JP3568006B2 - 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造プロセスで用いられる、製造装置部品である窒化アルミニウム基材及びその製造方法に関する。更に詳しくは、化学気相堆積(Chemical Vapor Deposition: 以下、CVDという)装置、ドライエッチング装置等の半導体製造装置において、ウェーハを載せるホルダ若しくはサセプタ(susceptor)、又はプラズマ反応を起こす電極等に用いられる窒化アルミニウム基材及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置がより微細化し高密度化するに従って、半導体装置の製造プロセス技術の中で、CVD装置、ドライエッチング装置等の制御が重要視されるようになり、被処理物が枚葉化している。また微細化がハーフミクロン程度になった半導体装置の製造プロセスでは、クリーンルーム内のパーティクル密度を低減させることはもちろん、プロセス処理中にパーティクルを発生させない技術、又はウェーハにパーティクルを付着させない技術が極めて重要な問題になっている。
【0003】
CVD装置、ドライエッチング装置等においてウェーハを載せるホルダ若しくはサセプタ、又はプラズマ反応を起こす電極等の基材は、処理時に約500℃の装置内部の雰囲気に置かれるとともに、処理後には装置外部の室温の雰囲気に曝される。このため、枚葉処理ではこの熱サイクルが繰返し行われ、この基材には熱衝撃に対して高い耐久性が求められる。またこの基材はヒータからの熱を効率よくウェーハ等に伝える必要がある。更にこの基材は成膜用ガス、エッチングガス等に対して腐食されないことが要求される。
従来、これらの要求を満たすために、この基材には熱衝撃に対して高い耐久性を示し、かつ熱伝導率と耐食性に優れた炭化ケイ素、窒化アルミニウム、アルマイト処理したアルミニウム、グラファイト等が使用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年CVD成膜速度やドライエッチング速度が高くなるにつれて、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、アルマイト処理したアルミニウム、グラファイトからなる基材では、その損傷が激しく、寿命が短いため、より耐食性、熱衝撃に対して耐久性の高い基材が求められるようになった。
特に、窒化アルミニウムは、他の炭化ケイ素等と比較して、熱伝導率、耐食性、耐熱衝撃性がより優れていて、好ましい材料であるけれども、CVD装置やドライエッチング装置に用いられるフッ化物の成膜用ガス(WF6,MoF6等)、エッチングガス(CF4,CBrF3,SF6,C2Cl2F4,C3F8,CHF3,NF3,CH2F2,CCl2F2等)又は洗浄ガス(ClF3等)がこの窒化アルミニウム基材に接触すると、ガス中のフッ素成分が窒化アルミニウムのアルミニウム成分と反応してフッ化物系皮膜を生成する。このフッ化物系皮膜は当初は窒化アルミニウム基材の表面に付着しているが、やがて基材表面から剥離してCVD装置やドライエッチング装置の内部を浮遊した後、ウェーハ表面に付着する恐れがあった。
【0005】
本発明の目的は、熱伝導率が高く、熱衝撃に対して耐久性に優れ、かつ耐食性、特にフッ素系ガスに対する耐食性が良好な半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材及びその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、図1の拡大図に示すように、半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材10,20が、窒化アルミニウム焼結体11と、この焼結体11の表面に焼結体を酸化して形成された酸化層12と、この酸化層12の表面にZrアルコキシド溶液又はTiアルコキシド溶液を塗布し加熱することにより形成されたZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層14とにより構成されたものである。
請求項3に係る発明は、半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材10,20が、窒化アルミニウム焼結体11と、この焼結体11の表面に焼結体を酸化して形成された多孔質Al2O3層からなる酸化層12と、この酸化層12の表面にAlアルコキシド溶液を塗布し加熱することにより形成されたAl2O3からなる金属酸化物層14とにより構成されたものである。
【0007】
また請求項2に係る発明は、窒化アルミニウム焼結体11を酸化してこの焼結体11の表面に酸化層12を形成し、この酸化層12の表面にZrアルコキシド溶液又はTiアルコキシド溶液を塗布し加熱する、所謂ゾル−ゲル法により、ZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層14を形成する半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法である。
更に請求項4に係る発明は、窒化アルミニウム焼結体11を酸化してこの焼結体11の表面に多孔質Al 2 O 3 層からなる酸化層12を形成し、この酸化層12の表面にAlアルコキシド溶液を塗布し加熱することにより、Al 2 O 3 からなる金属酸化物層14を形成する半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法である。
【0008】
窒化アルミニウム焼結体の表面に焼結体を酸化して形成された酸化層を介してゾル−ゲル法により形成されたAl2O3、ZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層を設けたので、窒化アルミニウム自体の持つ高い熱伝導率や熱衝撃に対する耐久性の優秀さに加えて、金属酸化物層による高い耐食性、特にフッ素系ガスに対する高い耐食性が得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の窒化アルミニウム基材は、CVD装置、ドライエッチング装置等の半導体製造装置のウェーハを載せるホルダ若しくはサセプタ、又はプラズマ反応を起こす電極等に用いられる。上記以外の半導体製造装置として、酸化装置、拡散装置、イオン注入装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置、リソグラフィ装置等が挙げられる。ウェーハはシリコンウェーハ、GaAsウェーハ等の半導体基板となるウェーハが挙げられる。
図1に示すように、例えばシリコンウェーハ15がCVD装置内で窒化アルミニウム基材からなるサセプタ10の上に載せられ、やはり窒化アルミニウム基材からなるクランプリング20で保持される。
【0010】
CVD装置は熱CVD装置、プラズマCVD装置、光を照射しながら堆積させる光CVD装置を含む。このCVD装置では、半導体基板であるウェーハ表面にSiO2(二酸化シリコン),PSG(リンガラス),BSG(ホウ素ガラス),ASG(ヒ素ガラス),Si3N4(窒化シリコン),多結晶シリコン、単結晶シリコン(エピタキシャル法),W(タングステン),Mo(モリブデン),WSi2,MoSi2,TaSi2,TiSi2等の薄膜を形成する。これらの薄膜を形成するための原料ガス(成膜用ガス)としては、SiH4,SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4,SiBr4,WF6,MoF6,TaCl5,TiCl4等が使用される。また洗浄用ガスとしてClF3等が使用される。
またドライエッチング装置はプラズマ・エッチング装置、反応性イオン・エッチング装置を含む。このドライエッチング装置では、半導体基板であるウェーハ表面又はこのウェーハ表面に形成された上記薄膜の一部又は全部を除去する。このエッチングガスとしては、CF4,CF4+O2,CBrF3,CCl4+O2,Cl2,SiCl4,SF6,C2Cl2F4,C3F8,CHF3,NF3,CH2F2,CCl2F2等が使用される。
【0011】
窒化アルミニウム基材は、主として窒化アルミニウム焼結体により構成される。この基材は、半導体製造装置内の仕様に応じて、板状、リング状、バルク状、台状等に種々の形状に形成される。この窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム単体のみからなる焼結体に限らず、窒化アルミニウムを主成分とし、各種添加物、例えばCaO,Y2O3等を含有する焼結体でもよい。例えば、窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム粉末にY2O3等の焼結助剤を5wt%程度添加した成型体をN2雰囲気にて1700〜1800℃で常圧にて焼結して得られる。この焼結体の表面に設けられる酸化層は、窒化アルミニウム焼結体を1×10−2atm以上の酸素分圧であってかつ1×10−3atm以下の水蒸気分圧の雰囲気において、1100〜1500℃で3〜0.5時間程度熱処理することにより作られる。温度を高くする程、処理時間は短くてよい。この熱処理により窒化アルミニウム焼結体の表面が酸化され、気孔率0.01〜15容積%の多孔質の酸化層(Al2O3層)が形成される。酸化層は0.1〜10μmの厚さに形成される。0.1μm未満では基材の耐食性が不十分であり、10μmを越えると酸化層にクラック、割れ等が生じ易くなる。
【0012】
この酸化層の表面にはAlアルコキシド溶液、Zrアルコキシド溶液又はTiアルコキシド溶液を塗布し加熱することによりAl2O3、ZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層が形成される。塗布の方法としては、ディップコーティング、スピンコーティング等の方法が挙げられる。この金属酸化物層は0.01〜1μmの厚さに形成される。0.01μm未満では基材の耐食性が不十分であり、1μmを越えると、この金属酸化物層にクラックを生じ易くなる。
【0013】
【実施例】
次に本発明の実施例を比較例とともに説明する。
<実施例1>
先ず、厚さ1mmの窒化アルミニウム焼結体を50×50mmの正方形に切り出し、O2雰囲気中、1300℃で1時間熱処理を行い、焼結体表面に厚さ3.0μmの多孔質Al2O3層からなる酸化層を形成した。
次に、トリイソプロポキシアルミニウムと2−メトキシエタノールとジエタノールアミンをそれぞれ13.3g、90.5g、6.9gの量比で混合及び還流を行ってAlアルコキシド溶液を調製した後、この溶液に上記窒化アルミニウム焼結体を浸漬し、10cm/分の速度で引き上げた。この焼結体を大気中、300℃で1時間乾燥させた後、同じく大気中、900℃で1時間焼成してAl2O3層を上記酸化層の表面に形成した。このAlアルコキシド溶液への浸漬、引き上げ、乾燥、焼成を2回繰返すことにより、厚さ0.1μmのAl2O3層を有する窒化アルミニウム焼結体を得た。この窒化アルミニウム基材を実施例1とした。
【0014】
<実施例2>
実施例1のAlアルコキシド溶液の代わりに、テトラノルマルブトキシジルコニウムと2−プロパノールと3−オキソ−ブタン酸エチルとをそれぞれ38.9g、90.3g、52.8gの量比で混合及び還流を行って調製したZrアルコキシド溶液を用いた以外は、実施例1と同様にして厚さ0.1μmのZrO2層を有する窒化アルミニウム焼結体を得た。この窒化アルミニウム基材を実施例2とした。
【0015】
<実施例3>
実施例1のAlアルコキシド溶液の代わりに、テトライソプロポキシチタンと2−メトキシエタノールとジエタノールアミンとをそれぞれ30.0g、95.5g、7.9gの量比で混合及び還流を行って調製したTiアルコキシド溶液を用いた以外は、実施例1と同様にして厚さ0.1μmのTiO2層を有する窒化アルミニウム焼結体を得た。この窒化アルミニウム基材を実施例3とした。
【0016】
<比較例1>
実施例1と同じ形状の窒化アルミニウム焼結体を用い、この焼結体の表面に何も形成しなかった。この窒化アルミニウム基材を比較例1とした。
【0017】
<比較例2>
実施例1と同じ形状の窒化アルミニウム焼結体をO2雰囲気中、1300℃で1時間熱処理を行い、焼結体表面に厚さ3.0μmの多孔質Al2O3層からなる酸化層を形成した。この窒化アルミニウム基材を比較例2とした。
【0018】
<比較試験>
実施例1〜3の窒化アルミニウム基材と比較例1,2の窒化アルミニウム基材の耐フッ素ガス性を評価するために、これらの基材をAl製チャンバ内に入れ、ClF3ガス雰囲気中、600℃で10時間保持した。比較試験の前後の基材の重量を測定し、それぞれ重量変化を調べた。また比較試験前後の基材表面を光学顕微鏡で観察し、その変化の有無を調べた。その結果を表1に示す。
【0019】
【表1】
【0020】
表1から明らかなように、実施例1〜3の窒化アルミニウム基材では比較試験前後の重量変化は小さく、更に基材表面の変化はなかったのに対し、比較例1の窒化アルミニウム基材では重量変化が大きく、基材表面には微細な付着物が多数観察された。即ち、比較例1では窒化アルミニウムとClF3ガスとの間で反応が起こり、表面に微細な反応生成物が多数形成され、それらが基材から剥離したものと考えられた。また、比較例2の窒化アルミニウム基材では、表面の組織変化は認めれらなかったが、重量変化が実施例1〜3のそれより大きいことから、窒化アルミニウムとClF3ガスとの間で一部反応が起こったものと考えられた。
【0021】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、窒化アルミニウム基材の表面に酸化層を介して、ゾル−ゲル法により形成されたAl2O3層、ZrO2層又はTiO2層を形成したので、従来の熱伝導率が高く、熱衝撃に対して耐久性に優れた窒化アルミニウム焼結体のみの基材に比べて、本発明の窒化アルミニウム基材はこれ以外の特性に加えて更に高い耐フッ素ガス性を有する。
この結果、本発明の窒化アルミニウム基材は、特にフッ素系ガスを用いる半導体製造装置におけるウェーハを載せるホルダ若しくはサセプタ、又はプラズマ反応を起こす電極等の基材として優れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の窒化アルミニウム基材をサセプタ及びクランプリングに用いたCVD装置の要部拡大断面図。
【符号の説明】
10 窒化アルミニウム基材(サセプタ)
20 窒化アルミニウム基材(クランプリング)
11 窒化アルミニウム焼結体
12 酸化層
14 金属酸化物層
15 シリコンウェーハ
Claims (4)
- 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材において、
窒化アルミニウム焼結体(11)と、前記焼結体(11)の表面に前記焼結体を酸化して形成された酸化層(12)と、前記酸化層(12)の表面にZrアルコキシド溶液又はTiアルコキシド溶液を塗布し加熱することにより形成されたZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層(14)とにより構成されたことを特徴とする半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材。 - 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法において、
窒化アルミニウム焼結体(11)を酸化して前記焼結体(11)の表面に酸化層(12)を形成し、前記酸化層(12)の表面にZrアルコキシド溶液又はTiアルコキシド溶液を塗布し加熱することによりZrO2又はTiO2からなる金属酸化物層(14)を形成する半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法。 - 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材において、
窒化アルミニウム焼結体(11)と、前記焼結体(11)の表面に前記焼結体を酸化して形成された多孔質Al2O3層からなる酸化層(12)と、前記酸化層(12)の表面にAlアルコキシド溶液を塗布し加熱することにより形成されたAl2O3からなる金属酸化物層(14)とにより構成されたことを特徴とする半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材。 - 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法において、
窒化アルミニウム焼結体(11)を酸化して前記焼結体(11)の表面に多孔質Al2O3層からなる酸化層(12)を形成し、前記酸化層(12)の表面にAlアルコキシド溶液を塗布し加熱することによりAl2O3からなる金属酸化物層(14)を形成する半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7404396A JP3568006B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7404396A JP3568006B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09263453A JPH09263453A (ja) | 1997-10-07 |
JP3568006B2 true JP3568006B2 (ja) | 2004-09-22 |
Family
ID=13535758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7404396A Expired - Fee Related JP3568006B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 半導体製造装置用の窒化アルミニウム基材及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3568006B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6123791A (en) * | 1998-07-29 | 2000-09-26 | Applied Materials, Inc. | Ceramic composition for an apparatus and method for processing a substrate |
JP2008120654A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Nihon Ceratec Co Ltd | セラミックコーティング部材およびその製造方法 |
-
1996
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09263453A (ja) | 1997-10-07 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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