａ：３％を超えて７％未満、Ｐｔ：３〜６％、残部実質的にＣｏからなる成分組成のＣｏ合金を挙げることができる。Ｃｒは偏析により保磁力を向上させる効果があり、ＴａはＣｒの偏析を助長して保磁力の向上を促進し、Ｐｔは磁気的異方性を大きくして保磁力の向上に有効だからである。
このＣｏ合金は、必要に応じて、Ｎｉ：１０％以下、Ｂ：４％以下を含有することができる。Ｎｉは保磁力と角形比の向上に有用であり、ＢはＰｔの高保磁力化をさらに促進する作用を有するからである。
【０００９】
磁性層を構成するＰｔ含有Ｃｏ合金は、下地層のＣｒ合金粒子との間でエピタキシャル成長するが、下地層の成分を前記組成としたことにより、エピタキシャル成長に伴う結晶格子との整合性が良好なものとなり、保磁力が向上するものと考えられる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１に示す如く、本発明の金属薄膜型磁気記録媒体（１）は、Ａｌ合金又はガラスからなるサブストレート（２１）にＮｉＰ層（２２）を形成した媒体基板（２）の上に、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）が、この順序で積層成膜している。図１では、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）が、媒体基板（２）に関して対称に成膜されおり、両面で書込み／読出しを行なえる構成としているが、各層を片面にのみ成膜して、片面のみで書込み／読出しを行なう構成とすることもできる。ＮｉＰ層（２２）、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）の形成は、公知の如く、ＤＣスパッタリング法、メッキ法又はその他真空蒸着法により行なうことができる。
【００１１】
【実施例】
ＡｌのサブストレートにＮｉＰ層が成膜された媒体基板（外径３．５インチ、厚さ３１．５ｍｉｌ）を約２５０℃の温度で加熱し、ＤＣスパッタリング装置を用いて、下地層、磁性層及び保護膜を形成し、各種供試磁気記録媒体を作製した。
下地層の成分組成と、磁性層の成分組成を表１に示す。なお、下地層の層厚は約６００Å、磁性層の層厚は約４００Å、保護膜は実質的にＣからなり、その層厚は約１２０Åである。また、下地層と磁性層の成膜時のバイアス電圧は約−２００Ｖである。
各供試磁気記録媒体について、下地層の格子定数をＸ線回折により求め、保磁力の測定結果とを併せて表１に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】
表１中、供試Ｎｏ．１は下地層が実質的にＣｒからなる比較例、供試Ｎｏ．２及びＮｏ．３は下地層にＴａを含有する比較例、供試Ｎｏ．４は下地層にＣｕを含有する比較例、供試Ｎｏ．５及びＮｏ．６は下地層にＴａとＣｕの両元素を含有する本発明の実施例である。
表１の結果から明らかなように、ＴａとＣｕの両元素を所定量含有したＣｒ基合金の下地層を用いると、下地層の結晶格子定数が大きくなり、磁気記録媒体は高い保磁力を具備できることがわかる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体は、上記の如く、磁性層を形成するＣｏ合金中におけるＰｔの含有量が約３〜６原子％と低い場合であっても、高い保磁力を具備することができる。従って、スパッタリング成膜におけるターゲットのコスト低減を達成できると共に、すぐれた記録分解能を具備し、磁気記録媒体の記録密度の向上に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】金属薄膜型磁気記録媒体の部分断面図である。
【符号の説明】
（１） 金属薄膜型磁気記録媒体
（２） 媒体基板
（３） 下地層
（４） 磁性層
（５） 保護膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク等の磁気ディスク装置に使用される金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクに用いられる金属薄膜型磁気記録媒体は、一般に図１に示す如く、Ａｌ合金又はガラスの如き非磁性のサブストレート上に非晶質のＮｉＰ層が形成された媒体基板に、Ｃｒ又はＣｒを主成分とする下地層、Ｃｏ合金の磁性層、及び保護膜が順次成膜積層して形成されている。
【０００３】
近時、金属薄膜型磁気記録媒体は、記録密度（線記録密度及びトラック密度）の向上に伴なって記録分解能を高める必要があり、このため、磁気記録媒体は高保磁力を具備することが要請されている。
この要請に応えるものとして、磁性層を構成するＣｏ合金に、Ｐｔを約１０原子％程度含有させることにより、その保磁力を向上させるものがある。しかし、Ｐｔを約１０原子％も含有すると、スパッタリング成膜におけるターゲットが非常に高価なものとなり、その経済性に難点があるばかりか、媒体ノイズが大きくなる不都合がある。一方、Ｐｔの含有量を少なくすると、保磁力の向上効果が不十分となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、磁性層のＣｏ合金に添加するＰｔの含有量を少なくしても、高い保磁力を具備できる磁気記録媒体を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の磁気記録媒体は、非磁性の媒体基板上に、下地層、Ｐｔ含有Ｃｏ合金の磁性層及び保護膜を順次積層してなる金属薄膜型磁気記録媒体において、下地層を、原子％にて、Ｔａ：１〜６％、Ｃｕ：１〜６％、残部実質的にＣｒからなる成分組成としたことを特徴としている。
【０００６】
Ｔａは、Ｃｒに固溶してＣｒの結晶格子定数を増大させる作用がある。Ｔａの含有量を１〜６％とするのは、含有量が１％に満たないと結晶格子定数増大効果が十分でなく、一方、６％を超えて含有するとＣｒが非晶質になって保磁力の低下を招く虞れがあるためである。
【０００７】
Ｃｕは、結晶粒を微細化する作用を有すると共に、粒界に偏析してＴａの格子定数増大効果を促進する作用を有する。Ｃｕの含有量を１〜６％とするのは、含有量が１％に満たないとこれらの効果が十分でなく、６％を超えて含有すると、磁性層に対するＣｒの結晶配向性効果が損なわれる虞れがあるためである。
【０００８】
磁性層を構成するＰｔ含有Ｃｏ合金として、例えば、原子％にて、Ｃｒ：８〜１６％、Ｔａ：３％を超えて７％未満、Ｐｔ：３〜６％、残部実質的にＣｏからなる成分組成のＣｏ合金を挙げることができる。Ｃｒは偏析により保磁力を向上させる効果があり、ＴａはＣｒの偏析を助長して保磁力の向上を促進し、Ｐｔは磁気的異方性を大きくして保磁力の向上に有効だからである。
このＣｏ合金は、必要に応じて、Ｎｉ：１０％以下、Ｂ：４％以下を含有することができる。Ｎｉは保磁力と角形比の向上に有用であり、ＢはＰｔの高保磁力化をさらに促進する作用を有するからである。
【０００９】
磁性層を構成するＰｔ含有Ｃｏ合金は、下地層のＣｒ合金粒子との間でエピタキシャル成長するが、下地層の成分を前記組成としたことにより、エピタキシャル成長に伴う結晶格子との整合性が良好なものとなり、保磁力が向上するものと考えられる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１に示す如く、本発明の金属薄膜型磁気記録媒体（１）は、Ａｌ合金又はガラスからなるサブストレート（２１）にＮｉＰ層（２２）を形成した媒体基板（２）の上に、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）が、この順序で積層成膜している。図１では、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）が、媒体基板（２）に関して対称に成膜されおり、両面で書込み／読出しを行なえる構成としているが、各層を片面にのみ成膜して、片面のみで書込み／読出しを行なう構成とすることもできる。ＮｉＰ層（２２）、下地層（３）、磁性層（４）及び保護膜（５）の形成は、公知の如く、ＤＣスパッタリング法、メッキ法又はその他真空蒸着法により行なうことができる。
【００１１】
【実施例】
ＡｌのサブストレートにＮｉＰ層が成膜された媒体基板（外径３．５インチ、厚さ３１．５ｍｉｌ）を約２５０℃の温度で加熱し、ＤＣスパッタリング装置を用いて、下地層、磁性層及び保護膜を形成し、各種供試磁気記録媒体を作製した。
下地層の成分組成と、磁性層の成分組成を表１に示す。なお、下地層の層厚は約６００Å、磁性層の層厚は約４００Å、保護膜は実質的にＣからなり、その層厚は約１２０Åである。また、下地層と磁性層の成膜時のバイアス電圧は約−２００Ｖである。
各供試磁気記録媒体について、下地層の格子定数をＸ線回折により求め、保磁力の測定結果とを併せて表１に示す。
【００１２】
【表１】
表１中、供試Ｎｏ．１は下地層が実質的にＣｒからなる比較例、供試Ｎｏ．２及びＮｏ．３は下地層にＴａを含有する比較例、供試Ｎｏ．４は下地層にＣｕを含有する比較例、供試Ｎｏ．５及びＮｏ．６は下地層にＴａとＣｕの両元素を含有する本発明の実施例である。
表１の結果から明らかなように、ＴａとＣｕの両元素を所定量含有したＣｒ基合金の下地層を用いると、下地層の結晶格子定数が大きくなり、磁気記録媒体は高い保磁力を具備できることがわかる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体は、上記の如く、磁性層を形成するＣｏ合金中におけるＰｔの含有量が約３〜６原子％と低い場合であっても、高い保磁力を具備することができる。従って、スパッタリング成膜におけるターゲットのコスト低減を達成できると共に、すぐれた記録分解能を具備し、磁気記録媒体の記録密度の向上に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】金属薄膜型磁気記録媒体の部分断面図である。
【符号の説明】
（１） 金属薄膜型磁気記録媒体
（２） 媒体基板
（３） 下地層
（４） 磁性層
（５） 保護膜
Claims (1)
- 非磁性の媒体基板上に、下地層、Ｐｔ含有Ｃｏ合金の磁性層及び保護膜を順次積層してなる金属薄膜型磁気記録媒体において、下地層は、原子％にて、Ｔａ：１〜６％、Ｃｕ：１〜６％、残部実質的にＣｒからなる成分組成を有することを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30124895A JP3589762B2 (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
| US08/847,467 US5837389A (en) | 1995-11-20 | 1997-04-25 | Metal thin film magnetic recording medium having a Cr Ta Cu underlayer and a copt magnetic layer |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30124895A JP3589762B2 (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
| US08/847,467 US5837389A (en) | 1995-11-20 | 1997-04-25 | Metal thin film magnetic recording medium having a Cr Ta Cu underlayer and a copt magnetic layer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147341A JPH09147341A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3589762B2 true JP3589762B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=26562619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30124895A Expired - Fee Related JP3589762B2 (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5837389A (ja) |
| JP (1) | JP3589762B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3589762B2 (ja) * | 1995-11-20 | 2004-11-17 | ストアメディア インコーポレーテッド | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3850824T2 (de) * | 1987-08-06 | 1995-01-19 | Sumitomo Metal Mining Co | Magnetplatte für waagerechte Aufnahme. |
| JP3589762B2 (ja) * | 1995-11-20 | 2004-11-17 | ストアメディア インコーポレーテッド | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
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1995
- 1995-11-20 JP JP30124895A patent/JP3589762B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-04-25 US US08/847,467 patent/US5837389A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09147341A (ja) | 1997-06-06 |
| US5837389A (en) | 1998-11-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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