JP3576372B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置などに用いられる磁気ディスク等の磁気記録媒体に関し、特にノイズ特性および出力特性がともに優れた磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、磁気記録媒体としては、アルミニウム合金、ガラスなどからなる基板上に、Cr合金などからなる非磁性下地膜、Co合金などからなる磁性膜、カーボンなどからなる保護膜を順次形成したものが多く用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年では、磁気記録媒体の更なる高記録密度化が要望されており、これに伴い、ノイズ特性の向上が求められている。
しかしながら、従来の磁気記録媒体では、ノイズ特性の向上を図るとそれに応じて出力特性が低くなる傾向があり、ノイズ特性および出力特性がいずれも満足できるものは得られていないのが現状である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ノイズ特性および出力特性が共に優れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、基板上に、非磁性下地膜、磁性膜、保護膜を順次形成した磁気記録媒体であって、非磁性下地膜が、CrまたはCr合金からなり、磁性膜が、Crを含むCo合金からなる複数の磁性層を有するものであり、これら磁性層のCr含有率が下層側の磁性層から上層側の磁性層にかけて漸次低くなり、かつ最下層側磁性層のCr含有率が16〜25at%とされ、最上層側磁性層のCr含有率が10〜20at%とされ、これら最下層側磁性層と最上層側磁性層のCr含有率の差が2at%以上とされた磁気記録媒体によって解決することができる。
磁性膜は、2つの磁性層を有する構成であってもよいが、3以上の磁性層を有することが好ましい。
磁性膜が2つの磁性層を有する場合には、これらのうち下層側磁性層の厚さと、上層側磁性層の厚さの比は、1:1〜4:1とするのが好ましい。
【0005】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の磁気記録媒体の一実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、基板1上に、非磁性下地膜2、磁性膜3、保護膜4を順次形成したものである。
基板1としては、磁気記録媒体用基板として一般に用いられるNiPメッキ膜が形成されたアルミニウム合金や、ガラス、セラミックなどからなるものを用いることができる。
また、基板1は、その表面にメカニカルテクスチャ処理などのテクスチャ処理を施したものとしてもよい。
【0006】
非磁性下地膜2の材料としては、Cr、またはCr/W系、Cr/Ti系、Cr/V系、Cr/Si系の合金を用いるのが好適である。
また、他の公知の非磁性下地膜に用いられる材料、例えば欧州特許公報EP0704839A1に記載されたNiAl、AlCo、FeAl、FeTi、CoFe、CoTi、CoHf、CoZr、NiTi、CuBe、CuZn、AlMn、AlRe、AgMg、Al2FeMn2などからなり、B2構造を有する材料や、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、およびMoのうち1種以上の材料などを用いることができる。
非磁性下地膜2の厚みは、20〜1000Åとするのが好ましい。
【0007】
本実施形態の磁気記録媒体では、磁性膜3が、第1磁性層3a上に第2磁性層3bが形成された2層構造を有するものとされている。
第1磁性層3aは、この磁気記録媒体のノイズ特性を高めるためのもので、この第1磁性層3aは、Crを含むCo合金、例えばCo/Cr系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/Ta系、Co/Cr/Ni/Pt/Ta系、Co/Cr/Pt/Ta/Zr系等の合金からなるものとされ、そのCr含有率は16〜25at%(好ましくは18〜23at%)とされる。
【0008】
第1磁性層3aのCr含有率が上記範囲下限値未満であると、第1磁性層3a内においてCrの粒界偏析が十分に行われず、磁性粒子同士の交換結合の影響によるノイズ特性の低下が起こりやすくなる。
また、Cr含有率が上記範囲上限値を越えると、第1磁性層3aの磁気異方性が低下し、保磁力角形比S*および再生パルス出力半値幅Pw50が悪化し、十分な出力特性を得るのが難しくなる。
【0009】
第1磁性層3aの材料としては、特に、オーバーライト特性に優れるCo/Cr/Ta系合金を用いるのが好ましく、なかでも、Cr含有率が18〜23at%、Ta含有率が2〜5at%、Zr含有率が0〜5at%、Pt含有率が0〜10at%、残部がCoからなるものを用いるのが好適である。
【0010】
第2磁性層3bは、この磁気記録媒体の出力特性を高めるためのもので、この第2磁性層3bは、第1磁性層3aと同様、Crを含むCo合金、例えばCo/Cr系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/Ta系、Co/Cr/Pt/Ta/Zr系等の合金からなるものとされる。
第2磁性層3bのCr含有率は10〜20at%(好ましくは12〜18at%)の範囲内にあり、しかも第1磁性層3aのCr含有率に比べ、2at%以上低い値となるように設定されている。
【0011】
第2磁性層3bのCr含有率が上記範囲下限値未満であると、第2磁性層3b内の磁性粒子同士の交換結合の影響によるノイズ特性の低下が起こりやすくなる。
また、第2磁性層3bのCr含有率が上記範囲上限値を越えると、第2磁性層3bの磁気異方性が低下し、保磁力角形比S*および再生パルス出力半値幅Pw50が悪化し、十分な出力特性を得るのが難しくなる。
【0012】
また第2磁性層3bのCr含有率と、第1磁性層3aのCr含有率の差を2at%以上とするのは、このCr含有率の差が2at%未満であると、高Cr含有率の第1磁性層3aによるノイズ特性向上効果、または低Cr含有率の第2磁性層3bによる出力特性向上効果のうちいずれかが不十分となるためである。
【0013】
第2磁性層3bの材料としては、特に、Cr含有率が12〜18at%、Pt含有率が3〜12at%、Ta含有率が2〜5at%、残部がCoからなるCo/Cr/Pt/Ta系合金を用いるのが好適である。
【0014】
また、下層側の第1磁性層3aの厚さと、上層側の第2磁性層3bの厚さの比は、1:1〜4:1に設定するのが好ましい。
これは、低Cr含有率の第2磁性層3bを、高Cr含有率の第1磁性層3aより厚く形成した場合、出力特性は向上するものの、第2磁性層3b内の磁性粒子同士の交換結合の影響によって、高記録密度化を図るために必要なノイズ特性が得られなくなるおそれがあり、第2磁性層3bの厚さを第1磁性層3aの厚さの1/4未満に設定すると、得られる磁気記録媒体の出力特性が不十分となり易いためである。
具体的には、第1磁性層3aの厚さを50〜300Åとし、第2磁性層3bの厚さを20〜100Åとするのが好ましい。
【0015】
保護膜4は、カーボン、酸化シリコン、窒化シリコンなどからなるものとすることができ、その厚みは、30〜150Åとするのが好ましい。
また、保護膜4上には、パーフルオロポリエーテルなどからなる潤滑膜を設けるのが好ましい。
【0016】
上記構造の磁気記録媒体を製造するには、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、メッキなどの手法により、基板1上に、Cr合金等からなる非磁性下地膜2、上記Cr含有Co合金からなる第1および第2磁性層3a、3b、カーボン等からなる保護膜4を順次形成する方法を採用することができる。
【0017】
上記構成の磁気記録媒体にあっては、磁性膜3を、第1磁性層3a上に第2磁性層3bを形成した2層構造を有するものとし、上層側の第2磁性層3bのCr含有率を下層側の第1磁性層3aのCr含有率より2at%以上低くなるようにし、かつ第1磁性層3aのCr含有率を16〜25at%とし、第2磁性層3bのCr含有率を10〜20at%としたので、高Cr含有率の第1磁性層3aにおけるCrの粒界偏析による磁性粒子の孤立化によってノイズ特性が向上する。またこれに加えて、Cr含有率が比較的低い第2磁性層3bにおいて保磁力角形比S*および再生パルス出力半値幅Pw50が良好なものとなり、十分な出力特性が得られるようになる。
従って、ノイズ特性および出力特性が共に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
【0018】
なお、上記構成の磁気記録媒体は、磁性膜3を2層構造を有するものとしたが、本発明の磁気記録媒体はこれに限らず、3層構造、あるいはそれ以上の多層構造の磁性膜を有するものであってもよく、例えば図2に示すように3層構造の磁性膜13を有するものとしてもよい。
図2に示す磁気記録媒体において、磁性膜13を構成する第1ないし第3磁性層13a、13b、13cは、図1に示す磁気記録媒体の第1および第2磁性層3a、3bと同様、Crを含むCo合金からなるものとされ、これら第1ないし第3磁性層13a、13b、13cのCr含有率は、最下層側の第1磁性層13aから最上層側の第3磁性層13cにかけて漸次低くなり、かつ第1磁性層13aのCr含有率が16〜25at%、第3磁性層13cのCr含有率が10〜20at%とされ、第3磁性層13cのCr含有率が第1磁性層3aのCr含有率に比べ2at%以上低くなるように設定されている。
【0019】
第1、第3磁性層13a、13cのCr含有率は、上記範囲下限値未満となると、磁性粒子同士の交換結合の影響によるノイズ特性の低下が起こりやすくなり、上記範囲上限値を越えると、磁気異方性の低下による保磁力角形比S*および再生パルス出力半値幅Pw50の悪化が起こりやすくなり、十分な出力特性を得るのが難しくなる。
【0020】
第1ないし第3磁性層13a、13b、13cの材料としては、次のものを用いるのが好適である。
第1磁性層13aの材料としては、Cr含有率が18〜23at%、Ta含有率が2〜5at%、Zr含有率が0〜5at%、Pt含有率が0〜10at%、残部がCoからなるものを用いるのが好適である。
第2磁性層13bの材料としては、Cr含有率が14〜20at%、Pt含有率が3〜12at%、Ta含有率が2〜5at%、残部がCoからなるものを用いるのが好適である。
第3磁性層13cの材料としては、Cr含有率が12〜18at%、Pt含有率が3〜12at%、Ta含有率が2〜5at%、残部がCoからなるものを用いるのが好適である。
【0021】
第1ないし第3磁性層13a、13b、13cの厚さは、それぞれ50〜200Å、10〜100Å、10〜100Åとするのが好ましい。
【0022】
ここに示す磁気記録媒体にあっては、上述の図1に示す2層構造の磁性膜3を有する磁気記録媒体と同様、ノイズ特性および出力特性が共に優れたものとなる。
またこれに加えて、磁性膜13が3層構造とされ、それぞれの磁性層のCr含有率が、最下層側から最上層側にかけて漸次低くなるようにされているので、相隣接する磁性層同士の組成が近いものとなり、これら磁性層同士の結晶格子のミスマッチが生じにくくなり、第1磁性層13a上に形成される第2および3磁性層13b、13cの結晶配向性が良好なものとなる。このため、出力特性をより高めることが可能となる。
【0023】
なお、本発明の磁気記録媒体は、磁性膜を4層以上の構造を有するものとしてもよい。この場合においても、これら磁性層のCr含有率を最下層側磁性層から最上層側磁性層にかけて漸次低くし、かつ最下層側磁性層のCr含有率を16〜25at%とし、最上層側磁性層のCr含有率を10〜20at%とし、最上層側磁性層のCr含有率を最下層側磁性層のCr含有率に比べ2at%以上低くなるように設定する。
また、本明細書において、磁性層のCr含有率が下層側磁性層から上層側磁性層にかけて漸次低くなるとは、磁性膜を構成する複数の磁性層のうち最上層側のもののCr含有率が最下層側のもののCr含有率より低く、かつ互いに隣接する2つの磁性層を対比した際に上層側のもののCr含有率が下層側のもののCr含有率以下となることを指し、この条件を満たすものであれば、上記複数の磁性層のうち相隣接する2つの磁性層のCr含有率が互いに同一であってもよい。
また、上記実施形態では、磁性膜を、各磁性層を直接積層したものとしたが、これに限らず、各磁性層の間に、Cr合金などからなる厚さ10〜50Åの非磁性中間層を設けることも可能である。
【0024】
以下、具体例を示して本発明の作用効果を明確化する。
(試験例1〜10)
図1または図2に示すものと同様の構造の磁気記録媒体を以下の工程に従って作製した。
基板として、表面にNiPメッキ膜(15μm)を形成したアルミニウム合金基板(直径84mm、厚さ0.8mm)を用い、この基板に表面粗さRaが15Åとなるようにメカニカルテクスチャリングを施した後、DCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製3010)を用いて、基板を230℃に加熱した状態で、この基板上にCrからなる非磁性下地膜(厚さ200Å)を形成した。
【0025】
次いで、上記スパッタ装置を用いて、表1に示す材料からなる単層または多層構造の磁性膜、カーボンからなる保護膜(厚さ100Å)を非磁性下地膜上に順次形成した。なお、上記操作においては、スパッタガスとしてArを用い、その圧力を3ミリTorrとした。
【0026】
上記試験例の静磁気特性を振動式磁気特性測定装置(VSM)を用いて測定した。また、これら磁気記録媒体の記録再生特性を、再生部に磁気抵抗(MR)素子を有する複合型薄膜磁気ヘッドを用い、線記録密度240kFCIにて測定した。測定結果を表1に示す。
【0027】
【表1】
【0028】
表1に示すように、磁性膜を複数の磁性層からなるものとし、磁性層のCr含有率を最下層側磁性層から最上層側磁性層にかけて漸次低くし、かつ最下層側磁性層のCr含有率を16〜25at%とし、最上層側磁性層のCr含有率を10〜20at%とし、しかも最上層側磁性層のCr含有率を最下層側磁性層のCr含有率に比べ2at%以上低くなるように設定した磁気記録媒体は、これら条件のうちいずれかを満たさないものに比べ、ノイズ特性または出力特性が優れたものとなったことがわかる。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の磁気記録媒体にあっては、ノイズ特性および出力特性が共に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体の一実施形態を示す一部断面図である。
【図2】本発明の磁気記録媒体の他の実施形態を示す一部断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板、2・・・非磁性下地膜、3、13・・・磁性膜、
3a・・・第1磁性層(最下層側磁性層)、
3b・・・第2磁性層(最上層側磁性層)、4・・・保護膜、
13a・・・第1磁性層(最下層側磁性層)、13b・・・第2磁性層、
13c・・・第3磁性層(最上層側磁性層)
Claims (3)
- 基板上に、非磁性下地膜、磁性膜、保護膜を順次形成した磁気記録媒体であって、
非磁性下地膜が、CrまたはCr合金からなり、
磁性膜は、Crを含むCo合金からなる複数の磁性層を有するものであり、これら磁性層のCr含有率が下層側の磁性層から上層側の磁性層にかけて漸次低くなり、かつ最下層側磁性層のCr含有率が16〜25at%とされ、最上層側磁性層のCr含有率が10〜20at%とされ、これら最下層側磁性層と最上層側磁性層のCr含有率の差が2at%以上とされていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1記載の磁気記録媒体において、磁性膜が3以上の磁性層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1記載の磁気記録媒体において、磁性膜が2つの磁性層を有し、これらのうち下層側磁性層の厚さと、上層側磁性層の厚さの比が、1:1〜4:1とされていることを特徴とする磁気記録媒体。
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