JP3556276B2 - 流体の流量を変化させる弁装置 - Google Patents
流体の流量を変化させる弁装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3556276B2 JP3556276B2 JP17702594A JP17702594A JP3556276B2 JP 3556276 B2 JP3556276 B2 JP 3556276B2 JP 17702594 A JP17702594 A JP 17702594A JP 17702594 A JP17702594 A JP 17702594A JP 3556276 B2 JP3556276 B2 JP 3556276B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- conduit
- flow
- binary
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
- G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
- G05D7/0652—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in parallel
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
- Y10T137/87298—Having digital flow controller
- Y10T137/87306—Having plural branches under common control for separate valve actuators
- Y10T137/87314—Electromagnetic or electric control [e.g., digital control, bistable electro control, etc.]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は,流体の流量を変化させる弁装置,特に流体の流量のバイナリ制御(オン・オフ制御)とアナログ制御とを組み合わせたハイブリッド弁装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
流体の流量を維持し,また変化させることが必要な場合は多くあり,このために多くの調節装置が使用されている。例えば,設定されている流体流を短期間にわたって生ぜしめ,あるいは遮断することが必要な場合がある。また,流量を正確に選択しなければならないことがある。例えば,原子吸光分光光度計あるいはガスクロマトグラフィー若しくは液体クロマトグラフィーにおけるキャリヤガス若しくはキャリヤ液体の流量は正確に選択しなければならない。コンピュータ化された電子制御装置を有するこれらの装置においては,流量をセットし変化させるために流量メータに結合されたモータを使用するような従来の方法は,特に正確さが要求される場合には,容易には適用することができない。
【0003】
最も伝統的な流量メータは作業流量範囲にわたって無段階に調整可能であって,必要とされる精度を有していない。別のクラスの流量制御装置はバイナリ流動制御装置を使用している。この場合多数の流動導管が並列に配置され,各流動導管はオン・オフ弁とこれに直列に接続されている精密オリフィスのような固定の流量絞り機構とを有している。各流動導管あるいは若干のオリフィスの大きさは異なっており,選択されたオリフィスの組み合わせ及び弁のオン・オフによって,流量を段階的に選択することができる。このような形式の1つの型の弁装置においては,各流動導管はその前の流動導管の2倍の流量で流体を通過させる(米国特許第 2,999,482 号明細書・同第 3,726,296 号明細書・同第 3,746,041 号明細書・同第 4,768,544 号明細書)。オリフィスの寸法は例えば米国特許第 4,030,523 号明細書及び同第 4,628,961 号明細書に記載されているように組み合わせることができ,これによって最大流量の10%の増分(increment)の流量段階を生ぜしめることができる。
【0004】
もっと新しいクラスの流量制御装置はソリッド・ステートの小型半導体チップ及び他の材料内に,集積回路を形成する技術と類似の技術を使用して,形成されている。このような装置及び技術は米国特許第 4,821,997 号明細書に詳細に記載されている。特別な装置は,雑誌 Sensor Business Digest, 1, No.5, 9−11(1992年 2 月号)の記事 ”The Fluistor Microstructure is Poised for Comme−rcialization”(署名なし)に記載されているフリュイスタ(Fluistor:登録商標)である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は,流量を正確に変化させる新規な弁装置を提供すること,特に適度のあるいは比較的に大きな流量を正確に変化させる弁装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この課題は本発明によるハイブリッド弁装置によって解決された。すなわち,本発明によるハイブリッド弁装置は,共通の流体入口と,全流体流を排出する共通の流体出口と,複数のバイナリ制御導管と,1つのアナログ制御導管と,制御装置とを備え,該バイナリ制御導管は所定の流量を有していて,共通の流体入口と共通の流体出口との間で互いに並列に接続されており,各バイナリ制御導管はバイナリ弁と所定の流量の流体を共通の出口に通過させる調節手段とを有しており,各バイナリ制御導管の所定の流量は,順次に選択されたバイナリ制御導管が別個にあるいは組み合わして最大の増分を含む増分で全流体流の流量を順次に増大させるように,選ばれており,該アナログ制御導管は共通の流体入口と共通の流体出口との間でバイナリ制御導管に対して並列に接続されていて,少なくとも最大の増分に等しい最大の流量までの選択された流量を通過させる無段階に調整可能な流量調節器を有しており,該制御装置は各バイナリ弁を選択された開放位置又は閉鎖位置に制御し,かつアナログ制御導管を通して選択された流量の流体流が通過するように流量調節器を制御して,これらの制御によって無段階に可変の選択可能な流量の全流体流が生ぜしめられるようになっており,バイナリ制御導管が1つの1次導管と1つ又は複数の2次導管とから成っていて,連続的な順序で所定の流量を増大させており,1次導管は1次流量を有しており,各2次導管の所定の流量は連続的な順序で前の順序のバイナリ制御導管の所定の流量よりも1次流量の2倍に等しい増分だけ大きい。
【0007】
【発明の効果】
本発明の構成によって,流量が正確に変化せしめられる。調節手段は貫通オリフィスを有する固形部材として構成することができる。流量調節器は小型のソリッド・ステート装置として構成すると有利である。
【0008】
バイナリ制御導管は1つの1次導管と1つ又は複数の2次導管とから成っており,有利には連続的な順序で所定の流量を増大させている。有利な1実施態様では,各2次導管の所定の流量は,連続的な順序で前の順序のバイナリ制御導管の所定の流量の2倍であり,1次導管の流量は所定の流量のうちで最もわずかである。別の実施態様では,1次導管の所定の流量は最少であり,各2次導管の所定の流量は連続的な順序で前の順序のバイナリ制御導管の所定の流量よりも1次導管の所定の流量の2倍に等しい増分だけ大きい。
【0009】
【実施例】
以下においては図面に示した実施例に基づいて本発明の構成を具体的に説明する。
【0010】
本発明によるハイブリッド弁装置10は2つの区分,すなわちバイナリ区分6とアナログ区分8とから成っている。このようなハイブリッド弁装置は,原子吸光分光光度計において炎内にサンプル物質を噴射するためにキャリヤガスを制御するため,あるいはガスクロマトグラフィーのキャリヤガス若しくは液体クロマトグラフィーのキャリヤ液体を制御するために使用することができる。
【0011】
バイナリ区分6内では,バイナリ流動に関係のある前述の任意の米国特許明細書に記載されているような形式で,オン・オフ弁及び絞り機構を有する複数の導管が使用されている。図示の実施例では,このような4つのバイナリ導管,すなわち第1の導管12と第2の導管14と第3の導管16と第4の導管18とが,共通の流体入口導管20と共通の流体出口導管22との間で,互いに並列に接続されている。流体出口導管22は流体,図示の実施例ではガス,を使用箇所(図示せず)に排出する。各導管はそれを貫通するガス通路を開閉制御するバイナリ弁を有している。すなわち4つの導管のガス通路に第1の弁24と第2の弁26と第3の弁28と第4の弁30とが設けられている。これらの弁はソレノイド弁のように電気的に制御されるものである。実際の構造例は前記の米国特許明細書に記載されている。
【0012】
バイナリ区分6は流体入口導管20を介して圧縮ガス源32に接続されている。流体入口導管20は主ガス弁34及び全流量を測定する流量計36を有している。なお普通の圧力計38を設けておくことができる。
【0013】
各バイナリ導管は更にそれぞれガス絞り機構42・44・46・48を有している。これらのガス絞り機構は,バイナリ弁が開いているときに,所定のガス圧力で,それぞれ所定のガス流量を生ぜしめる。このガス絞りは調整可能な弁例えばニードル弁(図示せず)によって行うことができる。しかしながら,これらの弁は一度調整されると,通常はその調整された状態を維持する。逆に調整不能の精密オリフィスを有する固形部材を使用することもでき,その方が有利である。例えばオリフィスを有するサファイヤ部材は,コネティカット州トランブル(T−rumbull)の O’Keefe Controls Co. 社によって販売されている。
1実施例では,バイナリ導管の流量は2を公比とする等比数列となっている。第1の,つまり1次の,導管12のガス絞り機構42は,弁24が開いている場合に,すべてのガス通路の流量のうち最も少ない流量を生ぜしめるように,選択されている。この最も少ない流量は「単位流量」を規定する。ほかのバイナリ導管,すなわち第2の導管14・第3の導管16及び第4の導管18(以下においては2次導管と呼ぶ)の各々はこの順序で順次に流量を増大させるガス絞り機構を有している。第2のガス絞り機構44は導管14内に,その前の導管12の所定の流量(単位流量)の2倍の所定の流量を生ぜしめる。第3のガス絞り機構46は導管16内に,その前の導管14の所定の流量の2倍の所定の流量を生ぜしめる。第4のガス絞り機構48は導管18内に,その前の導管16の所定の流量の2倍の所定の流量を生ぜしめる。付加的に並列に接続されているバイナリ導管(図示せず)はやはり同じようにしてその前のバイナリ導管の流量の2倍の所定の流量を有している。このようにして,第1の導管12が「1」の単位流量を有しているものとすると,第2の導管は「2」の流量を有しており,第3の導管は「4」の流量を有しており,第4の導管は「8」の流量を有している。
【0014】
バイナリ区分6は,種々のバイナリ弁を選択された組み合わせでオン又はオフにして,制御作用を行う。第1の弁24だけがオンになっている場合には,バイナリ区分6の全流量は単位流量である。第2の弁26だけがオンになっている場合には,バイナリ区分6の全流量は2(2単位)である。第1の弁24及び第2の弁26だけがオンになっている場合には,バイナリ区分6の全流量は3(3単位)である。第3の弁28だけがオンになっている場合には,バイナリ区分6の全流量は4(4単位)である。第1の弁24及び第3の弁28だけがオンになっている場合には,バイナリ区分6の全流量は5(5単位)である。このようにして,最大の全流量は第1の弁24から第4の弁30まですべての弁がオンになっている場合の15(15単位)である。したがって,流量の範囲は単位流量を増分として段階的に刻まれている。流量段階の数(すべての弁がオフになっている場合の流量0の段階も含む)は2n(ただしnは弁の数)である。したがって図示の実施例ではn=4であるので,流量段階の数は16である。もちろん実際の流量は共通の流体入口導管20における流体圧力に関連しているので,この流体圧力をコンスタントに維持しておかなければならない。
【0015】
実地において,バイナリ導管の流量を決定する調節手段は,すべてのバイナリ導管の流量を正確に2倍ずつ増大させるように構成することはできない。また後述するように,流量段階の増分を異ならせるような別の数列を使用することもできる。いずれの場合でも,最大の増分は把握しておかなければならない。増分が完全に同じである場合には,「最大の増分」はこれらの同じ増分の値を意味する。
【0016】
ハイブリッド弁装置10のアナログ区分8は,共通の流体入口導管20と共通の流体出口導管22との間で,バイナリ区分6に対して並列に接続されているアナログ制御導管50を有している。このアナログ制御導管50は,ゼロから,少なくともバイナリ区分6の最大の流量増分に等しい最大流量までの既知の流量を通過させる無段階に調整可能な流量調節器52を有している。したがってアナログ区分8はバイナリ区分6の流量に加えて,無段階に調整された流量を通過させる。バイナリ区分6の調節制御とこの流量調節器52の調節とによって,全流体流の,無段階に変化させることのできる選択可能な流量が生ぜしめられる。図示の実施例のように流量が2倍ずつ増大している4つのバイナリ導管が設けられている場合には,アナログ制御導管を含めた全流体流の最大流量は16(あるいはそれよりもわずかに多い)である。アナログ制御導管の最大の流量は,バイナリ導管の流量増分よりもほんのわずかだけ(例えば50%まで)多くしておくのが有利であり,これによって増分の誤差を完全に補填して,アナログ流量調節器のほとんど最大の正確さを維持することができる。
【0017】
アナログ流量調節器52は任意の構造のもの,例えばモータによって調節される精密ニードル弁を使用することができる。しかしながら,前記の米国特許第 4,821,997 号明細書に記載されているような集積電子回路を形成する技術に類似した技術を使用して,半導体チップ内に形成した小型のソリッド・ステート装置によってアナログ調節弁を構成するのが有利である。例えば,これに適した型の装置は,カリフォルニア州メンロパーク(Menlo Park)の Redwood Microsyste−ms, Inc. 社の装置フリュイスタ(Fluistor:登録商標)として前記雑誌の記事で紹介されている。同じような装置として,カリフォルニア州ミルピタス(Mil−pitas)の IC Sensors 社によって販売されているガスマイクロ弁,モデル 4425がある。本明細書中において「ソリッド・ステート装置」とは半導体チップ内に形成されたこのような型の小型弁を意味するものとする。
【0018】
前述の Redwood 社のフリュイスタはシリコンチップの基体を有し,この基体は囲まれたキャビティを有しており,このキャビティは,キャビティ内に密封された膨張可能な液体によって曲げられる単結晶シリコン膜によって仕切られている。電気抵抗ヒータが液体を加熱して膨張させる。パイレックスのウェーハが単結晶シリコン膜によって動かされ,基体を通る通路内の流量を電気抵抗中の加熱電流に応じて変化させる。センサ及び電子素子は有利にはシリコンチップ内に含まれており,ヒータと協働して,流量のフィードバック制御を行う。
【0019】
制御装置58がハイブリッド弁装置10内に設けられていて,電気導線60を介してバイナリ区分6の弁24・26・28・30を開閉制御し,電気導線61を介して流量調節器52を制御して,アナログ制御導管50内に選択された流量を生ぜしめ,これら両方の制御によって,ハイブリッド弁装置10を通る全流体流の流量範囲全体にわたって,無段階に変化させることのできる選択された流量が生ぜしめられる。この制御装置は簡単には1セットの手動ノブを有していてもよいが,本発明によるハイブリッド弁装置には,コンピュータ化した制御装置が特に適している。このようなコンピュータ化した制御装置は,本発明によるハイブリッド弁装置を使用する既に述べたような装置のコンピュータ内に組み込んでおくことができる。
【0020】
コンピュータのプログラミングは選択された流量値を電気導線60・61内の信号に翻訳し,開かれるバイナリ弁はキーボード62による入力によって,あるいはあらかじめ入れられて貯蔵されている値によって,あるいは弁装置を使用する装置のマスタプログラムによって計算された値によって,決定される。流量並びに装置の運転データその他の情報はモニタ64に表示することができる。弁装置を調節制御するプログラミング手段は「C言語」のような普通のコンピュータ言語によって簡単に得られる。総合的なプログラムは例えば Digital EquipmentCorporation 社のモデル+316 のコンピュータで作成することができる。ソリッド・ステート装置への電気信号の性質(例えばデジタル又はアナログ)は弁装置のメーカーの指示によって決定される。
【0021】
以上の説明は,等比数列の4つのバイナリ導管及びアナログ区分について行ったものであり,この場合最大の流量は16単位(あるいはそれよりもわずかに多い)である。しかしながら,別の数のバイナリ導管をアナログ区分と組み合わせて,バイナリ区分の流量増分に適合した適当な最大流量を有するアナログ流量調節器を使用することによって,所望の最大流量範囲及び正確さを生ぜしめることもできる。
【0022】
また以上の説明は,2を公比とする等比数列の流量を有するバイナリ導管についてのものであって,最小の数,特に4よりも大きい数のバイナリ導管を効果的に使用することができるものである。しかしながら別の数列,例えば前記の米国特許第 4,030,523 号明細書に記載されているような数列を使用することもできる。この米国特許明細書に記載されている4つのバイナリ導管の数列は1・2・2・5であって,10の段階で10%の増分を生ぜしめることができる。
【0023】
本発明の別の実施例では,1次導管の所定の流量は最小であり,各2次導管の所定の流量はその前のバイナリ導管の所定の流量よりも,1次導管の所定の流量の2倍だけ大きい。この場合,バイナリ導管が4つ設けられていると,流量の数列は1・3・5・7となる。これによって,1(例えば全流量3と全流量4との差)又は2(例えば全流量1と全流量3との差)の流量の増分を生ぜしめることができる。したがって,バイナリ区分の最大の流量変化の増分は2であり,アナログ制御導管は0から2までの流量を生ぜしめるように選択される。このハイブリッド弁装置の最大の流量は18(18単位)である。
【0024】
流動オリフィスの寸法及びこれに相応する流量は正確な比で選択する必要はない。したがって本発明によれば,バイナリ導管は,最大の流量変化の増分を含む所定の増分(これは同一である必要はない)で全流量を増大させる。アナログ制御導管は,少なくとも最大の流量変化の増分に等しい最大の流量までの流量を通過させるこいとのできる調整可能な流量を有している。また,バイナリ区分内の1次導管が有している1次流量はどの2次導管の所定の流量よりも少なく,あるいは少なくとも多くない。
【0025】
下の表は,2.1kg/cm2の入口圧力で公称毎秒0.1標準リットル(SLPM)の増分の空気流量増大を順次に生ぜしめる7つのオリフィスのセットの例を示したものである。これらのバイナリ導管は,バイナリ区分における最大の増分よりも多い約0.15SLPMの最大流量を有する前述のフリュイスタ(F−luistor:登録商標)型のソリッド・ステートの流量調節器に対して並列に配置されている。
【0026】
本発明の更に別の実施例は図2に示されており,図2においては図1のすべての素子が同じ数字を付けて示されている。これらの素子についての説明はここでは繰り返さない。しかしながら図2に示したハイブリッド弁装置100においては,バイナリ区分6及びアナログ区分8は,付加的な流れを生ぜしめる付加的な導管102を並列に接続されている。この付加的な流れのためには,導管102が,バイナリ区分及びアナログ区分のどの導管の流量よりも著しく多い流量,例えばこれらの区分の最大の流量の100倍の流量を有しているのが特に有利である。
【0027】
図2に示すように,付加的な導管102は所定の流量を生ぜしめるために,精密オリフィス104あるいはほかの絞り手段を有している。この導管102は通常は開いているものであって,オン・オフ弁を必要としないが,有していてもよい。このハイブリッド装置100は所定の最低流量を生ぜしめるものであって,必要とされる出力流量が通常極めて多いが,バイナリ区分及びアナログ区分内でわずかな流量範囲を調整しなければならないような場合に有利に使用される。主ガス弁34が開かれると,流れは,付加的なオリフィス並びにプリセットされているバイナリ導管及びアナログ導管によって決定されている最大流に迅速に達する。あるいはバイナリ導管及びアナログ導管は,付加的な導管102によって最初の流れが達成された後に,初めて開くこともできる。
【0028】
本明細書で述べたようなソリッド・ステート装置は本発明によるバイナリ導管に使用するのに特に適している。それはバイナリ区分の流量範囲を極めて正確に変化させることができるからである。ソリッド・ステート装置は大きな精度を有しているが,広い調節範囲を生ぜしめることはできない。精密オリフィスあるいはニードル弁などを有するバイナリ導管は調節範囲を広げ,しかもソリッド・ステート装置の正確さを維持する。等比数列のバイナリ導管は最小の数で適当に広い調節範囲を生ぜしめる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による弁装置の概略図である。
【図2】図1の弁装置に付加的な導管を設けた弁装置の概略図である。
【符号の説明】
6 バイナリ区分, 8 アナログ区分, 10 ハイブリッド弁装置, 12・14・16・18 導管, 20 流体入口導管, 22 流体出口導管,24・26・28・30 弁, 32 圧縮ガス源, 34 主ガス弁, 36 流量計, 38 圧力計, 42・44・46・48 ガス絞り機構, 50 アナログ制御導管, 52 流量調節器, 58 制御装置, 60及び61 電気導線, 62 キーボード, 64 モニタ, 100 ハイブリッド弁装置, 102 導管, 104 精密オリフィス
Claims (2)
- 共通の流体入口と,全流体流を排出する共通の流体出口と,複数のバイナリ制御導管と,1つのアナログ制御導管と,制御装置とを備え,該バイナリ制御導管は所定の流量を有していて,共通の流体入口と共通の流体出口との間で互いに並列に接続されており,各バイナリ制御導管はバイナリ弁と所定の流量の流体を共通の出口に通過させる調節手段とを有しており,各バイナリ制御導管の所定の流量は,順次に選択されたバイナリ制御導管が別個にあるいは組み合わして最大の増分を含む増分で全流体流の流量を順次に増大させるように,選ばれており,該アナログ制御導管は共通の流体入口と共通の流体出口との間でバイナリ制御導管に対して並列に接続されていて,少なくとも最大の増分に等しい最大の流量までの選択された流量を通過させる無段階に調整可能な流量調節器を有しており,該制御装置は各バイナリ弁を選択された開放位置又は閉鎖位置に制御し,かつアナログ制御導管を通して選択された流量の流体流が通過するように流量調節器を制御して,これらの制御によって無段階に可変の選択可能な流量の全流体流が生ぜしめられるようになっており,バイナリ制御導管が1つの1次導管と1つ又は複数の2次導管とから成っていて,連続的な順序で所定の流量を増大させており,1次導管は1次流量を有しており,各2次導管の所定の流量は連続的な順序で前の順序のバイナリ制御導管の所定の流量よりも1次流量の2倍に等しい増分だけ大きいことを特徴とする,流体の流量を変化させる弁装置。
- 付加的な流体導管が共通の流体入口と共通の流体出口との間でバイナリ制御導管及びアナログ制御導管に対して並列に接続されていて,付加的な所定の流量の流体を共通の流体出口に通過させる付加的な調節手段を有しており,この付加的な流体導管は通常は開いていて,付加的な所定の流量で最少の流れを共通の出口に通過させることを特徴とする,請求項1記載の弁装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/100,596 US5329965A (en) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | Hybrid valving system for varying fluid flow rate |
US08/100596 | 1993-07-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0778032A JPH0778032A (ja) | 1995-03-20 |
JP3556276B2 true JP3556276B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=22280558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17702594A Expired - Lifetime JP3556276B2 (ja) | 1993-07-30 | 1994-07-28 | 流体の流量を変化させる弁装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5329965A (ja) |
EP (1) | EP0636959B1 (ja) |
JP (1) | JP3556276B2 (ja) |
AU (1) | AU692773B2 (ja) |
CA (1) | CA2126496C (ja) |
DE (1) | DE69422098T2 (ja) |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9407288U1 (de) * | 1994-05-02 | 1994-08-04 | Trumpf Gmbh & Co, 71254 Ditzingen | Laserschneidmaschine mit Fokuslageneinstellung |
US5443112A (en) * | 1994-06-21 | 1995-08-22 | Scheideman; Floyd P. | Water flow and heat exchange control system and method between heat source and water reservoir |
NL9402237A (nl) * | 1994-12-29 | 1996-08-01 | Adrianus Martinus M Wildenberg | Debietregelklep. |
US5640995A (en) * | 1995-03-14 | 1997-06-24 | Baxter International Inc. | Electrofluidic standard module and custom circuit board assembly |
US6068010A (en) * | 1995-06-09 | 2000-05-30 | Marotta Scientific Controls, Inc. | Microvalve and microthruster for satellites and methods of making and using the same |
CA2183478C (en) * | 1995-08-17 | 2004-02-24 | Stephen A. Carter | Digital gas metering system using tri-stable and bi-stable solenoids |
EP0885659A1 (en) | 1997-06-19 | 1998-12-23 | Emes N.V. | Continuous dispensing system for liquids |
US6010032A (en) * | 1997-06-19 | 2000-01-04 | Emes N.V. | Continuous dispensing system for liquids |
US6269831B1 (en) * | 1998-03-31 | 2001-08-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Precision volumetric measuring and mixing apparatus |
JP3604060B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2004-12-22 | 株式会社堀場製作所 | 希釈用ガス流量制御装置 |
DE19853739A1 (de) * | 1998-11-21 | 2000-05-25 | Mannesmann Rexroth Ag | Verfahren zur Ansteuerung von elektrisch betätigten Schaltventilen |
EP1081570A1 (en) | 1999-08-30 | 2001-03-07 | TeeJet Technologies | Fluid flow regulator and control method |
US6508272B1 (en) | 2000-11-20 | 2003-01-21 | Arichell Technologies, Inc. | Device and method for operating at least two valves |
JP2003053548A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Koike Sanso Kogyo Co Ltd | 流量調整装置及び加工装置 |
EP1470297A1 (en) | 2001-12-04 | 2004-10-27 | Arichell Technologies, Inc. | Electronic faucets for long-term operation |
EP1336789B1 (de) * | 2002-02-19 | 2004-06-30 | FESTO AG & Co | Drosselventil |
WO2004005628A2 (en) | 2002-06-24 | 2004-01-15 | Arichell Technologies, Inc. | Automated water delivery systems with feedback control |
US7169231B2 (en) * | 2002-12-13 | 2007-01-30 | Lam Research Corporation | Gas distribution system with tuning gas |
US6997202B2 (en) * | 2002-12-17 | 2006-02-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate |
JP2006268426A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Ebara Corp | 流量制御装置及び方法 |
US7673645B2 (en) * | 2005-04-21 | 2010-03-09 | Mks Instruments, Inc. | Gas delivery method and system including a flow ratio controller using a multiple antisymmetric optimal control arrangement |
US7621290B2 (en) * | 2005-04-21 | 2009-11-24 | Mks Instruments, Inc. | Gas delivery method and system including a flow ratio controller using antisymmetric optimal control |
US9383758B2 (en) | 2005-06-27 | 2016-07-05 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9921089B2 (en) | 2005-06-27 | 2018-03-20 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
JP4856905B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2012-01-18 | 国立大学法人東北大学 | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
JP4690827B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2011-06-01 | 株式会社フジキン | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
US20070060044A1 (en) * | 2005-09-14 | 2007-03-15 | Michael Lamb | Portable music system |
JP4814706B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2011-11-16 | 株式会社フジキン | 流量比可変型流体供給装置 |
US7909052B2 (en) * | 2006-12-21 | 2011-03-22 | Packaging Technologies, Inc. | Apparatus and method for controlling gas flow |
US8091575B2 (en) * | 2007-05-10 | 2012-01-10 | Gammon Technical Products, Inc. | Valve system |
JP5085404B2 (ja) * | 2008-04-24 | 2012-11-28 | Ckd株式会社 | 流量制御装置 |
CN102037423B (zh) * | 2008-05-21 | 2014-02-05 | 株式会社富士金 | 使用压力流量控制装置的流体非连续式流量切换控制方法 |
US8128060B2 (en) * | 2009-03-25 | 2012-03-06 | Valve Tech, Inc. | Non-sliding solenoid valve |
DE102009052285B4 (de) * | 2009-11-09 | 2020-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Digital-Hydraulik-Ventil |
GB201006530D0 (en) * | 2010-04-19 | 2010-06-02 | Sec Dep For Business Innovatio | Method of and system for calibrating gas flow dilutors |
US20110265883A1 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for reducing flow splitting errors using orifice ratio conductance control |
JP5562712B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2014-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置用のガス供給装置 |
US20120085434A1 (en) * | 2010-10-11 | 2012-04-12 | William Powanda | Method and apparatus for flow device |
JP5646956B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2014-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 液体流量制御装置、液体流量制御方法および記憶媒体 |
CN103459730B (zh) | 2011-03-15 | 2016-04-06 | 仕龙阀门公司 | 自动水龙头 |
US9695579B2 (en) | 2011-03-15 | 2017-07-04 | Sloan Valve Company | Automatic faucets |
DE102011083069A1 (de) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Metso Paper, Inc. | Fluidsystem für eine Maschine zur Herstellung einer Faserstoffbahn |
DE102011121755A1 (de) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Wabco Gmbh | Luftfederungsanlage eines Kraftfahrzeugs und Verfahren zu deren Steuerung |
US9694336B2 (en) | 2012-06-14 | 2017-07-04 | Basell Polyolefine Gmbh | Method for cooling a gas-phase reactor for the polymerization of olefins |
EP2674213A1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-12-18 | Basell Polyolefine GmbH | Method for cooling a gas-phase reactor for the polymerization of olefins |
DE102012017207A1 (de) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Ansteuern einer hydraulischen Ventilanordnung und hydraulische Ventilanordnung |
US9146007B2 (en) * | 2012-11-27 | 2015-09-29 | Lam Research Ag | Apparatus for liquid treatment of work pieces and flow control system for use in same |
US10036568B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-07-31 | Trane International, Inc. | Fluid flow measurement and control |
JP6193679B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-09-06 | 株式会社フジキン | ガス分流供給装置及びガス分流供給方法 |
US9683975B2 (en) * | 2014-02-12 | 2017-06-20 | Idex Health & Science Llc | Volumetric flow regulation in multi-dimensional liquid analysis systems |
US10957561B2 (en) * | 2015-07-30 | 2021-03-23 | Lam Research Corporation | Gas delivery system |
US10192751B2 (en) | 2015-10-15 | 2019-01-29 | Lam Research Corporation | Systems and methods for ultrahigh selective nitride etch |
US10825659B2 (en) | 2016-01-07 | 2020-11-03 | Lam Research Corporation | Substrate processing chamber including multiple gas injection points and dual injector |
US10699878B2 (en) | 2016-02-12 | 2020-06-30 | Lam Research Corporation | Chamber member of a plasma source and pedestal with radially outward positioned lift pins for translation of a substrate c-ring |
US10147588B2 (en) | 2016-02-12 | 2018-12-04 | Lam Research Corporation | System and method for increasing electron density levels in a plasma of a substrate processing system |
US10651015B2 (en) | 2016-02-12 | 2020-05-12 | Lam Research Corporation | Variable depth edge ring for etch uniformity control |
US10438833B2 (en) | 2016-02-16 | 2019-10-08 | Lam Research Corporation | Wafer lift ring system for wafer transfer |
US10410832B2 (en) | 2016-08-19 | 2019-09-10 | Lam Research Corporation | Control of on-wafer CD uniformity with movable edge ring and gas injection adjustment |
FR3064621B1 (fr) * | 2017-04-03 | 2022-02-18 | Fluigent | Dispositif microfluidique |
JP7068062B2 (ja) * | 2018-06-18 | 2022-05-16 | 株式会社堀場製作所 | 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 |
DE202019103892U1 (de) * | 2019-07-15 | 2020-10-16 | Neoperl Gmbh | Mengenreglereinheit und korrespondierende Verwendung |
DE102019134613B3 (de) * | 2019-12-16 | 2021-03-18 | Aventics Gmbh | Ventilanordnung und Verfahren zur Druckregelung eines Fluids |
US20210373584A1 (en) * | 2020-05-27 | 2021-12-02 | William C. Patton, Jr. | Computer-controlled valve array |
WO2024053250A1 (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-14 | 株式会社日本サーモエナー | ボイラシステム |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2999482A (en) * | 1957-04-15 | 1961-09-12 | North American Aviation Inc | Digital fluid control system |
US3038449A (en) * | 1959-06-03 | 1962-06-12 | Gen Dynamics Corp | Hydraulic control system |
US3937248A (en) * | 1968-02-06 | 1976-02-10 | Process Systems, Inc. | Fluid flow control system employing a plurality of digital valve elements |
US3746041A (en) * | 1971-02-02 | 1973-07-17 | Process Systems | Fluid flow control system |
US3726296A (en) * | 1971-08-09 | 1973-04-10 | Process Systems | Fluidic control system and method for calibrating same |
US4030523A (en) * | 1976-04-19 | 1977-06-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Digital flow control system |
DE2751743C2 (de) * | 1977-11-19 | 1985-04-18 | Pierburg Luftfahrtgeräte Union GmbH, 4040 Neuss | Verfahren und Regeleinrichtung zum Zumessen strömender Medien |
JPS55152901A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Hydraulic control circuit |
JPS59167702A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-21 | Komatsu Ltd | 流量制御回路 |
US4628961A (en) * | 1985-09-19 | 1986-12-16 | Lew Hyok S | Multiple orifice stepper control valve |
US4821997A (en) * | 1986-09-24 | 1989-04-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator |
US4768544A (en) * | 1987-05-26 | 1988-09-06 | Beam Engineering, Inc. | Digital valve flow control system |
JPH0721736B2 (ja) * | 1988-02-21 | 1995-03-08 | 新技術事業団 | マイクロバルブ・マスフローコントローラ |
US4858636A (en) * | 1988-05-11 | 1989-08-22 | Adkins Donald E | Preset microscopic flow valve apparatus and method |
JP3023897B2 (ja) * | 1991-10-18 | 2000-03-21 | キヤノン株式会社 | ガス流量制御装置 |
-
1993
- 1993-07-30 US US08/100,596 patent/US5329965A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-06-22 CA CA002126496A patent/CA2126496C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-27 DE DE69422098T patent/DE69422098T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-27 EP EP94109891A patent/EP0636959B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-28 JP JP17702594A patent/JP3556276B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-28 AU AU68795/94A patent/AU692773B2/en not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5329965A (en) | 1994-07-19 |
AU692773B2 (en) | 1998-06-18 |
EP0636959B1 (en) | 1999-12-15 |
EP0636959A3 (en) | 1995-04-12 |
EP0636959A2 (en) | 1995-02-01 |
JPH0778032A (ja) | 1995-03-20 |
AU6879594A (en) | 1995-02-09 |
CA2126496A1 (en) | 1995-01-31 |
DE69422098D1 (de) | 2000-01-20 |
CA2126496C (en) | 2000-08-15 |
DE69422098T2 (de) | 2000-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3556276B2 (ja) | 流体の流量を変化させる弁装置 | |
US4191215A (en) | Digital fluid flow rate controller | |
KR100621830B1 (ko) | 가변 이득 비례 적분 (pi) 제어기용 시스템 및 방법 | |
US20050150552A1 (en) | Device, method, and system for controlling fluid flow | |
US4030523A (en) | Digital flow control system | |
US8019481B2 (en) | Flow rate ratio control device | |
US6631334B2 (en) | Pressure-based mass flow controller system | |
US4262686A (en) | Apparatus for the electrically controlled proportioning and mixing of gases | |
US7007707B2 (en) | Mass flow ratio system and method | |
JP3856730B2 (ja) | 流量制御装置を備えたガス供給設備からのチャンバーへのガス分流供給方法。 | |
US20080115834A1 (en) | System and method to divide fluid flow in a predetermined ratio | |
US6941965B2 (en) | Method and apparatus for providing a determined ratio of process fluids | |
CN101479681B (zh) | 流量比可变型流体供给装置 | |
US7621290B2 (en) | Gas delivery method and system including a flow ratio controller using antisymmetric optimal control | |
US11467608B2 (en) | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller | |
JP3522544B2 (ja) | 流体可変型流量制御装置 | |
WO2009084422A1 (ja) | 流量比率制御装置 | |
JP2000323464A (ja) | 半導体製造装置用のガス供給装置及びガス供給方法 | |
US4542740A (en) | Gas dosing device for medical apparatus | |
WO2008096101A2 (en) | Fluid mixtures | |
US4467834A (en) | Device for controlling the mixture and flow of at least two fluids | |
US20040168719A1 (en) | System for dividing gas flow | |
JPS61223435A (ja) | 液体温度の制御方法及び装置 | |
US20100018592A1 (en) | Fluid control system for precisely controlling a flow of fluid | |
JP3027802B2 (ja) | フローコントローラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20031218 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20031224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |